JP4639812B2 - スキャニング装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るMEMS型のスキャニング装置の要部を示す概略平面図であり、図2は、本スキャニング装置の要部を示す概略断面図である。
図3は、本実施形態の変形例を示す概略断面図である。図3に示されるように、ミラー10の反射面11において、角度の異なるミラー面11a、11bのパターンが繰り返されている。
図4は、本発明の第2実施形態に係るMEMS型のスキャニング装置の要部を示す概略断面図である。
図5は、本発明の第3実施形態に係るMEMS型のスキャニング装置の要部を示す概略断面図である。
図6は、本発明の第4実施形態に係るMEMS型のスキャニング装置の要部を示す概略断面図である。
図8(a)は、本発明の第5実施形態に係るMEMS型のスキャニング装置の要部を示す概略断面図であり、図8(b)は、(a)中の受光部60の概略平面図である。
なお、上記実施形態において、半導体基板100にミラー10が形成された半導体基板100や、光源50、受光部60などは、ケースなどに組み付けられ、ユニットとして構成されて用いられる。
11a、11b、11c、11d…角度の異なるミラー面、
20…基材、30…バネ部としての梁部、
50、50a、50b…光源、60…受光部、
θ1…2個のミラー面のなす角度、
θ2…ビームの走査角度、
θ3…2つのビームのなす角度。
Claims (6)
- 基材(20)にバネ部(30)を介して連結されたミラー(10)と、前記ミラー(10)の反射面(11)にビームを入射する光源(50)とを備え、
前記ミラー(10)は、前記光源(50)からのビームを反射するとともに、力を印加したときに前記バネ部(30)の弾性力によって回転振動するようになっているスキャニング装置において、
前記ミラー(10)の反射面(11)は、角度の異なるミラー面(11a、11b)を複数有して構成されたものであり、
前記光源(50)からのビームが、前記角度の異なるミラー面(11a、11b)にて同時に反射するようになっており、当該ビームが分割されるようになっていることを特徴とするスキャニング装置。 - 前記光源(50)からのビームが、前記角度の異なるミラー面(11a、11b)の境界部に入射されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載のスキャニング装置。
- 前記ミラー(10)の回転の軸が、前記ミラー(10)の反射面(11)における前記角度の異なるミラー面(11a、11b)の境界部に位置していることを特徴とする請求項2に記載のスキャニング装置。
- 前記ミラー(10)の反射面(11)において、前記角度の異なるミラー面(11a、11b)のパターンが繰り返されていることを特徴とする請求項1に記載のスキャニング装置。
- 前記角度の異なるミラー面(11a、11b)のうち隣り合う2個のミラー面(11a、11b)において、これら2個のミラー面(11a、11b)のなす角度θ1と個々のミラー面(11a、11b)によるビームの走査角度θ2とが同一であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載のスキャニング装置。
- 前記バネ部(30)の弾性力によって前記ミラー(10)を振動させるために前記ミラー(10)に印加される前記力は、静電気力であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載のスキャニング装置。
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