JP4736721B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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図1は、本発明の第1実施形態に係るカーボンナノチューブ製造装置の概略構成を示す概念図である。また、図2は、図1中の基板12とノズル14の近傍部を拡大して示す図である。
上記第1実施形態では、熱CVD法によりカーボンナノチューブ100を合成したが、本実施形態は、プラズマCVDによりカーボンナノチューブを合成するものである。
なお、上記実施形態では、筒状のノズル14を複数本用い、原料ガスの流れにおける触媒担持面13とは反対方向への流れを、ノズル14の長手方向に沿ってノズル14同士の間隙へ導くものであった。
14…ノズル、14a…ノズルの噴射口、100…カーボンナノチューブ。
Claims (1)
- 表面上に触媒が担持された基材(12)に対し、炭素原子を含む原料ガスを前記触媒が担持されている触媒担持面(13)側から供給し、カーボンナノチューブ(100)を気相合成により成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、
前記原料ガスを噴射する噴射口(14a)を有するノズル(14)を前記噴射口(14a)を前記触媒担持面(13)に対向させた状態として、前記噴射口(14a)から前記触媒担持面(13)に向かって前記原料ガスを吹き付けることにより、
前記原料ガスが前記噴射口(14a)から前記触媒担持面(13)に当たって反転した後、前記ノズル(14)の周囲を前記触媒担持面(13)とは反対方向へ流れていくような前記原料ガスの流れを形成するものであり、
前記ノズル(14)として、前記噴射口(14a)を一端とした筒状のものを複数本用い、これら複数本の前記ノズル(14)を、その長手方向を前記触媒担持面(13)に対して立てた状態で並列に配置して、前記原料ガスの吹き付けを行うことにより、
前記原料ガスの流れにおける前記触媒担持面(13)とは反対方向への流れを、前記ノズル(14)の長手方向に沿って前記ノズル(14)同士の間隙へ導くようにし、当該反対方向への流れに沿わせて、前記カーボンナノチューブ(100)を前記触媒担持面(13)から成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005319561A JP4736721B2 (ja) | 2005-11-02 | 2005-11-02 | カーボンナノチューブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005319561A JP4736721B2 (ja) | 2005-11-02 | 2005-11-02 | カーボンナノチューブの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007126318A JP2007126318A (ja) | 2007-05-24 |
JP4736721B2 true JP4736721B2 (ja) | 2011-07-27 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP4736721B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2749529A4 (en) * | 2011-08-24 | 2015-05-06 | Zeon Corp | DEVICE FOR PREPARING AND METHOD FOR PRODUCING ORIENTED CARBON NANOROUS AGGREGATES |
JP6387878B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2018-09-12 | 日本ゼオン株式会社 | 炭素ナノ構造体の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001234341A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-31 | Cheol Jin Lee | 熱化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの合成方法 |
JP2002255519A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-09-11 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 単層カーボンナノチューブの製造方法およびゼオライトの除去方法 |
JP2004123446A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Air Water Inc | カーボンナノチューブの製造方法,カーボンナノチューブ保持体ならびに水素吸蔵体 |
JP2004182573A (ja) * | 2002-12-05 | 2004-07-02 | Japan Science & Technology Agency | 原料吹き付け式カーボンナノ構造物製造方法及び装置 |
JP2005029436A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Denso Corp | カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007523822A (ja) * | 2004-01-15 | 2007-08-23 | ナノコンプ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 伸長した長さのナノ構造の合成のためのシステム及び方法 |
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2005
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001234341A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-31 | Cheol Jin Lee | 熱化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの合成方法 |
JP2002255519A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-09-11 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 単層カーボンナノチューブの製造方法およびゼオライトの除去方法 |
JP2004123446A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Air Water Inc | カーボンナノチューブの製造方法,カーボンナノチューブ保持体ならびに水素吸蔵体 |
JP2004182573A (ja) * | 2002-12-05 | 2004-07-02 | Japan Science & Technology Agency | 原料吹き付け式カーボンナノ構造物製造方法及び装置 |
JP2005029436A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Denso Corp | カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007126318A (ja) | 2007-05-24 |
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