JP4778655B2 - 1つまたは多くの被膜を基板に沈積する方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、少なくとも一つの液体または固体の少なくとも1つの反応ガスおよび必要な場合は少なくともさらに一つの室温でガス状の反応ガス用の初期物質を使用して、1つまたは多くの被膜を反応室に配置される少なくとも一つの基板に作成する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の方法およびこの種の装置は、WO95/02711またはWO99/02756により既知である。この両方の文書においてここでは詳細のすべてについて言及しない説明を明確に引用している。既知の装置は少なくとも一つの個別または混合した初期物質(前駆体)の貯蔵容器を備えている。さらに既知の方法では基板が特に1つまたは多数の支持体に配置される反応室を備え、その中て被膜が基板に形成される。制御装置により制御される供給装置は、初期物質を少なくとも一つの供給配管により貯蔵容器から初期物質が蒸発される領域に供給される。(いわゆる「蒸発器」)
【0003】
WO95/02711により既知の装置は、前駆体(初期物質)を「液滴の形状」で下流側に接続される温度調節される蒸発室に導入し、そこで蒸発されるかまたは直接容器を温度調整することによってガス状の製品を反応炉に供給する。
【0004】
この定期的な噴射において、すべての操作条件において反応室における反応ガスは十分に均等な配分にならない。
【0005】
さらに反応ガスは必ずしも最適な温度で反応室に噴射されないことが多い。
【0006】
US-PS5554220により既知の凝縮被膜生成装置においても同様な問題がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は一般的な装置およびそれに対応する方法を、従来の技術では発生する恐れのある供給されるガスの配分および/または作製される被膜の成分を持つ供給ガスの温度の不均等性による欠陥を防止するように発展させることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この課題は請求項に示す本発明により解決される。
【0009】
本発明によれば、反応ガスは反応室に入る前でガス導入装置に導入され、使用される反応ガスの数より少ないかまたは同じ数の多数に分割されたガス通路を通り、種々の反応ガスが基板の寸法に対し均等に平均化されるが、基板の表面より前では実質的に互いに反応しないように、空間的に分離して反応室に供給するように配置した多くの出口開口を使用する。この反応ガスはそれぞれのガス通路でガス導入装置によって温度調整、すなわち加熱されるかまたは冷却され、特にガス温度は制御されるか一定温度に保持される。
【0010】
シャワーヘッドとも呼ばれるこのようなガス導入装置は、他のこの種の方法でも既知であるが、ガス導入装置でガスの温度調整および特に必要な場合は事前温度調整による温度制御が行なわれる本発明による形態は知られていない(US5871586)。
【0011】
供給されるガスの温度特別に簡単な調整、および特に制御は、個々のガスの温度をガス導入装置の水平および/または垂直温度勾配を異なった温度に調整するか制御することによって行なう。
【0012】
さらに本発明による方法では、ガス導入装置に供給されるガスの体積を調整し特に制御する。ガス導入装置は少なくとも一つの搬送ガスおよび/または掃気ガスの導入に使用することができる。
【0013】
少なくとも一つの基板に被膜を形成する本発明による方法は、CVD、MOCVDまたはOVPD法(凝着被膜形成)に使用され、特に酸化材料のグループに属する例えばBaSrTiO3、PbZrTiO3、SrBi2Ta2O9のようなペロブスカイト、または被膜ペロブスカイトの製作、または有機被膜の製作、特に「小さな分子」および例えばOLEDまたは太陽電池のような薄い被膜部品の重合体に使用される。
【0014】
本発明による基板を被膜する反応炉、特に本発明による方法が使用できる構造は、少なくとも2つの異なるガスまたは混合ガスを別々に準備するガス供給装置、少なくとも一つの被膜する基板を少なくとも一つの加熱または冷却した支持体に配置した反応室、および少なくとも2つのガスまたは混合ガスが互いに分離されて反応室に供給され、グループに統合される多数のガス出口開口を備え、その数は別々に供給されるガスまたは混合ガスの数に対応し、ガス出口開口のそれぞれのグループからガスまたは混合ガスの1つが反応室に流出する少なくとも1つの温度調整するガス導入装置(シャワーヘッド)を備えている。
【0015】
このような反応炉は下記の特長によって改善されている。
・ ガス導入装置はガス出口開口を有する板を備えている。
・ 板は基板または支持体加熱または冷却、および/または加熱されたまたは冷却された基板または支持体によって、直接的または間接的に温度調整される。
・ 板とガス導入装置の基本体および/またはガス導入装置の基本体および熱冷却体または熱源の間に、ガスによって形成される調整可能な熱抵抗体が配置される。
【0016】
本発明による構成では、ガス導入装置を例えば電気的に加熱する必要はない。ガス導入装置の温度調整はむしろ1つまたは多数の調整可能な熱抵抗によって行なわれ、高温の場所からガス導入装置へ、またはガス導入装置から反応室の低温の場所への熱の流れの調整また制御が可能となる。したがって簡単に構成され、しかも容易に正確に制御できるガス導入装置が得られる。
【0017】
特に支持体および/または基板を直接的または間接的に冷却または加熱し、支持体または基板からまたは支持体または基板への熱流を調整または制御する。
【0018】
本発明による装置の好ましい構成は次の特長によって特徴付けられる。
・ 出口開口の反対側に板が種々の別々に供給されるガスまたは混合ガスの緩衝空間に配置され、その数は少なくともグループの数に対応し、配管によってガス供給システムおよびそれぞれに対応するガス出口開口に流体的に接続される。
・ 緩衝空間は熱的に板および熱冷却体または熱源に結合される。
【0019】
これらの構成は、緩衝空間に存在するガスが希望する方法で温度調整できるよう十分長くガス導入装置に残留する利点がある。可変熱抵抗との結合は、特に少なくとも一つの媒体を調節可能な圧力にしながら中間空間で実施する。
【0020】
さらに緩衝空間を加熱または冷却される板の垂直な方向に重なり合ってガス導入装置のケースに配置すると好都合である。この構成によって区分した温度に対応する緩衝が得られ、簡単な方法で必要な場合はガスを種々な温度に温度調整することができる。
【0021】
垂直方向に半径対称としたケースの構成は、半径方向の均等な温度分布をもたらす。
【0022】
中間空間に異なる熱伝導率の媒体を使用した場合、簡単な方法で熱抵抗を調整することができる。媒体にガスまたは混合ガスを使用すると、特別に迅速な調整または制御が得られる。
【0023】
中間空間を基板が配置される空間に対して気密とする構成によって、反応室のガス流は乱されなくなる。
【0024】
熱源または熱冷却体として、請求項に示すように反応室の温度調整される部分を好都合に使用することができる。特に温度調整する板を、基板または支持体から熱輻射、熱伝導などによる熱移動により温度調整することができる。
【0025】
半径方向および/または垂直方向の温度勾配の調整のため、ガス導入装置を異なった種類に構成することができ、例えば少なくとも1種類の材料から構成させ、特に1つまたは多数の異なった材料による水平または垂直の多層構造として製作する。この場合多層組織の内部は温度調節のためダクトを設けることができる。材料として例えばアルミニウム、特殊鋼、水晶ガラスおよびセラミックを使用することができる。
【0026】
さらにガス導入装置は少なくとも1つの必要によって除去できる中間板を設け、垂直方向および/または水平方向に対する温度勾配の調整のため互いに向かい合ったガス導入装置の仕切り壁に熱的に結合させ、特に緩衝空間を制約することができる。特に少なくとも1つの中間板に少なくとも1つの開口を設けることができる。さらに少なくとも2つの中間板を熱的な橋状体によって垂直、水平および/または半径方向の熱の流れを結合することができる。また少なくとも1つの中間板をガス導入装置内のガスの方向転換に役立てることもできる。代わりにまたは追加して少なくとも1つの中間板をガス導入装置の外側に配置し衝撃防止板として役立てることもできる。
【0027】
さらに加熱した板に設けたガス出口開口の短管を、個々の緩衝空間に接続することができる。この場合開口を適切な形状に形成すると有利である。
【0028】
本発明による装置は、特に少なくともプロセスガスの一部が固体または液体の前駆物質から生成される被膜の製作に適している。さらにガス導入装置はプロセスガスに加えて少なくとも一つの搬送ガスおよび/または掃気ガスを供給することができる。
【0029】
本発明の実施例を以下添付した図面によって説明する。
【0030】
【発明の実施の形態】
ここで図式的に概略を図示した反応炉は壁31の形状をした反応炉周壁を備えている。この反応炉周壁31によって反応炉の底部32は囲まれる。例えば円筒状の構造を有する底部32に1つまたは多くの基板2の保持体である支持体14が置かれる。支持体14は下側から加熱器16によって加熱される。加熱器16の代わりに支持体14を例えば室温に保持するため冷却器を設けることもでき、これによって支持体14の上に置かれる基板2に凝縮による被膜を形成することができる。
【0031】
底部32または支持体14の上側に外部に対しガス気密に閉じられた空間1があり、反応室1を形成する。反応室1では支持体14の上側に配置されたガス導入装置8にガス3、4、5が供給される。これらのガスは反応ガスか反応ガスを含むもので、例えば支持体上に凝縮することができる。別の方法ではこれらのガスはガス相で、または好ましくは基板表面で化学的に互いに反応し、基板表面2は反応生成物によって被膜が形成される。被膜形成は結晶の成長が含まれる。被膜の成長は殆ど多結晶によって行なわれる。特別の場合は被膜の成長は単結晶で行なわれる。
【0032】
ガス導入装置8は反応炉のカバー19の空洞に設けられる。この反応炉のカバー19は図示しない加熱器または同様に図示しない冷却器によって事前設定された温度に保持される。ガス導入装置8は反応炉のカバー19との表面の接触はない。むしろ反応炉のカバー19とガス導入装置8の外表面の間の空間20がガスで掃気される。図1または図7にはこのための掃気ガス配管33が示され、これによって掃気ガス23を供給することができる。掃気ガスは反応室1に存在するプロセスガスに応じて選定される。これは不活性ガスであることか好ましい。MOCVDプロセスの場合は窒素または窒素と水素の混合物である。しかし水素であってもよい。例えば最初に説明した酸化プロセスのような別のプロセスの場合は希ガスの混合物、例えばヘリウムとアルゴンの混合物とすることができる。互いに極端に異なる熱伝導特性を備えたガスの混合物が好ましく、両方のガスの混合の割合を調整することによって反応炉のカバー19からガス導入装置8への熱の移動を調整することができる。熱の移動を熱伝導により確実に実施するため、空間20を適応する圧力に調節しなれればならない。反応室1のプロセス圧力がこの圧力より低いと、空間20は反応室1から絶縁される。これはガス気密または絞りの役目を果たす絶縁体29によって行なわれるので、ガスは空間20から反応室に流れることができる。空間20は幾つかの専用のガス排出配管を備えている。反応室の半径方向の外側にあるガス排出配管は図示していない。
【0033】
反応ガス3、4、5をガス貯蔵装置からガス導入装置8に供給する供給配管21、22が空間20を貫通する。ガス3、4は蒸気の形態で供給される液状の初期物質3’、4’であってもよい。初期物質3’、4’は、反応ガス3、4に昇華する固体であってもよい。固体材料3’または液体4’は、図1に図式的に示される容器7に保管される。容器7から出たガス3、4は配管21を経て反応室のカバー19を通りガス導入装置8に供給される。配管21には追加的に搬送ガスまたは掃気ガス13が送り込まれる。
【0034】
図9に図示した実施例において、液体の初期物質は温度調整される蒸発器38に供給される。初期物質はここで既知の方法によって表面接触または好ましくは温度の高い搬送ガスからの熱の供給によって蒸発され、ガス配管21を経て反応炉に供給される。この実施例で初期物質が入っている容器7は加熱されないことが好ましい。
【0035】
配管22によってガス状の初期物質5はガス導入装置8に到達する。
【0036】
ガス導入装置8の説明を図2を参照して実施する。ガス導入装置8は円板状のカバー板17を備え、そのなかに中心から縁に対して多くの星形に走るダクト24、25が配置される。ダクト24は配管21によって接続され、これによって反応ガス3、4が上部室9の外周に導かれる。ダクト25を通って供給配管22によって供給された反応ガス5は室9の下側にある室10の周辺部に流れる。空間9、10はガス気密されて互いに分離され緩衝空間を形成する。両方の緩衝空間9、10の分離は、中間板18によって行なわれカバー板17と同様に金属から製作することができる。中間板18およびカバー板17は,熱を伝導する橋状体26によって互いに結合される。橋状体26を除去するとカバー板17から中間板18への熱移動は緩衝空間9に供給される反応ガス3、4、または追加の搬送ガスまたは掃気ガス13およびガス導入装置8の外周部の熱伝導によって行われる。カバー板17はほとんど空間20を介しての熱伝導によって加熱されたり冷却されたりする。
【0037】
中間板18は多くの開口を備え、室10を貫通してガス導入装置8底板を形成する穴板15まで突き出す管27が接続される。板15および中間板18の間には緩衝空間10がありこの内部に反応ガス5が流れる。管27またはその出口開口11の間の空間に開口12が設けられ、緩衝空間10にある反応ガス5が流出することができる。
【0038】
板15は多数の互いに近接して設けられる出口開口11、12を有する穴板として構成される。管27に所属する出口開口11は専ら緩衝空間に存在する反応ガス3および4が排出される第1のグループを形成する。それぞれが出口開口11に隣接する第2のグループに所属する出口開口12は、緩衝空間10に存在する反応ガス5を排出する。
【0039】
緩衝空間9、10の圧力は出口開口11、12の直径および数に関連して、板15の全面積にわたって均等な流れの状態が発生するよう選定する。反応室1の高さは、出口開口11、12から流出するガス流が基板2までの間に混合するように選定する。
【0040】
中間板18から板15への熱の移動は熱伝導によって行なわれる。管が熱伝達材料から製作される場合の熱伝達は管27によって行われる。しかし熱伝達は緩衝空間に存在するガスによって実施することもできる。さらにガス導入装置8の外周から実施される。
【0041】
図3に図示したガス導入装置は上側緩衝空間9に中間板28を備えている。この中間板28は同様に橋状体26によってカバー板17に接続される。また橋状体26は同様に中間板28を中間板18に接続するため設けることもできる。さらに中間板18は衝突緩和壁の機能も有する。供給配管21からガス導入装置8に流出するガス流は中心に流れ、半径方向の外側に向きを変え中間板28の周辺に流れ、同時に外側から内側へ緩衝空間9を流れる。
【0042】
上記に説明した部品の温度調節/制御特性は図5によって明らかである。空間20の動作は、ここでは調節可能な抵抗として示される。ガス導入装置8も同様である。図1にT1で示した反応炉のカバー19の位置は、例えば1000℃の温度T1となる。基板2の表面温度T4は約200℃となる。この両方の温度は反応炉のカバー19の加熱、または支持体14の加熱または冷却によって調節することができる。形状、または空間20のガス、または緩衝空間9、10のガス3、4、5または13の成分または圧力の変化によって、温度T2、T3およびカバー板17または板15の温度が調整される。
【0043】
温度経過を図6に示す。板15は例えば400℃の低い温度となる。カバー板17は例えば800℃の温度となる。
【0044】
上記に説明した装置によって実施できる別のプロセスにおいて、基板2は加熱器16による適切な加熱によって、例えば冷却によって室温に保持される反応炉カバーの温度T1より高い温度になる。空間20のガスおよびその圧力の適切な選定、およびガス導入装置8における流れのパラメータまたは形状の調整によって、温度T2またはT3を制御することができる。例えば反応ガスが反応温度より高い温度で分解するガスの場合は、パラメータをこれらのガスが付属する緩衝空間の温度を分解温度より低くするように調節する。凝縮温度より低い温度で反応ガスが凝縮する恐れのある反応ガスの場合は、緩衝空間の対応する温度をそれに応じて高く保持する。
【0045】
配管21、22を通じてガス導入装置に進入するガスは、ガス導入装置8によって温度調整される。
【0046】
図8に図示する実施例においては、温度調整はダクト34、35または36を流れる媒体例えばガスによって行なわれる。温度調整は加熱導線によって実施することができる。ダクト34は穴板15を横断している。ダクト34を通って冷却または加熱媒体が流れる。ダクト35は中間板18に配置される。このダクトを通って冷却または加熱媒体が流れる。最後にカバー板17にもダクト36が設けられ、同様に媒体を流すことができる。図8にはダクト34、35、36を図式的に示してあるだけである。ダクトは板が均等に温度調整されるよう個々の板に配置する。例えば板にダクトを波状に貫通させる。ダクトはそれぞれの端部を互いに接続する穴で形成することができる。またダクトを溝として加工した後板で覆うことも可能で、板15、18、17は2つの互いに重なった互いに結合された板で構成される。ガス導入装置8またはその板は水平方向の多層構造物として構成される。
【0047】
ガスが出口開口11、12をできるだけ確実に層流で流出するため、開口は漏斗状に広げる。これは図4に示される。
【0048】
図7に示した実施例では、ガス導入装置は図3または図4に対応して構成される。この実施例では空間20に衝突緩和板30の形状した別の中間板が設けられる。この衝突緩和板30に向って、配管33によって空間20に進入するガス23が流れる。この実施例の場合は追加のガス配管が空間20に導入される。この配管33’は衝突緩和板30を貫通して突き出し、配管33’から流出するガス流23’はカバー板17に向って流れる。
【0049】
空間20に供給される掃気ガス23、23’は温度調整することができる。
【0050】
開示されたすべての特徴は本発明に対し基本的なものである。従って、対応する/添付の優先書類(事前出願のコピー)の開示もまたすべて本出願の開示内に含まれるものであり、その目的のためこれらの書類の特徴もこの出願の請求事項に含まれるものである。
【発明の効果】
供給されるガスの配分および/または作製される被膜の成分を持つ供給されるガスの温度の不均等性による欠陥を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による装置の図式的断面図である。
【図2】 図式化したガス導入装置の拡大断面図である。
【図3】 図2に変更を加えた図である。
【図4】 ガス導入装置の板の拡大図である。
【図5】 緩衝体積の技術的作用の接続図的な図である。
【図6】 緩衝体積の範囲の温度経過である。
【図7】 本発明の別の実施例に対する図1による図である。
【図8】 本発明の別の実施例に対する図2による図である。
【図9】 別の実施例の図1による図である。
Claims (17)
- 少なくとも1つの液体または固体の初期物質(3’、4’)から生じる少なくとも1つの反応ガス(3、4)を使用して、かつ、必要な場合はさらに別の少なくとも1つの室温でガス状の反応ガス(5)を使用して、反応室内で温度調整される支持体(14)に配置される少なくとも1つの基板に1つまたは多数の被膜を形成するための方法であって、
液体または固体の初期物質(3’、4’)が1つまたは多数の蒸発器(7)で、反応室(1)に供給される前に液体相または固体相から直接蒸気相に移行され、
ガス導入装置(8)に供給される反応ガス(3,4,5)は、それらの使用される反応ガス(3、4、5)の数より少ないかまたは同じ数の複数に分割されたガス通路(9、10)を通り、そのガス通路(9、10)は多数の出口開口(11、12)を使用し、
使用される反応ガス(3、4、5)が基板表面上に均等に平均化して供給され、
反応ガス(3、4、5)はそれぞれのガス通路(9、10)でガス導入装置(8)によって温度調整され、ガス導入装置(8)の支持体(14)に対向する一方の面は支持体(14)と熱の授受を行ない、ガス導入装置(8)の他方の面はガス掃気される空間(20)を介して熱を熱冷却体に放出し又は熱源より吸収し、その空間(20)の熱抵抗は掃気ガスの成分の変更によって調整可能である、上記方法において、
・反応ガス(3、4、5)は基板の表面と実質的に反応しないように反応室(1)に空間的に分離して供給され、
・反応室(1)に対して空間(20)を絶縁および絞り(29)によって分離することにより、空間(20)の熱抵抗は掃気ガスの圧力の変化によって調整可能であり、および
・ガス導入装置(8)に配置されたガス通路(9、10)によって構成される、ガス導入装置(8)の両方の面の間の緩衝空間の熱抵抗が、反応ガス(3、4、5)の圧力および/または成分の変更によって可変に調整される、
ことを特徴とする方法。 - ガス導入装置(8)内で個々のガスの温度を水平方向および/または垂直方向の温度勾配の調整によって異なった温度に調整または制御することを特徴とする請求項1による方法。
- 被膜を形成するための方法がCVD、MOCVDまたはOVPD法であることを特徴とする請求項1または2による方法。
- BaSrTiO 3 、PbZrTiO 3 、SrBi 2 Ta 2 O 9 を含む酸化材料のグループに属するペロブスカイトまたは被膜ペロブスカイトである1成分、2成分または多成分の酸化材料を製作するために、または、OLEDまたは太陽電池のための有機薄膜を製作するために使用されることを特徴とする請求項1ないし3の何れかによる方法。
- ガス導入装置(8)が少なくとも1つの搬送ガス(13)および/または掃気ガスの供給のために使用されることを特徴とする請求項1ないし4の何れかによる装置。
- 請求項1ないし5のいずれかによる方法を使用して基板(2)に被膜を形成する装置であって、
・少なくとも2つの異なるガス(3、4、5)または混合ガスを分離して準備するガス供給容器(7)と、
・少なくとも1つの被膜を生成させる基板(2)を少なくとも1つの加熱または冷却した支持体(14)に配置する反応室(1)と、
・少なくとも2つのガス(3、4、5)または混合ガスを複数のガス通路(9、10)を経て分離して反応室(1)に供給し、多数のガス出口開口(11、12)備えた少なくとも1つのガス導入装置(8)と、
・ガス出口開口(11、12)を備えてガス導入装置(8)の支持体(14)に対向する一方の面に設けられ、基板(2)または支持体(14)の加熱器(16)または冷却器、および/または加熱されたまたは冷却された基板(2)または支持体(14)と直接的または間接的に熱の授受を行なう板(15)と、
・ガス導入装置(8)の他方の面と熱冷却体または熱源の間で熱の授受を行なうためのガス掃気される空間(20)であってその熱抵抗は掃気ガスの成分の変更によって調整できる空間(20)と、を備えた装置において、
・空間(20)と反応室(1)の絶縁および絞り(29)によって、掃気される空間(20)の熱抵抗が掃気ガスの圧力によって調整でき、
・板(15)および空間(20)の間に配置され、ガス導入装置に設けられ、ガス通路(9,10)で構成される少なくとも1つの緩衝空間の熱抵抗が、緩衝空間(9、10)のガス(3、4、5)の圧力および/またはガスの成分で調整でき、
・ガス出口開口(11、12)がグループにまとめられ、その数は分離された個々のガス(3、4、5)または混合ガスに対応し、ガス出口開口(11、12)のそれぞれのグループからガス(3、4、5)または混合ガスの1つが反応室に流出する、
ことを特徴とする装置。 - 緩衝空間(9、10)が、加熱または冷却される板(15)と垂直方向に配置され、かつガス導入装置(8)のケース(15、17)内にて上下に配置されることを特徴とする請求項6による装置。
- 熱源(19)または熱冷却体は反応炉の温度調整される部分であり、熱冷却体は反応炉の冷却された部分であり、水冷却または加熱される反応炉カバー(17)であることを特徴とする請求項6または7による装置。
- ガス導入装置(8)が水平方向または垂直方向の多層組織として1つまたは多くの異なる材料から製作されることを特徴とする請求項6ないし8の何れかによる装置。
- ガス導入装置(8)は垂直方向および/または水平方向の温度勾配を調整するため、ガス導入装置(8)の互いに対向する仕切り壁(15、17)に熱的に結合(26、27)されかつ2つのガス通路(9、10)の間に位置する少なくとも1つの第1の中間板(18)を備えることを特徴とする請求項6ないし9の何れかによる装置。
- 少なくとも1つの第1の中間板(18)に少なくとも一つの開口を備えたことを特徴とする請求項10による装置。
- 少なくとも1つの第1の中間板(18)及び1つのガス通路(9)内に位置する少なくとも1つの第2の中間板(28)が、垂直、水平および/または半径方向の熱流を調整するため、熱的な橋状体(26、27)によって結合されることを特徴とする請求項10又は11の何れかによる装置。
- 少なくとも1つの第2の中間板(28)がガス導入装置(8)内においてガスの方向転換の役目を果たすことを特徴とする請求項12による装置。
- 少なくとも1つの第3の中間板(30)が、ガス導入装置(8)の外部の空間(20)に配置され衝突緩和板として機能することを特徴とする請求項6ないし13の何れかによる装置。
- 第1の中間板(18)が緩衝空間(9、10)を分離することを特徴とする請求項10による装置。
- ガス導入装置(8)の少なくとも1つの仕切り壁(17)の内部に少なくとも1つのダクト(24、25)が設けられ、ガス導入装置(8)における温度勾配を調整することを特徴とする請求項10による装置。
- 短管(27)がガス出口開口(11)と少なくとも1つの緩衝空間(9)とを接続することを特徴とする請求項6ないし16の何れかによる装置。
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