JP4633434B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4633434B2 JP4633434B2 JP2004302572A JP2004302572A JP4633434B2 JP 4633434 B2 JP4633434 B2 JP 4633434B2 JP 2004302572 A JP2004302572 A JP 2004302572A JP 2004302572 A JP2004302572 A JP 2004302572A JP 4633434 B2 JP4633434 B2 JP 4633434B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polycrystalline silicon
- island
- silicon layer
- gate insulating
- tft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 58
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 47
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 202
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 91
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 59
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 45
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 40
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 22
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 11
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 11
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 70
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 50
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 10
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XUKUURHRXDUEBC-SXOMAYOGSA-N (3s,5r)-7-[2-(4-fluorophenyl)-3-phenyl-4-(phenylcarbamoyl)-5-propan-2-ylpyrrol-1-yl]-3,5-dihydroxyheptanoic acid Chemical compound C=1C=CC=CC=1C1=C(C=2C=CC(F)=CC=2)N(CC[C@@H](O)C[C@H](O)CC(O)=O)C(C(C)C)=C1C(=O)NC1=CC=CC=C1 XUKUURHRXDUEBC-SXOMAYOGSA-N 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- VXAPDXVBDZRZKP-UHFFFAOYSA-N nitric acid phosphoric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O.OP(O)(O)=O VXAPDXVBDZRZKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- FOXXZZGDIAQPQI-XKNYDFJKSA-N Asp-Pro-Ser-Ser Chemical compound OC(=O)C[C@H](N)C(=O)N1CCC[C@H]1C(=O)N[C@@H](CO)C(=O)N[C@@H](CO)C(O)=O FOXXZZGDIAQPQI-XKNYDFJKSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/127—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or patterning of the active layer specially adapted to the circuit arrangement
- H01L27/1274—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or patterning of the active layer specially adapted to the circuit arrangement using crystallisation of amorphous semiconductor or recrystallisation of crystalline semiconductor
- H01L27/1285—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or patterning of the active layer specially adapted to the circuit arrangement using crystallisation of amorphous semiconductor or recrystallisation of crystalline semiconductor using control of the annealing or irradiation parameters, e.g. using different scanning direction or intensity for different transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1222—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
- H01L27/1233—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer with different thicknesses of the active layer in different devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1237—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a different composition, shape, layout or thickness of the gate insulator in different devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
本発明の他の目的は、高耐圧で低リークのTFTと高耐圧で駆動能力の高いTFTを有し、特性を改善した、半導体装置とその製造方法を提供することである。
図1Aに示すように、ガラス基板の上に厚さ50nmの窒化シリコン層11と厚さ200nmの酸化シリコン層12とをプラズマ化学気相堆積(PE−CVD)により堆積し、その上にアモルファスシリコン膜13を厚さ60nm〜100nmPE−CVDにより成膜する。
図1Uに示すように、透明電極としてITO膜64を厚さ70nmスパッタリングで成膜する。ITO膜64上にホトレジストマスクを形成した後、ITOエッチャ−でウエットエッチングし画素電極64を残す。その後レジストマスクは除去する。
図2Bに示すように、レジストマスク7Mを形成し、ゲート絶縁膜をパターニングする。その後、レジストマスク7Mは除去する.
図2Cに示すように、パターニングしたゲート絶縁膜を介してLDD形成用のn型不純物Pのイオンドープを加速エネルギ90keV、ドーズ量5×1013cm−2で行う。その後、図1Oに示す工程以下の工程を同様に行えばよい。
図3Bに示すように、画素TFTのシリコン膜22pを覆うレジストマスク3Mを形成し、周辺回路領域のシリコン膜22p及びその下の酸化シリコン膜21のエッチングを行う。先ず、フッ素系ガスを用いたドライエッチングによりシリコン膜22pのエッチングを行い、続いて希弗酸を用いたウエットエッチングより酸化シリコン膜21のエッチングを行う。その後、レジストマスク3Mは除去する。ウエットエッチングを行うと、サイドエッチングが生じ、シリコン膜22pの下方にアンダーカットが生じる。
図3Dに示すように、シリコン膜13p、22Pの上に、TFT領域の形状を有するレジストマスク4Mを形成する。このレジストマスク4Mを用いて、シリコン膜13p、22pのエッチングをフッ素系ガスを用いて行う。シリコン膜13pと共にシリコン膜22pの周辺もエッチングすることにより、アンダーカットは消滅する。その後、図1Iに示す工程以下の工程を行なえばよい。
図4Dに示すように、pチャネルTFT及び高耐圧nチャネルTFTのLDD領域を覆うレジストマスク8Maを形成し、n型不純物Pを加速エネルギ10keV、ドーズ量1×1015cm−2でイオンドープする。nチャネルTFTのHDD領域が不純物添加される。LDD領域を覆うマスクは、pチャネルTFTを覆うマスクを兼ねるのでマスク数は増加しない。その後、図1Pに示す工程以下の工程を行なえばよい。第2の実施例によっても、画素TFTのLDD領域は、周辺駆動回路の高耐圧TFTのLDD領域よりも多量のn型不純物が添加され、好適な抵抗値を得ることができる。pチャネルTFTには、LDD領域を形成しなくてもよい。以下、pチャネルTFTにはLDD領域を形成しない製造方法の例を説明する。
図5Aは、図1Jと同一工程を示す。周辺回路領域用の比較的粒径の大きな多結晶シリコン膜13p、画素TFT用の比較的流形の小さな多結晶シリコン膜22pが形成され、その上に比較的薄い厚さ30nmの酸化シリコン膜31、厚さ300nmのMo膜32が形成されている。低耐圧高速動作TFTのゲート電極形状にレジストマスク5Mが形成され、露出したMo膜32をフッ素系ガスを用いたドライエッチング又は燐酸硝酸系エッチャントを用いたウエットエッチングでエッチングする。その後レジストマスク5Mは除去する。
図6Cに示すように、多結晶シリコン膜13p1の上にTFT領域を覆うレジストマスク1Mを形成し、多結晶シリコン膜13p1のエッチングを、例えばフッ素系ガスを用いたドライエッチングで、行う。
図6Eに示すように、画素TFT領域に開口を有するレジストマスク2Mbを形成し、画素TFT領域に閾値調整用のp型不純物Bのイオンドーピングを追加的に行なう。その後レジストマスク2Mbは除去する。
11 窒化シリコン層
12 酸化シリコン層
13 シリコン層
21 酸化シリコン層
22 シリコン層
31 酸化シリコン層
32 Mo膜
41 酸化シリコン層
42 Mo膜
51 層間絶縁膜
61 透明樹脂膜
Claims (9)
- 絶縁性基板と、
前記絶縁性基板上方に配置され、結晶粒径の比較的大きな第1、第2の島状多結晶シリコン層と、
前記絶縁性基板上方に配置され、結晶粒径の比較的小さな第3の島状多結晶シリコン層と、
前記第1の島状多結晶シリコン層上に形成され、第1の厚さを有する第1のゲート絶縁膜と、
前記第2の島状多結晶シリコン層上に形成され、前記第1の厚さより厚い第2の厚さを有する第2のゲート絶縁膜と、
前記第3の島状多結晶シリコン層上に形成され、前記第1の厚さより厚い第3の厚さを有する第3のゲート絶縁膜と、
前記第1、第2、第3のゲート絶縁膜上に形成され、下方に第1、第2、第3のチャネル領域を画定する第1、第2、第3のゲート電極と、
前記第1、第2、第3のチャネル領域の外側に高濃度にn型不純物を添加して形成された第1、第2、第3の高濃度n型ソース/ドレイン領域と、
前記第2、第3のチャネル領域と前記第2、第3の高濃度n型ソース/ドレイン領域の間に形成され、前記高濃度n型ソース/ドレイン領域よりn型不純物添加量の低い第2、第3の低濃度n型ソース/ドレイン領域と、
を有し、前記第3の低濃度n型ソース/ドレイン領域の不純物添加量は、前記第2の低濃度n型ソース/ドレイン領域の不純物添加量より高く、前記高濃度n型ソースドレイン領域、前記低濃度ソース/ドレイン領域を含む前記第1、第2、第3の島状多結晶シリコン層、前記第1、第2、第3のゲート絶縁膜、前記第1、第2、第3のゲート電極が第1、第2、第3の薄膜トランジスタを構成する半導体装置。 - 前記第1、第2の島状多結晶シリコン層が、アモルファスシリコン層を出発材料とし、CWレーザ照射で多結晶化したシリコン層であり、前記第3の多結晶シリコン層が、アモルファスシリコン層を出発材料とし、エキシマレーザ照射で多結晶化したシリコン層である請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1、第2の島状多結晶シリコン層が、1μm以上の平均結晶粒径と50nm以上の膜厚を有し、前記第3の島状多結晶シリコン層が1μm未満の平均結晶粒径と、40〜60nmの膜厚を有する請求項2記載の半導体装置。
- 前記絶縁性基板がガラス基板であり、前記第1、第2の薄膜トランジスタが液晶表示装置の周辺回路を構成し、前記第3の薄膜トランジスタが液晶表示装置の画素トランジスタを構成する請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1、第2のチャネル領域と、前記第3のチャネル領域との不純物添加量が異なる請求項1記載の半導体装置。
- (a)絶縁性基板上方に、結晶粒径の比較的大きな第1、第2、第4の島状多結晶シリコン層と、結晶粒径の比較的小さな第3の島状多結晶シリコン層とを形成する工程と、
(b)前記第1の島状多結晶シリコン層上に、第1の厚さを有する第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記第2、第3、第4の島状多結晶シリコン層上に、それぞれ前記第1の厚さ以上の第2、第3、第4の厚さを有する第2、第3、第4のゲート絶縁膜を形成する工程と、
(d)前記第1〜第4のゲート絶縁膜上に、下方に第1〜第4のチャネル領域を画定する第1〜第4のゲート電極を形成する工程と、
(e)前記ゲート電極をマスクとし、前記第1〜第4の島状多結晶シリコン層に低濃度のn型不純物を添加する工程と、
(f)前記第1のゲート絶縁膜を前記第1のゲート電極に倣う形状に、前記第2、第3、第4のゲート絶縁膜を前記第2、第3、第4のゲート電極から張り出すように、パターニングする工程と、
(g)前記第4の島状多結晶シリコン層および前記第2の島状多結晶シリコン層上のゲート絶縁膜をマスクし、前記第1の島状多結晶シリコン層および前記第3の島状多結晶シリコン層に、第3のゲート絶縁膜を通過する加速電圧と、通過しない加速電圧との2つの異なる加速電圧でn型不純物をイオンドープする工程と、
(h)前記第1、第2、第3の多結晶シリコン層をマスクし、前記第4の多結晶シリコン層に、前記第4のゲート絶縁膜を通過する加速電圧と、通過しない加速電圧との2つの異なる加速電圧でp型不純物をイオンドープする工程と、
を含み、不純物添加量の異なる低濃度ソース/ドレイン領域を有する第2、第3の薄膜トランジスタを含む第1〜第4の薄膜トランジスタを形成する半導体装置の製造方法。 - (a)絶縁性基板上方に、結晶粒径の比較的大きな第1、第2、第4の島状多結晶シリコン層と、結晶粒径の比較的小さな第3の島状多結晶シリコン層とを形成する工程と、
(b)前記第1の島状多結晶シリコン層上に、第1の厚さを有する第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記第2、第3、第4の島状多結晶シリコン層上に、それぞれ前記第1の厚さ以上の第2、第3、第4の厚さを有する第2、第3、第4のゲート絶縁膜を形成する工程と、
(d)前記第1〜第4のゲート絶縁膜上に、下方に第1〜第4のチャネル領域を画定する第1〜第4のゲート電極を形成する工程と、
(e)前記ゲート電極をマスクとし、前記第1〜第4の島状多結晶シリコン層に低濃度のn型不純物を添加する工程と、
(f)前記第1、第2、第4の島状多結晶シリコン層をマスクし、前記第3の島状多結晶シリコン層に低濃度のn型不純物を添加する工程と、
(g)前記第1、第2、第3の多結晶シリコン層をマスクし、前記第4の多結晶シリコン層にp型不純物を添加する工程と、
を含み、不純物添加量の異なる低濃度ソース/ドレイン領域を有する第2、第3の薄膜トランジスタを含む第1〜第4の薄膜トランジスタを形成する半導体装置の製造方法。 - さらに、(h)前記第4の島状多結晶シリコン層、前記第2、第3のゲート電極の両側の所定幅をマスクし、n型不純物を高濃度に添加する工程を含む請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1〜第4の島状多結晶シリコン層が単一のアモルファスシリコン層から形成される請求項6〜8のいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004302572A JP4633434B2 (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | 半導体装置およびその製造方法 |
US11/250,494 US7227187B2 (en) | 2004-10-18 | 2005-10-17 | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US11/790,350 US7344930B2 (en) | 2004-10-18 | 2007-04-25 | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004302572A JP4633434B2 (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006114805A JP2006114805A (ja) | 2006-04-27 |
JP4633434B2 true JP4633434B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=36179798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004302572A Expired - Fee Related JP4633434B2 (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7227187B2 (ja) |
JP (1) | JP4633434B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7619288B2 (en) * | 2005-05-27 | 2009-11-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin film transistor substrate, liquid crystal display device provided with such thin film transistor substrate and method for manufacturing thin film transistor substrate |
JP4661875B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2011-03-30 | ソニー株式会社 | 表示装置及び表示装置の輝度調整方法 |
US7879678B2 (en) * | 2008-02-28 | 2011-02-01 | Versatilis Llc | Methods of enhancing performance of field-effect transistors and field-effect transistors made thereby |
TWI434356B (zh) * | 2008-05-23 | 2014-04-11 | Innolux Corp | 顯示裝置及其形成方法,以及包含顯示裝置之電子裝置 |
TWI464880B (zh) * | 2008-09-04 | 2014-12-11 | Au Optronics Corp | 薄膜電晶體陣列基板及其製作方法 |
US20100224880A1 (en) * | 2009-03-05 | 2010-09-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US8111730B2 (en) * | 2009-08-20 | 2012-02-07 | International Business Machines Corporation | 3D optoelectronic packaging |
KR101688074B1 (ko) | 2010-01-27 | 2016-12-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시기판 및 이의 제조방법 |
JP5443588B2 (ja) * | 2010-06-22 | 2014-03-19 | パナソニック株式会社 | 発光表示装置及びその製造方法 |
JP6166128B2 (ja) * | 2013-08-20 | 2017-07-19 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 放射線撮像装置および放射線撮像表示システム |
KR101661026B1 (ko) * | 2014-09-17 | 2016-09-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
CN110620120B (zh) * | 2019-09-25 | 2022-07-29 | 福州京东方光电科技有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06244203A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2000036598A (ja) * | 1998-07-16 | 2000-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体素子からなる半導体回路を備えた半導体装置およびその作製方法 |
JP2003229434A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-08-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体集積回路の作製方法 |
JP2004207337A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Fujitsu Display Technologies Corp | 薄膜トランジスタ、その製造方法及び表示デバイス |
JP2004303832A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Fujitsu Display Technologies Corp | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11281997A (ja) | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Toshiba Corp | 回路基板、その製造方法および液晶表示装置 |
JP2000277738A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-06 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US6737672B2 (en) | 2000-08-25 | 2004-05-18 | Fujitsu Limited | Semiconductor device, manufacturing method thereof, and semiconductor manufacturing apparatus |
TW535194B (en) | 2000-08-25 | 2003-06-01 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device, manufacturing method therefor, and semiconductor manufacturing apparatus |
JP4439766B2 (ja) | 2001-08-02 | 2010-03-24 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタ装置及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-10-18 JP JP2004302572A patent/JP4633434B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-10-17 US US11/250,494 patent/US7227187B2/en active Active
-
2007
- 2007-04-25 US US11/790,350 patent/US7344930B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06244203A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2000036598A (ja) * | 1998-07-16 | 2000-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体素子からなる半導体回路を備えた半導体装置およびその作製方法 |
JP2003229434A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-08-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体集積回路の作製方法 |
JP2004207337A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Fujitsu Display Technologies Corp | 薄膜トランジスタ、その製造方法及び表示デバイス |
JP2004303832A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Fujitsu Display Technologies Corp | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060081852A1 (en) | 2006-04-20 |
US7344930B2 (en) | 2008-03-18 |
JP2006114805A (ja) | 2006-04-27 |
US20070205415A1 (en) | 2007-09-06 |
US7227187B2 (en) | 2007-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7227187B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
KR101491567B1 (ko) | 픽셀 및 구동영역에서 상이한 전기적 특성들을 갖는 박막트랜지스터 장치를 가지는 디스플레이 및 이를 제조하는방법 | |
JP4084080B2 (ja) | 薄膜トランジスタ基板の製造方法 | |
US7326959B2 (en) | Thin film transistor with common contact hole and fabrication method thereof | |
JP5820402B2 (ja) | 薄膜トランジスタ装置及び薄膜トランジスタ装置の製造方法 | |
US20060006425A1 (en) | Thin film transistor substrate and its manufacture | |
JP4675680B2 (ja) | 薄膜トランジスタ基板の製造方法 | |
JP2006332400A (ja) | 薄膜半導体装置およびその製造方法 | |
KR20030037877A (ko) | Oeld용 결정질 실리콘 박막트랜지스터 패널 및 제작방법 | |
WO2006126423A1 (ja) | 薄膜トランジスタ基板及びそれを備えた液晶表示装置、並びに薄膜トランジスタ基板の製造方法 | |
US20070045740A1 (en) | Thin film transistor, method of fabricating the same, and a display device including the thin film transistor | |
JP4444035B2 (ja) | 表示装置用アクティブマトリクス基板およびその製造方法 | |
WO2019186924A1 (ja) | 表示装置及び表示装置の製造方法 | |
US7317209B2 (en) | Thin film transistor device and method of manufacturing the same, thin film transistor substrate and display having the same | |
JPH0818055A (ja) | 半導体集積回路およびその作製方法 | |
US20180069099A1 (en) | Manufacture method of n type thin film transistor | |
JP2006330719A (ja) | 有機発光ディスプレイ及びその製造方法 | |
JP3266861B2 (ja) | アクティブマトリクス装置 | |
JP4364739B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2005108931A (ja) | 表示装置の製造方法および表示装置 | |
US8759166B2 (en) | Method for manufacturing thin film transistor device | |
KR20050052255A (ko) | 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법 | |
JP2009010242A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
KR100667936B1 (ko) | 박막 트랜지스터, 그 제조방법 및 이 박막 트랜지스터를구비한 평판 표시 장치 | |
JP2004303761A (ja) | 薄膜トランジスタ装置の製造方法および薄膜トランジスタ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070302 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100715 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |