JP5262083B2 - 固体有機金属化合物の供給装置 - Google Patents
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Description
キャリアガスの導入口が上部に設けられたカラム型の第1の容器と、
前記キャリアガスの導出口が上部に設けられたカラム型の第2の容器と、
前記第1の容器および前記第2の容器の下方に配置され、前記第1の容器の内部および第2の容器の内部をその下端で連絡する連絡部材と、
を有し、
前記第1の容器には、前記有機金属化合物、および前記導入口から導入されたキャリアガスを分散させる分散材が、前記第1の容器の底部からこの順番に充填され、かつ
前記第2の容器には前記有機金属化合物が充填されていることを特徴とする。
また、本発明の供給装置は、特に、第2の容器に充填材が充填されていないものである。
図1を参照すると、本発明の第1の実施形態による有機金属化合物の供給装置が示される。供給装置は、互いに間隔をあけて並列に配置されたカラム型の2つの容器1a、1bと、容器1a、1bの下端で2つの容器1a、1bの内部を連絡する連通管5とを有している。
図4に、本発明の第2の実施形態による有機金属化合物の供給装置を示す。
常温で固体の有機金属化合物としてトリメチルインジウムを用意するとともに、担体としてスポンジチタン(粒径:0.84mm〜2.00mm(東邦チタニウム社製))を用意した。内容積1600mlのステンレス製容器に、スポンジチタン75gおよびトリメチルインジウム65gを入れ、90℃まで加熱してトリメチルインジウムを完全に融解させた後、室温まで冷却して、トリメチルインジウムをスポンジチタンに担持させた。次いで、これをスパチュラ等のステンレス製の道具で破砕した後に4メッシュおよび20メッシュの篩で篩い分けし、粒径0.84〜4.76mmの、スポンジチタン担持トリメチルインジウム126gを得た。
実施例1において、トリメチルインジウムの総量が50gである、スポンジチタン担持トリメチルインジウム123gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ92gおよび31gに分けて充填し、かつ、分散材11としてSUS球(ステンレス製、直径:2.0mm)100mlを容器1aに充填した以外は実施例1と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。
実施例1において、供給装置として図1に示す構造の供給装置を用い、かつ、トリメチルインジウムの総量が50gである、スポンジチタン担持トリメチルインジウム128gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ97gおよび31gに分けて充填した以外は実施例1と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。
実施例3において、トリメチルインジウムを担持させる担体としてアルミナ球(直径:0.5mm)110gを使用し、トリメチルインジウムの総量が50gである、アルミナ球担持トリメチルインジウム147gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ108gおよび39gに分けて充填した以外は実施例3と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。
実施例1において、容器1aのサイズを変更した供給装置を用い、トリメチルインジウムの総量が50gである、スポンジチタン担持トリメチルインジウム123gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ70gおよび53gに分けて充填するととともに、分散材11として230mlのアルミナ球を容器1aに充填した以外は、実施例1と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。容器1aのサイズは、内径が83mm、高さが135mm、内容積が690mlであった。
実施例5において、トリメチルインジウムの総量が50gである、スポンジチタン担持トリメチルインジウム128gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ75gおよび53gに分けて充填するととともに、分散材11として150mlのアルミナ球を容器1aに充填した以外は、実施例1と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。容器1aのサイズは、内径が83mm、高さが135mm、内容積が690mlであった。
実施例6において、トリメチルインジウムの総量が330gである、スポンジチタン担持トリメチルインジウム817gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ761gおよび56gに分けて充填した以外は、実施例6と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。なお、実施例7ではアルゴンガスの供給量が毎分1500mlの場合についてのみ安定供給テストを行なった。
実施例1において、トリメチルインジウムの総量が50gである、スポンジチタン担持トリメチルインジウム123gを、2つの容器1a、1bにそれぞれ92gおよび31gに分けて充填し、かつ、供給装置の容器1a内に分散材を充填しなかったこと以外は実施例1と同様にしてトリメチルインジウムの安定供給テストを行なった。
2 ガス導入管
3 ガス導出管
4 充填口
5 連通管
6 分散器
10 有機金属化合物
11 分散材
Claims (9)
- 常温で固体の有機金属化合物をキャリアガスに随伴させて供給する供給装置であって、
キャリアガスの導入口が上部に設けられたカラム型の第1の容器と、
前記キャリアガスの導出口が上部に設けられたカラム型の第2の容器と、
前記第1の容器および前記第2の容器の下方に配置され、前記第1の容器の内部および第2の容器の内部をその下端で連絡する連絡部材と、
を有し、
前記第1の容器には、前記有機金属化合物、および前記導入口から導入されたキャリアガスを分散させる分散材が、前記第1の容器の底部からこの順番に充填され、かつ
前記第2の容器には前記有機金属化合物が充填されていることを特徴とする供給装置。 - 前記第2の容器には前記分散材が充填されていない請求項1に記載の供給装置。
- 前記分散材は、前記第1の容器内で前記有機金属化合物を覆って層状に充填されている請求項1または2に記載の供給装置。
- 前記分散材は、多数の部材の集合体であり各部材間に隙間を有する請求項1から3のいずれか1項に記載の供給装置。
- 前記部材は球状である請求項4に記載の供給装置。
- 前記導入口は、前記第1の容器に導入されたキャリアガスが前記第1の容器の上壁面に衝突するように前記第1の容器に取り付けられたガス導入管を備えている、請求項1から5のいずれか1項に記載の供給装置。
- 前記導入口は、前記第1の容器の内部に導入されたキャリアガスを分散させる分散器を備えている、請求項1から5のいずれか1項に記載の供給装置。
- 前記第1の容器の容量に対する前記第2の容器の容量の比は1〜80である、請求項1から7のいずれか1項に記載の供給装置。
- 前記第1および第2の容器の内寸は、直径に対する高さの割合が0.8〜10.0である、請求項1から8のいずれか1項に記載の供給容器。
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