JP4710481B2 - 有機金属化合物供給容器 - Google Patents
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Description
担体の形状は特に限定されるものではなく、不定形状、球状、繊維状、網状、コイル状、円管状等各種形状のものが使用される。
担体は比表面積が大きい方が好ましく、担体表面が平滑なものより約100〜2000μm程度の微細な凹凸を有するもの、あるいは担体自身に多数の気孔(空隙)を有するものが好ましい。このような担体としてはアルミナボール、ラシヒリング、ヘリパック、ディクソンパッキン、ステンレス焼結エレメント、グラスウール等が挙げられる。
図2は、キャリアガス導入管の先端部の平面方向の配置を示す断面模式図である。キャリアガス導入管2は円筒容器の中心軸から離れた位置に配設され、その先端部3は容器の側壁に対して傾斜して配設されている。この配置によって、先端部からのキャリアガスは
旋回流を形成して流れ(図中に模式的に矢印で示す)、偏流が無くなる。
容器の底部とキャリアガス導出管の先端部5との間隔は約2〜15mm、好ましくは約2〜10mm、さらに好ましくは2〜5mmである。約15mmより大きくなると有機金属化合物の使用率が低下するので好ましくない。
(容器A)
内容積800mlのステンレス製容器(湾曲状の底部)で、図1、図2および図3(A)に模式的に示したと同様のものであり、容器の天板に、キャリアガス導入管2、キャリアガス導出管4、担体および有機金属化合物の投入口が配設されている。キャリアガス導入管の先端部は、図3(A)に示すように、容器天板7の部分の開口部を、水平方向に対して斜め下方に30°傾斜して構成されている。また、図2に示すように、キャリアガス導入管2は円筒容器の中心軸から24mm離れた位置に配設され、その先端部3は容器の側壁に対して傾斜して配設されている。さらに、容器の底部とキャリアガス導出管の先端部5との間隔は3mmである。
(容器B)
キャリアガス導入管の先端部が図4に示すような容器天板に対して垂直方向を向いている以外は、容器Aと同様の容器。
水素ボンベ、流量制御装置、上記の担体担持有機金属化合物を充填した有機金属化合物供給容器、ガス濃度計、トリメチルインジウム捕集用深冷トラップ、圧力制御装置および真空ポンプをこの順序に接続した。
供給容器は恒温槽に入れ、25℃に保持した。ガス濃度計としてエピソン濃度計(トーマス スワン サイエンティフィック イクイップメント社製)を用いた。
実験2:また、担体担持有機金属化合物を充填した容器Bについて、キャリアガス導入管から水素ガスを900ml/分(大気圧換算)で供給し、同様にトリメチルインジウム濃度を測定した。
実験3:担体担持有機金属化合物を充填した容器Bについて、キャリアガス導入管から水素ガスを600ml/分(大気圧換算)で供給し、同様にトリメチルインジウム濃度を測定した。
これらの使用率(一定濃度のトリメチルインジウムガスが得られる間に気化したトリメチルインジウムの総重量の容器へのトリメチルインジウム充填量に対する比率)の比(実験1を基準)を求めた。結果を表1に示す。
2 キャリアガス導入管
3 キャリアガス導入管の先端部
4 キャリアガス導出管
5 キャリアガス導出管の先端部
6 担体担持有機金属化合物
7 容器の天板
Claims (4)
- 容器上部にキャリアガス導入管の先端部、底部にキャリアガス導出管の先端部を配設し、かつ該容器内に有機金属化合物に対して不活性な担体に常温で固体の有機金属化合物を被覆した担体担持有機金属化合物を充填してなる有機金属化合物供給容器において、キャリアガス導入管の先端部が水平方向に対して斜め下方に20〜50°傾斜して配設されていることを特徴とする有機金属化合物供給容器。
- 容器が円筒状であり、キャリアガス導入管の先端部が、水平方向に対して斜め下方に20〜50°傾斜していると共に、容器の中心軸から離れた位置から容器の側壁に対して傾斜して配設されていることを特徴とする請求項1記載の有機金属化合物供給容器。
- 容器の底部とキャリアガス導出管の先端部との間隔が2〜15mmであることを特徴とする請求項1または2記載の有機金属化合物供給容器。
- 有機金属化合物がトリメチルインジウムであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の有機金属化合物供給容器。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01265511A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-23 | Sumitomo Chem Co Ltd | 気相成長に用いる担体担持有機金属化合物及びこれを用いた気相成長用有機金属化合物供給装置 |
JPH0392775U (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-20 | ||
JPH08186103A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜の堆積装置 |
JPH08299778A (ja) * | 1995-03-09 | 1996-11-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 固体有機金属化合物供給装置及びその製造方法 |
JPH1067594A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-10 | Sony Corp | 有機金属気相成長装置 |
JPH11111644A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Japan Pionics Co Ltd | 気化供給装置 |
JP2000017438A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Japan Pionics Co Ltd | 気化器及び気化供給方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01265511A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-23 | Sumitomo Chem Co Ltd | 気相成長に用いる担体担持有機金属化合物及びこれを用いた気相成長用有機金属化合物供給装置 |
JPH0392775U (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-20 | ||
JPH08186103A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜の堆積装置 |
JPH08299778A (ja) * | 1995-03-09 | 1996-11-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 固体有機金属化合物供給装置及びその製造方法 |
JPH1067594A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-10 | Sony Corp | 有機金属気相成長装置 |
JPH11111644A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Japan Pionics Co Ltd | 気化供給装置 |
JP2000017438A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Japan Pionics Co Ltd | 気化器及び気化供給方法 |
JP2002083777A (ja) * | 2000-05-31 | 2002-03-22 | Shipley Co Llc | バブラー |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180065152A (ko) | 2016-12-07 | 2018-06-18 | 한국생산기술연구원 | 티타늄 합금 주조용 주형 코팅제, 이를 이용한 티타늄 합금 주조용 주형 및 그 제조방법 |
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