JP4729289B2 - 光偏向器 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第一実施形態の光偏向器の断面斜視図である。図2は、図1に示された可動板ユニットの斜視図である。図2では、可動板ユニットは図1と上下逆に描かれている。図3は、図2に示された可動板ユニットの平面図である。図4は、図1に示された磁石ユニットの平面図である。
本実施形態は、別の二次元光偏向器に向けられている。図5は、本発明の第二実施形態の光偏向器の断面斜視図である。図6は、図5に示された磁石ユニットの平面図である。
本実施形態は、光ビームを一次元的に偏向する光偏向器に向けられている。図7は、本発明の第三実施形態の光偏向器の断面斜視図である。図8は、図7に示された可動板ユニットの平面図である。図9は、図7に示された磁石ユニットの平面図である。
本実施形態は、別の二次元光偏向器に向けられている。図10は、本発明の第四実施形態の光偏向器の断面斜視図である。図11は、図10に示された可動板ユニットの平面図である。図12は、図10に示された磁石ユニットの平面図である。
本発明は、ひとつには、光ビームを二本の軸周りに偏向し得る電磁駆動型の二次元光偏向器に向けられており、以下の各項に列記する二次元光偏向器を含んでいる。
Claims (8)
- 電磁駆動型の光偏向器であり、
磁界を発生させる磁石ユニットと、
磁界内に配置される可動板ユニットとを有しており、
可動板ユニットは、反射面を有する内側可動板と、内側可動板の外側に位置する外側可動板と、内側可動板と外側可動板を連結している二本の内側トーションバーと、外側可動板の外側に位置する支持部と、外側可動板と支持部を連結している二本の外側トーションバーとを有し、内側トーションバーは、第一軸に沿って延びていて、第一軸の周りにねじり変形可能で、内側可動板が外側可動板に対して第一軸の周りに傾斜することを可能にしており、外側トーションバーは、第一軸にほぼ直交する第二軸に沿って延びていて、第二軸の周りにねじり変形可能で、外側可動板が支持部に対して第二軸の周りに傾斜することを可能にしており、
可動板ユニットは、さらに、内側可動板の両側の縁に沿って一本ずつ延びている二本の内側駆動配線部と、外側可動板の両側の縁に沿って一本ずつ延びている二本の外側駆動配線部とを有し、二本の内側駆動配線部は、第一軸を基準にして互いにほぼ線対称に位置し、互いに電気的に独立しており、二本の外側駆動配線部は、第二軸を基準にして互いにほぼ線対称に位置し、互いに電気的に独立しており、磁石ユニットは複数の磁石を有し、隣接している二つの磁石の着磁方向は互いに逆向きであり、内側駆動配線部は、複数の磁石の境界に対して、ほぼ平行に延び、ほぼ真上に位置しており、二本の内側駆動配線部には互いに同じ方向の電流が供給され、外側駆動配線部は、複数の磁石の境界に対して、ほぼ平行に延び、ほぼ真上に位置しており、二本の外側駆動配線部には互いに同じ方向の電流が供給される、光偏向器。 - 請求項1において、外側可動板の外周形状は矩形であり、その矩形の互いに直交する二本の中心軸がそれぞれ第一軸と第二軸に平行である、光偏向器。
- 請求項1において、外側可動板の外周形状は楕円形(円形を含む)であり、その楕円形の互いに直交する二本の中心軸がそれぞれ第一軸と第二軸に平行である、光偏向器。
- 請求項3において、磁石ユニットは、中央に位置する一つの磁石と、その磁石に対して、第一軸に沿った両側に配置された二つの磁石と、第二軸に沿った両側に配置された二つの磁石とを有している、光偏向器。
- 請求項3において、磁石ユニットは、中央に位置する磁石と、その磁石を取り囲む磁石とを有している、光偏向器。
- 請求項5において、中央に位置する磁石の外周形状は矩形である、光偏向器。
- 請求項5において、中央に位置する磁石の外周形状は楕円形である、光偏向器。
- 電磁駆動型の光偏向器であり、
磁界を発生させる磁石ユニットと、
磁界内に配置される可動板ユニットとを有しており、
可動板ユニットは、反射面を有する可動板と、可動板の外側に位置する第一支持部と、可動板と第一支持部を連結している二本の第一トーションバーと、第一支持部の外側に位置する第二支持部と、第一支持部と第二支持部を連結している二本の第二トーションバーとを有し、第一トーションバーは、第一軸に沿って延びていて、第一軸の周りにねじり変形可能で、可動板が第一支持部に対して第一軸の周りに傾斜することを可能にしており、第二トーションバーは、第一軸にほぼ直交する第二軸に沿って延びていて、第二軸の周りにねじり変形可能で、第一支持部が第二支持部に対して第二軸の周りに傾斜することを可能にしており、
可動板ユニットは、さらに、可動板の両側の縁に沿って一本ずつ延びている二本の第一駆動配線部と、第一支持部の両側の縁に沿って一本ずつ延びている二本の第二駆動配線部を有し、二本の第一駆動配線部は、第一軸を基準にして互いにほぼ線対称に位置し、互いに電気的に独立しており、二本の第二駆動配線部は、第二軸を基準にして互いにほぼ線対称に位置し、互いに電気的に独立しており、磁石ユニットは複数の磁石を有し、隣接している二つの磁石の着磁方向は互いに逆向きであり、第一駆動配線部は、複数の磁石の境界に対して、ほぼ平行に延び、ほぼ真上に位置しており、二本の第一駆動配線部には互いに同じ方向の電流が供給され、第二駆動配線部は、複数の磁石の境界に対して、ほぼ平行に延び、ほぼ真上に位置しており、二本の第二駆動配線部には互いに同じ方向の電流が供給される、光偏向器。
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