JP2002298526A - ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法 - Google Patents

ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法

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JP2002298526A JP2001103204A JP2001103204A JP2002298526A JP 2002298526 A JP2002298526 A JP 2002298526A JP 2001103204 A JP2001103204 A JP 2001103204A JP 2001103204 A JP2001103204 A JP 2001103204A JP 2002298526 A JP2002298526 A JP 2002298526A
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヘッドスライダと充分な強度を持って固着す
ることができ、上下方向の耐衝撃性を大幅に向上するこ
とができ、さらに異なる寸法のヘッドスライダについて
も容易に装着可能なヘッド素子の微小位置決め用アクチ
ュエータ、このアクチュエータを備えたＨＧＡ及びこの
ＨＧＡの製造方法を提供する。 【解決手段】 固着されるヘッドスライダの側面に略平
行な金属板部材で形成されており駆動信号に従って先端
部がこの金属板部材の平面と交差する方向に変位する１
対の可動アーム部と、固着されるヘッドスライダのＡＢ
Ｓと反対側の面に略平行な金属板部材で形成されており
１対の可動アーム部を先端部で互いに連結する連結部と
を備えており、この連結部にヘッドスライダの上述した
反対側の面を固着するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド素
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータ、このアクチュエータを備えたヘッドジン
バルアセンブリ（ＨＧＡ）及びこのＨＧＡの製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペ
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
【０００５】この種のアクチュエータとして、ロードビ
ーム型アクチュエータ、ピギーバック型アクチュエータ
等の種々の構造のものが存在する。
【０００６】ロードビーム型アクチュエータは、サスペ
ンションのロードビーム上に２つのＰＺＴを搭載し、こ
れらＰＺＴを互いに補助し合うように駆動してロードビ
ームを変位させ磁気ヘッドスライダを微小変位させるも
のである。
【０００７】一方、ピギーバック型アクチュエータは、
サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッド
スライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結
するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによりＩ字形状に
一体形成してなるものであり、ＰＺＴを駆動することに
よって磁気ヘッドスライダを直接的に微小変位させる。
このピギーバック型アクチュエータはサスペンション上
にアクチュエータと磁気ヘッドスライダとが階段状に取
り付けられる。
【０００８】上述した従来の微小精密位置決め用アクチ
ュエータは、（１）機械的共振が、比較的低い周波数で
発生する、（２）アクチュエータ全体がもろい材質のＰ
ＺＴ等の圧電部材で構成されているので耐衝撃性が非常
に低い、特にピギーバック型アクチュエータは、磁気ヘ
ッドスライダと階段状に積上げたカンチレバー構造とな
るため、モーメントで衝撃が働き耐衝撃性が著しく低
い、（３）磁気ヘッドスライダの寸法によって、微小位
置決め動作時のストロークが変わってしまい、十分なス
トロークを得られない場合がある、（４）ＨＧＡへの組
み立て時の取り扱いが非常に困難である、（５）特にピ
ギーバック型アクチュエータを用いてＨＧＡを構成する
と、積上げた構造であるため、磁気ヘッドスライダ部分
のＨＧＡの厚みがアクチュエータの分だけ増大する、
（６）ピギーバック型アクチュエータを用いてＨＧＡを
構成する場合、立体的で複雑な取り付け構造を有してい
るため、組み立て時の取り扱いが非常に困難であり、従
来のＨＧＡ組み立て装置を適用できず、生産性が非常に
悪い、（７）ピギーバック型アクチュエータを用いてＨ
ＧＡを構成する場合、アクチュエータの動きを阻害しな
いために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、
並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置
いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設ける
ことは、耐衝撃性をさらに悪化させるのみならず、組み
立てにあたって間隙を一定としなければならないので、
組み立て精度が低下する。特に、サスペンション、アク
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの平行度が正確に保
つことが難しいので、ヘッド特性が悪化する、等の種々
の問題点を有している。
【０００９】このような問題点を解消するため、本願発
明者は、金属板による１対の可動アーム間に磁気ヘッド
スライダを挟設固定するように構成したアクチュエータ
を提案している（特願２０００−３３２２５５）。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このア
クチュエータは、可動アームで磁気ヘッドスライダの側
面を挟み込むようにして固定する構造を有しているた
め、（Ａ）磁気ヘッドスライダと充分な強度で固着する
ことが難しい、（Ｂ）その上下方向の衝撃、即ち磁気デ
ィスクの面と交差する方向の衝撃に対して耐衝撃性が著
しく低い、（Ｃ）磁気ヘッドスライダの幅（その側面間
の距離）が異なるものは使用できない、という問題点を
有している。
【００１１】従って本発明の目的は、ヘッドスライダと
充分な強度を持って固着することができるヘッド素子の
微小位置決め用アクチュエータ、このアクチュエータを
備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡの製造方法を提供すること
にある。
【００１２】本発明の他の目的は、上下方向の耐衝撃性
を大幅に向上することができるヘッド素子の微小位置決
め用アクチュエータ、このアクチュエータを備えたＨＧ
Ａ及びこのＨＧＡの製造方法を提供することにある。
【００１３】本発明のさらに他の目的は、異なる寸法の
ヘッドスライダについても容易に装着可能なヘッド素子
の微小位置決め用アクチュエータ、このアクチュエータ
を備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡの製造方法を提供するこ
とにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと支持機
構とに固着されることによりヘッド素子の微小位置決め
を行うためのアクチュエータであって、固着されるヘッ
ドスライダの側面に略平行な金属板部材で形成されてお
り駆動信号に従って先端部がこの金属板部材の平面と交
差する方向に変位する１対の可動アーム部と、固着され
るヘッドスライダの浮上面（ＡＢＳ）と反対側の面に略
平行な金属板部材で形成されており１対の可動アーム部
を先端部で互いに連結する連結部とを備えており、この
連結部にヘッドスライダの上述した反対側の面を固着す
るように構成したヘッド素子の微小位置決め用アクチュ
エータが提供される。さらに本発明によれば、このアク
チュエータと、アクチュエータの連結部に部分的に固着
されたヘッドスライダと、アクチュエータの基部に固着
された支持機構とを備えたＨＧＡが提供される。
【００１５】１対の可動アーム部を先端部で互いに連結
する連結部が設けられており、この連結部にヘッドスラ
イダを固着するように構成されているため、ヘッドスラ
イダを充分な強度を持って固着することができ、しか
も、上下方向の耐衝撃性を大幅に向上することができ
る。さらに、異なる寸法のヘッドスライダについても容
易に装着することが可能となる。
【００１６】もちろん、可動アーム部が主に金属板部材
で形成されているため、アクチュエータ全体の軽量化を
図ることができ、その結果、機械的振動周波数を高める
ことができる。また、強度があり軽量である金属板部材
を基材として用いることにより、特に衝撃に弱い可動ア
ーム部の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。し
かも、強度の高い金属板部材を用いることから、ＨＧＡ
への組み立て時の取り扱いが非常に容易になる。さら
に、金属板部材を用いれば、その形状や寸法等で設計上
の自由度が向上するので、充分なストロークを確保する
ことが可能となる。しかも、高精度に加工できる金属板
部材を用いることによって、アクチュエータ自体の寸法
精度を大幅に高めることが可能となる。
【００１７】また、駆動信号に従って金属板部材の平面
と交差する方向に変位する１対の可動アーム部間の連結
部にヘッドスライダを固着するように構成しているた
め、アクチュエータを設けてもこの部分でＨＧＡの厚み
（Ｚ−ｈｅｉｇｈｔ）が増大するような不都合が生じな
い。このため、アクチュエータ装着によるディスク装置
の寸法変更等は不要となる。また、可動アーム部間にヘ
ッドスライダを設ける構造としているため、変位を実際
に与える可動アーム部の先端部がヘッドスライダの先端
まで伸ばせることとなる。このため、ヘッドスライダの
寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさ
のストロークを提供できるから必要十分なストロークを
得ることができる。
【００１８】ヘッドスライダのアクチュエータの連結部
への固着が部分的固着であるため、雰囲気温度変化によ
って接着剤に変形が生じたとしても、ヘッドスライダの
ＡＢＳの形状変化（クラウン、キャンバーの発生）を防
止することができる。
【００１９】連結部に平行な金属板部材で形成されてお
り支持機構に固着するように構成された基部を備えてお
り、１対の可動アーム部がこの基部から前方に伸長して
いることが好ましい。可動アーム部及び連結部のみなら
ず、基部も金属板部材で形成することにより、さらなる
軽量化及び耐衝撃性向上が図れることのみならず、アク
チュエータ自体の寸法精度を大幅に高めることが可能と
なる。
【００２０】１対の可動アーム部が基部から後方へも一
部伸長していることが好ましい。
【００２１】１対の可動アーム部、連結部及び基部が、
１枚の金属板部材を折り曲げてなるコの字形状又はＵ字
形状の断面構造を有していることも好ましい。１枚の金
属板部材からの折り曲げ加工により、アクチュエータの
主部が形成されているため、製造が容易でありかつ強度
が高いアクチュエータが得られる。
【００２２】基部が、帯板形状を有しているか、又は帯
板形状から前方へ突出する突出部を備えた形状を有して
いることが好ましい。
【００２３】連結部が、帯板形状を有しているか、又は
帯板形状から前方へ突出する突出部を備えた形状を有し
ていることが好ましい。
【００２４】連結部の突出部が、衝撃印加時にフレクシ
ャの先端部が上下方向に過剰に動くことを防止するリミ
ッタの一部として働く横方向への突起を備えていること
も好ましい。
【００２５】１対の可動アーム部の各々が、金属板部材
によるアーム部材と、アーム部材の面上に積層又は接着
された圧電素子とを備えていることも好ましい。この場
合、圧電素子が、圧電材料層及び電極層の多層構造又は
単層構造であるかもしれない。多層構造とすれば、低い
駆動電圧で充分な変位量を得ることができるのみなら
ず、水平方向の耐衝撃性が増大する。
【００２６】金属板部材が、ステンレス鋼板であること
が好ましい。
【００２７】ヘッド素子の信号用トレースが１対の可動
アーム部の面上に形成されていることも好ましい。ヘッ
ド素子信号用トレース（ヘッド素子信号用のリード導
体）を可動アーム部上に設けることにより、ヘッド素子
及びアクチュエータへの全ての配線を同一プロセスで形
成される導体パターンで構成できるから、配線が簡素化
しかつ製造コストが低減する。しかも、可動アーム部上
に信号用トレースが設けられるので、このヘッド素子信
号用トレースの平面が可動アーム部の変位方向と交差す
ることとなり、アクチュエータの変位を妨げる抵抗が小
さくなるのみならず、トレースのリード導体は不自然に
折り曲げられることがないからダメージを受けない。
【００２８】ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であるこ
とが好ましい。
【００２９】ＨＧＡとしては、アクチュエータの連結部
とヘッドスライダとが、接着剤、特に導電性接着剤によ
って固着されていることが好ましい。導電性接着剤を用
いて固着すれば、ヘッドスライダのボディーをアクチュ
エータを介して接地することができる。さらに、アクチ
ュエータと支持機構とが、接着剤によって固着されてい
ることが好ましい。
【００３０】本発明によれば、またさらに、少なくとも
１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、ヘッドス
ライダの側面に略平行な金属板部材で形成されており駆
動信号に従って先端部がこの金属板部材の平面と交差す
る方向に変位する１対の可動アーム部、ヘッドスライダ
のＡＢＳと反対側の面に略平行な金属板部材で形成され
ており１対の可動アーム部を先端部で互いに連結する連
結部、連結部に平行な金属板部材で形成されており１対
の可動アーム部が前方に伸長している基部を備えた微小
位置決め用のアクチュエータとを用意し、このアクチュ
エータの連結部にヘッドスライダの上述の反対側の面を
固着し、ヘッドスライダを取り付けたアクチュエータの
基部を支持機構に固着するＨＧＡの製造方法が提供され
る。
【００３１】まず最初に、アクチュエータの連結部にヘ
ッドスライダを固着する。次いで、このヘッドスライダ
とアクチュエータとの複合体を支持機構に固着する。ア
クチュエータの可動アーム部間の連結部にヘッドスライ
ダを固着するようにしているので、ヘッドスライダとア
クチュエータとの組み立てが平面板上で作業できるか
ら、位置決めが容易であり高精度の組み立てが可能とな
る。しかも、接着剤として、速効性に劣るが非常に硬化
特性の良好な熱硬化型接着剤を使用できるため、高品質
のヘッドスライダとアクチュエータとの複合体を得るこ
とができる。さらに、この複合体をＨＧＡ組み立て装置
に適用してサスペンションに実装できるため、生産性が
非常に良好となり、製造コストの低減化が可能となる。
基部及びこの基部から前方に伸長した１対の可動アーム
部が金属板部材で形成されているため、アクチュエータ
の強度が高くなるから、ＨＧＡへの組み立て時の取り扱
いが非常に容易になる。さらに、前述したように、ヘッ
ドスライダを充分な強度を持って固着することができ、
しかも、上下方向の耐衝撃性を大幅に向上することがで
きる。さらに、異なる寸法のヘッドスライダについても
容易に装着することが可能となる。
【００３２】さらに、本発明によれば、少なくとも１つ
のヘッド素子を有するヘッドスライダと、ヘッドスライ
ダの側面に略平行な金属板部材で形成されており駆動信
号に従って先端部がこの金属板部材の平面と交差する方
向に変位する１対の可動アーム部、ヘッドスライダのＡ
ＢＳと反対側の面に略平行な金属板部材で形成されてお
り１対の可動アーム部を先端部で互いに連結する連結
部、連結部に平行な金属板部材で形成されており１対の
可動アーム部が前方に伸長している基部を備えた微小位
置決め用のアクチュエータとを用意し、アクチュエータ
の基部を支持機構に固着した後、アクチュエータの連結
部にヘッドスライダの上述の反対側の面を固着するＨＧ
Ａの製造方法が提供される。
【００３３】基部及びこの基部から前方に伸長した１対
の可動アーム部が金属板部材で形成されているため、ア
クチュエータの強度が高くなるから、ＨＧＡへの組み立
て時の取り扱いが非常に容易になる。さらに、前述した
ように、ヘッドスライダを充分な強度を持って固着する
ことができ、しかも、上下方向の耐衝撃性を大幅に向上
することができる。さらに、異なる寸法のヘッドスライ
ダについても容易に装着することが可能となる。
【００３４】アクチュエータにヘッドスライダを固着す
る際に、アクチュエータの基部とヘッドスライダとの間
にスペーサを一時的に挿入してギャップ調整を行うこと
が好ましい。このような方法によれば、必要とされるギ
ャップを非常に容易に作成することができる。
【００３５】１対の可動アーム部、連結部及び基部が、
１枚の金属板部材を折り曲げて形成されることも好まし
い。１枚の金属板部材からの折り曲げ加工により、アク
チュエータの主部が形成されているため、製造が容易で
ありかつ強度が高いアクチュエータが得られる。
【００３６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態とし
て、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視
図であり、図２はＨＧＡ全体を表す斜視図であり、図３
は本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大した斜視図
である。
【００３７】図１において、１０は軸１１の回りを回転
する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダを
トラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ
装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置
１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１
４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばボイ
スコイルモータ（ＶＣＭ）からなる主アクチュエータ１
５とから主として構成されている。
【００３８】キャリッジ１４には、軸１３の方向にスタ
ックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられ
ており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固
着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられ
ている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表
面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設
けられている。
【００３９】図２及び図３に示すように、ＨＧＡは、サ
スペンション２０の先端部に、精密位置決めを行うため
のアクチュエータ２２を固着して構成される。このアク
チュエータ２２には、磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッ
ドスライダ２１のＡＢＳとは反対側の面が固着されてい
る。
【００４０】図１に示す主アクチュエータ１５はＨＧＡ
１７を取り付けた駆動アーム１６を変位させてアセンブ
リ全体を動かすために設けられており、アクチュエータ
２２はそのような主アクチュエータ１５では駆動できな
い微細な変位を可能にするために設けられている。
【００４１】サスペンション２０は、図２及び図３に示
すように、第１及び第２のロードビーム２３及び２４
と、これら第１及び第２のロードビーム２３及び２４を
互いに連結する弾性を有するヒンジ２５と、第２のロー
ドビーム２４及びヒンジ２５上に固着支持された弾性を
有するフレクシャ２６と、第１のロードビーム２３の取
り付け部２３ａに設けられた円形のベースプレート２７
とから主として構成されている。
【００４２】フレクシャ２６は、第２のロードビーム２
４に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される適
切なスティフネスを有する舌部２６ａ（図７）を一方の
端部に有しており、この舌部２６ａ上には、ポリイミド
等による絶縁層を介して又は直接的に、アクチュエータ
２２の基部２２ａ（４０）が固着されている。フレクシ
ャ２６は、この舌部２６ａでアクチュエータ２２を介し
て磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支えるような弾性を
持っている。フレクシャ２６は、本実施形態では、厚さ
約２０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４Ｔ
Ａ）によって構成されている。なお、フレクシャ２６と
第２のロードビーム２４及びヒンジ２５との固着は、複
数の溶接点によるピンポイント固着によってなされてい
る。
【００４３】ヒンジ２５は、第２のロードビーム２４に
アクチュエータ２２を介してスライダ２１を磁気ディス
ク方向に押えつける力を与えるための弾性を有してい
る。このヒンジ２５は、本実施形態では、厚さ約４０μ
ｍのステンレス鋼板によって構成されている。
【００４４】第１のロードビーム２３は、本実施形態で
は、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されてお
り、ヒンジ２５をその全面に渡って支持している。ただ
し、ロードビーム２３とヒンジ２５との固着は、複数の
溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
また、第２のロードビーム２４も、本実施形態では、約
１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒン
ジ２５にその端部において固着されている。ただし、ロ
ードビーム２４とヒンジ２５との固着も、複数の溶接点
によるピンポイント固着によってなされている。なお、
この第２のロードビーム２４の先端には、非動作時にＨ
ＧＡを磁気ディスク表面から離しておくためのリフトタ
ブ２４ａが設けられている。
【００４５】ベースプレート２７は、本実施形態では、
約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されてお
り、第１のロードビーム２３の基部の取り付け部２３ａ
に溶接によって固着されている。このベースプレート２
７が駆動アーム１６（図１）に取り付けられる。
【００４６】フレクシャ２６上には、積層薄膜パターン
による複数のリード導体を含む可撓性の第１及び第２の
トレース２８ａ及び２８ｂが形成又は載置されている。
第１及び第２のトレース２８ａ及び２８ｂは、フレクシ
ブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃ
ｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント
基板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成
されている。この第１及び第２のトレース２８ａ及び２
８ｂは、例えば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材
料による第１の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約
４μｍのＣｕ層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポ
リイミド等の樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの
順序でフレクシャ２６側から順次積層することによって
形成される。ただし、磁気ヘッド素子、アクチュエータ
及び外部回路と接続するための接続パッドの部分は、Ｃ
ｕ層上にＡｕ層が積層形成されており、その上に絶縁性
材料層は形成されていない。
【００４７】本実施形態においてこの第１及び第２のト
レース２８ａ及び２８ｂは、磁気ヘッド素子に接続され
る片側２本、両側で計４本のリード導体を含む第１のト
レース２８ａと、アクチュエータ２２に接続される片側
１本、両側で計２本のリード導体を含む第２のトレース
２８ｂとから構成されている。
【００４８】第１のトレース２８ａのリード導体の一端
は、フレクシャ２６の先端部において、このフレクシャ
２６から切り離されており自由運動できる分離部２６ｃ
上に設けられた磁気ヘッド素子用接続パッド２９ａ〜２
９ｄに接続されている。接続パッド２９ａ〜２９ｄは、
磁気ヘッドスライダ２１の端子電極２１ａ〜２１ｄに金
ボールボンディング、ワイヤボンディング又はステッチ
ボンディング等によりそれぞれ接続されている。第１の
トレース２８ａのリード導体の他端は外部回路と接続す
るための外部回路用接続パッド３０ａ〜３０ｇのうちの
４つの接続パッドに接続されている。なお、この第１の
トレース２８ａのこの部分の裏面には、金属薄板が存在
しない。これは、磁気ヘッドスライダ２１の動きに対す
る抵抗を弱め、その変位を容易にするためである。
【００４９】第２のトレース２８ｂのリード導体の一端
は、フレクシャ２６の舌部２６ａの絶縁層上に形成され
たアクチュエータ用接続パッド３１ａ及び３１ｂ（図
７）に接続されており、この接続パッド３１ａ及び３１
ｂはアクチュエータ２２の可動アーム部４２及び４３に
設けられたＢチャネル信号端子電極４２ｃ及びＡチャネ
ル信号端子電極４３ｃにそれぞれ接続されている。第２
のトレース２８ｂのリード導体の他端は外部回路と接続
するための外部回路用接続パッド３０ａ〜３０ｇのうち
の２つの接続パッドに接続されている。なお、本実施形
態において、第２のトレース２８ｂにはグランド用のリ
ード導体は存在せず、グランド接続パッド３１ｃ及び３
１ｄはフレクシャ２６の舌部２６ａに直接的に接続さ
れ、第２のロードビーム２４、ヒンジ２５、第１のロー
ドビーム２３及びベースプレート２７を介して駆動アー
ム１６へ接地されている。一方、グランド接続パッド３
２ａ及び３２ｂはフレクシャ２６の分離部２６ｃに直接
的に接続されている。グランド接続パッド３１ｃ及び３
１ｄとグランド接続パッド３２ａ及び３２ｂとは、アク
チュエータの金属板部材を介して互いに電気的に接続さ
れている。
【００５０】本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着して
もよい。
【００５１】図４は本実施形態におけるアクチュエータ
の構造を示す斜視図であり、図５はその側面図であり、
図６はこのアクチュエータの圧電素子部分の構造を示す
断面図であり、図７は本実施形態におけるフレクシャ側
のトレース部分を模式的に表した平面図であり、図８は
本実施形態におけるアクチュエータ側のトレース部分を
模式的に表した平面図である。
【００５２】なお、図４及び図５は図２及び図３におけ
るアクチュエータを裏返した状態で示しており、その基
部の上側の面がサスペンションに固着される側の面とな
る。図７は模式的に表しているため、フレクシャの形状
は他の図のものと多少異なっている。また、図８はアク
チュエータを折り曲げる前の平板の状態を示しており、
実際のアクチュエータは同図の破線８０及び８１の部分
を図にて山折りにして形成される。
【００５３】図４、図５及び図８に示すように、本実施
形態におけるアクチュエータ２２の主要部（フレーム）
は、１枚の金属板部材を梯子形状に切り抜いたものを立
体的に折り曲げて形成されている。即ち、梯子形状に切
り出した個々のアクチュエータ部材を、図にて上側の面
がサスペンションへの固着面となる帯板形状の基部４０
及び図にて下側の面が磁気ヘッドスライダが固着される
帯板形状の連結部４１の両側端より内側の部分で略垂直
に折り曲げ、基部４０及び連結部４１に対して略垂直を
保った状態で１対の可動アーム部４２及び４３が互いに
平行に前後に伸長するように形成している。連結部４１
の両側端より内側の部分で折り曲げられているため、可
動アーム部４２及び４３の各々はストリップ形状を有す
る平板状態に形成されている。可動アーム部が低い駆動
力で大きく変位するためには、可動アーム部全体がこの
ように平板状態に形成されていることが非常に重要であ
る。
【００５４】ただし、基部４０は可動アーム部４２及び
４３の後端の少し手前の部分でこれら可動アーム部４２
及び４３間を連結しており、連結部４１は可動アーム部
４２及び４３の先端の少し手前の部分でこれら可動アー
ム部４２及び４３間を連結している。可動アーム部４２
及び４３は磁気ヘッドスライダ２１の側面に平行となる
ように形成されており、基部４０及び連結部４１は磁気
ヘッドスライダ２１のＡＢＳとは反対側の面に平行とな
るように形成されている。
【００５５】可動アーム部４２及び４３は、アーム部材
４２ａ及び４３ａ（図８）と、アーム部材４２ａ及び４
３ａの外側の側面にそれぞれ形成された圧電素子４２ｂ
及び４３ｂ（図８）と、圧電素子４２ｂ及び４３ｂの信
号端子電極４２ｃ及び４３ｃ（図８）並びにグランド電
極４２ｄ、４２ｅ、４３ｄ及び４３ｅ（図８）とから構
成されている。グランド電極４２ｄ、４２ｅ、４３ｄ及
び４３ｅはアクチュエータの金属板部材に直接的に接続
されている。なお、本実施形態では、圧電素子、信号端
子電極及びグランド電極がアーム部材外側の側面に形成
されているが、これらをアーム部材の内側の側面に形成
しても良い。内側に形成した方が治具によってアクチュ
エータを把持する際にその掴む領域が広くなるため好都
合である。
【００５６】基部４０、連結部４１並びに１対のアーム
部材４２ａ及び４３ａは、弾性を有する１枚の金属板、
例えばステンレス鋼板、を折り曲げて一体的に形成され
ている。金属板部材としては、ステンレス鋼板等の合金
鋼ばねの他に、炭素鋼ばねや、銅チタン板、リン青銅板
又はベリリウム銅板等の銅合金ばねや、チタン板等、弾
性を有する板ばね部材が用いられる。なお、圧電素子を
印刷及び焼成によって形成する場合には、耐熱性の高い
板部材を用いることが望ましい。
【００５７】各圧電素子は、図６に示すように、逆圧電
効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料層６０
と信号電極層６１とグランド電極層６２とが交互に積層
された多層構造となっている。信号電極層６１はＢチャ
ネル信号端子電極４２ｃ又はＡチャネル信号端子電極４
３ｃに接続されており、グランド電極層６２はグランド
端子４２ｄ及び４２ｅ又はグランド端子４３ｄ及び４３
ｅに接続されている。
【００５８】圧電・電歪材料層６０がＰＺＴ等のいわゆ
る圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上の
ための分極処理が施されている。この分極処理による分
極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を
印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、
両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧
電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）す
る。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電
・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、
その面内方向では伸長（圧電横効果）する。
【００５９】各圧電素子に、収縮又は伸長を生じさせる
電圧を印加すると、各圧電素子部分がその都度収縮又は
伸長し、これによって可動アーム部４２及び４３の各々
は、Ｓ字状に撓みその先端部が横方向に直線的に揺動す
る。その結果、磁気ヘッドスライダ２１も同様に横方向
に直線的に揺動する。このように、角揺動ではなく、直
線揺動であるため、磁気ヘッド素子のより精度の高い位
置決めが可能となる。
【００６０】両圧電素子に、互いに逆の変位が生じるよ
うな電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素
子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収
縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電
圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の
揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。
この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、
電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、こ
の場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させること
になり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。
このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行
う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれが
ある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電
圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を
重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の
向きが分極の向きと逆になることがないようにする。こ
の場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位
置を中央とするものとなる。
【００６１】なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果ま
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００６２】圧電素子の各々を圧電・電歪材料層と信号
電極層とグランド電極層との単層構造とすることも可能
である。
【００６３】アクチュエータの連結部４１には、磁気ヘ
ッドスライダ２１のＡＢＳとは反対側の面が例えば樹脂
系の接着剤により接着される。連結部４１に磁気ヘッド
スライダ２１を固着するように構成されているため、磁
気ヘッドスライダ２１を充分な強度を持って接着固定す
ることができ、しかも、上下方向の耐衝撃性を大幅に向
上することができる。さらに、異なる幅を有する磁気ヘ
ッドスライダについても容易に装着することが可能とな
る。
【００６４】磁気ヘッドスライダ２１の連結部４１への
固着が部分的固着であるため、雰囲気温度変化によって
接着剤に変形が生じたとしても、磁気ヘッドスライダ２
１のＡＢＳの形状変化（クラウン、キャンバーの発生）
を防止することができる。さらにまた、磁気ヘッドスラ
イダ２１の側面にも接着剤が回り込むようにすれば、接
着強度をより高めることができる。接着剤として導電性
接着剤を用いれば、磁気ヘッドスライダ２１のボディー
をアクチュエータを介して容易に接地することができ
る。
【００６５】アクチュエータの基部４０は、接着剤によ
ってフレクシャ２６の舌部２６ａに接着固定されてい
る。
【００６６】基部４０及び連結部４１に設けられた貫通
孔４０ａ及び４１ａは、接着剤としてＵＶ（紫外線）硬
化樹脂系の接着剤を用いた場合に、これら貫通孔を介し
て接着剤にＵＶ光を直接照射し硬化させるのに利用され
る。また、これら貫通孔４０ａ及び４１ａは、２つの孔
の中心を結ぶことで座標が決定できるので位置決めにも
利用可能である。
【００６７】アクチュエータ２２の高さは、アクチュエ
ータ実装によりＨＧＡの高さ（厚さ）を増大させないよ
うに、磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設定されてい
る。逆にいえば、アクチュエータ２２の高さを磁気ヘッ
ドスライダの厚さまで大きくすることによって、ＨＧＡ
の厚さを増大させることなくアクチュエータ自体の強度
を上げることができる。
【００６８】本実施形態におけるアクチュエータ２２
は、基部４０、連結部４１並びに可動アーム部４２及び
４３の主要部が金属板部材で形成されているため、アク
チュエータ全体の軽量化を図ることができ、その結果、
機械的振動周波数を高めることができる。また、強度が
あり軽量である金属板部材を基材として用いることによ
り、特に衝撃に弱い可動アーム部４２及び４３の耐衝撃
性を大幅に向上させることができる。
【００６９】しかも、強度の高い金属板部材を用いるこ
とから、ＨＧＡへの組み立て時の取り扱いが非常に容易
になる。さらに、金属板部材を用いれば、その形状や寸
法等で設計上の自由度が向上するので、充分なストロー
クを確保することが可能となる。また、アクチュエータ
形状や寸法等の設計上の自由度が増すことによって、ア
クチュエータ２２の中心位置に磁気ヘッドスライダ２１
の中心及び荷重点（ディンプル位置）を合わせることが
可能となり、その結果、磁気ヘッドスライダ２１の浮上
特性が著しく安定化する。さらにまた、高精度に加工で
きる金属板を用いることによって、アクチュエータ２２
自体の寸法精度を大幅に高めることが可能となる。
【００７０】加えて、可動アーム部４２及び４３間に磁
気ヘッドスライダ２１を設けているため、アクチュエー
タ２２を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しな
い。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク
装置の寸法変更等は不要となる。
【００７１】しかも、可動アーム部４２及び４３間に磁
気ヘッドスライダ２１を設ける構造としているため、変
位を実際に与える可動アーム部４２及び４３の先端部が
磁気ヘッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとな
る。このため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った
場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストローク
を提供できるから必要十分なストロークを得ることがで
きる。
【００７２】図９〜図１１は、本実施形態におけるアク
チュエータの製造工程の一部を説明する平面図である。
【００７３】まず、ステンレス鋼板等の弾性を有する金
属板部材９０上に多数のアクチュエータ用の区画をマト
リクス状に設定し、各区画に圧電素子９１と、これら圧
電素子９１に電気的に接続されたリード導体９２ａ及び
端子電極９２ｂからなる導体パターンとをスパッタリン
グ及びフォトリソグラフィによって形成する。即ち、Ｐ
ＺＴを全面にスパッタリングした後、フォトリソグラフ
ィ技術によりこれをパターニングし、次いで、スパッタ
リングにより全面に導体層を形成した後、フォトリソグ
ラフィ技術によりこれをパターニングしてリード導体９
２ａ及び端子電極９２ｂからなる導体パターンを形成
し、以後これらの工程を繰り返して多層構造を得る。リ
ード導体９２ａ及び端子電極９２ｂからなる導体パター
ンは、ポリイミド等の樹脂材料による絶縁性材料層上
に、例えばＣｕ層等で形成される。ただし、端子電極９
２ｂの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成される。
【００７４】圧電素子９１の形成方法として、スパッタ
リング等の薄膜技術でＰＺＴ層を形成する他に、微粒子
を高速で衝突させる成膜法（ガスデポジション法）によ
りＰＺＴ層を金属板部材９０上に形成しても良い。この
ガスデポジション法は、比較的表面活性が低い機械的粉
砕法等で作成されたＰＺＴの微粒子を金属板部材上に高
速で堆積させるものであり、微粒子ビームの高速衝突に
よる機械的衝撃に基づいた付着、堆積現象を利用したも
のである（明渡 純、「超微粒子ビームによる成膜法と
微細加工への展開」、応用物理第６８巻第１号（１９９
９年）、ｐｐ．４４〜４７）。この成膜法によれば、Ｐ
ＺＴの厚膜を金属板上に低温で形成することが可能であ
る。
【００７５】圧電素子９１と、これら圧電素子９１に電
気的に接続されたリード導体９２ａ及び端子電極９２ｂ
からなる導体パターンとを印刷を繰り返して多層化し、
最後に焼結して形成してもよい。また、圧電素子９１を
別個に形成しておき、これを金属板部材９０上の導体パ
ターンと接続される位置に接着するようにしてもよい。
【００７６】次いで、図１０に示すように、アクチュエ
ータ用の各区画部分に切り出し用の溝９３をエッチング
等によって形成し、切断することにより、図１１に示す
ような梯子状平面形状を有する個々のアクチュエータ部
材９４を得る。
【００７７】このアクチュエータ部材９４の破線９５の
部分を折り曲げ加工することによって、図４に示すよう
な立体構造のアクチュエータ２２を得る。
【００７８】エッチングの代わりに、プレス加工で個々
のアクチュエータ部材９４を切り出すようにしてもよ
い。この場合、折り曲げ加工も同時に行える。
【００７９】また、個々のアクチュエータ部材を切り出
す前に折り曲げ加工を行ってもよい。
【００８０】さらにまた、圧電素子９１を別個に形成し
ておき、これを切り出した個々のアクチュエータ部材９
４又は折り曲げ加工後のアクチュエータ部材９４の導体
パターンと接続される位置に接着するようにしてもよ
い。
【００８１】このアクチュエータを用いてＨＧＡを組み
立てるには、まず、磁気ヘッドスライダ２１のＡＢＳと
反対側の面の一部に例えば熱硬化性のエポキシ樹脂系接
着剤又はＵＶ樹脂系接着剤等の接着剤を塗布する。この
磁気ヘッドスライダ２１上に接着剤を塗布した部分が連
結部４１に当接するようにアクチュエータ２２をかぶ
せ、押圧した状態で接着剤を硬化させる。これにより、
磁気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２との複合
体が形成される。
【００８２】このような、磁気ヘッドスライダ２１とア
クチュエータ２２との組み立てはを平面板上で作業する
ことができる。そのため、位置決めが容易であり高精度
の組み立てが可能となる。
【００８３】次いで、図３に示すように、このような磁
気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２との複合体
を、サスペンション２０のフレクシャ２６上に固着す
る。より具体的には、フレクシャ２６の舌部２６ａにお
ける絶縁層上とフレクシャ２６の分離部２６ｃ上に接着
剤を塗布しておき、複合体のアクチュエータ２２の基部
２２ａ（４０）を絶縁層上に、複合体の磁気ヘッドスラ
イダ２１の先端部を分離部２６ｃ上にそれぞれ接着固定
する。磁気ヘッドスライダ２１の先端部と分離部２６ｃ
との固着には、導電性の接着剤を用いることが好まし
い。
【００８４】なお、本実施形態ではアクチュエータ２２
が金属板部材から構成されているので、接着剤を用いる
ことなく、複合体のアクチュエータ２２の基部２２ａ
（４０）をフレクシャ２６の舌部２６ａにレーザー溶接
等で直接的に固着してもよい。
【００８５】次いで、アクチュエータ用接続パッド３１
ａ及び３１ｂとアクチュエータ２２のＢチャネル信号端
子電極４２ｃ及びＡチャネル信号端子電極４３ｃとを、
はんだ又は銀含有エポキシ樹脂によって電気的に接続す
る。はんだを用いて接続を行えば、複合体とサスペンシ
ョンとの接続強度が増大する。
【００８６】その後、磁気ヘッド素子用接続パッド２９
ａ〜２９ｄと磁気ヘッドスライダ２１の端子電極２１ａ
〜２１ｄとを例えば金ボールボンディングにより電気的
に接続する。
【００８７】複合体とサスペンションとの上述した接着
又はレーザー溶接による固着及び電気的接続は、この複
合体が単純な形状であるため、ＨＧＡ組み立て装置を用
いて実施可能である。このように、ＨＧＡ組み立て装置
を使用して実装できるので、生産性が非常に良好とな
り、製造コストの低減化が可能となる。
【００８８】なお、本発明においては、アクチュエータ
を支持機構に固着した後、アクチュエータの可動アーム
部間に少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスラ
イダを挟設してヘッドスライダの取り付けを行ってもよ
い。
【００８９】図１２は図１の実施形態の変更態様におけ
るフレクシャ側のトレース部分を模式的に表した平面図
であり、図１３及び図１４はこの変更態様におけるアク
チュエータ側の配線シートの構成例をそれぞれ模式的に
表した平面図であり、図１５は図１４の構成例における
アクチュエータの斜視図であり、図１７はその側面図で
ある。なお、図１３の例と図１４の例とでは、配線シー
トの構成が多少異なるのみであり、その他の構成は同じ
である。
【００９０】この変更態様は、アクチュエータ２２に接
続される第２のトレースがフレクシャ２６の舌部２６ａ
まで一体的に延びておらず、フレクシャ２６の途中でア
クチュエータ２２側に形成されたリード導体を含む配線
部材に中継されている場合である。なお、この変更態様
において、図１の実施形態と同様の構成要素については
同じ参照番号を用いている。
【００９１】図１２に示すように、第１のトレース１２
０ａの構成は、図１の実施形態の第１のトレース２８ａ
と全く同様である。第２のトレースは、一端がフレクシ
ャ２６の舌部２６ａの手前に形成されたアクチュエータ
用接続パッド１２１ａ及び１２１ｂに接続された２本の
リード導体を含む第１のセクション１２２ａと、アクチ
ュエータ２２側に形成された第２のセクション１２２ｂ
とから構成されている。第２のトレースの第１のセクシ
ョン１２２ａにはグランド用のリード導体は存在せず、
グランド接続パッド１２１ｃはフレクシャ２６に直接的
に接続され、第２のロードビーム２４、ヒンジ２５、第
１のロードビーム２３及びベースプレート２７を介して
駆動アーム１６へ接地されている。
【００９２】図１３及び図１４に示すように、アクチュ
エータ２２側には、アクチュエータ用接続パッド１２１
ａ及び１２１ｂ並びにグランド接続パッド１２１ｃに接
続される３本のリード導体を含むシート状の配線部材
（配線シート）からなる第２のトレースの第２のセクシ
ョン１２２ｂが設けられている。この配線シート１２２
ｂは、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第
１の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣ
ｕ層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等
の樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序で順次
積層することによって形成される。配線シート１２２ｂ
のリード導体の一端には信号用接続パッド１２３ａ及び
１２３ｂ並びにグランド用接続パッド１２３ｃが設けら
れており、これらは第１のセクション１２２ａの接続パ
ッド１２１ａ及び１２１ｂ並びにグランド接続パッド１
２１ｃにそれぞれ接続される。配線シート１２２ｂのリ
ード導体の他端は、アクチュエータ２２の可動アーム部
４２及び４３に設けられたＢチャネル信号端子電極４２
ｃ及びＡチャネル信号端子電極４３ｃ並びにグランド端
子電極４２ｄ及び４３ｄにそれぞれ接続されている。
【００９３】この配線シート１２２ｂは、アクチュエー
タの主要部を構成する金属板部材を折り曲げる前にその
板部材上に形成されている。金属板部材を折り曲げる際
に、この配線シート１２２ｂも自然に曲がる。可動アー
ム部４２及び４３が基部４０から後方へも一部伸長させ
その伸長部の側面に配線シート１２２ｂ及び端子電極を
設けることにより、アクチュエータを折り曲げて成形す
る際にこの配線シート１２２ｂのリード導体が受ける応
力を低減させることができ、その結果、配線シート１２
２ｂがダメージを受けることを防止することができる。
【００９４】以上述べた変更態様におけるその他の構
成、作用効果及び変更例は前述した図１の実施形態の場
合とほぼ同様である。
【００９５】図１７は図１の実施形態の他の変更態様に
おけるフレクシャ側のトレース部分を模式的に表した平
面図であり、図１８はこの変更態様におけるアクチュエ
ータ側の配線シートの構成例を模式的に表した平面図で
ある。なお、図１８において、（Ａ）はフレクシャに固
着される側の面（表面）、（Ｂ）は磁気ヘッドスライダ
が固着される側の面（裏面）をそれぞれ示している。
【００９６】この変更態様は、第１のトレース１７０ａ
の一部がアクチュエータの裏面に配線シートを貼り付け
て構成されており、第２のトレース１７０ｂの一部がア
クチュエータの表面に形成されている場合である。な
お、この変更態様において、図１の実施形態と同様の構
成要素については同じ参照番号を用いている。
【００９７】図１７に示されているように、フレクシャ
２６上には配線があらかじめ形成されていない。
【００９８】図１８（Ｂ）に示すように、アクチュエー
タの裏面には、フレクシャ２６から切り離されており自
由運動できる分離部２６ｃ上に設けられた磁気ヘッド素
子用接続パッド２９ａ〜２９ｄに一端が接続された片側
２本、両側で計４本のリード導体を含む第１のトレース
１７０ａが配線シートとして固着されている。この配線
シート１７０ａは、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂
材料による第１の絶縁性材料層、パターン化された厚さ
約４μｍのＣｕ層（リード導体層）及び厚さ約５μｍの
ポリイミド等の樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこ
の順序で順次積層することによって形成される。
【００９９】一方、図１８（Ａ）に示すように、アクチ
ュエータの表面には、第２のトレースの第２のセクショ
ン１７２ｂが形成されている。この第２のセクション１
７２ｂは、アクチュエータ用接続パッド１７３ａ及び１
７３ｂ並びにグランド接続パッド１７３ｃに一端が接続
された３本のリード導体を含む配線部材としてアクチュ
エータ上に積層形成されている。この第２のセクション
１７２ｂのリード導体の他端は、アクチュエータ２２の
可動アーム部４２及び４３に設けられたＢチャネル信号
端子電極４２ｃ及びＡチャネル信号端子電極４３ｃ並び
にグランド端子電極４２ｄ及び４３ｄにそれぞれ接続さ
れている。
【０１００】配線シート１７０ａの途中には、アクチュ
エータ用接続パッド１７３ａ及び１７３ｂ並びにグラン
ド接続パッド１７３ｃにそれぞれ接続された中継用接続
パッド１７１ａ、１７１ｂ及び１７１ｃが設けられてお
り、この中継用接続パッド１７１ａ、１７１ｂ及び１７
１ｃに第２のトレースの第１のセクション１７２ａの３
本のリード導体の一端が接続されている。
【０１０１】この変更態様によれば、第１のトレース１
７０ａが可動アーム部４２及び４３上に形成されている
ので、ヘッド素子及びアクチュエータへの全ての配線を
同一プロセスで形成される導体パターンで構成できるか
ら、配線が簡素化しかつ製造コストが低減する。しか
も、可動アーム部４２及び４３上に第１のトレース１７
０ａが貼り付けられるので、このトレースの平面が可動
アーム部の変位方向と交差することとなり、アクチュエ
ータの変位を妨げる抵抗が小さくなるのみならず、トレ
ースのリード導体は不自然に折り曲げられることがない
からダメージを受けない。
【０１０２】以上述べた変更態様におけるその他の構
成、作用効果及び変更例は前述した図１の実施形態の場
合とほぼ同様である。
【０１０３】図１９は本発明の他の実施形態におけるア
クチュエータの構造を示す斜視図であり、図２０はその
側面図であり、図２１は本実施形態におけるアクチュエ
ータの斜視図であり、図２２はその側面図である。
【０１０４】なお、図１９〜図２１は、図２及び図３に
おけるアクチュエータを裏返した状態で示しており、そ
の基部の上側の面がサスペンションに固着される側の面
となる。
【０１０５】図１９〜図２２に示すように、本実施形態
においては、アクチュエータ２２の基部４０が前方へ突
出する矩形状の突出部４０ｂを有する帯板形状を有して
いる。
【０１０６】このような突出部４０ｂを設けることによ
り、フレクシャ２６の舌部２６ａとの接着面積が広がる
ため、接着強度を大幅に向上させることができる。
【０１０７】本実施形態におけるその他の構成、作用効
果及び変更態様等は前述した図１の実施形態の場合とほ
ぼ同様である。従って、図１の実施形態及びその変更態
様と同様の構成要素については同じ参照番号を用いてい
る。
【０１０８】なお、本実施形態のように突出部４０ｂを
設けると、この突出部４０ｂと磁気ヘッドスライダ２１
のＡＢＳとは反対側の面とが接触する可能性があるた
め、両者間にギャップを設ける必要がある。図２３及び
図２４は、このようなギャップ調整を効果的に行うため
の方法を示している。図２３（Ａ）及び図２４（Ａ）に
示すような薄いポリイミドの薄いシート２３０を用意す
る。このシート２３０の膜厚は、所望のギャップ間隔に
対応する例えば２０〜３０μｍ程度に選ばれる。一方、
磁気ヘッドスライダ２１の連結部４１への固着部にはＵ
Ｖ樹脂系接着剤２３１を塗布しておく。次いで、図２３
（Ｂ）及び図２４（Ｂ）に示すように、アクチュエータ
２２の突出部４０ｂと磁気ヘッドスライダ２１との間に
シート２３０を挟んだ状態でアクチュエータ２２を磁気
ヘッドスライダ２１にかぶせ、押圧してＵＶ光を照射す
ることにより、ＵＶ樹脂系接着剤２３１が硬化する。そ
の後、図２３（Ｃ）及び図２４（Ｃ）に示すように、シ
ート２３０を抜き去ることにより、所望のギャップを保
った状態でアクチュエータ２２と磁気ヘッドスライダ２
１との固着が完了する。
【０１０９】図２５は本発明のさらに他の実施形態にお
けるアクチュエータの構造を示す斜視図であり、図２６
はその側面図であり、図２７は本実施形態におけるフレ
クシャ側のトレース部分を模式的に表した平面図であ
り、図２８は本実施形態におけるアクチュエータ側のト
レース部分を模式的に表した平面図である。
【０１１０】なお、図２５及び図２６は、図２及び図３
におけるアクチュエータを裏返した状態で示しており、
その基部の上側の面がサスペンションに固着される側の
面となる。また、図２８において、（Ａ）はフレクシャ
に固着される側の面（表面）、（Ｂ）は磁気ヘッドスラ
イダが固着される側の面（裏面）をそれぞれ示してい
る。
【０１１１】図２５及び図２６に示すように、本実施形
態においては、アクチュエータ２２の連結部４１が前方
へ突出する矩形状の突出部４１ｂ及び横方向への突起４
１ｃを有する帯板形状を有している。
【０１１２】突出部４１ｂ上には、磁気ヘッド素子用接
続パッド２９ａ〜２９ｄが形成されており、このように
構成することにより、磁気ヘッド素子用接続パッド２９
ａ〜２９ｄとトレースとの接続をＧＢＢ（金ボールボン
ディング）によって行った場合にも、印加される力を充
分に支えることができる。ＧＢＢ以外に、ＳＢＢ（ソル
ダーボールボンディング）で接続を行っても良いことは
明らかである。
【０１１３】横方向に突起４１ｃは、衝撃印加時にフレ
クシャ２６の先端部が上下方向に過剰に動くことを防止
するリミッタの一部として利用される。
【０１１４】本実施形態においては、図２７に示されて
いるように、フレクシャ２６上には配線があらかじめ形
成されていない。一方、図２８（Ｂ）に示すように、ア
クチュエータの裏面には、その突出部４１ｂ上に設けら
れた磁気ヘッド素子用接続パッド２９ａ〜２９ｄに一端
が接続された片側２本、両側で計４本のリード導体を含
む第１のトレース１７０ａが配線シートとして固着され
ている。この配線シート１７０ａは、厚さ約５μｍのポ
リイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、パタ
ーン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体層）及
び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第２の
絶縁性材料層をこの順序で順次積層することによって形
成される。
【０１１５】また、図２８（Ａ）に示すように、アクチ
ュエータの表面には、第２のトレースの第２のセクショ
ン１７２ｂが形成されている。この第２のセクション１
７２ｂは、アクチュエータ用接続パッド１７３ａ及び１
７３ｂ並びにグランド接続パッド１７３ｃに一端が接続
された３本のリード導体を含む配線部材としてアクチュ
エータ上に積層形成されている。この第２のセクション
１７２ｂのリード導体の他端は、アクチュエータ２２の
可動アーム部４２及び４３に設けられたＢチャネル信号
端子電極４２ｃ及びＡチャネル信号端子電極４３ｃ並び
にグランド端子電極４２ｄ及び４３ｄにそれぞれ接続さ
れている。
【０１１６】配線シート１７０ａの途中には、アクチュ
エータ用接続パッド１７３ａ及び１７３ｂ並びにグラン
ド接続パッド１７３ｃにそれぞれ接続された中継用接続
パッド１７１ａ、１７１ｂ及び１７１ｃが設けられてお
り、この中継用接続パッド１７１ａ、１７１ｂ及び１７
１ｃに第２のトレースの第１のセクション１７２ａの３
本のリード導体の一端が接続されている。
【０１１７】この変更態様によれば、第１のトレース１
７０ａが可動アーム部４２及び４３上に形成されている
ので、ヘッド素子及びアクチュエータへの全ての配線を
同一プロセスで形成される導体パターンで構成できるか
ら、配線が簡素化しかつ製造コストが低減する。しか
も、可動アーム部４２及び４３上に第１のトレース１７
０ａが貼り付けられるので、このトレースの平面が可動
アーム部の変位方向と交差することとなり、アクチュエ
ータの変位を妨げる抵抗が小さくなるのみならず、トレ
ースのリード導体は不自然に折り曲げられることがない
からダメージを受けない。
【０１１８】本実施形態におけるその他の構成、作用効
果及び変更態様等は前述した図１の実施形態の場合とほ
ぼ同様である。従って、図１の実施形態及びその変更態
様と同様の構成要素については同じ参照番号を用いてい
る。
【０１１９】図２９は図２５の実施形態の変更態様にお
けるアクチュエータの斜視図であり、図３０はこのアク
チュエータを異なる方向から見た斜視図であり、図３１
はその側面図である。
【０１２０】なお、図２９及び図３０は、図２及び図３
におけるアクチュエータを裏返した状態で示しており、
その基部の上側の面がサスペンションに固着される側の
面となる。
【０１２１】この変更態様は、第１のトレース１７０ａ
及び第２のトレースの第２のセクション１７２ｂが１枚
の配線シート２９０としてアクチュエータの裏面に固着
されている場合である。この変更態様において、図２５
の実施形態と同様の構成要素については同じ参照番号を
用いている。
【０１２２】配線シート２９０は、厚さ約５μｍのポリ
イミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、パター
ン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体層）及び
厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第２の絶
縁性材料層をこの順序で順次積層することによって形成
される。
【０１２３】配線シート２９０上に形成された第２のト
レースの第２のセクション１７２ｂのリード導体の他端
は、その先端で折り曲げられてアクチュエータ２２の可
動アーム部４２及び４３に設けられたＢチャネル信号端
子電極４２ｃ及びＡチャネル信号端子電極４３ｃ並びに
グランド端子電極４２ｄ、４３ｄ、４２ｅ及び４３ｅに
それぞれ接続されている。
【０１２４】この配線シート２９０は、アクチュエータ
の主要部を構成する金属板部材を折り曲げる前にその板
部材上に形成されている。金属板部材を折り曲げる際
に、この配線シート２９０も不要な応力を受けることな
く自然に曲がる。
【０１２５】この変更態様によれば、１枚の配線シート
２９０でヘッド素子及びアクチュエータへの全ての配線
を同一プロセスで形成される導体パターンで構成できる
から、配線が簡素化しかつ製造コストが低減する。しか
も、可動アーム部４２及び４３上に第１のトレース１７
０ａが貼り付けられるので、このトレースの平面が可動
アーム部の変位方向と交差することとなり、アクチュエ
ータの変位を妨げる抵抗が小さくなるのみならず、トレ
ースのリード導体は不自然に折り曲げられることがない
からダメージを受けない。
【０１２６】以上述べた変更態様におけるその他の構
成、作用効果及び変更例は前述した図２５の実施形態の
場合とほぼ同様である。
【０１２７】図３２は本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータの構造を示す斜視図であり、図
３３はその側面図である。
【０１２８】なお、図３２は、図２及び図３におけるア
クチュエータを裏返した状態で示しており、その基部の
上側の面がサスペンションに固着される側の面となる。
【０１２９】図３２及び図３３に示すように、本実施形
態で、図２５の実施形態のアクチュエータにおいて図１
９の実施形態のように、アクチュエータ２２の基部４０
を前方へ突出する矩形状の突出部４０ｂを有する帯板形
状としている。
【０１３０】このような突出部４０ｂを設けることによ
り、フレクシャ２６の舌部２６ａとの接着面積が広がる
ため、接着強度を大幅に向上させることができることは
図１９の実施形態において述べた通りである。
【０１３１】本実施形態におけるその他の構成、作用効
果及び変更態様等は前述した図１９及び図２５の実施形
態の場合とほぼ同様である。従って、図１９及び図２５
の実施形態及びその変更態様と同様の構成要素について
は同じ参照番号を用いている。
【０１３２】以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧ
Ａを用いて本発明を説明したが、本発明は、このような
アクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁
気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子
の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエー
タを備えたＨＧＡにも適用可能である。
【０１３３】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【０１３４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、１対の可動アーム部を先端部で互いに連結する連結
部が設けられており、この連結部にヘッドスライダを固
着するように構成されているため、ヘッドスライダを充
分な強度を持って固着することができ、しかも、上下方
向の耐衝撃性を大幅に向上することができる。さらに、
異なる寸法のヘッドスライダについても容易に装着する
ことが可能となる。
【０１３５】もちろん、可動アーム部が主に金属板部材
で形成されているため、アクチュエータ全体の軽量化を
図ることができ、その結果、機械的振動周波数を高める
ことができる。また、強度があり軽量である金属板部材
を基材として用いることにより、特に衝撃に弱い可動ア
ーム部の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。し
かも、強度の高い金属板部材を用いることから、ＨＧＡ
への組み立て時の取り扱いが非常に容易になる。さら
に、金属板部材を用いれば、その形状や寸法等で設計上
の自由度が向上するので、充分なストロークを確保する
ことが可能となる。しかも、高精度に加工できる金属板
部材を用いることによって、アクチュエータ自体の寸法
精度を大幅に高めることが可能となる。
【０１３６】また、駆動信号に従って金属板部材の平面
と交差する方向に変位する１対の可動アーム部間の連結
部にヘッドスライダを固着するように構成しているた
め、アクチュエータを設けてもこの部分でＨＧＡの厚み
（Ｚ−ｈｅｉｇｈｔ）が増大するような不都合が生じな
い。このため、アクチュエータ装着によるディスク装置
の寸法変更等は不要となる。また、可動アーム部間にヘ
ッドスライダを設ける構造としているため、変位を実際
に与える可動アーム部の先端部がヘッドスライダの先端
まで伸ばせることとなる。このため、ヘッドスライダの
寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさ
のストロークを提供できるから必要十分なストロークを
得ることができる。
【０１３７】ヘッドスライダのアクチュエータの連結部
への固着が部分的固着であるため、雰囲気温度変化によ
って接着剤に変形が生じたとしても、ヘッドスライダの
ＡＢＳの形状変化（クラウン、キャンバーの発生）を防
止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置
の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を表す斜視
図である。
【図３】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大
した斜視図である。
【図４】図１の実施形態におけるアクチュエータの構造
を示す斜視図である。
【図５】図４の側面図である。
【図６】図４及び図５のアクチュエータの圧電素子部分
の構造を示す断面図である。
【図７】図１の実施形態におけるフレクシャ側のトレー
ス部分を模式的に表した平面図である。
【図８】図１の実施形態におけるアクチュエータ側のト
レース部分を模式的に表した平面図である。
【図９】図１の実施形態におけるアクチュエータの製造
工程の一部を説明する平面図である。
【図１０】図１の実施形態におけるアクチュエータの製
造工程の一部を説明する平面図である。
【図１１】図１の実施形態におけるアクチュエータの製
造工程の一部を説明する平面図である。
【図１２】図１の実施形態の変更態様におけるフレクシ
ャ側のトレース部分を模式的に表した平面図である。
【図１３】図１２の変更態様におけるアクチュエータ側
の配線シートの構成例を模式的に表した平面図である。
【図１４】図１２の変更態様におけるアクチュエータ側
の配線シートの構成例を模式的に表した平面図である。
【図１５】図１４の構成例におけるアクチュエータの斜
視図である。
【図１６】図１５の側面図である。
【図１７】図１の実施形態の変更態様におけるフレクシ
ャ側のトレース部分を模式的に表した平面図である。
【図１８】図１７の変更態様におけるアクチュエータ側
の配線シートの構成例を模式的に表した平面図である。
【図１９】本発明の他の実施形態におけるアクチュエー
タの構造を示す斜視図である。
【図２０】図１９の側面図である。
【図２１】図１９の実施形態におけるアクチュエータの
斜視図である。
【図２２】図２１の側面図である。
【図２３】ギャップ調整を効果的に行うための方法を示
す図である。
【図２４】ギャップ調整を効果的に行うための方法を示
す図である。
【図２５】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチ
ュエータの構造を示す斜視図である。
【図２６】図２５の側面図である。
【図２７】図２５の実施形態におけるフレクシャ側のト
レース部分を模式的に表した平面図である。
【図２８】図２５の実施形態におけるアクチュエータ側
のトレース部分を模式的に表した平面図である。
【図２９】図２５の実施形態の変更態様におけるアクチ
ュエータの斜視図である。
【図３０】図２９のアクチュエータを図２９とは異なる
方向から見た斜視図であり、
【図３１】図２９の側面図である。
【図３２】本発明のまたさらに他の実施形態におけるア
クチュエータの構造を示す斜視図である。
【図３３】図３２の側面図である。
【符号の説明】
１０ 磁気ディスク １１、１３ 軸 １２ アセンブリキャリッジ装置 １４ キャリッジ １５ 主アクチュエータ １６ 駆動アーム １７ ＨＧＡ ２０ サスペンション ２１ 磁気ヘッドスライダ ２１ａ〜２１ｄ 端子電極 ２２ アクチュエータ ２２ａ、４０ 基部 ２３ 第１のロードビーム ２３ａ 取り付け部 ２４ 第２のロードビーム ２４ａ リフトタブ ２５ ヒンジ ２６ フレクシャ ２６ａ 舌部 ２６ｃ 分離部 ２７ ベースプレート ２８ａ、１２０ａ、１７０ａ 第１のトレース ２８ｂ、１７０ｂ 第２のトレース ２９ａ〜２９ｄ 磁気ヘッド素子用接続パッド ３０ａ〜３０ｇ 外部回路用接続パッド ３１ａ、３１ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１７３ａ、１７
３ｂ アクチュエータ用接続パッド ３１ｃ、３１ｄ、３２ａ、３２ｂ、１２１ｃ、１２３
ｃ、１７３ｃ グランド接続パッド ４１ 連結部 ４２、４３ 可動アーム部 ４２ａ、４３ａ アーム部材 ４２ｂ、４３ｂ 圧電素子 ４２ｃ、４３ｃ 信号端子電極 ４２ｄ、４２ｅ、４３ｄ、４３ｅ グランド電極 ６０ 圧電・電歪材料層 ６１ 信号電極層 ６２ グランド電極層 ９０ 金属板部材 ９１ 圧電素子 ９２ａ リード導体 ９２ｂ 端子電極 ９３ 切り出し用の溝 ９４ アクチュエータ部材 １２２ａ 第２のトレースの第１のセクション １２２ｂ、１７２ｂ 第２のトレースの第２のセクショ
ン １２３ａ、１２３ｂ 信号用接続パッド １７１ａ、１７１ｂ、１７１ｃ 中継用接続パッド ２３０ シート ２３１ ＵＶ樹脂系接着剤 ２９０ 配線シート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D042 MA15 5D059 AA01 BA01 CA03 DA01 DA19 DA26 EA02 5D096 NN03 NN07

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つのヘッド素子を有するヘ
    ッドスライダと支持機構とに固着されることにより前記
    ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータ
    であって、固着される前記ヘッドスライダの側面に略平
    行な金属板部材で形成されており駆動信号に従って先端
    部が該金属板部材の平面と交差する方向に変位する１対
    の可動アーム部と、固着される前記ヘッドスライダの浮
    上面と反対側の面に略平行な金属板部材で形成されてお
    り前記１対の可動アーム部を先端部で互いに連結する連
    結部とを備えており、該連結部に前記ヘッドスライダの
    前記反対側の面を固着するように構成したことを特徴と
    するヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 前記連結部に平行な金属板部材で形成さ
    れており前記支持機構に固着するように構成された基部
    を備えており、前記１対の可動アーム部が該基部から前
    方に伸長していることを特徴とする請求項１に記載のア
    クチュエータ。
  3. 【請求項３】 前記１対の可動アーム部が該基部から後
    方へも一部伸長していることを特徴とする請求項２に記
    載のアクチュエータ。
  4. 【請求項４】 前記１対の可動アーム部、前記連結部及
    び前記基部が、１枚の金属板部材を折り曲げてなるコの
    字形状又はＵ字形状の断面構造を有していることを特徴
    とする請求項２又は３に記載のアクチュエータ。
  5. 【請求項５】 前記基部が、帯板形状を有していること
    を特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載のア
    クチュエータ。
  6. 【請求項６】 前記基部が、帯板形状から前方へ突出す
    る突出部を備えた形状を有していることを特徴とする請
    求項２から４のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
  7. 【請求項７】 前記連結部が、帯板形状を有しているこ
    とを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の
    アクチュエータ。
  8. 【請求項８】 前記連結部が、帯板形状から前方へ突出
    する突出部を備えた形状を有していることを特徴とする
    請求項１から６のいずれか１項に記載のアクチュエー
    タ。
  9. 【請求項９】 前記連結部の前記突出部が、衝撃印加時
    に前記フレクシャの先端部が上下方向に過剰に動くこと
    を防止するリミッタの一部として働く横方向への突起を
    備えていることを特徴とする請求項８に記載のアクチュ
    エータ。
  10. 【請求項１０】 前記１対の可動アーム部の各々が、金
    属板部材によるアーム部材と、該アーム部材の面上に積
    層又は接着された圧電素子とを備えていることを特徴と
    する請求項１から９のいずれか１項に記載のアクチュエ
    ータ。
  11. 【請求項１１】 前記圧電素子が、圧電材料層及び電極
    層の多層構造であることを特徴とする請求項１０に記載
    のアクチュエータ。
  12. 【請求項１２】 前記圧電素子が、圧電材料層及び電極
    層の単層構造であることを特徴とする請求項１０に記載
    のアクチュエータ。
  13. 【請求項１３】 前記金属板部材が、ステンレス鋼板で
    あることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項
    に記載のアクチュエータ。
  14. 【請求項１４】 前記ヘッド素子の信号用トレースが前
    記１対の可動アーム部の面上に形成されていることを特
    徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載のアク
    チュエータ。
  15. 【請求項１５】 前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子
    であることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１
    項に記載のアクチュエータ。
  16. 【請求項１６】 請求項１から１５のいずれか１項に記
    載の微小位置決め用アクチュエータと、該アクチュエー
    タの前記連結部に部分的に固着された前記ヘッドスライ
    ダと、前記アクチュエータの前記基部に固着された前記
    支持機構とを備えたことを特徴とするヘッドジンバルア
    センブリ。
  17. 【請求項１７】 前記アクチュエータの前記連結部と前
    記ヘッドスライダとが、接着剤によって固着されている
    ことを特徴とする請求項１６に記載のヘッドジンバルア
    センブリ。
  18. 【請求項１８】 前記アクチュエータの前記連結部と前
    記ヘッドスライダとが、導電性接着剤によって固着され
    ていることを特徴とする請求項１６に記載のヘッドジン
    バルアセンブリ。
  19. 【請求項１９】 前記アクチュエータと前記支持機構と
    が、接着剤によって固着されていることを特徴とする請
    求項１６から１８のいずれか１項に記載のヘッドジンバ
    ルアセンブリ。
  20. 【請求項２０】 少なくとも１つのヘッド素子を有する
    ヘッドスライダと、該ヘッドスライダの側面に略平行な
    金属板部材で形成されており駆動信号に従って先端部が
    該金属板部材の平面と交差する方向に変位する１対の可
    動アーム部、前記ヘッドスライダの浮上面と反対側の面
    に略平行な金属板部材で形成されており前記１対の可動
    アーム部を先端部で互いに連結する連結部、該連結部に
    平行な金属板部材で形成されており前記１対の可動アー
    ム部が前方に伸長している基部を備えた微小位置決め用
    のアクチュエータとを用意し、該アクチュエータの前記
    連結部に前記ヘッドスライダの前記反対側の面を固着
    し、該ヘッドスライダを取り付けた前記アクチュエータ
    の前記基部を支持機構に固着することを特徴とするヘッ
    ドジンバルアセンブリの製造方法。
  21. 【請求項２１】 少なくとも１つのヘッド素子を有する
    ヘッドスライダと、該ヘッドスライダの側面に略平行な
    金属板部材で形成されており駆動信号に従って先端部が
    該金属板部材の平面と交差する方向に変位する１対の可
    動アーム部、前記ヘッドスライダの浮上面と反対側の面
    に略平行な金属板部材で形成されており前記１対の可動
    アーム部を先端部で互いに連結する連結部、該連結部に
    平行な金属板部材で形成されており前記１対の可動アー
    ム部が前方に伸長している基部を備えた微小位置決め用
    のアクチュエータとを用意し、該アクチュエータの前記
    基部を支持機構に固着した後、該アクチュエータの前記
    連結部に前記ヘッドスライダの前記反対側の面を固着す
    ることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの製造方
    法。
  22. 【請求項２２】 前記アクチュエータに前記ヘッドスラ
    イダを固着する際に、該アクチュエータの前記基部と該
    ヘッドスライダとの間にスペーサを一時的に挿入してギ
    ャップ調整を行うことを特徴とする請求項２０又は２１
    に記載の製造方法。
  23. 【請求項２３】 前記１対の可動アーム部、前記連結部
    及び前記基部が、１枚の金属板部材を折り曲げて形成さ
    れることを特徴とする請求項２０から２２のいずれか１
    項に記載の製造方法。
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