CN1828727A - 微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元 - Google Patents

微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元 Download PDF

Info

Publication number
CN1828727A
CN1828727A CNA2005100520365A CN200510052036A CN1828727A CN 1828727 A CN1828727 A CN 1828727A CN A2005100520365 A CNA2005100520365 A CN A2005100520365A CN 200510052036 A CN200510052036 A CN 200510052036A CN 1828727 A CN1828727 A CN 1828727A
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic head
microdrive
links
piezoelectric element
pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005100520365A
Other languages
English (en)
Inventor
朱立彦
姚明高
白石一雅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SAE Magnetics HK Ltd
Original Assignee
SAE Magnetics HK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SAE Magnetics HK Ltd filed Critical SAE Magnetics HK Ltd
Priority to CNA2005100520365A priority Critical patent/CN1828727A/zh
Priority to US11/080,657 priority patent/US7554773B2/en
Priority to JP2006051603A priority patent/JP2006244691A/ja
Publication of CN1828727A publication Critical patent/CN1828727A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4853—Constructional details of the electrical connection between head and arm

Landscapes

  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

本发明一种磁头折片组合(HGA)，包括磁头；用于调整磁头位置的微驱动器；以及用于支撑所述磁头和微驱动器的悬臂件(suspension)；其中所述微驱动器包括两个侧臂；一个至少与一个侧臂相连用于支撑磁头的负载板；一个与所述两侧臂相连的压电元件；以及一个与悬臂件相连的基轴，此基轴与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。本发明亦公开了使用上述磁头折片组合的磁盘驱动单元。

Description

微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
技术领域
本发明涉及磁盘驱动单元，尤指一种可旋转微驱动器，以及包含所述可旋转微驱动器的磁头折片组合(head gimbal assembly、HGA)。
背景技术
磁盘驱动器为一种使用磁介质储存数据的信息存储装置。参考图1a，现有典型的磁盘驱动器(Disk Drive)包括一个磁盘及一个用于驱动磁头折片组合277(Head Gimbal Assembly，HGA)的驱动臂(磁头折片组合277设有一个装有磁头203的悬臂件(未标示))。其中，磁盘装在一个用以驱动磁盘旋转的主轴马达上，驱动臂上提供一个音圈马达(Voice-Coil Motor，VCM)用于控制磁头203在磁盘表面上从一个磁轨移动到下一个磁轨，进而从磁盘中读取或写入数据。
然而，由于自身巨大的惯性(inertia)，音圈马达(VCM)具有有限的带宽。这样，磁头203不能获得快速而精确的位置控制，因而影响磁头203从磁盘中读取或写入数据。
为了解决上述问题，压电微驱动器(piezoelectric(PZT)micro-actuator)被用于调整磁头203的位移(displacement)。亦即，压电微驱动器以一个较小的幅度调整磁头203的位移，加之它是具有比音圈马达(VCM)更高振动频率的元件。这样，可使磁轨宽度变得更小，从而可以增加50％的TPI值(‘tracks perinch’value)。同时缩短了磁头寻轨和定位时间。使磁盘表面记录密度和驱动性能得到改善。
参考图1b，传统的压电微驱动器205设有一个U形的陶瓷框架297。该U形陶瓷框架297包括两个陶瓷臂207，其中每个陶瓷臂207在其一侧设有一个用于激发的压电片(未图示)。参考图1a及1b，压电微驱动器205与悬臂件213物理相连，其中，在每个陶瓷臂207一侧，有三个电连接球209(金球焊接(gold ballbonding，GBB)或锡球焊接(solder bump bonding，SBB))将微驱动器205连接到磁头折片组合的电缆210上。此外，还有四个电连接球208(GBB或SBB)用于实现连接磁头203与悬臂件213以实现读/写传感器之间的电连接。图1c则展示了将磁头203***微驱动器205的详细过程。其中，磁头203通过环氧胶点212在陶瓷框架297开口处与两个陶瓷臂207上的两点相粘结。磁头203和框架297共同形成一个矩形中空结构。陶瓷框架297的底部和悬臂件上的悬臂舌片相连(图1c未示出)。磁头203和陶瓷臂207不直接和悬臂件相连，从而可相对悬臂件自由移动。
当激发电压通过悬臂件电缆210被施加时，陶瓷臂207上的压电片将膨胀或者收缩，从而导致陶瓷臂207共同以横向弯曲。该弯曲产生对框架297的剪切变形力。其长方形形状变成接近于平行四边形。因为磁头203连接在平行四边形的运动侧，所以其进行横向平动。这样，一个良好的磁头位置调整(headposition adjustment)就可以实现。
然而，磁头203的平动产生一个横向的惯性力，从而引起与摇动悬臂件基板具有相同共振效果的悬臂件振动共振。这将影响磁头折片组合的动态性能并限制磁盘驱动器的伺服***带宽以及容量的提高。如图2所示，标号201代表摇动悬臂件基板时的共振曲线，标号202代表激发微驱动器205时的共振曲线。在20K的频率下，悬臂件频率响应有几个大的峰值和谷底，显示一个较差的共振性能。该图清楚地展示了上述问题。
因此，提供一种微驱动器、磁头折片组合和磁盘驱动单元以解决上述问题实为必要。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种磁头折片组合，可以实现良好的磁头位置调整，并且具有良好的共振性能。
本发明的另一目的在于提供一种具有简单结构及良好磁头位置调整性能的微驱动器。
本发明的再一目的在于提供一种磁盘驱动单元，其具有较宽伺服***带宽和较大行程(stroke)。
为达到上述目的，根据本发明一个实施例，一种磁头折片组合(head gimbalassembly)，包括：磁头；用于调整磁头位置的微驱动器；以及用于支撑所述磁头和微驱动器的悬臂件(suspension)；其中所述微驱动器包括：两个侧臂；一个用于支撑磁头的负载板，其与至少一个侧臂相连；一个与所述两侧臂相连的压电元件；以及一个与悬臂件相连的基轴，其与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。
在本发明一个实施例中，所述负载板包括：与磁头相连的支撑板和与支撑板相连的两连接板。其中两连接板分别与两侧臂相连。所述支撑板包括两个支撑部和连接该两支撑部的连接部。所述两连接板以支撑板重心的对称位置进行连接。所述连接板具有比支撑板更柔韧(flexible)的部分。该更柔韧(flexible)的部分可藉由窄的宽度、薄的厚度或者形状而获得。在一个实施例中，所述基轴邻近其端部具有至少一个较窄部。
根据本发明一个实施例，所述基轴与侧臂是一体成型的。所述磁头部分固定于负载板上，例如其和负载板的两个支撑部相连。在另一个实施例中，只有基轴通过例如激光焊接等方式被固定于所述悬臂件上。所述两侧臂相互平行。所述负载板以磁头空气支承面(ABS)的相对面的中心的对称位置进行连接。所以在悬臂件与负载板之间以及悬臂件与压电元件之间形成两条间隙。此外，在压电元件上设有复数电极触点以和悬臂件电性相连。
本发明一种微驱动器，包括两个侧臂；与至少一个侧臂相连的负载板；与所述两侧臂相连的压电元件；以及与悬臂件相连的基轴，其与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。在本发明中，所述压电元件为陶瓷或薄膜压电元件。所述压电元件包括具有单层或多层结构的压电层。在另一个实施例中，所述压电元件进一步包括和压电层相连的基底层。
本发明一种磁盘驱动单元，包括磁头折片组合；与所述磁头折片组合相连接的驱动臂；磁盘；及用以旋转所述磁盘的主轴马达。其中所述磁头折片组合包括磁头；调整磁头位置的微驱动器；以及支撑磁头和微驱动器的悬臂件。其中，所述微驱动器包括两个侧臂；用于支撑磁头的负载板，其与至少一个侧臂相连；与所述两侧臂相连的压电元件；以及与悬臂件相连的基轴，其与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。
与现有技术相比，本发明微驱动器仅仅利用一个压电元件来调整磁头位置，所以可降低制造成本并简化制造工艺。此外，本发明微驱动器两侧臂可以相反方向旋转。这样，磁头进行纯粹的旋转。通过保持磁头的重心不变，只需微小能量就可进性微驱动因为读/写传感器位于磁头顶端，这样，无需增加微激发能量就可得更大的磁头位置调整能力。此外，本发明微驱动器仅仅产生小的转动，而无惯性力作用于悬臂件上，所以使由于微激发而产生的悬臂件共振减小。这将增大伺服***带宽并提高磁盘驱动器存储容量。
为使本发明更加容易理解，下面将结合附图进一步阐述本发明不同的具体
实施例。
附图说明
图1a为现有磁头折片组合(HGA)的立体图；
图1b为图1a的放大局部视图；
图1c展示了将磁头***图1a中磁头折片组合(HGA)的微驱动器中的详细过程；
图2展示了图1a中磁头折片组合的共振曲线(resonance curve)；
图3为本发明磁头折片组合(HGA)第一实施例的立体图；
图4a和4b为图3中磁头折片组合不同视角的放大局部立体图；
图5为图4a的的分解图；
图6为图3中磁头折片组合在微驱动器区域的局部侧视图；
图7为图3中磁头折片组合的微驱动器的立体分解图；
图7A为图7的放大顶视图；
图8展示了施加于图7中微驱动器压电元件的电压波形图；
图9-11展示了图3中磁头折片组合的微驱动器的工作原理；
图12-13为图3中磁头折片组合的共振曲线图；
图14为本发明微驱动器第二实施例的立体分解图；
图15为图14的装配图；
图16和图17为本发明微驱动器两个实施例的立体分解图；
图18为本发明压电元件另一个实施例的立体图；
图19为图18的放大顶视图；
图20为本发明磁盘驱动单元一个实施例的立体图。
具体实施方式
参考图3，本发明一种磁头折片组合3包括磁头31、微驱动器32及用于承载所述磁头31及微驱动器32的悬臂件8。
再参考图3，所述悬臂件8包括负载杆17、挠性件13、枢接件15以及基板11。挠性件13一端设有复数和控制***(未图示)相连的连接触点308，另一端设有复数电缆309、311。参考图4a、4b和5，所述挠性件13亦包括一个悬臂舌片(suspension tongue)328，所述悬臂舌片328用于支撑微驱动器32和磁头31。参考图6，所述负载杆17上设有一个小突起329用于支撑悬臂舌片328。
参考图4b和图5，在负载杆17上形成有一个限位装置207，该限位装置207穿过悬臂舌片328用以防止悬臂舌片328在正常工作或受到震动或撞击时不会过度弯曲。这样使得磁头折片组合3能够获得良好的抗震性能。在本发明中，悬臂舌片328上设有复数电极触点113、330。其中，所述电极触点113与电缆309相连接，而电极触点330与电缆311相连接。对应于悬臂舌片328的活动板114上的电极触点113，所述磁头31一端还设有复数电极触点204。
在本发明中，参考图5和图7，所述微驱动器32包括两侧臂322、323，用于支撑磁头31的负载板325，与两侧臂322、323相连接的一个压电元件321以及支撑轴324。在一个较佳实施例中，支撑轴324由弹性材料制成。
在本发明中，所述负载板325亦与侧臂322、323相连接，所述支撑轴324与侧臂322、323相连接，并置于负载板325和压电元件321之间。参考图9，一个空隙603形成于支撑轴324和负载板325之间，另一个空隙604形成于支撑轴324和压电元件321之间。参考图6，支撑轴324通过传统的媒介380如环氧胶或胶粘剂等、藉由其中部部分连接于悬臂舌片328上，从而在微驱动器32和悬臂舌片328之间形成两条间隙503、504，所述间隙503、504位于所述传统媒介380的两侧。在本发明中，因为间隙503、504的存在使得磁头31和压电元件321悬在悬臂舌片328上，从而可防止悬臂件8在微驱动器32受激发时产生额外的振动。
在本发明的第一实施例中，如图5和图7所示，负载板325包括与磁头31相连接的支撑板345和两个由支撑板345延伸出的连接板401、402，其中，所述连接板401、402分别与侧臂322、323相连接。在一个较佳实施例中，两连接板401、402是以支撑板345重心的对称位置进行连接的。由于这种连接方式，当连接板401、402受压或受拉时，支撑板345将发生旋转。为了方便支撑板345旋转，在一个实施例中，所述连接板401、402的宽度较支撑板345的宽度小。在另一个实施例中，所述支撑板345包括两个支撑部403、404和一个连接部405，所述连接部405与两支撑部403、404相连接。所述连接部405的宽度较支撑部403、404的宽度小，或者具有较薄的厚度或形状。显而易见，支撑板345不限于该种结构，任何一种适合的结构均可用于支撑板345并获得相同的功效。
参考图5和图7，在本发明微驱动器32的一个实施例中，所述负载板325和侧臂322、323一体成型，支撑轴324通过传统的方式，如焊接或粘接与侧臂322、323相连接。在本发明的一个较佳实施例中，所述侧臂322与侧臂323相互平行，所述支撑轴324与侧臂322、323相互垂直。在本发明中，所述压电元件321的两端通过环氧胶点59与两侧臂322、323相连接。可以理解，所述环氧胶点59可由粘接剂或各向异性导电膜(ACF，anisotropic conductive film)替代。
参考图7和图7A，所述压电元件321实质上由压电层201组成，其中，所述压电元件321一侧对应于悬臂舌片328的电极触点330形成有两个电极触点320。在一个实施例中，参考图7A，所述压电层201为由两种电极交替层叠的多层结构。所述压电层201的多层结构提高了微驱动器32调整磁头位置的能力。可选择地，所述压电层201亦可为单层结构。在本发明中，所述压电元件321可为薄膜压电元件或陶瓷压电元件。所述侧臂322、323和负载板325可由金属(例如不锈钢)、陶瓷或聚合物制成。在一个实施例中，所述支撑轴324由柔性材料制成。
装配时，首先，参考图7，在本发明的一个实施例中，所述支撑轴324、压电元件321和由两侧臂322、323和负载板325组成的框架装配在一起即形成微驱动臂32。此时，所述压电元件321的两电极触点320向外暴露。然后，参照图5，磁头31通过环氧胶点51、52与微驱动器32的负载板325部分连接。在这种状态下，磁头31的中心与支撑板345的中心相对应。此后，参考图4a、4b、5和6所示，支撑轴324通过环氧胶、粘接剂或ACF以其中部与悬臂舌片328部分连接，从而将装设有磁头31的微驱动臂32和悬臂件8装配在一起。此时，磁头31的中心与负载杆17的小突起329相对应，从而使得当磁头31在磁盘(图未示)上飞行时，所述悬臂件8的承载力总是施加于磁头31的中心区域。与此同时，磁头31的电极触点204和压电元件321的电极触点320分别对应悬臂舌片328的电极触点113、330而设置。然后，通过复数金属球905(GBB，SBB或焊剂)将磁头31的电极触点204与悬臂舌片328的电极触点113电性连接。同时，通过复数金属球219(GBB，SBB或焊剂)将压电元件321的电极触点320与悬臂舌片328的电极触点330电性连接。这样就使得微驱动器32与悬臂件8的两根电缆311电性连接，而磁头31与悬臂件8的两根电缆309电性连接。通过所述电缆309、311，磁头31及微驱动器32通过所述电极触点308将与控制***电性相连(未图示)并为其所控制。在本发明的又一个实施例中，所述支撑轴324通过激光焊接以其中部部分装设于悬臂舌片328上。激光焊接可使支撑轴324和悬臂舌片328的连接更加牢固，同时可降低制造过程的变化。
在本发明中，如图9所示，磁头31的宽度最好小于两侧臂322、323之间的间距。这样在磁头31和两侧臂322、323之间可形成两平行间距601、602，从而确保磁头31在两侧臂322、323之间的自由移动。另外，因为磁头31与两侧臂322、323部分连接，所以其在受微驱动器32驱动时可自由移动。
参考图8-11，下面描述微驱动器32是如何工作的。当没有电压施加于压电元件321上时，微驱动器32处于其初始状态。参照图11，当具有波形407的正弦电压施加于压电元件321上时，在第一个半周期，所述压电元件321随着驱动电压的增加而膨胀。由于压电元件321以其两端与侧臂322、323相连接，压电元件321的膨胀将外推侧臂322、323与压电元件321的连接端。与此同时，侧臂322、323邻近磁头31的另一端被内推，同时由于柔性支撑轴324的中部固定于悬臂舌片328上，所以其朝向压电元件321而拱曲。在本发明中，由于两连接板401、402通过支撑板重心的对称位置与两侧臂322、323相连接，当邻近磁头31的侧臂322、323末端被向内推动时，可使得两连接板401、402产生施加在支撑板345上的扭矩。所述扭矩可使得支撑板345沿顺时针旋转。在本发明中，由于磁头31被安装于支撑板345上，因而其亦沿顺时针旋转。当驱动电压上升到最大值并从最大值降至零时，磁头31转到最大位移位置，然后又回到其原始位置。在一个实施例中，磁头31通过环氧胶点51、52与支撑板345的支撑部403、404部分连接；连接板401和支撑部403邻近磁头31的后缘部(trailing side)，连接板402和支撑板404邻近磁头31的前缘部(leadingside)。因此，连接板401、402产生的扭矩将沿第一方向推动磁头31的后缘部，而沿与第一方向相反的第二方向推动磁头31的前缘部，进而获得良好的磁头位置调整。
参照图10，在第二个半周期时，所述压电元件321随着负驱动电压的增加而收缩。压电元件321的收缩内推侧臂322、323与压电元件321的连接末端。同时，侧臂322、323邻近磁头31的另一末端被外推，所述支撑轴324朝向磁头31被拱曲。然后，当侧臂322、323邻近磁头31的末端被外推时，两连接板401、402将产生施加在支撑板345上的扭矩。所述扭矩可使得支撑板345以及磁头沿逆时针旋转。当驱动电压上升到负的最大值并降至零时，磁头31转到最大位移位置，然后又回到其原始位置。
图12-13展示了本发明磁头折片组合3共振性能的测试结果，其中，702代表微驱动器工作(压电激发)共振增益曲线，其具有相态703，而701代表基板激发共振增益曲线，其具有相态704。从该图可看出，当激发微驱动器32时，悬臂共振未发生在低频段(没有扭转模式及摇摆模式)，而仅仅有纯微驱动器共振发生在高频段，这样将增大磁盘驱动器的伺服***带宽并提高磁盘驱动器的容量，同时减少磁头的寻轨及定位时间。
在本发明的第二个实施例中，参照图14-15，本发明的微驱动器可用支撑轴324’替代支撑轴324。其中，支撑轴324’包括一个刚性中部和邻近其末端的两个颈部800。当压电元件321受激发时，支撑轴324’将在颈部800处产生变形。
在本发明的第三个实施例中，参考图16，微驱动器框架可为通过模具成型或蚀刻形成的整体结构，其中，所述微驱动器框架包括一个支撑轴324、两个侧臂322、323和一个负载板325’。负载板325’、支撑轴324和两侧臂322、323的厚度相当。在本发明的第四个实施例中，参考图17，微驱动器框架的支撑轴324亦可成型为具有支撑轴324’的结构。
在本发明的第五个实施例中，参考图18-19，压电元件321可由多层压电元件321’替代。所述压电元件321’包括底层200和压电片层210。其中，底层200可由陶瓷、聚合物或金属材料制成。压电层201可为单层或多层的结构。在所述压电层201的侧表面上形成有两个电极触点320。
在本发明中，侧臂322、323相互平行，可以理解，侧臂322、323亦可相互不平行，此时通过微驱动器仍然能调整磁头位置。另外，亦可省略将连接板401、402中的一个，此时磁头位置仍然可为微驱动器所调整。
与现有技术相比较，本发明的微驱动器只需采用一个压电元件调整磁头的位置，从而降低了制造成本，简化了制造工艺。另外，微驱动器可使磁头的后缘部和前缘部朝相反的方向旋转。而现有技术的微驱动器只能摇摆磁头的后缘部(因为磁头的前缘部固定)。因此，因为所述磁头的前缘部和后缘部均可移动，所以本发明可使磁头进行比现有技术更大的摇摆，从而获得更大的位置调整能力。而且，因为微驱动器只通过支撑框与悬臂件相连接，所以在悬臂件与磁头之间以及悬臂件与压电元件之间形成两条间隙，当微驱动器受激发时，由于没有作用力传递于悬臂件上，从而使得共振性能得到显著提高。除此以外，当激发微驱动器时，由于在低频段的悬臂共振被改善(降低共振峰值)，而仅仅有纯微驱动器共振发生在高频段，因而将增大磁盘驱动器的伺服***带宽并提高其容量。
在本发明中，参考图20，本发明磁盘驱动器可通过组装壳体108、磁盘101、主轴马达102、音圈马达107和本发明磁盘折片组合3而形成。因为本发明磁盘驱动器的组装过程及结构为业界普通技术人员所知晓，故在此不再详述。

Claims (20)

1.一种磁头折片组合(head gimbal assembly)，其特征在于包括：
磁头；
用于调整磁头位置的微驱动器；以及
用于支撑所述磁头和微驱动器的悬臂件(suspension)；其中所述微驱动器包括：
两个侧臂；
用于支撑磁头的负载板，其与至少一个侧臂相连；
与所述两侧臂相连的压电元件；以及
与悬臂件相连的基轴，其与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。
2.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述负载板包括：
与磁头相连的支撑板；
与支撑板相连的两连接板，分别与两侧臂相连。
3.如权利要求2所述的磁头折片组合，其特征在于：所述两连接板以支撑板重心的对称位置进行连接。
4.如权利要求2所述的磁头折片组合，其特征在于：所述连接板具有比支撑板更柔韧(flexible)的部分。
5.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述基轴邻近其端部具有至少一个较窄部。
6.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述基轴与侧臂是一体成型的。
7.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述磁头部分固定于负载板上。
8.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于：所述负载板以磁头空气支承面(ABS)的相对面的中心的的对称位置进行连接。
9.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：只有基轴被固定于悬臂件上。
10.一种微驱动器，包括：
两个侧臂；
与至少一个侧臂相连的负载板；
与所述两侧臂相连的压电元件；以及
与悬臂件相连的基轴，其与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。
11.如权利要求10所述的微驱动器，其特征在于：所述负载板包括：
与磁头相连的支撑板；
与支撑板相连的两连接板，分别与两侧臂相连。
12.如权利要求11所述的微驱动器，其特征在于：所述两连接板以支撑板重心的对称位置进行连接。
13.如权利要求11所述的微驱动器，其特征在于：所述连接板具有比支撑板更柔韧(flexible)的部分。
14.如权利要求10所述的微驱动器，其特征在于：所述基轴邻近其端部具有至少一个较窄部。
15.如权利要求10所述的微驱动器，其特征在于：所述压电元件为陶瓷或薄膜压电元件。
16.如权利要求10所述的微驱动器，其特征在于：所述压电元件包括具有单层或多层结构的压电层。
17.如权利要求16所述的微驱动器，其特征在于：所述压电元件进一步包括和压电层相连的基底层。
18.如权利要求11所述的微驱动器，其特征在于：所述支撑板包括两个支撑部和连接该两支撑部的连接部。
19.一种磁盘驱动单元，包括：
磁头折片组合；
与所述磁头折片组合相连接的驱动臂；
磁盘；及
用以旋转所述磁盘的主轴马达；其特征在于所述磁头折片组合包括：
磁头；
调整磁头位置的微驱动器；以及
支撑磁头和微驱动器的悬臂件；
其中，所述微驱动器包括：
两个侧臂；
用于支撑磁头的负载板，其与至少一个侧臂相连；
与所述两侧臂相连的压电元件；以及
与悬臂件相连的基轴，其与两侧臂相连并位于负载板和压电元件之间。
20.如权利要求19所述的磁盘驱动单元，其特征在于：所述负载板包括：
与磁头相连的支撑板；
与支撑板相连的两连接板，分别与两侧臂相连。
CNA2005100520365A 2005-02-28 2005-02-28 微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元 Pending CN1828727A (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2005100520365A CN1828727A (zh) 2005-02-28 2005-02-28 微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
US11/080,657 US7554773B2 (en) 2005-02-28 2005-03-16 Micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
JP2006051603A JP2006244691A (ja) 2005-02-28 2006-02-28 マイクロアクチュエータ、これを用いたヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2005100520365A CN1828727A (zh) 2005-02-28 2005-02-28 微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1828727A true CN1828727A (zh) 2006-09-06

Family

ID=36947080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005100520365A Pending CN1828727A (zh) 2005-02-28 2005-02-28 微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7554773B2 (zh)
JP (1) JP2006244691A (zh)
CN (1) CN1828727A (zh)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7663843B2 (en) * 2005-11-02 2010-02-16 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Flex cable frame assembly for micro-actuator and flex cable suspension assembly for HGA of disk drive device
US7719798B2 (en) * 2006-02-14 2010-05-18 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Rotational micro-actuator integrated with suspension of head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US8605389B1 (en) 2006-06-09 2013-12-10 Western Digital Technologies, Inc. Head gimbal assembly including a conductive trace disposed upon a continuous dielectric layer segment without overlying a gimbal arm
US7843666B2 (en) * 2007-04-26 2010-11-30 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Suspension, head gimbal assembly and manufacturing method thereof, and disk drive unit with the same
JP4845227B2 (ja) * 2007-06-29 2011-12-28 東芝ストレージデバイス株式会社 ヘッドサスペンションアセンブリおよび記憶媒体駆動装置
US8254062B2 (en) * 2008-10-20 2012-08-28 Seagate Technology Llc Recessed base plate for data transducer suspension
US8144435B2 (en) * 2008-10-20 2012-03-27 Seagate Technology Llc Cost reduced microactuator suspension
JP2010123195A (ja) 2008-11-19 2010-06-03 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv ヘッド・ジンバル・アセンブリ、マイクロアクチュエータ及びマイクロアクチュエータの製造方法
US8089728B2 (en) * 2009-07-23 2012-01-03 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly, suspension for the head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US8885299B1 (en) 2010-05-24 2014-11-11 Hutchinson Technology Incorporated Low resistance ground joints for dual stage actuation disk drive suspensions
US8792212B1 (en) 2010-09-14 2014-07-29 Western Digital (Fremont), Llc Robust gimbal design for head gimbal assembly
JP5653716B2 (ja) * 2010-10-27 2015-01-14 ダイハツ工業株式会社 燃料電池
US8310790B1 (en) 2011-06-11 2012-11-13 Nhk Spring Co., Ltd Remote drive rotary head dual stage actuator
US8208224B1 (en) 2011-08-29 2012-06-26 Western Digital Technologies, Inc. Suspension assemblies for minimizing stress on slider solder joints
US8488281B1 (en) 2011-09-13 2013-07-16 Western Digital (Fremont), Llc Disk drive suspension assembly having a flexure bond pad shelf separate from a tongue
US9001469B2 (en) 2012-03-16 2015-04-07 Hutchinson Technology Incorporated Mid-loadbeam dual stage actuated (DSA) disk drive head suspension
US8861141B2 (en) 2012-08-31 2014-10-14 Hutchinson Technology Incorporated Damped dual stage actuation disk drive suspensions
US8681456B1 (en) * 2012-09-14 2014-03-25 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
JP6356682B2 (ja) 2012-10-10 2018-07-11 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 二段作動構造を有するサスペンション
US8941951B2 (en) 2012-11-28 2015-01-27 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension flexure with integrated strain sensor and sputtered traces
US8891206B2 (en) 2012-12-17 2014-11-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffener
US8792213B1 (en) 2013-02-20 2014-07-29 Western Digital Technologies, Inc. Tethered gimbal on suspension for improved flyability
US8982513B1 (en) 2013-05-21 2015-03-17 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive head suspension with dual piezoelectric elements adhered to rotary-actuated and non-actuated portions of a structural layer of a tongue of a laminated flexure
US8797691B1 (en) 2013-05-21 2014-08-05 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive head suspension with a single piezoelectric element adhered to rotary-actuated and non-actuated portions of a structural layer of a tongue of a laminated flexure
US8896969B1 (en) 2013-05-23 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Two-motor co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffeners
US8717712B1 (en) 2013-07-15 2014-05-06 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive suspension assembly having a partially flangeless load point dimple
US8792214B1 (en) 2013-07-23 2014-07-29 Hutchinson Technology Incorporated Electrical contacts to motors in dual stage actuated suspensions
US8675314B1 (en) * 2013-08-21 2014-03-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with offset motors
US8896970B1 (en) 2013-12-31 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Balanced co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
US8867173B1 (en) 2014-01-03 2014-10-21 Hutchinson Technology Incorporated Balanced multi-trace transmission in a hard disk drive flexure
US9070392B1 (en) * 2014-12-16 2015-06-30 Hutchinson Technology Incorporated Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners
US9318136B1 (en) 2014-12-22 2016-04-19 Hutchinson Technology Incorporated Multilayer disk drive motors having out-of-plane bending
US9296188B1 (en) 2015-02-17 2016-03-29 Hutchinson Technology Incorporated Partial curing of a microactuator mounting adhesive in a disk drive suspension
US9734852B2 (en) 2015-06-30 2017-08-15 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive head suspension structures having improved gold-dielectric joint reliability
US9646638B1 (en) 2016-05-12 2017-05-09 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based DSA disk drive suspension with traces routed around slider pad
US11790947B1 (en) 2022-05-03 2023-10-17 Seagate Technology Llc Idle power saving for actuator device

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5299081A (en) 1992-08-05 1994-03-29 Read-Rite Corporation Magnetic head suspension assembly
FR2715004B1 (fr) 1994-01-13 1996-03-01 Radiall Sa Connecteur coaxial microminiature à verrouillage par encliquetage.
DE4445642A1 (de) * 1994-12-21 1996-06-27 Marco Systemanalyse Entw Piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellelement
US6538836B1 (en) 1995-05-08 2003-03-25 Seagate Technology Llc Microactuator for fine positioning in a disc drive
US5636089A (en) 1995-08-01 1997-06-03 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with spaced static attitude compensation protuberance and load dimple
US5898544A (en) 1997-06-13 1999-04-27 Hutchinson Technology Incorporated Base plate-mounted microactuator for a suspension
US6078473A (en) * 1998-05-13 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Gimbal flexure for use with microactuator
US6198606B1 (en) 1999-07-28 2001-03-06 Seagate Technology Llc Disc drive actuation system having an injection molded magnetic micro-actuator with metal beam inserts and its method of fabrication
US6700727B1 (en) 2000-04-14 2004-03-02 Seagate Technology Llc Slider and method for actively controlling crown curvature
US6624984B2 (en) 2000-05-25 2003-09-23 Seagate Technology Llc Fly height control slider with crown and cross curve de-coupling
US6851120B2 (en) * 2000-07-13 2005-02-01 Seagate Technology Llc Micro-actuator structure for improved stability
JP2002074871A (ja) 2000-08-31 2002-03-15 Tdk Corp 微小位置決め用アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えたディスク装置及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法
JP2002133803A (ja) 2000-10-31 2002-05-10 Tdk Corp ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えたディスク装置、該アクチュエータの製造方法及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法
JP2002298526A (ja) 2001-04-02 2002-10-11 Shinka Jitsugyo Kk ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法
JP2003123416A (ja) 2001-10-17 2003-04-25 Fujitsu Ltd ヘッドアセンブリおよび記録媒体駆動装置
SG103367A1 (en) 2001-11-02 2004-04-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric driving device
US7336436B2 (en) 2004-07-29 2008-02-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Head gimbal assemblies for very low flying height heads with optional micro-actuators in a hard disk drive
US7130160B2 (en) * 2004-01-13 2006-10-31 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for a micro-actuator providing three-dimensional positioning to a slider in a hard disk drive
WO2003067575A1 (en) 2002-02-02 2003-08-14 Sae Magnetics (H. K.) Ltd. Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element and disk drive apparatus with the head gimbal assembly
WO2003067576A1 (en) 2002-02-02 2003-08-14 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly
WO2003090211A1 (en) * 2002-04-22 2003-10-30 Sae Magnetics (H. K.) Ltd. Method and apparatus for electrically and physically coupling a microactuator and slider to a drive arm suspension for component replacement after detachment from the suspension
US6738231B2 (en) * 2002-04-24 2004-05-18 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Piezoelectric microactuator for slider side actuation
US6950266B1 (en) 2002-10-28 2005-09-27 Western Digital (Fremont), Inc. Active fly height control crown actuator
EP1427031B1 (en) * 2002-12-03 2013-05-08 Panasonic Corporation Manufacturing method of a thin film piezoelectric element
JP4583715B2 (ja) * 2003-01-08 2010-11-17 信越化学工業株式会社 磁気ヘッド用サスペンション
US6879468B2 (en) * 2003-01-08 2005-04-12 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Magnetic head actuator having an improved microactuator oscillatably supported by metallic micro-beams
US6956683B2 (en) * 2003-06-11 2005-10-18 Texas Instruments Incorporated Pivoting platform having a piezoelectric drive
JP4113143B2 (ja) * 2004-03-15 2008-07-09 Ｔｄｋ株式会社 薄膜圧電体素子、サスペンション、及びハードディスク装置
US7224099B2 (en) * 2004-04-20 2007-05-29 Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft Molded piezoelectric apparatus
US7312956B2 (en) 2004-09-08 2007-12-25 Sae Magnetics (H.K.) Ltd Micro-actuator, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US7298593B2 (en) 2004-10-01 2007-11-20 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Micro-actuator including a leading beam pivot part, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
US7551386B2 (en) 2004-10-18 2009-06-23 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly with flying height controller, disk drive unit using the same, and flying height adjusting method and system thereof
US20060098347A1 (en) 2004-11-10 2006-05-11 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
CN1797550A (zh) 2004-12-30 2006-07-05 新科实业有限公司 微驱动器、减振器、磁头折片组合及其磁盘驱动单元

Also Published As

Publication number Publication date
US20060193086A1 (en) 2006-08-31
JP2006244691A (ja) 2006-09-14
US7554773B2 (en) 2009-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1828727A (zh) 微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
US7312956B2 (en) Micro-actuator, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
CN100341049C (zh) 精确定位致动器的制造方法
US7551405B2 (en) Rotational PZT micro-actuator with fine head position adjustment capacity, head gimbal assembly, and disk drive unit with same
CN1306477C (zh) 磁头组件和记录媒体驱动器
US20060098347A1 (en) Micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
CN1797550A (zh) 微驱动器、减振器、磁头折片组合及其磁盘驱动单元
US7538984B2 (en) Rotational PZT micro-actuator with a rotatable plate
US20060072247A1 (en) Micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
US20070188931A1 (en) Rotational micro-actuator integrated with suspension of head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
CN1967663A (zh) 薄膜压电微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
CN1828726A (zh) 可旋转压电微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
CN1497593A (zh) 压电驱动器和盘装置
CN1979643A (zh) 微驱动器、磁头折片组合及其磁盘驱动单元
CN100411015C (zh) 微驱动器、设有该微驱动器的磁头折片组合以及磁盘驱动器
US7518833B2 (en) Micro-actuator with electric spark preventing structure, HGA, and disk drive unit with the same, and manufacturing method thereof
CN1905012A (zh) 具有微驱动器的磁头折片组合及其磁盘驱动装置
CN1917044A (zh) 用于磁盘驱动装置的柔性电缆框架组合及柔性电缆悬臂组合
CN1941085A (zh) 具有防止电火花产生结构的微驱动器及其磁头折片组合、磁盘驱动单元以及制造方法
CN101034557A (zh) 旋转型压电微驱动器及其磁头折片组合及磁盘驱动单元
CN101079305A (zh) 具有微致动器的磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元
CN100411014C (zh) 微驱动器、磁头折片组合以及使用其的磁盘驱动器
CN100458918C (zh) 微驱动器、使用该微驱动器的磁头折片组合以及磁盘驱动器
CN101051511A (zh) 微致动器、微致动器悬臂件及磁头折片组合
CN100524470C (zh) 微驱动器,磁头折片组合及其磁盘驱动器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20060906

C20 Patent right or utility model deemed to be abandoned or is abandoned