JPH0532342A - 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 - Google Patents
枚葉状フレキシブル基板の搬送装置Info
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- JPH0532342A JPH0532342A JP3168892A JP16889291A JPH0532342A JP H0532342 A JPH0532342 A JP H0532342A JP 3168892 A JP3168892 A JP 3168892A JP 16889291 A JP16889291 A JP 16889291A JP H0532342 A JPH0532342 A JP H0532342A
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- Japan
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- substrate
- coating
- static electricity
- flexible substrate
- roll
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 枚葉状フレキシブル基板の安定搬送、及び静
電気の除去による巻き付き防止を可能とする。 【構成】 下敷き21に乗せた基板1を複数の搬送ロー
ル22により水平搬送し、除電バー20の下側を通過す
る際にイオン化エアーAを基板1の搬入方向に傾斜させ
て吹き付け、基板1の表面に帯電している静電気を除去
し、飛散するゴミなどの再付着を防止する。静電気を除
去された基板1を、ドクターロール2により塗布液が転
写されたコーティングロール3とバックアップロール2
3との間を通過させ、静電気によるはじきなどがない状
態で表面に塗布液を塗布させ、全面に均一に製膜させ
る。
電気の除去による巻き付き防止を可能とする。 【構成】 下敷き21に乗せた基板1を複数の搬送ロー
ル22により水平搬送し、除電バー20の下側を通過す
る際にイオン化エアーAを基板1の搬入方向に傾斜させ
て吹き付け、基板1の表面に帯電している静電気を除去
し、飛散するゴミなどの再付着を防止する。静電気を除
去された基板1を、ドクターロール2により塗布液が転
写されたコーティングロール3とバックアップロール2
3との間を通過させ、静電気によるはじきなどがない状
態で表面に塗布液を塗布させ、全面に均一に製膜させ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示用のフィルム基
板(PF−LCD)やフレキシブルプリント基板等のロ
ールコーティング装置、ブラシ洗浄装置等、ローラーに
より枚葉状フレキシブル基板を搬送する装置に関する。
板(PF−LCD)やフレキシブルプリント基板等のロ
ールコーティング装置、ブラシ洗浄装置等、ローラーに
より枚葉状フレキシブル基板を搬送する装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】上述の
ような搬送装置の従来技術を示す一例を図10〜図12
に示す。この例は、枚葉状フレキシブル基板のロールコ
ーティングに用いる装置で、フォトリソグラフィにより
基板表面に微細パターンを形成する際のフォトレジスト
塗布装置として用いられるものである。この装置では、
枚葉状の基板1を下敷き等に載せる等して搬送し、ドク
ターロール2からコーティングロール3に転写された塗
布液を基板1の表面の塗布領域4に塗布するようになっ
ている。図中5は塗布液の供給装置、6は同排出装置で
ある。ところが基板1は薄くかつフレキシブルなフィル
ム基板のため静電気を帯びやすく、静電気を帯びた状態
で塗布を行なった場合、基板1がコーティングロール3
に巻き込まれてしまったり、塗布液が基板1の表面では
じけて塗布されにくく、全面に均一に製膜することがで
きなかったりするという問題が生じることがあった。
ような搬送装置の従来技術を示す一例を図10〜図12
に示す。この例は、枚葉状フレキシブル基板のロールコ
ーティングに用いる装置で、フォトリソグラフィにより
基板表面に微細パターンを形成する際のフォトレジスト
塗布装置として用いられるものである。この装置では、
枚葉状の基板1を下敷き等に載せる等して搬送し、ドク
ターロール2からコーティングロール3に転写された塗
布液を基板1の表面の塗布領域4に塗布するようになっ
ている。図中5は塗布液の供給装置、6は同排出装置で
ある。ところが基板1は薄くかつフレキシブルなフィル
ム基板のため静電気を帯びやすく、静電気を帯びた状態
で塗布を行なった場合、基板1がコーティングロール3
に巻き込まれてしまったり、塗布液が基板1の表面では
じけて塗布されにくく、全面に均一に製膜することがで
きなかったりするという問題が生じることがあった。
【0003】またコーティングロール3の長さが、基板
1の全幅よりも短いため、塗布領域4の膜厚が全面均一
でなくなってしまうことがあるという問題もあった。即
ち、図13〜図17に示すように、供給装置5から供給
された塗布液7を両ロール2、3の接点部分に適量滴下
させると、滴下された塗布液7は図中の矢印の方向に伸
びていき、両ロール2、3の接点部分の端部に余分な塗
布液7が流れ、この両端に余った塗布液7aがはみ出し
てしまい(図14及び図16参照)、このはみ出した塗
布液7aが基板1の両側縁部分に余分に転写され、図1
7に示すように塗布膜8の両端に膜厚の厚い部分8aが
できやすいというものであった。
1の全幅よりも短いため、塗布領域4の膜厚が全面均一
でなくなってしまうことがあるという問題もあった。即
ち、図13〜図17に示すように、供給装置5から供給
された塗布液7を両ロール2、3の接点部分に適量滴下
させると、滴下された塗布液7は図中の矢印の方向に伸
びていき、両ロール2、3の接点部分の端部に余分な塗
布液7が流れ、この両端に余った塗布液7aがはみ出し
てしまい(図14及び図16参照)、このはみ出した塗
布液7aが基板1の両側縁部分に余分に転写され、図1
7に示すように塗布膜8の両端に膜厚の厚い部分8aが
できやすいというものであった。
【0004】上述のような搬送装置の従来技術を示す他
の例を図18〜図20に示す。この例は、基板のブラシ
洗浄に用いる装置で、基板1は搬送ロール9上を水平搬
送され、回転ブラシ10の前後において両側縁を上方よ
り押さえロール11により保持し、基板1の先端部を回
転ブラシ10で洗浄するときは、回転ブラシ10を順方
向に回転させ、基板1の後端部を洗浄するときは回転ブ
ラシ10を逆方向に回転させるようになっている。図中
12はブラッシング時に基板1を背面側から支持するバ
ックアップローラである。この装置では、基板1がフレ
キシブルで薄板基板であるため、ブラッシング時に基板
1の先端がバックアップローラー12に巻き付いて搬送
不良になりやすいという問題があった。特開昭61−7
4688号公報に示される技術(図示省略)では、この
問題につき、基板の先端および後端をセンサーにより検
出し、ブラシの正転、逆転を行ない基板の回転ブラシに
よる曲げを防止しているが基板を安定搬送するための手
段とはなっていなかった。
の例を図18〜図20に示す。この例は、基板のブラシ
洗浄に用いる装置で、基板1は搬送ロール9上を水平搬
送され、回転ブラシ10の前後において両側縁を上方よ
り押さえロール11により保持し、基板1の先端部を回
転ブラシ10で洗浄するときは、回転ブラシ10を順方
向に回転させ、基板1の後端部を洗浄するときは回転ブ
ラシ10を逆方向に回転させるようになっている。図中
12はブラッシング時に基板1を背面側から支持するバ
ックアップローラである。この装置では、基板1がフレ
キシブルで薄板基板であるため、ブラッシング時に基板
1の先端がバックアップローラー12に巻き付いて搬送
不良になりやすいという問題があった。特開昭61−7
4688号公報に示される技術(図示省略)では、この
問題につき、基板の先端および後端をセンサーにより検
出し、ブラシの正転、逆転を行ない基板の回転ブラシに
よる曲げを防止しているが基板を安定搬送するための手
段とはなっていなかった。
【0005】本発明は上記従来の諸問題に鑑みてなした
もので、枚葉状フレキシブル基板の安定搬送が可能であ
り、またロールコーティング装置に用いた場合に静電気
の除去による巻き付き防止や、製膜不良を防止でき、回
転ブラシを用いる洗浄装置に用いた場合に安定した洗浄
搬送ができる枚葉状フレキシブル基板の搬送装置を提供
することを目的とする。
もので、枚葉状フレキシブル基板の安定搬送が可能であ
り、またロールコーティング装置に用いた場合に静電気
の除去による巻き付き防止や、製膜不良を防止でき、回
転ブラシを用いる洗浄装置に用いた場合に安定した洗浄
搬送ができる枚葉状フレキシブル基板の搬送装置を提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る枚葉状フレ
キシブル基板の搬送装置は上記目的を達成するために、
ローラーにより搬送される枚葉状フレキシブル基板の基
板搬入部に、基板に帯電している静電気を除去するため
の除電手段を設置した構成としたものである。
キシブル基板の搬送装置は上記目的を達成するために、
ローラーにより搬送される枚葉状フレキシブル基板の基
板搬入部に、基板に帯電している静電気を除去するため
の除電手段を設置した構成としたものである。
【0007】本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置は、上記除電手段としてイオン化エアーの吹き出
しによる除電バーを用い、該除電バーのエアー吹き出し
方向を、上記基板の搬送方向上流側へ向けて傾斜させて
設けた構成とすることができる。
送装置は、上記除電手段としてイオン化エアーの吹き出
しによる除電バーを用い、該除電バーのエアー吹き出し
方向を、上記基板の搬送方向上流側へ向けて傾斜させて
設けた構成とすることができる。
【0008】また本発明に係る枚葉状フレキシブル基板
の搬送装置は、上記フレキシブル基板が両縁に複数の開
口を備え、該フレキシブル基板を搬送するための搬送ベ
ルトの両縁に、上記フレキシブル基板の開口を嵌入させ
る突部を複数設けた構成とすることができる。
の搬送装置は、上記フレキシブル基板が両縁に複数の開
口を備え、該フレキシブル基板を搬送するための搬送ベ
ルトの両縁に、上記フレキシブル基板の開口を嵌入させ
る突部を複数設けた構成とすることができる。
【0009】さらに本発明に係る枚葉状フレキシブル基
板の搬送装置は、上記ローラーの両端部にテーパー部を
設けて構成してもよい。
板の搬送装置は、上記ローラーの両端部にテーパー部を
設けて構成してもよい。
【0010】
【実施例】図1及び図2は本発明に係る枚葉状フレキシ
ブル基板の搬送装置の一実施例であるロールコーティン
グ装置を示す。図1はロールコーティング装置の平面
図、図2は同側面図である。なお以下では従来と共通す
る部分には共通する符号を付して重複する説明は省略す
る。
ブル基板の搬送装置の一実施例であるロールコーティン
グ装置を示す。図1はロールコーティング装置の平面
図、図2は同側面図である。なお以下では従来と共通す
る部分には共通する符号を付して重複する説明は省略す
る。
【0011】図中20は除電バーで、図2に示すように
イオン化エアーAの吹き付け方向を基板1の搬入方向に
傾斜させて設置してある。下敷き21に乗せた基板1
は、複数の搬送ロール22により水平搬送され、除電バ
ー20の下側を通過する際にイオン化エアーAを吹き付
けられる。すると基板1の表面に帯電している静電気が
除去され、またイオン化エアーAの吹き付けたときに飛
散するゴミなどが基板1に再付着することなく除去され
る。静電気を除去された基板1は、ドクターロール2に
より塗布液が転写されたコーティングロール3とバック
アップロール23との間を通過して表面に塗布液が塗布
される。基板1の表面に静電気の帯電がないので、コー
ティングロール3に巻き込まれてたり、塗布液が基板1
の表面ではじけて塗布されにくかったりすることがな
く、全面に均一に製膜される。
イオン化エアーAの吹き付け方向を基板1の搬入方向に
傾斜させて設置してある。下敷き21に乗せた基板1
は、複数の搬送ロール22により水平搬送され、除電バ
ー20の下側を通過する際にイオン化エアーAを吹き付
けられる。すると基板1の表面に帯電している静電気が
除去され、またイオン化エアーAの吹き付けたときに飛
散するゴミなどが基板1に再付着することなく除去され
る。静電気を除去された基板1は、ドクターロール2に
より塗布液が転写されたコーティングロール3とバック
アップロール23との間を通過して表面に塗布液が塗布
される。基板1の表面に静電気の帯電がないので、コー
ティングロール3に巻き込まれてたり、塗布液が基板1
の表面ではじけて塗布されにくかったりすることがな
く、全面に均一に製膜される。
【0012】図3ないし図5は本発明に係る枚葉状フレ
キシブル基板の搬送装置の一実施例であるロールコーテ
ィング装置の他の例を示す。本例のコーティングロール
25は基板1の塗布領域4に掛かる部分は直筒状とし、
塗布領域4を外れる部分をテーパー部26としたもので
ある。除電バー20の下側を通過して静電気が除去され
た基板1は、一定速度で回転しているコーティングロー
ル25により塗布液7を塗布される。ここでコーティン
グロール25のテーパー部26に掛かる部分は基板1に
非接触であるため、当然に塗布液7の転写はなく、しか
もコーティングロール25に余分に転写された塗布液7
はコーティングロール25の塗布領域の両端部に溜まる
ことなく、図4及び図5に示すようにテーパー部26に
流れてしまう。このため基板1の塗布領域4の両縁に厚
膜がせず、塗布領域4の塗布膜厚が均一なものになる。
キシブル基板の搬送装置の一実施例であるロールコーテ
ィング装置の他の例を示す。本例のコーティングロール
25は基板1の塗布領域4に掛かる部分は直筒状とし、
塗布領域4を外れる部分をテーパー部26としたもので
ある。除電バー20の下側を通過して静電気が除去され
た基板1は、一定速度で回転しているコーティングロー
ル25により塗布液7を塗布される。ここでコーティン
グロール25のテーパー部26に掛かる部分は基板1に
非接触であるため、当然に塗布液7の転写はなく、しか
もコーティングロール25に余分に転写された塗布液7
はコーティングロール25の塗布領域の両端部に溜まる
ことなく、図4及び図5に示すようにテーパー部26に
流れてしまう。このため基板1の塗布領域4の両縁に厚
膜がせず、塗布領域4の塗布膜厚が均一なものになる。
【0013】図6ないし図9は本発明に係る枚葉状フレ
キシブル基板の搬送装置の一実施例である回転ブラシを
用いる洗浄装置の例を示す。本例の基板30は両側縁に
開口31を一定間隔で複数設けたものであり、この基板
30を搬送するための搬送ベルト32は内側に網目状の
メッシュ部33を設け、その両側縁部34に一定間隔で
突部35を設けてある。基板30の開口31の間隔と、
搬送ベルト32の突部35の間隔は同一であり、基板3
0が搬送ベルト32上に載置され、搬送支持ロール36
により支持されつつ搬送される際、これら開口31内に
突部35が嵌入するようになっている。
キシブル基板の搬送装置の一実施例である回転ブラシを
用いる洗浄装置の例を示す。本例の基板30は両側縁に
開口31を一定間隔で複数設けたものであり、この基板
30を搬送するための搬送ベルト32は内側に網目状の
メッシュ部33を設け、その両側縁部34に一定間隔で
突部35を設けてある。基板30の開口31の間隔と、
搬送ベルト32の突部35の間隔は同一であり、基板3
0が搬送ベルト32上に載置され、搬送支持ロール36
により支持されつつ搬送される際、これら開口31内に
突部35が嵌入するようになっている。
【0014】図中37は回転ブラシで、バックアップロ
ーラ38によって裏面から支持された基板1の表面を洗
浄するようになっている。即ち、基板1は搬送ベルト3
2の突部35に開口31を保持された状態で搬送され、
その状態のまま回転ブラシ37とバックアップローラ3
8の間へと安定状態で搬送される。そして、回転ブラシ
37により表面を洗浄される。バックアップローラー3
8は搬送ベルト32及び基板1を裏面から支持し、回転
ブラシ37と基板1の接触を均一にし洗浄効果を向上さ
せる。なお搬送ベルト32の中心部をメッシュ状するこ
とにより、上方からのシャワーをかける場合に水はけが
良くなり、搬送ベルト32上を常にクリーンな状態に保
つことが可能となり品質の向上が図れる。
ーラ38によって裏面から支持された基板1の表面を洗
浄するようになっている。即ち、基板1は搬送ベルト3
2の突部35に開口31を保持された状態で搬送され、
その状態のまま回転ブラシ37とバックアップローラ3
8の間へと安定状態で搬送される。そして、回転ブラシ
37により表面を洗浄される。バックアップローラー3
8は搬送ベルト32及び基板1を裏面から支持し、回転
ブラシ37と基板1の接触を均一にし洗浄効果を向上さ
せる。なお搬送ベルト32の中心部をメッシュ状するこ
とにより、上方からのシャワーをかける場合に水はけが
良くなり、搬送ベルト32上を常にクリーンな状態に保
つことが可能となり品質の向上が図れる。
【0015】
【発明の効果】請求項1の枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置は以上説明してきたように、基板に帯電している
静電気を除去するための除電手段を設けたことにより、
基板に帯電している静電気を容易に除去し、搬送を安定
化させることができるようになるという効果があり、ロ
ールコーティング装置に用いれば静電気による基板と塗
布液とのはじきがなく全面に均一に製膜させることがで
きるようになるという効果がある。
送装置は以上説明してきたように、基板に帯電している
静電気を除去するための除電手段を設けたことにより、
基板に帯電している静電気を容易に除去し、搬送を安定
化させることができるようになるという効果があり、ロ
ールコーティング装置に用いれば静電気による基板と塗
布液とのはじきがなく全面に均一に製膜させることがで
きるようになるという効果がある。
【0016】請求項2の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置は、上記除電バーを基板搬入方向に傾斜させて設け
るようにしたので、搬送を安定化させるという共通の効
果に加え、イオン化エアーを基板に吹き付けたとき、飛
散するゴミなどが基板に再付着することがないようにす
ることができるという効果がある。
装置は、上記除電バーを基板搬入方向に傾斜させて設け
るようにしたので、搬送を安定化させるという共通の効
果に加え、イオン化エアーを基板に吹き付けたとき、飛
散するゴミなどが基板に再付着することがないようにす
ることができるという効果がある。
【0017】請求項3の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置は、基板の両縁に設けた開口に搬送ベルトの両縁に
設けた突部を嵌入させて搬送するようにしたので、搬送
を非常に安定化させることができるという効果がある。
装置は、基板の両縁に設けた開口に搬送ベルトの両縁に
設けた突部を嵌入させて搬送するようにしたので、搬送
を非常に安定化させることができるという効果がある。
【0018】請求項4の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置は、ローラーの両端部にテーパーを設けたことによ
り、上記共通の効果に加え、ロールコーティング装置に
用いれば基板の両側縁を非塗布領域として確保すること
ができ、フォトリソグラフィ(例えば露光工程)におい
て基板を保持する際、本来非塗布領域である部位に塗布
された塗布液の脱落を皆無にすることが可能となり、基
板周辺のハンドリング作業においても塗布面に接触する
ことなく行えるようになるという効果がある。また、塗
布領域の膜厚が均一になって厚膜部分がなくなるため、
現像工程での現像残りを防止し、それに起因するパター
ンのショート不良の低減及びパターン寸法のバラツキの
低減が図れるようになるという効果がある。
装置は、ローラーの両端部にテーパーを設けたことによ
り、上記共通の効果に加え、ロールコーティング装置に
用いれば基板の両側縁を非塗布領域として確保すること
ができ、フォトリソグラフィ(例えば露光工程)におい
て基板を保持する際、本来非塗布領域である部位に塗布
された塗布液の脱落を皆無にすることが可能となり、基
板周辺のハンドリング作業においても塗布面に接触する
ことなく行えるようになるという効果がある。また、塗
布領域の膜厚が均一になって厚膜部分がなくなるため、
現像工程での現像残りを防止し、それに起因するパター
ンのショート不良の低減及びパターン寸法のバラツキの
低減が図れるようになるという効果がある。
【図1】図1は本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の
搬送装置の実施例であるロールコーティング装置の平面
図である。
搬送装置の実施例であるロールコーティング装置の平面
図である。
【図2】図2は図1のロールコーティング装置の側面図
である。
である。
【図3】図3は本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の
搬送装置の他の実施例であるロールコーティング装置の
平面図である。
搬送装置の他の実施例であるロールコーティング装置の
平面図である。
【図4】図4は図3のロールコーティング装置の正面図
である。
である。
【図5】図5は図4の部分拡大正面図である。
【図6】図6は本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の
搬送装置の実施例である回転ブラシを用いる洗浄装置の
平面図である。
搬送装置の実施例である回転ブラシを用いる洗浄装置の
平面図である。
【図7】図7は図6の洗浄装置の正面図である。
【図8】図8は図6の洗浄装置の側面図である。
【図9】図9は図4に示す基板の平面図である。
【図10】図1は従来の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置の例であるロールコーティング装置の平面図であ
る。
装置の例であるロールコーティング装置の平面図であ
る。
【図11】図11は図10のロールコーティング装置の
側面図である。
側面図である。
【図12】図12は図11に示す基板の平面図である。
【図13】図13は従来の枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置の例である他のロールコーティング装置の平面図
である。
送装置の例である他のロールコーティング装置の平面図
である。
【図14】図14は図13のロールコーティング装置の
正面図である。
正面図である。
【図15】図15は図13のロールコーティング装置の
部分側面図である。
部分側面図である。
【図16】図16は図14の部分拡大正面図である。
【図17】図17は基板上への塗布膜の形成状態を示す
正面図である。
正面図である。
【図18】図18は従来の枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置の例である洗浄装置の側面図である。
送装置の例である洗浄装置の側面図である。
【図19】図19は図18の洗浄装置の正面図である。
【図20】図20は図18の洗浄装置の側面図である。
1 基板
2 ドクターロール
3 コーティングロール
4 基板の塗布領域
7 塗布液
7a 余った塗布液
20 除電バー
25 コーティングロール
26 テーパー部
30 基板
31 開口
32 搬送ベルト
33 メッシュ部
35 突部
37 回転ブラシ
A イオン化エアー
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 石田 智美
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式
会社リコー内
(72)発明者 宮口 耀一郎
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式
会社リコー内
Claims (4)
- 【請求項1】 ローラーにより枚葉状フレキシブル基板
を搬送する装置において、基板に帯電している静電気を
除去するための除電手段を基板搬入部に設けたことを特
徴とする枚葉状フレキシブル基板の搬送装置。 - 【請求項2】 上記除電手段としてイオン化エアーの吹
き出しによる除電バーを用い、該除電バーのエアー吹き
出し方向を、上記基板の搬送方向上流側へ向けて傾斜さ
せて設けたことを特徴とする請求項1の枚葉状フレキシ
ブル基板の搬送装置。 - 【請求項3】 上記フレキシブル基板が両縁に複数の開
口を備え、該フレキシブル基板を搬送するための搬送ベ
ルトの両縁に、上記フレキシブル基板の開口を嵌入させ
る突部を複数設けたことを特徴とする請求項1または2
の枚葉状フレキシブル基板の搬送装置。 - 【請求項4】 上記ローラーの両端部にテーパー部を設
けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかの枚
葉状フレキシブル基板の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3168892A JPH0532342A (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3168892A JPH0532342A (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0532342A true JPH0532342A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=15876507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3168892A Pending JPH0532342A (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0532342A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11238778A (ja) * | 1998-02-23 | 1999-08-31 | Nec Kagoshima Ltd | 基板移載装置 |
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1991
- 1991-06-13 JP JP3168892A patent/JPH0532342A/ja active Pending
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