JP4608894B2 - フッ化物単結晶の製造装置及び製造方法 - Google Patents
フッ化物単結晶の製造装置及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4608894B2 JP4608894B2 JP2004027569A JP2004027569A JP4608894B2 JP 4608894 B2 JP4608894 B2 JP 4608894B2 JP 2004027569 A JP2004027569 A JP 2004027569A JP 2004027569 A JP2004027569 A JP 2004027569A JP 4608894 B2 JP4608894 B2 JP 4608894B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- single crystal
- conical
- plate
- heat flux
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
このようにして得られたフッ化カルシウム単結晶のインゴットは、目的の製品に応じて適当な大きさに切断加工される。
また本発明は第6に、請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置において、前記上方に開いた円錐状の板状部材および/または、前記円板状またはカップ状の部材が、カーボン材で構成されたことを特徴とする。
加熱炉1は仕切部10によって上部9と下部11とに仕切られており、仕切部10の内側には仕切板13が略水平に張り出している。加熱炉の上部9は上部ヒーター3により、また加熱炉の下部11は下部ヒーター4によりそれぞれ独立に温度制御され、下部11は上部9よりも低温に保たれる。加熱炉全体は断熱部材12によって囲まれ、真空排気可能な容器内に設置される。
ルツボ5の円錐形部分の周囲には熱流束制御板8が、ルツボ5の下端には熱流束遮断板7が配置される。熱流束制御板8および熱流束遮断板7の外径は、いずれもルツボ5の円錐形部分の外径とほぼ等しく、前記駆動機構によって、ルツボ5と一体として加熱炉1内で上下に可動する。
垂直ブリッジマン法による単結晶製造工程では、はじめにルツボ5を加熱炉上部9に位置させた状態でルツボ5内の原料を加熱し、熔融させる。このとき熱流束遮断板7は加熱炉上部9(高温部)から加熱炉下部11(低温部)への熱流束を遮断して、ルツボ5全体の温度を原料の融点以上に保つ作用がある。一方ルツボ下端部のみはルツボ支持棒6を通じて放熱するため温度がやや低いので、ルツボの引き下げを開始すれば、ルツボ下端部の種結晶を唯一の開始点として単結晶を成長させることができる。
垂直ブリッジマン法による単結晶製造工程では、ルツボ5に充填した原料を熔融した後、単結晶を成長させるためルツボ5の引き下げを開始する。このとき、まずルツボ下端部が、つづいて円錐形部が加熱炉1の下部11(低温部)に進入する。そしてルツボ下端部の種結晶を開始点として単結晶が成長していく。
円錐状の板状部材はルツボ5の円錐形部分を取り囲むように配置されるため、その中心にはルツボ5を通すための開口部が設けられる。該開口部とルツボ5との空隙は、熱の漏れを最低限に止めるためできるだけ小さいことが望ましい。
なお、ルツボの円錐形部分への熱供給バランスを最適に調整するためには、熱流束制御板が単一の板状部材からなる場合はその頂角を、また複数の板状部材を積層したものである場合は頂角に加えて積層間隔を調整すればよい。
図2は、本実施例で用いる単結晶製造装置について、その主要部を図示したものである。図示しない部分については図1の装置と同様であるので説明を省略する。
次に、この前処理品を図2に示した単結晶製造装置のルツボ5に充填し、装置内を真空排気した。装置内の真空度が10-4Paに達したらルツボ5を加熱炉最上部に位置させ、加熱炉上部を1450℃、加熱炉下部を1300℃に設定して原料を熔融した。原料が十分に熔融した後、0.2mm/時の一定速度でルツボ5を引き下げ、単結晶を成長させた。ルツボ5の内容物が完全に固化してから室温近傍まで徐冷し、その後、製造装置内を大気開放してインゴットを取り出した。
図3は実施例2に係る単結晶製造装置の主要部を示す概略図であり、図示しない部分については実施例1の装置と同一である。実施例2では、カップ状部材からなる熱流束遮断板25は、断熱部材としてのカーボンフェルト21を介してルツボ支持棒6に固定される。また熱流束制御板18を構成する円錐状の板状部材はカーボン材からなる段付き棒22によって熱流束遮断板25に固定される。
Claims (8)
- 仕切部によって上部と下部とに仕切られた加熱炉と、該加熱炉内に配置された上部が円筒形で下部が円錐形のルツボと、該ルツボの円錐形部分を囲んで配置された、上方に開いた円錐状の板状部材と、該ルツボの下端部に配置された円板状またはカップ状の部材とを有し、
前記上方に開いた円錐状の板状部材および、前記円板状またはカップ状の部材の外径は、前記ルツボの円筒形部分の外径とほぼ等しいことを特徴とする垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。 - 前記上方に開いた円錐状の板状部材を複数備え、該複数の板状部材は円錐の頂角が互いに等しく、かつ鉛直方向に積層して配置されたことを特徴とする請求項1に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
- 前記上方に開いた円錐状の板状部材および/または、前記円板状またはカップ状の部材と、前記ルツボとの間が、熱絶縁されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
- 前記上方に開いた円錐状の板状部材および/または、前記円板状またはカップ状の部材と、前記ルツボとの間が、断熱材を介して接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
- 前記断熱材がカーボンフェルトであることを特徴とする請求項4に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
- 前記上方に開いた円錐状の板状部材および/または、前記円板状またはカップ状の部材が、カーボン材で構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
- 前記上方に開いた円錐状の板状部材の頂角は、前記ルツボの円錐形部分の頂角よりも大きいかまたは等しいことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
- 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の製造装置を用いることを特徴とする垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004027569A JP4608894B2 (ja) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | フッ化物単結晶の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004027569A JP4608894B2 (ja) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | フッ化物単結晶の製造装置及び製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005219946A JP2005219946A (ja) | 2005-08-18 |
JP2005219946A5 JP2005219946A5 (ja) | 2007-01-11 |
JP4608894B2 true JP4608894B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=34995877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004027569A Expired - Fee Related JP4608894B2 (ja) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | フッ化物単結晶の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4608894B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6385082A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 単結晶の成長方法および成長装置 |
JPH05117072A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-14 | Sony Corp | 単結晶の製造方法 |
JPH05238870A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 化合物半導体単結晶の製造方法およびその製造装置 |
JPH0797298A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-04-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 多元系酸化物単結晶の製造方法 |
JPH11292696A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-10-26 | Nikon Corp | 蛍石の製造装置 |
JP2005035824A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Nikon Corp | フッ化物結晶育成装置 |
-
2004
- 2004-02-04 JP JP2004027569A patent/JP4608894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6385082A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 単結晶の成長方法および成長装置 |
JPH05117072A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-14 | Sony Corp | 単結晶の製造方法 |
JPH05238870A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 化合物半導体単結晶の製造方法およびその製造装置 |
JPH0797298A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-04-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 多元系酸化物単結晶の製造方法 |
JPH11292696A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-10-26 | Nikon Corp | 蛍石の製造装置 |
JP2005035824A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Nikon Corp | フッ化物結晶育成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005219946A (ja) | 2005-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4195222B2 (ja) | 大容積配向モノクリスタルを成長させるための方法及び装置。 | |
US20110130266A1 (en) | Method and apparatus for making a highly uniform low-stress single crystal by drawing from a melt and uses of said crystal | |
KR20110027593A (ko) | 사파이어 단결정의 성장 장치 | |
JP2009221101A (ja) | 結晶製造装置 | |
JP2008031019A (ja) | サファイア単結晶の製造方法 | |
JP2004262742A (ja) | 配向された弗化カルシウム単結晶を成長させる方法 | |
JP2008508187A (ja) | 溶融物から単結晶を成長させる方法 | |
JPWO2005121416A1 (ja) | 結晶製造方法および装置 | |
JP2014214078A (ja) | 結晶成長方法 | |
JP4147595B2 (ja) | 蛍石単結晶の製造方法 | |
JP4569872B2 (ja) | 蛍石の単結晶製造装置及びそれを用いた蛍石単結晶の製造方法 | |
JP3006147B2 (ja) | 大口径の蛍石単結晶の製造装置 | |
JP2000128696A (ja) | フッ化物単結晶からなる光学素子作製用素材とその製造方法 | |
JP4608894B2 (ja) | フッ化物単結晶の製造装置及び製造方法 | |
JPH1179880A (ja) | 大口径蛍石の製造装置および製造方法 | |
JP2005035824A (ja) | フッ化物結晶育成装置 | |
JP2007051013A (ja) | フッ化カルシウム結晶の製造方法 | |
JP4146829B2 (ja) | 結晶製造装置 | |
JP4821623B2 (ja) | 単結晶育成用ルツボ及びこのルツボにより育成されるフッ化物結晶 | |
JP2012036015A (ja) | 結晶成長方法 | |
JP2005089204A (ja) | 結晶製造装置及び結晶製造方法 | |
JP6400946B2 (ja) | Si‐Ge系固溶体単結晶の製造方法 | |
JP4158189B2 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP3542444B2 (ja) | 結晶製造装置及び方法 | |
JPH11343194A (ja) | 単結晶の製造装置および単結晶の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061120 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061120 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080620 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080826 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100914 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100927 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4608894 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |