JP4604730B2 - 微小振動子、半導体装置及び通信装置 - Google Patents
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Description
また、並列化した場合には、隣接している振動子素子間の相互干渉によっても、特性に影響を与えている可能性が大きい。特に電気的な干渉を抑える技術が必要となる。
振動子素子間の相互干渉としては、機械的な振動による干渉、電気的な干渉がある。機械的な振動の干渉は、振動子群の共振が起きるとき、複数の振動源から発した弾性波が基板内で互いに伝播し合い、この基板振動が振動子素子を励振させることにより生じる。
本発明の好ましい形態は、非共振の第2の振動子素子のビームを電位的にフローティング状態にした構成とする。
また、非共振の第2の振動子素子34のビーム363、364にグランド電位(DC2=GND)を印加した場合には、電気的な干渉に関して第2の振動子素子34がシールドとして機能し、電気的な干渉を抑制することができる。この場合、第2の振動子素子34は機械的な振動による干渉も緩和することができる。
また、非共振の第2の振動子素子44のビーム473、474にグランド電位(DC2=GND)を印加した場合には、電気的な干渉に関して第2の振動子素子44がシールドとして機能し、電気的な干渉を抑制することができる。この場合、第2の振動子素子44は機械的な振動による干渉も緩和することができる。
本実施の形態に係る微小振動子51は、第2実施の形態と同様に、共通の基板32上にビーム構造を有する複数の第1の振動子素子43(431A〜431C,432A〜432C)を並列的に配置し、各隣合う第1の振動子素子43間に介挿されるように複数の非共振の第2の振動子素子44(441A〜441C,442A〜442C)を並列的に配置して構成される。
その他の構成は、図2の第2実施の形態の微小振動子31と同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
図6によれば、第2の振動子素子44のビーム47にグランド電位(DC2=GND)を印加することにより、隣合う第1の振動子素子43間の相互干渉が抑制されて、中心周波数近傍での不要共振がなくなり、共振ピーク(Q値)が高くなることが認められる。
図7によれば、第2の振動子素子44のDC2端子t7を開放すると、図7に示すDC2=GNDでの共振特性に比べて、バックグランドレベルbが上昇するが、共振ピーク(Q値)は殆ど変化しないことが認められる。このことから、バックグランドレベルをコントロールすることができる。
図8によれば、第2の振動子素子44のビーム47に印加するDCバイアス電圧DC2を30Vに固定し、第1の振動子素子43のビーム47のDCバイアス電圧DC1を印加すると、図6との比較で10V〜15V付近で共振ピークaが最小になることが認められる。これにより、共振ピーク(Q値)をコントロールすることができる。
その他の構成は、図3と同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
本実施の形態の半導体装置によれば、優れた特性を有するフィルタを備えるので、信頼性に高い半導体装置を提供することができる。
まず送信系の構成について説明すると、Iチャンネルの送信データとQチャンネルの送信データを、それぞれデジタル/アナログ変換器(DAC)201I及び201Qに供給してアナログ信号に変換する。変換された各チャンネルの信号は、バンド・パス・フィルタ202I及び202Qに供給して、送信信号の帯域以外の信号成分を除去し、バンド・パス・フィルタ202I及び202Qの出力を、変調器210に供給する。
Claims (8)
- 複数のビーム型の第1の振動子素子が並列接続され、
隣合う前記第1の振動子素子間に非共振のビーム型の第2の振動子素子が配置されて成る
ことを特徴とする微小振動子。 - 前記非共振の第2の振動子素子のビームにグランド電位が印加されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の微小振動子。 - 前記非共振の第2の振動子素子のビームが電位的にフローティング状態である
ことを特徴とする請求項1記載の微小振動子。 - 複数のビーム型の振動子素子が並列接続された振動子群が複数配置され、
前記振動子群内の隣合う振動子素子間に非共振のビーム型の振動子素子が配置され、
少なくとも印加される直流バイアス電圧が異なる振動子群を有して成る
ことを特徴とする微小振動子。 - 前記第1及び第2の振動子素子の配列方向と異なる方向に隣接する前記第1の振動子素子が、互いに振動の位相を逆相関係となるように配置されて成る
ことを特徴とする請求項1、2又は3記載の微小振動子。 - 前記各振動子群内において、非共振の振動子素子の配列方向と異なる方向に隣接する前記振動子素子が、互いに振動の位相を逆関係となるように配置されて成る
ことを特徴とする請求項4記載の微小振動子。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の微小振動子を有して成る
ことを特徴とする半導体装置。 - 送信信号及び/又は受信信号の帯域制限を行うフィルタを備えた通信装置において、
フィルタとして、請求項1から請求項6のいずれかに記載の微小振動子によるフィルタが用いられて成る
ことを特徴とする通信装置。
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