JP4668178B2 - 弾性表面波共振子 - Google Patents

弾性表面波共振子 Download PDF

Info

Publication number
JP4668178B2
JP4668178B2 JP2006512750A JP2006512750A JP4668178B2 JP 4668178 B2 JP4668178 B2 JP 4668178B2 JP 2006512750 A JP2006512750 A JP 2006512750A JP 2006512750 A JP2006512750 A JP 2006512750A JP 4668178 B2 JP4668178 B2 JP 4668178B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acoustic wave
surface acoustic
electrode
idts
idt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006512750A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2005107069A1 (ja
Inventor
努 井垣
関　　俊一
和生 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Publication of JPWO2005107069A1 publication Critical patent/JPWO2005107069A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4668178B2 publication Critical patent/JP4668178B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
    • H03H9/6496—Reducing ripple in transfer characteristic
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/74—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on the same frequency or frequency band, to a common load or source
    • H03H9/76—Networks using surface acoustic waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

本発明は、特に携帯電話等に用いられる、弾性表面波共振子に関するものである。
従来このような弾性表面波フィルタは、図１３に示したような構成を有していた。
図１３に示す弾性表面波フィルタは、圧電基板１の上に、弾性表面波共振子である直列共振子２と並列共振子３とを形成し、接続することにより、フィルタ特性を得ていた。また、これらの共振子は、多対のインターディジタルトランスデューサもしくは、インターディジタルトランスデューサの両側に反射電極を設けたものを使用していた。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば特許文献１が知られている。
特開２００１−１１９２６０号公報
しかしながら、上記構成では、高い周波数になってくると共振子のＱ値を十分に確保することができず、フィルタを構成する場合にも、挿入損失、急峻度の改善に限界があった。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、弾性表面波共振子のＱ値を向上させ、低挿入損失で急峻度の高い弾性表面波共振子を提供することを目的とするものである。
前記目的を達成するために本発明に係る弾性表面波共振子は、圧電基板と、この圧電基板の上において同一弾性表面波伝播路上に一列に配列された複数のＩＤＴと、前記複数のＩＤＴの間に設けられた第１の反射電極と、前記複数のＩＤＴの両外側に設けられた第２の反射電極とを備え、前記複数のＩＤＴは並列に接続され、前記複数のＩＤＴは実質上同一の共振周波数を有し、前記ＩＤＴはその中央部に比べてその両端部に電極指ピッチを小さくした領域を有し、前記第１の反射電極の電極指ピッチを前記ＩＤＴの中央部の電極指ピッチよりも大きくしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、圧電基板と、この圧電基板の上において同一弾性表面波伝播路上に一列に配列された複数のＩＤＴと、前記複数のＩＤＴの間に設けられた第１の反射電極と、前記複数のＩＤＴの両外側に設けられた第２の反射電極とを備え、前記複数のＩＤＴは並列に接続され、前記複数のＩＤＴは実質上同一の共振周波数を有し、前記ＩＤＴはその中央部に比べてその両端部に電極指ピッチを小さくした領域を有し、前記第１の反射電極の電極指本数を、前記第２の反射電極の電極指本数よりも少なくしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、圧電基板と、この圧電基板の上において同一弾性表面波伝播路上に一列に配列された複数のＩＤＴと、前記複数のＩＤＴの間に設けられた第１の反射電極と、前記複数のＩＤＴの両外側に設けられた第２の反射電極とを備え、前記複数のＩＤＴは並列に接続され、前記複数のＩＤＴは実質上同一の共振周波数を有し、前記第１の反射電極の電極指ピッチを前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチよりも大きくし、前記第１の反射電極の電極指本数を、前記第２の反射電極の電極指本数よりも少なくしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、複数のＩＤＴのそれぞれは電極指本数を４００本未満とし、複数のＩＤＴの電極指の合計本数を４００本以上にしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、第１の反射電極内において電極指ピッチを実質上一定にしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、圧電基板と、この圧電基板の上に設けられたＩＤＴと、このＩＤＴの両側に設けられた一対の反射電極とを備えた一端子対の弾性表面波共振子において、前記ＩＤＴはその中央部に比べてその両端部に電極指ピッチを小さくした領域を有し、前記反射電極の電極指ピッチは前記ＩＤＴの中央部の電極指ピッチよりも大きくしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、ＩＤＴは、中央部から両端部にかけて電極指ピッチの大きさを徐々に小さくしたものである。
また、本発明に係る弾性表面波共振子は、ＩＤＴは、電極指本数を４００本未満にしたものである。
本発明は、弾性表面波共振子のＱ値を向上させ、弾性表面波フィルタの挿入損失を低減し、フィルタ特性の急峻度を向上させることができる。
（実施の形態１）
以下、本発明に係る実施の形態１について説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る弾性表面波共振子１０の構成の一例を示す図である。図１に示す弾性表面波共振子１０は、いわゆる１ポート共振子であり、外部からの入力信号を受信する信号入力端子Ｔ１と、外部へ信号を出力する信号出力端子Ｔ２と、３９°ＹカットＸ伝播タンタル酸リチウムからなる圧電基板１１とを備えている。そして、圧電基板１１の表面に、弾性表面波共振子１４（弾性表面波共振器）が同一弾性表面波伝播路上に３個一列に並べて形成されている。
弾性表面波共振子１４は、ＩＤＴ１２と、その両端部にそれぞれ近接して設けられた２個の反射器１３（反射電極）とを備えている。この同一の構成の弾性表面波共振子１４、すなわち共振周波数が実質的に同じ弾性表面波共振子１４が３個、並列に接続されて、信号入力端子Ｔ１と信号出力端子Ｔ２との間、すなわち信号経路に直列に接続されている。この場合、弾性表面波共振子１０における複数のＩＤＴ１２の間に設けられる反射器１３の数は、二つにされている。
図２は、図１に示す弾性表面波共振子１４の拡大図である。弾性表面波共振子１４において、例えば、ＩＤＴ１２及び反射器１３の電極の膜厚は約０．４μｍ、ＩＤＴ１２の交差幅Ｗは約４０μｍ、ＩＤＴ１２の備える電極指１５の本数は２００本、反射器１３の電極の本数は５０本、ＩＤＴ１２における電極指１５のピッチＰ１は約２．３３μｍ、反射器１３における電極のピッチＰ２は約２．３８μｍとされている。なお、図２において、弾性表面波共振子１４の図示を簡略化して示しており、図中、ＩＤＴ１２の備える電極指１５の本数は１０本、反射器１３における電極の本数は４本として示している。
弾性表面波共振子１４の共振周波数は、主に電極の膜厚と電極指１５のピッチＰ１とで決定される。そして、図１に示す三個の弾性表面波共振子１４は、電極の膜厚及び電極指１５のピッチＰ１等、同じ構成にされているので、並列接続された弾性表面波共振子１４同士で共振周波数がすべて同じにされている。
図３は、このようにして構成した弾性表面波共振子１０の周波数特性と図１３に示す従来の弾性表面波フィルタにおける直列共振子２の周波数特性とをシミュレーションにより求めて示したものである。図１に示す弾性表面波共振子１０の周波数特性を図３の実線で示すグラフＧ１に示す。一方、図３に破線で示すグラフＧ２は、ＩＤＴを一つ備え、その両側に反射器を一つずつ備えた図１３に示す従来の弾性表面波共振子の周波数特性である。この従来の弾性表面波共振子は、図１に示す弾性表面波共振子１４における３個のＩＤＴ１２が備える電極指１５の合計と同じ６００本の電極指を備えたＩＤＴを一つ備えている。その他の条件は、弾性表面波共振子１０と同じにしたものである。
図３に示すグラフＧ１とグラフＧ２とを比較すると、グラフＧ１の方が、共振点から***振点にかけて持ちあがっていることがわかる。これを共振のＱ値で比較すると、グラフＧ１に示される本発明の場合、弾性表面波共振子１０の共振周波数は約８４０ＭＨｚ（各弾性表面波共振子１４の共振周波数も約８４０ＭＨｚ）、共振のＱ値は約８７０となる。一方グラフＧ２に示される従来の弾性表面波共振子の場合におけるＱ値は、約８３０となり、本発明による弾性表面波共振子１０では、共振のＱ値が改善されていることがわかる。
なお、共振周波数が同じ弾性表面波共振子１４を三個並列に接続して弾性表面波共振子１０を構成する例を示したが、共振周波数が同じである場合とは、例えば製造ばらつき等の誤差要因により並列接続された複数の弾性表面波共振子１４間に共振周波数の差異が生じている場合を含む。例えば並列接続された複数の弾性表面波共振子１４における共振周波数うち最大のものと最小のものとの差異が、０．０３％以下である場合は、実質的に共振周波数が同一である。
図４は、図１に示す弾性表面波共振子１０が備える３個の弾性表面波共振子１４において、電極指１５のピッチＰ１に差異を設けた場合における弾性表面波共振子１０の共振のＱ値をシミュレーションにより求めたグラフである。図４に示すグラフにおいて、横軸に示すピッチ差は、３個の弾性表面波共振子１４におけるピッチが最大のものと最小のものとの差を、百分率で表したものである。例えば、図１に示す弾性表面波共振子１０において、一方の端部の弾性表面波共振子１４における電極指１５のピッチＰ１が中央の弾性表面波共振子１４における電極指１５のピッチＰ１よりも０．０５％狭く、他端の弾性表面波共振子１４における電極指１５のピッチＰ１が中央の弾性表面波共振子１４における電極指１５のピッチＰ１よりも０．０５％広い場合にピッチ差０．１％として示している。
図４において、シミュレーションに用いた各弾性表面波共振子１４は、ＩＤＴ１２及び反射器１３の電極の膜厚を０．４μｍ、ＩＤＴ１２の交差幅Ｗを４０μｍ、ＩＤＴ１２の備える電極指１５の本数を２００本、反射器１３の電極の本数を５０本、反射器１３における電極のピッチＰ２を２．３８μｍとした。また、３個の弾性表面波共振子１４のうち、中央の弾性表面波共振子１４が備えるＩＤＴ１２における電極指１５のピッチＰ１を２．３３μｍとした。
図４に示すように、弾性表面波共振子１０における共振のＱ値は、ピッチ差が０％において８７０、ピッチ差が０．０２％において８５５、ピッチ差が０．０４％において８０７、ピッチ差が０．１％において５３２、ピッチ差が０．２％において２４８となった。これにより、複数の弾性表面波共振子１４におけるピッチ差が０．０３％以下（共振周波数の差異が０．０３％以下に相当）の場合、弾性表面波共振子１０は、図１３に示す従来の弾性表面波共振子（直列共振子２）よりも、共振のＱ値を向上させることができることを確認した。
なお、同じ構成の弾性表面波共振子１４を三個並列に接続して弾性表面波共振子１０を構成する例を示したが、同じ構成の弾性表面波共振子１４を複数並列に接続する例に限られず、弾性表面波共振子１０は、共振周波数が同じであって、異なる構成の弾性表面波共振子１４を複数並列に接続する構成であってもよい。
図５は、弾性表面波共振子１０を、共振周波数が同じであって、構成が互いに異なる弾性表面波共振子１４を複数並列に接続して構成した場合における共振のＱ値をシミュレーションにより求めたグラフである。図５は、弾性表面波共振子１０における三個の弾性表面波共振子１４がそれぞれ備えるＩＤＴ１２について、電極指１５の本数を互いに異なる本数とし、かつ各弾性表面波共振子１４の共振周波数を同一にした場合における弾性表面波共振子１０の共振のＱ値を示している。この場合、電極指１５の本数を変えることによる共振周波数のずれを補正するべくピッチＰ１を変えている。
まず、図１に示す弾性表面波共振子１０は、電極指１５の本数が２００本の弾性表面波共振子１４を三つ並列に接続したものであり、すなわち各弾性表面波共振子１４の電極指１５の本数が２００本、２００本、２００本の組み合わせになっている。そして、図５において電極の本数が２００本としてそのＱ値８７０を縦軸に示している。
また、ＩＤＴ１２の電極指１５の本数が３００本であってピッチＰ１が２．３３０μｍにされた弾性表面波共振子１４一つと、電極指１５の本数が１５０本であってピッチＰ１が２．３２９μｍにされた弾性表面波共振子１４二つとを並列に接続して構成された弾性表面波共振子１０を、図５において電極の本数が３００本としてそのＱ値８５７を縦軸に示している。
また、ＩＤＴ１２の電極指１５の本数が４００本であってピッチＰ１が２．３３０μｍにされた弾性表面波共振子１４一つと、電極指１５の本数が１５０本であってピッチＰ１が２．３２９μｍにされた弾性表面波共振子１４一つと、電極指１５の本数が５０本であってピッチＰ１が２．３２１μｍにされた弾性表面波共振子１４一つとを並列に接続して構成された弾性表面波共振子１０を、図５において電極の本数が４００本としてそのＱ値８３８を縦軸に示している。
また、ＩＤＴ１２の電極指１５の本数が５００本であってピッチＰ１が２．３３０μｍにされた弾性表面波共振子１４一つと、電極指１５の本数が５０本であってピッチＰ１が２．３２１μｍにされた弾性表面波共振子１４二つとを並列に接続して構成された弾性表面波共振子１０を、図５において電極の本数が５００本としてそのＱ値８３３．５を縦軸に示している。
また、例えば図１３に示す直列共振子２と同様に、ＩＤＴを一つ備え、その電極指の本数を６００本備えた従来例による弾性表面波共振子を、図５において電極の本数が６００本としてそのＱ値８３０を縦軸に示している。
図５に示すように、同じ弾性表面波共振子１４を複数並列に接続した場合（電極の本数２００本の場合）が最もＱ値を向上させる効果が高いが、共振周波数が同じであって電極指１５の本数が互いに異なる弾性表面波共振子１４を複数並列に接続して弾性表面波共振子１０を構成した場合（電極の本数３００本、４００本、５００本の場合）であっても、図１３に示す従来例による弾性表面波共振子（直列共振子２）の場合（電極の本数６００本の場合）よりも共振のＱ値を向上させることができる。
また、弾性表面波共振子１４のような１ポート共振子では、電極指１５の本数に応じた信号の周波数においてリップルが生じ易くなることが知られている。そうすると、図１に示す弾性表面波共振子１０のように、電極指１５の本数が等しい弾性表面波共振子１４を複数並列に接続すると、各弾性表面波共振子１４でリップルの生じる周波数が等しくなるためにリップルが重畳され、リップルのピーク値が増大するおそれがある。
そこで、ＩＤＴ１２が備える電極指１５の本数が互いに異なり共振周波数が等しい弾性表面波共振子１４を複数並列に接続して弾性表面波共振子１０を構成することにより、各弾性表面波共振子１４で生じるリップルの周波数を変えることができ、リップルが重畳することを低減することができるので、共振のＱ値を向上させつつリップルのピーク値を低減することができる。
なお、弾性表面波共振子１０は、弾性表面波共振子１４を三個並列に接続して構成される例を示したが、並列に接続される弾性表面波共振子１４は三個に限られず、例えば２個、あるいは４個以上であってもよい。
従来より、ＩＤＴと反射器とを同じ電極ピッチで形成した場合、ＩＤＴの放射コンダクタンスのピークの周波数は、反射器の反射特性の中心の周波数より低くなることが知られている。このため、通常反射器のピッチを、ＩＤＴのピッチよりやや大きくすることにより、ＩＤＴの放射コンダクタンスのピーク周波数と、反射器の反射特性の中心の周波数をほぼ一致させ、共振のＱ値を向上させている。しかしながら、電極指の反射率が高い圧電材料を用い、ＩＤＴの電極指の本数が多くなると、ＩＤＴそのものが反射器の働きをし、実質的にＩＤＴと同じピッチの反射器を配置した場合と同様となり、共振のＱ値を劣化させることとなる。
そこで本発明では、ＩＤＴを分割することにより、それぞれのＩＤＴの本数を減らし、共振のＱ値を向上させながら、これらを並列に接続することにより、所望の特性を得るものである。
図６は、本発明の実施の形態１に係る別の形態の弾性表面波共振子１０ａにおける構成の一例を示す図である。図６に示す弾性表面波共振子１０ａは、外部からの入力信号を受信する信号入力端子Ｔ１と、外部へ信号を出力する信号出力端子Ｔ２と、３９°ＹカットＸ伝播タンタル酸リチウムからなる圧電基板１１とを備えている。そして、圧電基板１１の表面における同一弾性表面波伝播路上に複数、例えば３個のＩＤＴ１２が一列に並べて設けられ、各ＩＤＴ１２の間に一つずつ反射器１３ａが設けられ、さらに一列に並んだＩＤＴ１２における両端部にそれぞれ近接して二個の反射器１３が設けられ、複数のＩＤＴ１２同士が並列に接続されると共に信号入力端子Ｔ１と信号出力端子Ｔ２との間に接続されて構成されている。この場合、弾性表面波共振子１０ａにおけるＩＤＴ１２の間に設けられる反射器１３ａは、それぞれ両側のＩＤＴ１２によって共用されている。
そして、ＩＤＴ１２と反射器１３，１３ａとにおける電極の膜厚は約０．４μｍ、ＩＤＴ１２の交差幅Ｗは約４０μｍ、ＩＤＴ１２の電極指１５の本数は２００本、三個のＩＤＴ１２間にそれぞれ設けられた各反射器１３ａにおける電極の本数は２０本、両端部の反射器１３における電極の本数は５０本、ＩＤＴ１２の電極指ピッチＰ１は約２．３３μｍ、反射器１３，１３ａにおける電極ピッチＰ２は約２．３８μｍとされている。
このようにして得られた弾性表面波共振子１０ａの共振のＱ値を測定すると、約８７０となり、図１に示す弾性表面波共振子１０のように、別々の弾性表面波共振子１４を構成して並列に接続したものと同等のＱ値が得られる。また、弾性表面波共振子１０において各ＩＤＴ１２の間に配置される二つの反射器１３を弾性表面波共振子１０ａにおいては一つの反射器１３ａに置き換えることができるので、弾性表面波共振子１０ａの形状を小さくすることができる。
なお、ＩＤＴ１２間の反射器１３ａにおける電極の本数は、多いほど好ましいが、多くなると形状が大きくなるため、両端部の反射器１３における電極の本数より多くする必要はない。
図７は、本発明の実施の形態１に係る別の形態の弾性表面波共振子１０ｂにおける構成の一例を示す図である。図７に示す弾性表面波共振子１０ｂは、いわゆる１ポート共振子であり、外部からの入力信号を受信する信号入力端子Ｔ１と、外部へ信号を出力する信号出力端子Ｔ２と、３９°ＹカットＸ伝播タンタル酸リチウムからなる圧電基板１１とを備えている。そして、圧電基板１１の表面に、弾性表面波共振子１４ａが４個形成されている。
弾性表面波共振子１４ａは、ＩＤＴ１２ａと、その両端部に近接して設けられた反射器１３とを備えている。この同じ弾性表面波共振子１４ａ、すなわち共振周波数が同じ弾性表面波共振子１４ａが４個並列に接続されると共に信号入力端子Ｔ１と信号出力端子Ｔ２との間に接続されている。また、弾性表面波共振子１４ａは、２個ずつ一組にして１列に並べて配設され、組同士は１列に並べず、横に配設されている。
また、各弾性表面波共振子１４ａにおける電極の膜厚を約０．４μｍ、ＩＤＴ１２ａの交差幅Ｗを約４０μｍ、ＩＤＴ１２ａにおける電極指１５の本数を１５０本、反射器１３における電極の本数を５０本、反射器１３の電極のピッチＰ２を２．３８μｍとしている。そして、ＩＤＴ１２ａの電極指１５のピッチＰ１（間隔）は、両端部で２．２８μｍとされている。さらに、ＩＤＴ１２ａにおける両端部から１５本目以降の電極指１５間のピッチＰ１は２．３３μｍにされており、すなわちＩＤＴ１２ａの中央付近では、電極指１５間のピッチＰ１は２．３３μｍにされている。また、ＩＤＴ１２ａの両端部から１５本目までの電極指１５のピッチＰ１は、２．２８μｍから２．３３μｍに向かって漸次増加するようにされている。
通常、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂのような１ポート共振子でＩＤＴ１２ａの電極指１５の本数を少なくしていくと、共振点付近にリップルが出やすくなる。そこで、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂは、ＩＤＴ１２ａの両端部に近い一部の電極指１５のピッチＰ１と、中央付近の電極指１５のピッチＰ１とを異ならせることによりリップルを低減したものであり、このようにすることにより、リップルを低減しながら、共振のＱ値を向上させることができる。
図８は、弾性表面波共振子１０ｂによるリップル低減の効果を説明するためのグラフである。図８（ａ）は、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂの周波数特性をシミュレーションにより求めた結果を示すグラフであり、図８（ｂ）は、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂのＩＤＴ１２ａにおける電極指１５のピッチＰ１をすべて同一の２．３３μｍとした場合の周波数特性をシミュレーションにより求めた結果を示すグラフである。図８において、横軸は信号入力端子Ｔ１に入力される信号の周波数を示し、縦軸は信号入力端子Ｔ１により受信された信号が信号出力端子Ｔ２から出力される際の伝達量をデシベル表示したものである。
図８（ｂ）に示すように、ＩＤＴ１２ａにおける電極指１５のピッチＰ１をすべて同一の２．３３μｍとした場合には、参照符号Ｂで示すように８２５ＭＨｚ付近でリップルが生じている。一方、図８（ａ）に示すように、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂを用いた場合には、参照符号Ａで示すように８２５ＭＨｚ付近においてもリップルが生じていない。以上のように、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂによるリップルの低減効果が確認された。
なお、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂにおいて、ＩＤＴ１２ａのピッチＰ１を中央部と異ならせる電極指１５は両端部から１５本目までが望ましいが、両端部から１５本目までに限定されず、ＩＤＴ１２ａが備える複数の電極指１５のうち一部の電極指１５間のピッチＰ１を、ＩＤＴ１２ａの両端部において中央部におけるピッチＰ１と異ならせる構成とすればよい。
また、ＩＤＴ１２ａの中央部付近における電極指１５のピッチＰ１と、ＩＤＴ１２ａの両端部における電極指１５のピッチＰ１との差は、０．０５μｍにされた例を示したが、中央部付近と両端部とにおけるピッチＰ１の差は、例えば中央部付近におけるピッチＰ１の０．５％〜３％程度としてもよい。
また、ＩＤＴ１２ａの両端部から１５本目までの電極指１５のピッチＰ１を中央部に向かって漸次増加する例を示したが、漸次増加する例に限られず、ＩＤＴ１２ａの両端部において中央部付近におけるピッチＰ１と異なるピッチにされていればよく、ＩＤＴ１２ａの両端部における電極指１５の複数のピッチＰ１は、略同一にされていてもよい。
図９は、図７に示す弾性表面波共振子１０ｂのＩＤＴ１２ａにおける両端部からそれぞれ１５本目までの電極指１５のピッチＰ１を２．３１μｍとし、残りの電極指１５のピッチＰ１を２．３３μｍとした場合の特性をシミュレーションにより求めた結果を示すグラフである。図９に示すように、ＩＤＴ１２ａの両端部における電極指１５のピッチＰ１を同一にして漸次増加しない場合でも、参照符号Ｃで示すように８２５ＭＨｚ付近においてリップルが生じておらず、リップルの低減効果が確認された。
（実施の形態２）
以下、本発明に係る実施の形態２について説明する。本発明の実施の形態１では弾性表面波共振子の構成を示したが、本発明の実施の形態２は、この弾性表面波共振子を用いた梯子型弾性表面波フィルタの構成を示す点で異なる。
図１０は、本発明の実施の形態２に係る弾性表面波フィルタ２１の構成の一例を示す図である。図１０に示す弾性表面波フィルタ２１は、例えば梯子型弾性表面波フィルタの一例であって、外部からの入力信号を受信する信号入力端子Ｔ１と、外部へ信号を出力する信号出力端子Ｔ２と、グラウンドに接続するための接地端子Ｔ３と、３９°ＹカットＸ伝播タンタル酸リチウムからなる圧電基板１１とを備えている。そして、圧電基板１１の表面に、直列共振子１６と並列共振子１７とが形成されている。
なお、信号入力端子Ｔ１、信号出力端子Ｔ２、及び接地端子Ｔ３は、圧電基板１１の表面に形成された配線パターンや、弾性表面波フィルタ２１を外部回路と接続するためのコネクタ等であってもよい。
直列共振子１６は、信号入力端子Ｔ１と信号出力端子Ｔ２との間に設けられ、すなわち信号入力端子Ｔ１から信号出力端子Ｔ２へ至る信号経路に直列に接続された弾性表面波共振子で、例えば図６に示す弾性表面波共振子１０ａが用いられている。なお、直列共振子１６としては、例えば図１に示す弾性表面波共振子１０や図７に示す弾性表面波共振子１０ｂを用いてもよい。また、並列共振子１７は、信号出力端子Ｔ２と接地端子Ｔ３との間に設けられ、すなわち信号経路とグラウンドとの間に接続された弾性表面波共振子である。
直列共振子１６は、図６に示す弾性表面波共振子１０ａと同様に、圧電基板１１表面の同一弾性表面波伝播路上に複数、例えば３個のＩＤＴ１２が一列に並べて設けられ、各ＩＤＴ１２の間にそれぞれ反射器１３ａが設けられ、さらに一列に並んだＩＤＴ１２における両端部にそれぞれ近接して反射器１３が設けられ、複数のＩＤＴ１２同士が信号入力端子Ｔ１と信号出力端子Ｔ２との間に並列に接続されて構成されている。
そして、直列共振子１６と並列共振子１７とにおける電極の膜厚は約０．４μｍにされている。また、直列共振子１６は、ＩＤＴ１２の交差幅Ｗは約４０μｍ、ＩＤＴ１２における電極指１５の本数は２００本、ＩＤＴ１２間に設けられた反射器１３ａにおける電極の本数は２０本、直列共振子１６の両端部に設けられた反射器１３における電極の本数はそれぞれ５０本、ＩＤＴ１２の電極指ピッチＰ１は約２．３３μｍ、反射器１３，１３ａにおける電極ピッチＰ２は約２．３８μｍとされている。
また、並列共振子１７は、圧電基板１１上に、ＩＤＴ１８が一個、信号出力端子Ｔ２と接地端子Ｔ３との間に接続されて設けられ、そのＩＤＴ１８の両端部にそれぞれ近接して反射器１９が設けられて構成されている。そして、ＩＤＴ１８の電極指における交差幅Ｗは約４０μｍ、ＩＤＴ１８における電極指の本数は２００本、ＩＤＴ１８の電極指ピッチＰ１は約２．４４μｍ、反射器１９における電極ピッチＰ２は約２．４２μｍとされている。
図１１は、このようにして構成された弾性表面波フィルタ２１の周波数特性と図１３に示す従来の弾性表面波フィルタの周波数特性とを比較したグラフである。図１１において、図１０に示す弾性表面波フィルタ２１の周波数特性を実線でグラフＧ３に示し、図１３に示す従来の弾性表面波フィルタにおける周波数特性を破線でグラフＧ４に示す。
これにより、図１１に示すように、グラフＧ３に示す弾性表面波フィルタ２１の周波数特性は、グラフＧ４に示す従来の弾性表面波フィルタにおける周波数特性よりも通過帯域の高域側（８６５ＭＨｚ付近）で、帯域が広がると共に急峻度が向上していることが確認された。
なお、図１０に示す弾性表面波フィルタ２１では、直列共振子１６のみ複数のＩＤＴ１２を並列に接続しているが、並列共振子１７も同様に複数のＩＤＴ１８を並列に接続した構成とし、例えば弾性表面波共振子１０，１０ａ，１０ｂを用いても構わない。
（実施の形態３）
以下、本発明に係る実施の形態３について説明する。本実施の形態３と実施の形態２とで相違する点は、実施の形態２では、一端子対弾性表面波共振子を用いた梯子型弾性表面波フィルタであるのに対し、本実施の形態３は多端子対弾性表面波共振子を用いた弾性表面波フィルタに対して適用することである。
図１２は、本発明の実施の形態３に係る弾性表面波フィルタ２２の構成の一例を示す図である。図１２に示す弾性表面波フィルタ２２は、例えば梯子型弾性表面波フィルタの一例であって、外部からの入力信号を受信する信号入力端子Ｔ１と、外部へ信号を出力する信号出力端子Ｔ２と、グラウンドに接続するための接地端子Ｔ３と、３９°ＹカットＸ伝播タンタル酸リチウムからなる圧電基板１１とを備えている。そして、圧電基板１１の表面に、多端子対弾性表面波共振子２３が形成されている。
多端子対弾性表面波共振子２３は、圧電基板１１上の同一弾性表面波伝播路上に、ＩＤＴ１２ａ，１２ｂと反射器１３，１３ａ，１３ｂとが一列に並べて設けられている。そして、多端子対弾性表面波共振子２３において、ＩＤＴ１２ａは、複数、例えば三個設けられ、各ＩＤＴ１２ａの間にそれぞれ反射器１３ａが設けられ、さらに一列に並んだＩＤＴ１２ａにおける一端部に近接して反射器１３が設けられ、他端部に近接して反射器１３ｂが設けられ、複数のＩＤＴ１２ａ同士が並列に接続されて、信号入力端子Ｔ１と信号出力端子Ｔ２との間に信号経路と直列に接続されている。
また、ＩＤＴ１２ｂは、ＩＤＴ１２ｂの一端部が反射器１３ｂに近接するように設けられ、ＩＤＴ１２ｂの他端部と近接して反射器１３が設けられている。そして、ＩＤＴ１２ｂは、信号出力端子Ｔ２と接地端子Ｔ３との間、すなわち信号経路とグラウンドとの間に接続されている。
このように構成された多端子対弾性表面波共振子２３は、圧電基板１１上における同一弾性表面波伝播路上に、ＩＤＴ１２，１２ａ，１２ｂと反射器１３，１３ａ，１３ｂとが一列に並べられて構成された単一の弾性表面波共振子であると共に、信号入力端子Ｔ１、信号出力端子Ｔ２、及び接地端子Ｔ３を備える多端子対弾性表面波フィルタ２２を構成している。
この場合、３個のＩＤＴ１２ａと、ＩＤＴ１２ａに近接する反射器１３と、２個の反射器１３ａと、反射器１３ｂとが直列共振子を構成し、反射器１３ｂと、ＩＤＴ１２ｂと、ＩＤＴ１２ｂに近接する反射器１３とが並列共振子を構成している。そして、直列共振子における一端部の反射器１３ｂと、並列共振子における一端部の反射器１３ｂとが共用されている。
ここで、多端子対弾性表面波フィルタ２２の電極膜厚は約０．４μｍである。また、ＩＤＴ１２ａおよびＩＤＴ１２ｂの交差幅Ｗは約４０μｍ、ＩＤＴ１２ａにおける電極指の本数は２００本、ＩＤＴ１２ｂにおける電極指の本数は２００本、反射器１３ａにおける電極の本数は２０本、反射器１３ｂにおける電極の本数は２０本、反射器１３における電極の本数は５０本、ＩＤＴ１２ａにおける電極指のピッチＰ１は約２．３３μｍ、ＩＤＴ１２ｂにおける電極指のピッチＰ１は約２．４４μｍ、反射器１３ａのピッチＰ２は約２．３８μｍ、反射器１３ｂのピッチＰ２は約２．４１μｍ、ＩＤＴ１２ａに近接する反射器１３のピッチＰ２は約２．３８μｍ、ＩＤＴ１２ｂに近接する反射器１３のピッチＰ２は約２．４２μｍとする。
このようにすることにより、図１０に示す弾性表面波フィルタ２１よりも反射器を一つ減らすことができるので、多端子対弾性表面波フィルタ２２を弾性表面波フィルタ２１よりも小型化することができる。また、図１０に示す弾性表面波フィルタ２１と同様に、図１３に示す従来の弾性表面波フィルタよりも信号の通過帯域が広がると共に急峻度を向上することができる。
なお、ＩＤＴ１２ａ同士は、電極指の本数及び電極指のピッチが同じである等、同一構成であることが好ましいが、ＩＤＴ１２ｂについては、電極指の本数等は設計により適宜選択することができる。
また、信号経路とグランドとの間に接続されるＩＤＴ１２ｂについても、複数のＩＤＴを並列に接続し、各ＩＤＴ間に反射器を挟んで構成しても構わない。
また、ＩＤＴ１２ａ同士の間の反射器１３ａは本発明の効果を得るためには必ず必要となるが、ＩＤＴ１２ａとＩＤＴ１２ｂとの間の反射器１３ｂは、設計によりなくても構わない。
本発明にかかる弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタは、共振子のＱ値を向上させ、低挿入損失、急峻度の高い弾性表面波フィルタを得ることができるという効果を有し、携帯電話等の通信分野、あるいはテレビ等の映像分野等のフィルタに有用である。
図１は、弾性表面波共振子の電極の構成を示す図である。（実施の形態１） 図２は、弾性表面波共振子の拡大図である。 図３は、図１に示す弾性表面波共振子と従来の弾性表面波共振子との周波数特性を比較した図である。 図４は、図１に示す弾性表面波共振子が備える３個の弾性表面波共振子において、電極指のピッチに差異を設けた場合における弾性表面波共振子の共振のＱ値をシミュレーションにより求めたグラフである。 図５は、共振周波数が同じであって、構成が互いに異なる弾性表面波共振子を複数並列に接続して構成した場合における共振のＱ値をシミュレーションにより求めたグラフである。 図６は、別の形態における弾性表面波共振子の電極の構成を示す図である。 図７は、別の形態における弾性表面波共振子の電極の構成を示す図である。 図８は、図７に示す弾性表面波共振子によるリップル低減の効果を説明するためのグラフである。 図９は、図７に示す弾性表面波共振子のＩＤＴにおける両端部からそれぞれ１５本目までの電極指のピッチを２．３１μｍとし、残りの電極指１５のピッチを２．３３μｍとした場合の周波数特性をシミュレーションにより求めた結果を示すグラフである。 図１０は、弾性表面波フィルタの電極の構成を示す図である。（実施の形態２） 図１１は、図１０に示す弾性表面波フィルタと従来の弾性表面波フィルタとの周波数特性を比較した図である。 図１２は、本発明の実施の形態３に係る弾性表面波フィルタの電極の構成を示す図である。（実施の形態３） 図１３は、従来の弾性表面波フィルタの電極の構成を示す図である。

Claims (8)

  1. 圧電基板と、この圧電基板の上において同一弾性表面波伝播路上に一列に配列された複数のインターディジタルトランスデューサ（以下ＩＤＴと表記する）と、前記複数のＩＤＴの間に設けられた第１の反射電極と、前記複数のＩＤＴの両外側に設けられた第２の反射電極とを備え、前記複数のＩＤＴは並列に接続され、前記複数のＩＤＴは実質上同一の共振周波数を有し、前記ＩＤＴはその中央部に比べてその両端部に電極指ピッチを小さくした領域を有し、前記第１の反射電極の電極指ピッチを前記ＩＤＴの中央部の電極指ピッチよりも大きくした弾性表面波共振子。
  2. 圧電基板と、この圧電基板の上において同一弾性表面波伝播路上に一列に配列された複数のＩＤＴと、前記複数のＩＤＴの間に設けられた第１の反射電極と、前記複数のＩＤＴの両外側に設けられた第２の反射電極とを備え、前記複数のＩＤＴは並列に接続され、前記複数のＩＤＴは実質上同一の共振周波数を有し、前記ＩＤＴはその中央部に比べてその両端部に電極指ピッチを小さくした領域を有し、前記第１の反射電極の電極指本数を、前記第２の反射電極の電極指本数よりも少なくした弾性表面波共振子。
  3. 圧電基板と、この圧電基板の上において同一弾性表面波伝播路上に一列に配列された複数のＩＤＴと、前記複数のＩＤＴの間に設けられた第１の反射電極と、前記複数のＩＤＴの両外側に設けられた第２の反射電極とを備え、前記複数のＩＤＴは並列に接続され、前記複数のＩＤＴは実質上同一の共振周波数を有し、前記第１の反射電極の電極指ピッチを前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチよりも大きくし、前記第１の反射電極の電極指本数を、前記第２の反射電極の電極指本数よりも少なくした弾性表面波共振子。
  4. 前記複数のＩＤＴのそれぞれは電極指本数を４００本未満とし、前記複数のＩＤＴの電極指の合計本数を４００本以上にした請求項１から請求項３のいずれかに記載の弾性表面波共振子。
  5. 前記第１の反射電極内において電極指ピッチを実質上一定にした請求項１から請求項４のいずれかに記載の弾性表面波共振子。
  6. 圧電基板と、この圧電基板の上に設けられたＩＤＴと、このＩＤＴの両側に設けられた一対の反射電極とを備えた一端子対の弾性表面波共振子において、前記ＩＤＴはその中央部に比べてその両端部に電極指ピッチを小さくした領域を有し、前記反射電極の電極指ピッチは前記ＩＤＴの中央部の電極指ピッチよりも大きくした弾性表面波共振子。
  7. 前記ＩＤＴは、中央部から両端部にかけて電極指ピッチの大きさを徐々に小さくした請求項６に記載の弾性表面波共振子。
  8. 前記ＩＤＴは、電極指本数を４００本未満にした請求項６又は７に記載の弾性表面波共振子。
JP2006512750A 2004-04-28 2005-04-21 弾性表面波共振子 Active JP4668178B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004133119 2004-04-28
JP2004133119 2004-04-28
PCT/JP2005/007592 WO2005107069A1 (ja) 2004-04-28 2005-04-21 弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2005107069A1 JPWO2005107069A1 (ja) 2007-12-27
JP4668178B2 true JP4668178B2 (ja) 2011-04-13

Family

ID=35241981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006512750A Active JP4668178B2 (ja) 2004-04-28 2005-04-21 弾性表面波共振子

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7646266B2 (ja)
JP (1) JP4668178B2 (ja)
KR (2) KR20120038552A (ja)
CN (1) CN1947334B (ja)
WO (1) WO2005107069A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4901398B2 (ja) * 2006-09-28 2012-03-21 京セラ株式会社 弾性表面波装置
WO2008056697A1 (fr) * 2006-11-08 2008-05-15 Panasonic Corporation Résonateur d'onde acoustique de surface
DE102007015446A1 (de) * 2007-03-30 2008-10-02 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Sicherheitsschicht und Infiltrationsbarriere und Verfahren zu dessen Herstellung
US20090231060A1 (en) * 2008-03-11 2009-09-17 Rf Monolithics, Inc. Ladder resonator filter and related system
CN102365822B (zh) * 2009-04-07 2014-07-09 株式会社村田制作所 弹性边界波谐振器以及梯型滤波器
US8723620B2 (en) * 2009-04-23 2014-05-13 Panasonic Corporation Antenna sharer with a ladder filter
CN102323518B (zh) * 2011-05-19 2013-04-03 西南交通大学 一种基于谱峭度的局部放电信号识别方法
CN102539150B (zh) * 2012-01-17 2014-07-16 电子科技大学 基于连续小波变换的旋转机械部件的自适应故障诊断方法
CN102866010B (zh) * 2012-09-28 2015-02-04 苏州大学 一种信号的谱峭度滤波方法及相关装置
CN103078603B (zh) * 2013-02-06 2016-05-18 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种具有高功率承受力的声表面波滤波器
DE112014004085B4 (de) * 2013-09-06 2018-11-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resonator für elastische Wellen, Filtervorrichtung für elastische Wellen, und Duplexer
CN105406834B (zh) * 2015-11-19 2017-12-01 北京中讯四方科技股份有限公司 一种基于电容加权的扇形单相单向换能器声表滤波器
CN108713290B (zh) * 2016-02-29 2022-04-15 株式会社村田制作所 带阻滤波器以及复合滤波器
CN108886351B (zh) * 2016-03-31 2022-05-27 京瓷株式会社 弹性波元件以及通信装置
DE102016114071B3 (de) * 2016-07-29 2018-01-25 Snaptrack, Inc. Elektroakustisches Filter mit reduzierten Plattenmoden
CN109565267B (zh) * 2016-08-05 2020-02-07 株式会社村田制作所 声表面波滤波器、高频模块以及多工器
CN110089033B (zh) 2016-12-26 2023-02-28 株式会社村田制作所 声表面波装置以及声表面波滤波器
WO2022009692A1 (ja) * 2020-07-08 2022-01-13 株式会社村田製作所 マルチプレクサ

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63102414A (ja) * 1986-10-17 1988-05-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 広帯域トラツプ
JPH03283710A (ja) * 1990-03-30 1991-12-13 Toshiba Corp 弾性表面波共振子
JPH0786871A (ja) * 1993-09-09 1995-03-31 Sanyo Electric Co Ltd 弾性表面波高周波フィルタ
JPH09289435A (ja) * 1996-04-24 1997-11-04 Toshiba Corp 弾性表面波フィルタおよび通過周波数帯域の形成方法
JPH11205081A (ja) * 1998-01-16 1999-07-30 Nec Corp 弾性表面波フィルタ
JP2001308676A (ja) * 2001-04-27 2001-11-02 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ
JP2002528987A (ja) * 1998-10-28 2002-09-03 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 少なくとも２つの表面波構造体を備えた表面波装置
WO2002073800A1 (de) * 2001-03-13 2002-09-19 Epcos Ag Mit akustischen wellen arbeitende wandlerstruktur

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3970970A (en) * 1975-06-30 1976-07-20 Motorola, Inc. Multiple acoustically coupled surface acoustic wave resonators
JP2800905B2 (ja) * 1991-10-28 1998-09-21 富士通株式会社 弾性表面波フィルタ
US5363073A (en) * 1992-10-19 1994-11-08 Motorola, Inc. Saw resonator filter with a multistrip coupler disposed in the resonator gaps
DE4447740B4 (de) * 1993-09-06 2008-10-09 Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi Akustisches Oberflächenwellenfilter
JPH07264000A (ja) * 1994-03-16 1995-10-13 Fujitsu Ltd 弾性表面波フィルタ素子及びそれをパッケージングして成る弾性表面波フィルタ
JP3283710B2 (ja) 1994-09-22 2002-05-20 株式会社荏原製作所 多軸同期反転駆動モータ
JP3576350B2 (ja) * 1997-04-23 2004-10-13 沖電気工業株式会社 弾性表面波フィルタ
JP3414370B2 (ja) 1999-08-11 2003-06-09 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ、デュプレクサ、通信機装置
JP3838128B2 (ja) * 2002-03-18 2006-10-25 株式会社村田製作所 弾性表面波装置、および、これを搭載した通信装置
JP4030795B2 (ja) * 2002-05-09 2008-01-09 日本電波工業株式会社 弾性表面波デバイス
JP2004173245A (ja) * 2002-10-30 2004-06-17 Murata Mfg Co Ltd ラダー型フィルタ、分波器、および通信機
JP2004320411A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波デバイス

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63102414A (ja) * 1986-10-17 1988-05-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 広帯域トラツプ
JPH03283710A (ja) * 1990-03-30 1991-12-13 Toshiba Corp 弾性表面波共振子
JPH0786871A (ja) * 1993-09-09 1995-03-31 Sanyo Electric Co Ltd 弾性表面波高周波フィルタ
JPH09289435A (ja) * 1996-04-24 1997-11-04 Toshiba Corp 弾性表面波フィルタおよび通過周波数帯域の形成方法
JPH11205081A (ja) * 1998-01-16 1999-07-30 Nec Corp 弾性表面波フィルタ
JP2002528987A (ja) * 1998-10-28 2002-09-03 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 少なくとも２つの表面波構造体を備えた表面波装置
WO2002073800A1 (de) * 2001-03-13 2002-09-19 Epcos Ag Mit akustischen wellen arbeitende wandlerstruktur
JP2001308676A (ja) * 2001-04-27 2001-11-02 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070005008A (ko) 2007-01-09
CN1947334B (zh) 2011-09-21
CN1947334A (zh) 2007-04-11
JPWO2005107069A1 (ja) 2007-12-27
WO2005107069A1 (ja) 2005-11-10
US7646266B2 (en) 2010-01-12
KR101139193B1 (ko) 2012-06-21
US20080018417A1 (en) 2008-01-24
KR20120038552A (ko) 2012-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4668178B2 (ja) 弾性表面波共振子
JP5299540B2 (ja) 弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタ
US7479855B2 (en) Longitudinally-coupled-resonator-type elastic wave filter device
JP4438799B2 (ja) バランス型ｓａｗフィルタ
KR101793055B1 (ko) 래더형 필터
JP2001298348A (ja) 弾性表面波フィルタ
WO2011115014A1 (ja) ラダー型フィルタ及びデュプレクサ
US6208224B1 (en) Surface acoustic wave filter with parallel arm resonators having different resonant frequencies
JP4479793B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JPH07283682A (ja) 弾性表面波共振子フィルタ
JP5273247B2 (ja) ラダー型フィルタ
JP4544157B2 (ja) 弾性表面波フィルタ
WO2001082480A1 (fr) Filtre a ondes acoustiques de surface a couplage vertical
US7772942B2 (en) Elastic wave filter utilizing a sub-propagation mode response to increase out of band attenuation
JPWO2008068951A1 (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JP4525862B2 (ja) 弾性波フィルタ装置
JP3361642B2 (ja) インターディジタルトランスデューサ型弾性表面波共振子
JP7132841B2 (ja) 弾性表面波素子、分波器および通信装置
JP4024224B2 (ja) 弾性表面波装置
JPH10145183A (ja) 弾性表面波フィルタ
JP2000312133A (ja) 弾性表面波装置
JP2003198316A (ja) 携帯電話用弾性表面波共振子フィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080227

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100706

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100901

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101019

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110105

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110112

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4668178

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250