JP4635062B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態は、ハロゲン含有ガス流入ステップと、ハロゲン含有ガス流入ステップ後に実施されるソースガス流入ステップを有する、酸化物からなる部材を備えた半導体基板上にSi含有結晶膜またはGe含有結晶膜を形成する方法を含む。ここで、Si含有結晶膜とは、例えば、SiGe等のSi化合物結晶膜や、Si結晶膜であり、Ge含有結晶膜とは、例えば、Ge結晶膜である。
本発明の実施の形態によれば、ハロゲン含有ガス流入ステップにおいて半導体基板をハロゲン含有ガスに曝した後に、ソースガス流入ステップにおいてSi含有結晶またはGe含有結晶の構成元素を含むソースガスに曝すことにより、酸化物からなる部材を備えた半導体基板上にSi含有結晶膜またはGe含有結晶膜を形成する場合であっても、表面の平滑な結晶性の良いSi含有結晶膜またはGe含有結晶膜を得ることができる。
本発明は、上記実施の形態に限定されず、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施が可能である。
Claims (4)
- 酸化物からなる部材を備えたSi単結晶基板の表面をSiおよびGeのうちの少なくともいずれか1つを含むハロゲン含有ガスに曝す工程と、
前記Si単結晶基板の前記表面を前記ハロゲン含有ガスに曝し始めた後、前記表面をハロゲンを含まないSi含有ガスおよびハロゲンを含まないGe含有ガスを含む雰囲気に曝し、前記表面にSiGe結晶膜をエピタキシャル成長させる工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記Si単結晶基板の前記表面を前記ハロゲン含有ガスに曝し終えるタイミングは、前記表面を前記Si含有ガスに曝し始めるタイミング以降であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Si単結晶基板の前記表面を前記Si含有ガスに曝し始めるタイミングは、前記表面を前記Ge含有ガスに曝し始めるタイミング以前であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記SiGe結晶膜をエピタキシャル成長させる工程は、750℃以下の温度条件で行われることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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