JP4740872B2 - 薬液供給用ポンプ - Google Patents
薬液供給用ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4740872B2 JP4740872B2 JP2006542293A JP2006542293A JP4740872B2 JP 4740872 B2 JP4740872 B2 JP 4740872B2 JP 2006542293 A JP2006542293 A JP 2006542293A JP 2006542293 A JP2006542293 A JP 2006542293A JP 4740872 B2 JP4740872 B2 JP 4740872B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- working chamber
- pump
- diaphragm
- wall surface
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/06—Pumps having fluid drive
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/12—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having peristaltic action
- F04B43/14—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having peristaltic action having plate-like flexible members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
可撓性膜よりなるダイアフラムにてポンプ室と作動室とを仕切り、その作動室内が作動気体を用いて加圧されることにより前記ダイアフラムが前記ポンプ室側に変形して該ポンプ室内に充填された薬液を吐出すると共に、その作動室内が作動気体の吸引により負圧とされる、若しくはその作動室内を大気開放することにより前記ダイアフラムが前記作動室側に変形して該ポンプ室内に薬液を吸入する薬液供給用ポンプであって、
ポンプハウジングには、前記作動室内に前記作動気体を給排する給排通路が形成され、前記作動室の内壁面における前記給排通路の開口は、該内壁面の中心部に位置しており、
前記作動室の内壁面には、該内壁面の中心部からオフセットさせた位置に、前記ダイアフラム側に突出する突出部が設けられている。
ここで、例えばダイアフラムがポンプ室側若しくは作動室側へ若干凸状に湾曲形成された場合、自然状態で作動室側へ凸となる位置とポンプ室側へ凸となる位置との間は、ダイアフラムの張力が作用しない(または張力が小さい)区間となる。この場合、突出部がないと、ダイアフラムは中心部から僅かずつ変形し始め、作動気体の押圧力に耐えられなくなる限界点を超えるときに、ダイアフラム全体が張力の作用しない区間の終了側の境界(ポンプ室側の境界)に向かって一度に変位する。これに対し、突出部を設けた場合は、突出部に乗り上げた部分(中心部からオフセットした部分)から周囲に広がるように滑らかに変形するため、ダイアフラム全体が一度に変位しないようになる。これにより、作動圧の変化が緩やかとなり、作動室の容積急増とそれに伴う圧力急減がなく作動室側へダイアフラムが引き戻される幅が微小となり、吐出圧力の脈動が低減されて薬液の吐出が安定する。また、ダイアフラムにかかる作動圧の変化が緩やかとなることから、吐出圧力の微圧制御を行うことが可能となる。
しかしながら、突出部の突出量が周縁部に向かって連続して小さくなっていれば、突出部において突出量が大きく変化する箇所がなく、また周縁部においても作動室の内壁面からの突出量が小さくなる。これにより、吸入時にダイアフラムが作動室の内壁面に接する位置まで変形した場合も、ダイアフラムでは大きく屈曲する箇所がなく応力が一様に分散するため、応力集中を原因とするダイアフラムの損傷を防止することができる。
可撓性膜よりなるダイアフラムにてポンプ室と作動室とを仕切り、その作動室内が作動気体を用いて加圧されることにより前記ダイアフラムが前記ポンプ室側に変形して該ポンプ室内に充填された薬液を吐出すると共に、その作動室内が作動気体の吸引により負圧とされる、若しくはその作動室内を大気開放することにより前記ダイアフラムが前記作動室側に変形して該ポンプ室内に薬液を吸入する薬液供給用ポンプであって、
ポンプハウジングには、前記作動室内に前記作動気体を給排する給排通路が形成され、前記作動室の内壁面における前記給排通路の開口は、該内壁面の中心部からオフセットさせた位置に設けられている。
Claims (7)
- 可撓性膜よりなるダイアフラムにてポンプ室と作動室とを仕切り、その作動室内が作動気体を用いて加圧されることにより前記ダイアフラムが前記ポンプ室側に変形して該ポンプ室内に充填された薬液を吐出すると共に、その作動室内が作動気体の吸引により負圧とされる、若しくはその作動室内を大気開放することにより前記ダイアフラムが前記作動室側に変形して該ポンプ室内に薬液を吸入する薬液供給用ポンプであって、
ポンプハウジングには、前記作動室内に前記作動気体を給排する給排通路が形成され、前記作動室の内壁面は、円形状をなしているとともに、該内壁面における前記給排通路の開口は、該内壁面の中心部に位置しており、
前記ダイアフラムは、前記薬液の吸入時において前記作動室の内壁面に当接する位置まで変形するものであり、
前記作動室の内壁面には、該内壁面の中心部からオフセットさせた位置に、前記ダイアフラム側に突出する突出部が設けられていることを特徴とする薬液供給用ポンプ。 - 可撓性膜よりなるダイアフラムにてポンプ室と作動室とを仕切り、その作動室内が作動気体を用いて加圧されることにより前記ダイアフラムが前記ポンプ室側に変形して該ポンプ室内に充填された薬液を吐出すると共に、その作動室内が作動気体の吸引により負圧とされる、若しくはその作動室内を大気開放することにより前記ダイアフラムが前記作動室側に変形して該ポンプ室内に薬液を吸入する薬液供給用ポンプであって、
ポンプハウジングには、前記作動室内に前記作動気体を給排する給排通路が形成され、前記作動室の内壁面は、円形状をなしているとともに、該内壁面における前記給排通路の開口は、該内壁面の中心部に位置しており、
前記作動室の内壁面には、該内壁面の中心部からオフセットさせた位置に、前記ダイアフラム側に突出する突出部が設けられており、
前記ダイアフラムは、前記薬液の吸入時において前記作動室側に変形した際、前記突出部に対向する一部分が該突出部に乗り上げて前記ポンプ室側に凸状に撓んだ状態となるものであることを特徴とする薬液供給用ポンプ。 - 前記作動室の内壁面の中心部からオフセットさせた位置に装着穴を設け、該装着穴に突出部材を嵌挿することにより、前記突出部が構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の薬液供給用ポンプ。
- 前記作動室の内壁面からの前記突出部の突出量は、前記内壁面から前記作動室及び前記ポンプ室の中間位置までの長さよりも小さく設定されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の薬液供給用ポンプ。
- 前記突出部の突出量は、周縁部に向かって連続して小さくなっていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の薬液供給用ポンプ。
- 前記作動室の内壁面には、前記給排通路の開口から該内壁面の周縁部側に展開する通気溝が形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の薬液供給用ポンプ。
- 前記ポンプハウジングは、前記ダイアフラムの変形方向に肉薄に形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の薬液供給用ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006542293A JP4740872B2 (ja) | 2004-11-01 | 2005-09-26 | 薬液供給用ポンプ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004317576 | 2004-11-01 | ||
JP2004317576 | 2004-11-01 | ||
PCT/JP2005/017579 WO2006048980A1 (ja) | 2004-11-01 | 2005-09-26 | 薬液供給用ポンプ |
JP2006542293A JP4740872B2 (ja) | 2004-11-01 | 2005-09-26 | 薬液供給用ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006048980A1 JPWO2006048980A1 (ja) | 2008-05-22 |
JP4740872B2 true JP4740872B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=36318995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006542293A Active JP4740872B2 (ja) | 2004-11-01 | 2005-09-26 | 薬液供給用ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7942647B2 (ja) |
JP (1) | JP4740872B2 (ja) |
KR (1) | KR101054270B1 (ja) |
WO (1) | WO2006048980A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8454324B2 (en) * | 2004-03-18 | 2013-06-04 | Precision Dispensing Systems Limited | Pump |
US7708959B2 (en) * | 2006-07-20 | 2010-05-04 | Scholle Corporation | Sterilization system and method suitable for use in association with filler devices |
US10508648B2 (en) * | 2015-07-09 | 2019-12-17 | Trebor International | Automated cross-phase pump and controller |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6015130Y2 (ja) * | 1973-04-16 | 1985-05-14 | ク−ルタ−・エレクトロニクス・インコ−ポレ−テツド | 流体排出装置 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2311229A (en) * | 1941-04-19 | 1943-02-16 | Oliver United Filters Inc | Pump |
US2843050A (en) * | 1954-02-15 | 1958-07-15 | Lyndus E Harper | Diaphragm sludge or chemical pump |
US3508848A (en) * | 1968-07-05 | 1970-04-28 | Singer General Precision | Pneumatic pump |
US3668978A (en) * | 1970-06-03 | 1972-06-13 | Duriron Co | Diaphragms for high pressure compressors and pumps |
US3661060A (en) * | 1970-08-05 | 1972-05-09 | Duriron Co | Diaphragms for high pressure compressors and pumps |
GB1433758A (en) * | 1973-10-23 | 1976-04-28 | Hamilton T W | Membrane pump |
US4135496A (en) * | 1976-01-30 | 1979-01-23 | Institut Kardiologii Imeni A.L. Myasnikova Akademii Meditsinskikh Nauk Sssr | Extracorporeal circulation apparatus |
JPS55161078U (ja) * | 1979-05-07 | 1980-11-19 | ||
JPS55161078A (en) | 1979-05-31 | 1980-12-15 | Tdk Corp | Electrolyzing method for aqueous alkali salt solution with ion exchange membrane |
DE3139925A1 (de) * | 1981-10-08 | 1983-07-14 | Hewlett-Packard GmbH, 7030 Böblingen | Hochdruck-dosierpumpe |
US4477304A (en) | 1983-07-01 | 1984-10-16 | International Business Machines Corporation | Application tool |
DE3408331C2 (de) * | 1984-03-07 | 1986-06-12 | Fresenius AG, 6380 Bad Homburg | Pumpanordnung für medizinische Zwecke |
US4741678A (en) * | 1984-03-07 | 1988-05-03 | C. R. Bard, Inc. | Pulsatile pump |
US5088515A (en) * | 1989-05-01 | 1992-02-18 | Kamen Dean L | Valve system with removable fluid interface |
IT1189160B (it) * | 1986-06-11 | 1988-01-28 | Nuovopignone Ind Meccaniche & | Dispositivo perfezionanto di pompaggio,particolarmente adatto a comprimere fluidi in alti fondali |
JP2513243B2 (ja) | 1987-07-24 | 1996-07-03 | 東洋紡績株式会社 | 血液ポンプ |
JPS6429267U (ja) | 1987-08-13 | 1989-02-21 | ||
JPS6451764A (en) | 1987-08-24 | 1989-02-28 | Hitachi Ltd | Image transferring method |
JPH063185Y2 (ja) * | 1987-09-28 | 1994-01-26 | 本田技研工業株式会社 | 自動二輪車 |
IL84286A (en) * | 1987-10-26 | 1992-07-15 | D F Lab Ltd | Diaphragm and diaphragm-actuated fluid-transfer control device |
JP3373558B2 (ja) | 1992-04-23 | 2003-02-04 | 松下電工株式会社 | 小型ポンプ装置 |
US5252041A (en) * | 1992-04-30 | 1993-10-12 | Dorr-Oliver Incorporated | Automatic control system for diaphragm pumps |
JPH06221269A (ja) | 1993-01-26 | 1994-08-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 小型ポンプ装置 |
JP3383703B2 (ja) | 1994-03-28 | 2003-03-04 | 松下電工株式会社 | 小型ポンプ装置 |
JPH07269467A (ja) | 1994-03-28 | 1995-10-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 小型ポンプ装置 |
IL115327A (en) * | 1994-10-07 | 2000-08-13 | Bayer Ag | Diaphragm pump |
JP3863292B2 (ja) | 1998-05-29 | 2006-12-27 | シーケーディ株式会社 | 液体供給装置 |
US6132187A (en) * | 1999-02-18 | 2000-10-17 | Ericson; Paul Leonard | Flex-actuated bistable dome pump |
JP4902067B2 (ja) | 2001-08-07 | 2012-03-21 | シーケーディ株式会社 | 液体供給装置 |
JP2003129962A (ja) | 2001-10-24 | 2003-05-08 | Asahi Kasei Corp | 易凝集性ディスパージョン輸送用ポンプおよびその使用法 |
US7284966B2 (en) * | 2003-10-01 | 2007-10-23 | Agency For Science, Technology & Research | Micro-pump |
JP4723218B2 (ja) | 2004-09-10 | 2011-07-13 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給用ポンプユニット |
JP4526350B2 (ja) | 2004-10-29 | 2010-08-18 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給用ポンプ |
-
2005
- 2005-09-26 WO PCT/JP2005/017579 patent/WO2006048980A1/ja active Application Filing
- 2005-09-26 US US11/665,983 patent/US7942647B2/en active Active
- 2005-09-26 JP JP2006542293A patent/JP4740872B2/ja active Active
- 2005-09-26 KR KR1020077012067A patent/KR101054270B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6015130Y2 (ja) * | 1973-04-16 | 1985-05-14 | ク−ルタ−・エレクトロニクス・インコ−ポレ−テツド | 流体排出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006048980A1 (ja) | 2006-05-11 |
KR20070085505A (ko) | 2007-08-27 |
JPWO2006048980A1 (ja) | 2008-05-22 |
US7942647B2 (en) | 2011-05-17 |
KR101054270B1 (ko) | 2011-08-08 |
US20080089794A1 (en) | 2008-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2582190T3 (es) | Conjunto IV activado por presión con cámara de goteo que tiene un acceso lateral y una válvula de presión | |
KR101132118B1 (ko) | 약액 공급 시스템 | |
KR101118239B1 (ko) | 약액 공급용 펌프 유닛 | |
JP2006162043A (ja) | ダイアフラム弁 | |
JP4740872B2 (ja) | 薬液供給用ポンプ | |
US7134668B2 (en) | Differential pumping seal apparatus | |
JP5779324B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP2010043714A (ja) | サックバックバルブ | |
JP4526350B2 (ja) | 薬液供給用ポンプ | |
JP4768244B2 (ja) | 薬液供給システム及び薬液供給用ポンプ | |
JP4265820B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP5816726B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP4328684B2 (ja) | 処理液供給システム | |
JP4437557B2 (ja) | 薬液弁 | |
JP2005090639A (ja) | 薬液弁 | |
JP4658248B2 (ja) | 薬液供給システム | |
JP6227078B2 (ja) | 圧抜き装置 | |
TW202235348A (zh) | 氣浮式吸附裝置 | |
JP2001124000A (ja) | 真空発生器用の真空破壊ユニット及び真空発生器 | |
KR20230149635A (ko) | 약액 밸브 장치 | |
JP2006066479A (ja) | 薬液ポンプ | |
JP2008157120A (ja) | スクロール圧縮機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110419 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4740872 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |