JP4595841B2 - Work transfer device - Google Patents
Work transfer device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4595841B2 JP4595841B2 JP2006064355A JP2006064355A JP4595841B2 JP 4595841 B2 JP4595841 B2 JP 4595841B2 JP 2006064355 A JP2006064355 A JP 2006064355A JP 2006064355 A JP2006064355 A JP 2006064355A JP 4595841 B2 JP4595841 B2 JP 4595841B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- air
- conveyance
- work
- nozzles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、ワークをエアーにより搬送するワーク搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a workpiece transfer device that transfers a workpiece by air.
従来、この種のワーク搬送装置として、ワークが搬送されるワーク搬送路からエアーを上方に向かって噴出してワークを浮上させると共に、ワーク搬送路の両側を中央よりも強くエアーを噴出してワークを中央に誘導させ、この状態で、ワーク搬送路に設けた噴出口からエアーを搬送方向に向けて噴出することにより、ワークに推進力を与えてこれを搬送するものが知られている(特許文献1参照)。これにより、ワーク搬送装置は、ワークをワーク搬送路から外れることなく搬送することができる。
しかしながら、上記の構成では、ワークをワーク搬送路から外れることなく搬送するために、ワーク搬送路の両側を中央よりも強くエアーを噴出しなければならず、またエアー同士の衝突によるエアーの乱れも考慮する必要がある。このため、エアーの吹出し量、吹出し方向、噴出口の数や配置等、エアーコントロールが複雑になると共に、消費するエアー量が多くなる問題があった。 However, in the above configuration, in order to transport the workpiece without deviating from the workpiece conveyance path, air must be blown stronger than the center on both sides of the workpiece conveyance path, and air turbulence due to collision between the air may occur. It is necessary to consider. For this reason, there are problems that the air control becomes complicated and the amount of air consumed increases, such as the amount of air blown out, the direction of blowout, and the number and arrangement of the jet outlets.
本発明は、簡易な構成且つ比較的少量のエアーで、ワークを適切且つ効率良くエアー搬送することができるワーク搬送装置を提供することを課題とする。 It is an object of the present invention to provide a workpiece transfer device that can transfer a workpiece in an appropriate and efficient manner with a simple configuration and a relatively small amount of air.
本発明のワーク搬送装置は、ワークが跨ぐように載せ込まれる一対の分割搬送路で構成され、ワークの搬送を案内するワーク搬送路と、ワーク搬送路を挟んで両側に配設され、ワーク搬送路上のワークに側方からエアーを吹き付けるエアーブロー手段と、一対の分割搬送路の少なくとも一方を搬送方向に直交する方向に移動させて、一対の分割搬送路の離間距離を広狭調整する離間距離調整手段と、を備え、エアーブロー手段は、ワークの側面に斜め搬送方向からエアーを吹き付け、ワークを搬送する推進力を付与する複数の推進ノズルと、ワークの側面に搬送方向に直交する方向からエアーを吹き付けてワークの姿勢を制御する複数の制御ノズルとを有し、複数の推進ノズルと複数の制御ノズルとは、混在した状態で搬送方向に並んでおり、一対の分割搬送路は、搬送方向の先方に向かって「ハ」字状に狭まように非平行に延在しており、離間距離調整手段は、一対の分割搬送路を、非平行状態を維持しつつ離間距離を調整することを特徴とする。 The workpiece conveyance device of the present invention is composed of a pair of divided conveyance paths on which a workpiece is placed so as to straddle the workpiece, the workpiece conveyance path for guiding the conveyance of the workpiece, and the both sides of the workpiece conveyance path. Spacing distance adjustment that adjusts the separation distance between the pair of divided transport paths by moving at least one of the pair of divided transport paths in a direction perpendicular to the transport direction by blowing air from the side to the workpiece on the road. The air blow means blows air from the oblique conveyance direction to the side surface of the workpiece and applies a propulsive force for conveying the workpiece, and air from the direction orthogonal to the conveyance direction on the side surface of the workpiece. by blowing and a plurality of control nozzles for controlling the attitude of the workpiece, and the plurality of propulsion nozzles and a plurality of control nozzles are aligned in the transport direction in a mixed state The pair of divided conveyance paths extend non-parallel so as to narrow in a “C” shape toward the front in the conveyance direction, and the separation distance adjusting means moves the pair of divided conveyance paths into a non-parallel state. The separation distance is adjusted while maintaining .
この構成によれば、ワークの両側面に均等に推進力が付与されるようエアーが吹き付けられるため、ワークをワーク搬送路の中央に寄せながらワークを搬送することができる。従って、ワークがワーク搬送路から外れることがなく、ワークの姿勢を維持しつつこれを搬送することができる。
また、制御ノズルは、ワークをワーク搬送路の中央に搬送方向と略平行な姿勢で位置決めすることができ、推進ノズルによりワークをこの状態で搬送することができる。
さらに、搬送するワークのサイズに応じて、一対の分割搬送路の離間距離が適切な距離となるよう広狭調整することができる。これにより、所望のサイズのワークを搬送することができるため、ワークのサイズに制限されることなく、ワークのサイズに応じた適切な搬送を行うことが可能となる。
また、一対の分割搬送路上に載置されたワークを、搬送方向の先方に搬送するに連れて、一対の分割搬送路の中央に寄せながら搬送することができる。すなわち、一対の分割搬送路が「ハ」字状になっているため、搬送が進むにつれてエアーブローが強く作用し、ワークは、搬送が進むにつれて自動的にセンター中心に位置決めされる。
According to this structure, since air is blown so that a propulsive force is equally applied to both side surfaces of the work, the work can be transported while bringing the work to the center of the work transport path. Therefore, the workpiece can be conveyed while maintaining the posture of the workpiece without the workpiece being detached from the workpiece conveyance path.
The control nozzle can position the workpiece in the center of the workpiece conveyance path in a posture substantially parallel to the conveyance direction, and the workpiece can be conveyed in this state by the propulsion nozzle.
Furthermore, according to the size of the workpiece to be conveyed, the width can be adjusted so that the separation distance between the pair of divided conveyance paths is an appropriate distance. Thereby, since a workpiece of a desired size can be conveyed, it is possible to perform an appropriate conveyance according to the size of the workpiece without being limited by the size of the workpiece.
In addition, the workpieces placed on the pair of divided conveyance paths can be conveyed while being moved toward the center of the pair of divided conveyance paths as they are conveyed further in the conveyance direction. That is, since the pair of divided conveyance paths are in a “C” shape, the air blow acts strongly as the conveyance proceeds, and the workpiece is automatically positioned at the center of the center as the conveyance proceeds.
この場合、一対のエアーブロー手段間において、各推進ノズルと各制御ノズルとが対向配置されていることが、好ましい。 In this case, it is preferable that each propulsion nozzle and each control nozzle are disposed to face each other between the pair of air blowing means.
この構成によれば、ワークに対し、常に推進ノズルからエアーが吹き付けられることになるため、搬送速度を安定させることができる。 According to this configuration, since the air is always blown from the propulsion nozzle to the work, the conveyance speed can be stabilized.
この場合、各エアーブロー手段の複数の推進ノズルおよび複数の制御ノズルの相互の間隔が、ワークの側面の長さの1/2以下であることが、好ましい。 In this case, it is preferable that the interval between the plurality of propulsion nozzles and the plurality of control nozzles of each air blowing means is 1/2 or less of the length of the side surface of the workpiece.
この構成によれば、制御ノズルによりワークの側面にエアーを吹き付けることができるため、搬送方向に対しワークが位置ズレしていたとしても、ワークの姿勢を補正しつつ、これをワーク搬送路の中央に位置決めすることができる。また、推進ノズルによりワークの側面にエアーを吹き付けることができるため、適切にワークを中央に寄せつつ搬送方向に推進力を付与することができる。 According to this configuration, since air can be blown to the side surface of the workpiece by the control nozzle, even if the workpiece is misaligned with respect to the conveyance direction, this is corrected in the center of the workpiece conveyance path while correcting the posture of the workpiece. Can be positioned. Moreover, since air can be blown on the side surface of the workpiece by the propulsion nozzle, a propulsive force can be applied in the transport direction while properly bringing the workpiece to the center.
この場合、ワーク搬送路は、有孔プレートと有孔プレートに連通するエアー室とから成る作動エアープレートを、搬送方向に複数連ねて構成されており、有孔プレートを介してワークを浮上させるためにエアー室にエアーを供給するエアー供給手段を、更に備えたことが、好ましい。 In this case, the work conveyance path is composed of a plurality of working air plates composed of a perforated plate and an air chamber communicating with the perforated plate in the conveyance direction so that the work is floated through the perforated plate. It is preferable that air supply means for supplying air to the air chamber is further provided.
この構成によれば、ワークを浮上させることができるため、ワークとワーク搬送路との間に生ずる摩擦力を極端に小さくすることができ、エアーによるワークの姿勢制御やワークの搬送を行い易いものとすることができる。 According to this configuration, since the workpiece can be lifted, the frictional force generated between the workpiece and the workpiece conveyance path can be extremely reduced, and the posture of the workpiece can be easily controlled by air and the workpiece can be conveyed. It can be.
この場合、有孔プレートを介してワークを吸着するためにエアー室からエアーを吸引する真空吸引手段と、エアー供給手段と真空吸引手段とを切り替える切替え制御手段と、を更に備えたことが、好ましい。 In this case, it is preferable to further include a vacuum suction means for sucking air from the air chamber to suck the work through the perforated plate, and a switching control means for switching between the air supply means and the vacuum suction means. .
この構成によれば、ワークを真空吸着してワーク搬送路上に固定することができる。このため、例えば、搬送終了位置においてワークをピックアップする場合、プリアライメントした状態で吸着固定することができ、ピックアップ時にワークに位置ズレを生ずることなく、ピックアップすることができる。 According to this structure, a workpiece | work can be vacuum-sucked and it can fix on a workpiece conveyance path. For this reason, for example, when a workpiece is picked up at the conveyance end position, it can be sucked and fixed in a pre-aligned state, and can be picked up without causing a positional shift in the workpiece at the time of picking up.
この場合、有孔プレートが多孔質プレートで構成されていることが、好ましい。 In this case, it is preferable that the perforated plate is composed of a porous plate.
この構成によれば、比較的少量のエアー量で、多孔質プレートの全面からエアーを均等に吹き付けることができる。 According to this configuration, air can be uniformly blown from the entire surface of the porous plate with a relatively small amount of air.
この場合、ワーク搬送路の幅が、ワークの幅よりも狭幅に形成されていることが、好ましい。 In this case, it is preferable that the width of the work conveyance path is narrower than the width of the work.
この構成によれば、ワーク搬送装置をコンパクトにすることができる。このとき、ワーク搬送路の幅は、ワークが落下しないようワークの幅の1/2以上にすることが、より好ましい。 According to this structure, a workpiece conveyance apparatus can be made compact. At this time, it is more preferable that the width of the work conveyance path is set to ½ or more of the width of the work so that the work does not fall.
この場合、複数の制御ノズルは、ワーク搬送路の搬送開始位置から搬送終了位置に近づくに連れて配置が密となるように配設されたことが、好ましい。 In this case, it is preferable that the plurality of control nozzles be arranged so that the arrangement becomes denser from the transfer start position on the workpiece transfer path toward the transfer end position.
この場合、複数の推進ノズルと複数の制御ノズルは、ワークの側方に臨むような位置に配置されたことが、好ましい。 In this case, it is preferable that the plurality of propulsion nozzles and the plurality of control nozzles are arranged at positions facing the side of the workpiece.
以下、添付の図面を参照して、本実施形態に係るワーク搬送装置について説明する。ところで、フレキシブル基板(FOG)やドライバチップ(COG)等の部品をガラス基板等に実装するべく、前段階として各部品およびガラス基板をプリアライメント(±0.1mmの精度)した後、次段階において、画像認識装置および精密ステージ等を用いて、各部品およびガラス基板に形成された各アライメントマークを画像認識し、この画像認識結果に基づいて、精密ステージにより高精度なアライメント(±0.002mmの精度)を行う。この後、ガラス基板に各部品を接合して、ガラス基板に各部品を実装する。このとき、前段階として行うプリアライメントは、画像認識装置にアライメントマークを映し込む為の作業となっている。ここで、このワーク搬送装置は、ワーク搬送路上に載置した液晶パネルに用いられるガラス基板等のワークをワーク搬送路に沿ってエアーにより搬送しながら、ワークのプリアライメントを行うものである。 Hereinafter, a workpiece transfer apparatus according to the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. By the way, in order to mount components such as a flexible substrate (FOG) and driver chip (COG) on a glass substrate or the like, each component and the glass substrate are pre-aligned (accuracy of ± 0.1 mm) as a previous step, and then in the next step. Using an image recognition device and a precision stage, etc., each component and each alignment mark formed on the glass substrate are image-recognized. Based on the image recognition result, high-precision alignment (± 0.002 mm Accuracy). Thereafter, each component is bonded to the glass substrate, and each component is mounted on the glass substrate. At this time, the pre-alignment performed as a previous step is an operation for projecting the alignment mark on the image recognition apparatus. Here, this workpiece conveyance device performs workpiece pre-alignment while conveying a workpiece such as a glass substrate used for a liquid crystal panel placed on the workpiece conveyance path by air along the workpiece conveyance path.
図1を参照すると、ワーク搬送装置1は、ワーク搬送路2と、その両側に沿うように立設した一対のエアーブローユニット3とを有している。一対のエアーブローユニット3は、ワーク搬送路2の搬送開始位置Psから搬送終了位置Peまで、ワーク搬送路2の長さより幾分短く延在しており、ワーク搬送路2により搬送されるワークWに向けてエアーを吹き付ける。
Referring to FIG. 1, a
ワーク搬送路2は、複数の作動エアープレート5が連なることで搬送路を形成しており、各作動エアープレート5は、ベースとなる方形の枠状フレーム7と、枠状フレーム7の上部に嵌合する多孔質プレート8と、を有し、多孔質プレート8の下側には、エアー室6が形成されている。各エアー室6には、その下側にエアー接続口9が開口されており、エアー接続口9は、図示しない切替バルブを介して、工場内の圧縮エアー供給設備およびエアー吸引設備に切替可能に接続されている。圧縮エアー供給設備からエアーが供給されると、多孔質プレート8の全面から上方に向けて均等にエアーを吹き付けてワークWを浮上させ、また、切替バルブを切り替えて、エアー吸引設備に接続すると、ワークWは多孔質プレート8に真空吸着される。これにより、複数のワークWの搬送終了位置Peから搬送開始位置Psへの搬送において、搬送終了位置PeにおけるワークWの除材(移載)作業や、搬送途中位置に配置した処理装置のワークWへのアクセス等により搬送を停止する場合は、真空吸着を行ってワークを吸着固定し、再び搬送を行う場合には、エアーを吹き出してワークWを浮上させる。なお、エアー吹出し量は、ワークWを僅かに浮上させる程度でよい。
The
一対のエアーブローユニット3は、ワーク搬送路2の両側に沿って配設され、搬送開始位置Psから搬送終了位置Peまで延在する長方体状の一対のエアーボックス10と、各エアーボックス10に連なりワーク搬送路2を挟んで対向するように設けられ、搬送方向と直交する直交方向にエアーを吹き付ける複数の制御ノズル12と、搬送方向と直交方向との間の傾斜方向にエアーを吹き付ける複数の推進ノズル13と、を有している。
The pair of
各エアーボックス10は、長手方向に複数に分割されており、この各分割ボックス11には3個(複数)の制御ノズル12または推進ノズル13が設けられている。すなわち、複数の分割ボックス11は、制御ノズル12が設けられた制御分割ボックス11aと、推進ノズル13が設けられた推進分割ボックス11bと、の2種類で構成されており、各制御分割ボックス11aおよび各推進分割ボックス11bは、ワーク搬送路2を挟んで対向して配置されている。複数の分割ボックス11には、流量調整弁等を介して、工場内の圧縮エアー供給設備(いずれも図示省略)がそれぞれ接続されており、圧縮エアー供給設備から供給されたエアーは、各分割ボックス11を介して各制御ノズル12および各推進ノズル13から、エアーがワークWの両側面に対して均等に吹き付けられるように、エアーが調整されて吹き付けられる。なお、流量調整弁等は制御ノズル12および推進ノズル13毎に設けることが、より好ましい。
Each
各エアーボックス10の複数の制御ノズル12および推進ノズル13は、その配置ピッチが等間隔となるよう各エアーボックス10の上部に搬送開始位置Psから搬送終了位置Peまで列設されている。制御ノズル12は、ワーク搬送路2の搬送方向に対し直交するようにエアーの吹付け角度が調整されており、推進ノズル13は、搬送方向と直交方向との間の傾斜方向となるようにエアーの吹付け角度が調整されている。複数の両ノズル12、13の配置ピッチは、ワークWの側面の長さの1/2以下のピッチで配設され、ワークWには少なくとも2組のノズル12、13によりエアーが吹付けられるようになっている。なお、各分割ボックス11の3つの制御ノズル12および推進ノズル13を、一体としてスリット状に形成してもよい。
The plurality of
ワーク搬送路7上の搬送開始位置PsにワークWが載置されると、ワークWの下面には、多孔質プレート8から上方に向けてエアーが吹き付けられることにより、ワークWが浮上する。同時に、ワークWの両側方に臨んだ複数組の推進ノズル13および複数組の制御ノズル12により、ワークの両側面に均等にエアーが吹き付けられ、複数組の推進ノズル13は、ワークWを中央に寄せながら搬送し、複数組の制御ノズル12は、ワークWを搬送方向に倣った姿勢に姿勢制御する。すなわち、推進ノズル13から吹き付けるエアーは、その搬送方向のベクトルがワークWの推進力として、搬送方向と直交するベクトルがワークWの中央寄せとして機能する。ワークWは、徐々にプリアライメントされながら搬送されてゆき、最終的にプリアライメントされた状態で搬送終了位置Peに達する。その後、ワークWは、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。
When the workpiece W is placed at the conveyance start position Ps on the
以上の構成によれば、簡易な構成でワークWの両側面に均等に推進力が付与されるようエアーを吹き付けることができるため、ワークWをプリアライメントしながら搬送することができ、ワークWがワーク搬送路2から外れることもない。なお、複数の制御ノズル12および複数の推進ノズル13は、搬送終了位置Peに近づくに連れて配置ピッチの間隔が密となるようにしてもよいし、配置ピッチを変えず、複数の制御ノズル12および複数の推進ノズル13毎に流量調整弁等を設け、搬送終了位置Peに近づくに連れて、エアー量を多くするようにしてもよい。これにより、ワークWが搬送終了位置Peに近づくに連れて、ワークWをワーク搬送路2の中央により精度良くプリアライメントすることができる。また、エアーは、ワークWを搬送している時に吹き付けてもよいし、ワークWが停止している時に吹き付けてもよいし、また、常時吹き付けてもよい。更に、本実施形態では、各制御分割ボックス11aおよび各推進分割ボックス11bを対向するよう設けたが、これを千鳥状に設けてもよい(図2参照)。これにより、ワークWに対し、常に推進ノズル13が臨むことになるため、ワークWには常に推進力が加わりワークWを搬送する速度を一定とすることができる。また、一対のエアーブローユニット3を、推進ノズル13(推進分割ボックス11b)のみの構成としてもよい。更に、図5に示すように、ワーク搬送路2の幅を、ワークWの幅よりも狭幅に形成してもよい。これにより、ワーク搬送路2をスリムにすることができるため、ワーク搬送装置1のコンパクト化を図ることができる。このとき、ワークWが落下しないようワーク搬送路2の幅を、ワークWの幅の1/2よりも広幅に形成することがより好ましい。
According to the above configuration, air can be blown so that a propulsive force is evenly applied to both sides of the workpiece W with a simple configuration, so that the workpiece W can be transported while being pre-aligned. There will be no detachment from the
また、本実施形態の変形例として、図3に示すように、ワーク搬送路2が、ワークWを跨ぐよう一対の分割搬送路15となる構成でも良い。すなわち、一対の分割搬送路15は、その搬送方向の前部および後部に設けられた離間距離調整機構16を有しており、この離間距離調整機構16により、平行状態を維持しながら、一対の分割搬送路15の離間距離を調整することで、ワークWのサイズに合わせた搬送を行うことができる。具体的に説明すると、サイズの大きなワークWを搬送する場合には、両分割搬送路15の離間距離を広く調整し、サイズの小さなワークWを搬送する場合には、両分割搬送路15の離間距離を狭く調整する。
Further, as a modification of the present embodiment, as shown in FIG. 3, the
また、図4に示すように、一対の分割搬送路15を、搬送方向の先方に向かって「ハ」字状に狭まるよう非平行に配設して、その搬送方向の前部および後部に離間距離調整機構16を設けてもよい。これにより、一対の分割搬送路15上にワークWを跨ぐように載置した後、ワークWの搬送が開始されると、搬送が進むに連れてエアーが、ワークWの両側面に強く吹き当たる。これにより、ワークWを搬送終了位置Peにおいて、高精度にプリアライメントされた状態で臨ませることができる。
Also, as shown in FIG. 4, the pair of divided
1…ワーク搬送装置 2…ワーク搬送路 3…一対のエアーブローユニット 5…作動エアープレート 6…エアー室 8…多孔質プレート 12…制御ノズル 13…推進ノズル 15…分割搬送路 16…離間距離調整機構 Ps…搬送開始位置 Pe…搬送終了位置 W…ワーク
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記ワーク搬送路を挟んで両側に配設され、前記ワーク搬送路上の前記ワークに側方からエアーを吹き付けるエアーブロー手段と、
前記一対の分割搬送路の少なくとも一方を搬送方向に直交する方向に移動させて、前記一対の分割搬送路の離間距離を広狭調整する離間距離調整手段と、を備え、
前記エアーブロー手段は、前記ワークの側面に斜め搬送方向からエアーを吹き付け、前記ワークを搬送する推進力を付与する複数の推進ノズルと、前記ワークの側面に搬送方向に直交する方向からエアーを吹き付けて前記ワークの姿勢を制御する複数の制御ノズルとを有し、
前記複数の推進ノズルと前記複数の制御ノズルとは、混在した状態で搬送方向に並んでおり、
前記一対の分割搬送路は、搬送方向の先方に向かって「ハ」字状に狭まように非平行に延在しており、
前記離間距離調整手段は、前記一対の分割搬送路を、前記非平行状態を維持しつつ離間距離を調整することを特徴とするワーク搬送装置。 It is composed of a pair of divided conveyance paths that are loaded so as to straddle the workpiece, and a workpiece conveyance path that guides conveyance of the workpiece,
An air blowing means disposed on both sides across the workpiece conveyance path, and for blowing air from the side to the workpiece on the workpiece conveyance path ;
A separation distance adjusting unit that adjusts a separation distance between the pair of divided conveyance paths by moving at least one of the pair of division conveyance paths in a direction orthogonal to the conveyance direction ;
The air blowing means blows air from the oblique conveyance direction to the side surface of the work, and blows air from a direction orthogonal to the conveyance direction to the side surface of the work, and a plurality of propulsion nozzles that impart propulsive force to convey the work. A plurality of control nozzles for controlling the posture of the workpiece,
The plurality of propulsion nozzles and the plurality of control nozzles are arranged in the conveyance direction in a mixed state ,
The pair of divided transport paths extend non-parallel so as to narrow in a “C” shape toward the front in the transport direction,
The separation distance adjusting means adjusts the separation distance of the pair of divided conveyance paths while maintaining the non-parallel state .
前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために前記エアー室にエアーを供給するエアー供給手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のワーク搬送装置。 The work transport path is configured by connecting a plurality of working air plates, each having a perforated plate and an air chamber communicating with the perforated plate, in the transport direction,
4. The work transfer apparatus according to claim 1, further comprising air supply means for supplying air to the air chamber in order to float the work through the perforated plate.
前記エアー供給手段と前記真空吸引手段とを切り替える切替え制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項4に記載のワーク搬送装置。 Vacuum suction means for sucking air from the air chamber in order to suck the workpiece through the perforated plate;
The workpiece transfer apparatus according to claim 4, further comprising a switching control unit that switches between the air supply unit and the vacuum suction unit.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064355A JP4595841B2 (en) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | Work transfer device |
CN2007100855103A CN101033041B (en) | 2006-03-09 | 2007-03-07 | Workpiece conveyor and method of conveying workpiece |
KR1020070023010A KR20070092648A (en) | 2006-03-09 | 2007-03-08 | Workpiece conveyor and method of conveying workpiece |
US11/715,775 US7513716B2 (en) | 2006-03-09 | 2007-03-08 | Workpiece conveyor and method of conveying workpiece |
TW096108242A TWI350268B (en) | 2006-03-09 | 2007-03-09 | Workpiece conveyor and method of conveying workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064355A JP4595841B2 (en) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | Work transfer device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007238288A JP2007238288A (en) | 2007-09-20 |
JP4595841B2 true JP4595841B2 (en) | 2010-12-08 |
Family
ID=38584192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006064355A Expired - Fee Related JP4595841B2 (en) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | Work transfer device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4595841B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010126319A (en) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Ckd Corp | Conveying device for flat plate-like member |
CN109502348A (en) * | 2018-12-21 | 2019-03-22 | 山东新活新材料科技有限公司 | A kind of closure aluminium flake pneumatic conveyor |
CN111268436A (en) * | 2020-01-21 | 2020-06-12 | 宁波金山双鹿电池有限公司 | Pneumatic conveying device for current collectors |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5185489U (en) * | 1974-12-27 | 1976-07-08 | ||
JPH03256922A (en) * | 1990-03-02 | 1991-11-15 | Nitta Ind Corp | Transfer device for lightweight object |
JPH0419521U (en) * | 1990-06-07 | 1992-02-19 | ||
JPH04242519A (en) * | 1990-05-11 | 1992-08-31 | G D Spa | Air pressure feeding unit to manufacturing machine of product |
JPH107246A (en) * | 1996-06-21 | 1998-01-13 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Air conveyer device for light weight vessel |
JPH10157851A (en) * | 1996-12-02 | 1998-06-16 | Ckd Corp | Object-to-be-conveyed conveying method in floatation type conveying device and floatation type conveying device |
JPH11236125A (en) * | 1997-12-16 | 1999-08-31 | Ngk Insulators Ltd | Article conveying device |
JP2000100896A (en) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Rohm Co Ltd | Method and device for carrying wafer |
JP2002308425A (en) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Nano System Kk | Plate article carrying device |
JP2004345744A (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Hitachi Zosen Corp | Pneumatic floating device and pneumatic floating type carrier |
JP2005029276A (en) * | 2003-05-12 | 2005-02-03 | Ishida Co Ltd | Article feeding device |
-
2006
- 2006-03-09 JP JP2006064355A patent/JP4595841B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5185489U (en) * | 1974-12-27 | 1976-07-08 | ||
JPH03256922A (en) * | 1990-03-02 | 1991-11-15 | Nitta Ind Corp | Transfer device for lightweight object |
JPH04242519A (en) * | 1990-05-11 | 1992-08-31 | G D Spa | Air pressure feeding unit to manufacturing machine of product |
JPH0419521U (en) * | 1990-06-07 | 1992-02-19 | ||
JPH107246A (en) * | 1996-06-21 | 1998-01-13 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Air conveyer device for light weight vessel |
JPH10157851A (en) * | 1996-12-02 | 1998-06-16 | Ckd Corp | Object-to-be-conveyed conveying method in floatation type conveying device and floatation type conveying device |
JPH11236125A (en) * | 1997-12-16 | 1999-08-31 | Ngk Insulators Ltd | Article conveying device |
JP2000100896A (en) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Rohm Co Ltd | Method and device for carrying wafer |
JP2002308425A (en) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Nano System Kk | Plate article carrying device |
JP2005029276A (en) * | 2003-05-12 | 2005-02-03 | Ishida Co Ltd | Article feeding device |
JP2004345744A (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Hitachi Zosen Corp | Pneumatic floating device and pneumatic floating type carrier |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007238288A (en) | 2007-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4876640B2 (en) | Work conveying apparatus and work conveying method | |
US7513716B2 (en) | Workpiece conveyor and method of conveying workpiece | |
KR100818003B1 (en) | Air-floating unit, transporting method, and air-floating-type transporting apparatus | |
KR101588440B1 (en) | Swirl flow forming body and non-contact conveying device | |
KR100733729B1 (en) | Substrates Aligning Apparatus | |
JP2004083180A (en) | Transporting method and device for sheet-form base board | |
JP4595841B2 (en) | Work transfer device | |
CN106684014B (en) | Substrate floating and conveying device | |
JP2005001264A (en) | Parting device and parting method | |
KR101081885B1 (en) | Substrate coater apparatus | |
JP6860356B2 (en) | Coating device and coating method | |
JP2006324510A (en) | Gas-levitated carrying apparatus | |
KR20110059121A (en) | Substrate transferring unit and method of transfering substrate using the same | |
JPH08264995A (en) | Suction head | |
JP2007238292A (en) | Work conveying device | |
JP2007238289A (en) | Work conveying device | |
KR20220016671A (en) | Apparatus for dispensing droplet and method for dispensing droplet | |
KR102134272B1 (en) | Floating type Substrate Transferring Apparatus | |
KR20200070191A (en) | Floating type Substrate Transferring Apparatus | |
JP5056611B2 (en) | Substrate processing equipment | |
JP3933123B2 (en) | Air transfer device | |
KR102268617B1 (en) | Apparatus for processing substrate | |
KR102390540B1 (en) | Non-Contact Transfer device for Display panel | |
JP2008273727A (en) | Workpiece conveying device | |
KR101141146B1 (en) | Substrate transfer method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100608 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4595841 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |