JP4573692B2 - 基板支持装置および基板支持方法 - Google Patents
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Description
前記基板支持部は、軸部が前記筒体に上下方向にスライド可能に保持されて、基板の下面に接触することにより、基板の下面形状に応じて変位する接触子と、流体圧によって前記接触子の高さ位置を固定する固定手段と、を備え、
前記固定手段は、エア供給手段から供給されるエアのエア圧によって、パッキンが前記軸部の外周面に密着するように変形し、前記軸部はその時の高さ位置でスライド動作ができなくなって固定されるものとし、
前記接触子が基板の下面形状に応じて変位した変位量によって、前記接触子を固定するか否かが設定されるようにしたことを特徴とする基板支持装置。
前記付勢手段は、前記軸部が前記筒体に対して下方に変位したとき、これを押し戻すように上方に付勢するものとした前項1に記載の基板支持装置。
前記接触子が基板の下面形状に応じて変位した変位量によって、前記接触子を固定するか否かを設定するようにしたことを特徴とする基板支持方法。
24 昇降テーブル
27 基板支持部
271 接触ピン(接触子)
272 軸部
273 筒体
274 第1永久磁石(付勢手段、磁気バネ)
275 第2永久磁石(付勢手段、磁気バネ)
276 固定手段
281 吸着管路(吸着手段)
51 ステンシル
61 スキージ
S クリーム半田(ペースト)
W 基板
W2 基板の下面
Claims (5)
- 筒体を有する複数の基板支持部を備え、
前記基板支持部は、軸部が前記筒体に上下方向にスライド可能に保持されて、基板の下面に接触することにより、基板の下面形状に応じて変位する接触子と、流体圧によって前記接触子の高さ位置を固定する固定手段と、を備え、
前記固定手段は、エア供給手段から供給されるエアのエア圧によって、パッキンが前記軸部の外周面に密着するように変形し、前記軸部はその時の高さ位置でスライド動作ができなくなって固定されるものとし、
前記接触子が基板の下面形状に応じて変位した変位量によって、前記接触子を固定するか否かが設定されるようにしたことを特徴とする基板支持装置。 - 前記接触子を上方に付勢し、かつ磁気バネからなる付勢手段を備え、
前記付勢手段は、前記軸部が前記筒体に対して下方に変位したとき、これを押し戻すように上方に付勢するものとした請求項1に記載の基板支持装置。 - 前記各接触子に基板の下面を吸着する吸着手段を備えた請求項1または2に記載の基板支持装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板支持装置を備えた印刷装置。
- 基板の下面に複数の接触子を接触させることにより、各接触子を基板の下面形状に応じて変位させる一方、変位した接触子の高さ位置を、エアによる流体圧、または、サーボモータやソレノイドによって駆動されるブレーキ手段によって固定することにより、基板の下面を支持するものとし、
前記接触子が基板の下面形状に応じて変位した変位量によって、前記接触子を固定するか否かを設定するようにしたことを特徴とする基板支持方法。
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