JPH0532342A - 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 枚葉状フレキシブル基板の安定搬送、及び静
電気の除去による巻き付き防止を可能とする。 【構成】 下敷き２１に乗せた基板１を複数の搬送ロー
ル２２により水平搬送し、除電バー２０の下側を通過す
る際にイオン化エアーＡを基板１の搬入方向に傾斜させ
て吹き付け、基板１の表面に帯電している静電気を除去
し、飛散するゴミなどの再付着を防止する。静電気を除
去された基板１を、ドクターロール２により塗布液が転
写されたコーティングロール３とバックアップロール２
３との間を通過させ、静電気によるはじきなどがない状
態で表面に塗布液を塗布させ、全面に均一に製膜させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶表示用のフィルム基
板（ＰＦ−ＬＣＤ）やフレキシブルプリント基板等のロ
ールコーティング装置、ブラシ洗浄装置等、ローラーに
より枚葉状フレキシブル基板を搬送する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】上述の
ような搬送装置の従来技術を示す一例を図１０〜図１２
に示す。この例は、枚葉状フレキシブル基板のロールコ
ーティングに用いる装置で、フォトリソグラフィにより
基板表面に微細パターンを形成する際のフォトレジスト
塗布装置として用いられるものである。この装置では、
枚葉状の基板１を下敷き等に載せる等して搬送し、ドク
ターロール２からコーティングロール３に転写された塗
布液を基板１の表面の塗布領域４に塗布するようになっ
ている。図中５は塗布液の供給装置、６は同排出装置で
ある。ところが基板１は薄くかつフレキシブルなフィル
ム基板のため静電気を帯びやすく、静電気を帯びた状態
で塗布を行なった場合、基板１がコーティングロール３
に巻き込まれてしまったり、塗布液が基板１の表面では
じけて塗布されにくく、全面に均一に製膜することがで
きなかったりするという問題が生じることがあった。

【０００３】またコーティングロール３の長さが、基板
１の全幅よりも短いため、塗布領域４の膜厚が全面均一
でなくなってしまうことがあるという問題もあった。即
ち、図１３〜図１７に示すように、供給装置５から供給
された塗布液７を両ロール２、３の接点部分に適量滴下
させると、滴下された塗布液７は図中の矢印の方向に伸
びていき、両ロール２、３の接点部分の端部に余分な塗
布液７が流れ、この両端に余った塗布液７ａがはみ出し
てしまい（図１４及び図１６参照）、このはみ出した塗
布液７ａが基板１の両側縁部分に余分に転写され、図１
７に示すように塗布膜８の両端に膜厚の厚い部分８ａが
できやすいというものであった。

【０００４】上述のような搬送装置の従来技術を示す他
の例を図１８〜図２０に示す。この例は、基板のブラシ
洗浄に用いる装置で、基板１は搬送ロール９上を水平搬
送され、回転ブラシ１０の前後において両側縁を上方よ
り押さえロール１１により保持し、基板１の先端部を回
転ブラシ１０で洗浄するときは、回転ブラシ１０を順方
向に回転させ、基板１の後端部を洗浄するときは回転ブ
ラシ１０を逆方向に回転させるようになっている。図中
１２はブラッシング時に基板１を背面側から支持するバ
ックアップローラである。この装置では、基板１がフレ
キシブルで薄板基板であるため、ブラッシング時に基板
１の先端がバックアップローラー１２に巻き付いて搬送
不良になりやすいという問題があった。特開昭６１−７
４６８８号公報に示される技術（図示省略）では、この
問題につき、基板の先端および後端をセンサーにより検
出し、ブラシの正転、逆転を行ない基板の回転ブラシに
よる曲げを防止しているが基板を安定搬送するための手
段とはなっていなかった。

【０００５】本発明は上記従来の諸問題に鑑みてなした
もので、枚葉状フレキシブル基板の安定搬送が可能であ
り、またロールコーティング装置に用いた場合に静電気
の除去による巻き付き防止や、製膜不良を防止でき、回
転ブラシを用いる洗浄装置に用いた場合に安定した洗浄
搬送ができる枚葉状フレキシブル基板の搬送装置を提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る枚葉状フレ
キシブル基板の搬送装置は上記目的を達成するために、
ローラーにより搬送される枚葉状フレキシブル基板の基
板搬入部に、基板に帯電している静電気を除去するため
の除電手段を設置した構成としたものである。

【０００７】本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置は、上記除電手段としてイオン化エアーの吹き出
しによる除電バーを用い、該除電バーのエアー吹き出し
方向を、上記基板の搬送方向上流側へ向けて傾斜させて
設けた構成とすることができる。

【０００８】また本発明に係る枚葉状フレキシブル基板
の搬送装置は、上記フレキシブル基板が両縁に複数の開
口を備え、該フレキシブル基板を搬送するための搬送ベ
ルトの両縁に、上記フレキシブル基板の開口を嵌入させ
る突部を複数設けた構成とすることができる。

【０００９】さらに本発明に係る枚葉状フレキシブル基
板の搬送装置は、上記ローラーの両端部にテーパー部を
設けて構成してもよい。

【００１０】

【実施例】図１及び図２は本発明に係る枚葉状フレキシ
ブル基板の搬送装置の一実施例であるロールコーティン
グ装置を示す。図１はロールコーティング装置の平面
図、図２は同側面図である。なお以下では従来と共通す
る部分には共通する符号を付して重複する説明は省略す
る。

【００１１】図中２０は除電バーで、図２に示すように
イオン化エアーＡの吹き付け方向を基板１の搬入方向に
傾斜させて設置してある。下敷き２１に乗せた基板１
は、複数の搬送ロール２２により水平搬送され、除電バ
ー２０の下側を通過する際にイオン化エアーＡを吹き付
けられる。すると基板１の表面に帯電している静電気が
除去され、またイオン化エアーＡの吹き付けたときに飛
散するゴミなどが基板１に再付着することなく除去され
る。静電気を除去された基板１は、ドクターロール２に
より塗布液が転写されたコーティングロール３とバック
アップロール２３との間を通過して表面に塗布液が塗布
される。基板１の表面に静電気の帯電がないので、コー
ティングロール３に巻き込まれてたり、塗布液が基板１
の表面ではじけて塗布されにくかったりすることがな
く、全面に均一に製膜される。

【００１２】図３ないし図５は本発明に係る枚葉状フレ
キシブル基板の搬送装置の一実施例であるロールコーテ
ィング装置の他の例を示す。本例のコーティングロール
２５は基板１の塗布領域４に掛かる部分は直筒状とし、
塗布領域４を外れる部分をテーパー部２６としたもので
ある。除電バー２０の下側を通過して静電気が除去され
た基板１は、一定速度で回転しているコーティングロー
ル２５により塗布液７を塗布される。ここでコーティン
グロール２５のテーパー部２６に掛かる部分は基板１に
非接触であるため、当然に塗布液７の転写はなく、しか
もコーティングロール２５に余分に転写された塗布液７
はコーティングロール２５の塗布領域の両端部に溜まる
ことなく、図４及び図５に示すようにテーパー部２６に
流れてしまう。このため基板１の塗布領域４の両縁に厚
膜がせず、塗布領域４の塗布膜厚が均一なものになる。

【００１３】図６ないし図９は本発明に係る枚葉状フレ
キシブル基板の搬送装置の一実施例である回転ブラシを
用いる洗浄装置の例を示す。本例の基板３０は両側縁に
開口３１を一定間隔で複数設けたものであり、この基板
３０を搬送するための搬送ベルト３２は内側に網目状の
メッシュ部３３を設け、その両側縁部３４に一定間隔で
突部３５を設けてある。基板３０の開口３１の間隔と、
搬送ベルト３２の突部３５の間隔は同一であり、基板３
０が搬送ベルト３２上に載置され、搬送支持ロール３６
により支持されつつ搬送される際、これら開口３１内に
突部３５が嵌入するようになっている。

【００１４】図中３７は回転ブラシで、バックアップロ
ーラ３８によって裏面から支持された基板１の表面を洗
浄するようになっている。即ち、基板１は搬送ベルト３
２の突部３５に開口３１を保持された状態で搬送され、
その状態のまま回転ブラシ３７とバックアップローラ３
８の間へと安定状態で搬送される。そして、回転ブラシ
３７により表面を洗浄される。バックアップローラー３
８は搬送ベルト３２及び基板１を裏面から支持し、回転
ブラシ３７と基板１の接触を均一にし洗浄効果を向上さ
せる。なお搬送ベルト３２の中心部をメッシュ状するこ
とにより、上方からのシャワーをかける場合に水はけが
良くなり、搬送ベルト３２上を常にクリーンな状態に保
つことが可能となり品質の向上が図れる。

【００１５】

【発明の効果】請求項１の枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置は以上説明してきたように、基板に帯電している
静電気を除去するための除電手段を設けたことにより、
基板に帯電している静電気を容易に除去し、搬送を安定
化させることができるようになるという効果があり、ロ
ールコーティング装置に用いれば静電気による基板と塗
布液とのはじきがなく全面に均一に製膜させることがで
きるようになるという効果がある。

【００１６】請求項２の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置は、上記除電バーを基板搬入方向に傾斜させて設け
るようにしたので、搬送を安定化させるという共通の効
果に加え、イオン化エアーを基板に吹き付けたとき、飛
散するゴミなどが基板に再付着することがないようにす
ることができるという効果がある。

【００１７】請求項３の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置は、基板の両縁に設けた開口に搬送ベルトの両縁に
設けた突部を嵌入させて搬送するようにしたので、搬送
を非常に安定化させることができるという効果がある。

【００１８】請求項４の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置は、ローラーの両端部にテーパーを設けたことによ
り、上記共通の効果に加え、ロールコーティング装置に
用いれば基板の両側縁を非塗布領域として確保すること
ができ、フォトリソグラフィ（例えば露光工程）におい
て基板を保持する際、本来非塗布領域である部位に塗布
された塗布液の脱落を皆無にすることが可能となり、基
板周辺のハンドリング作業においても塗布面に接触する
ことなく行えるようになるという効果がある。また、塗
布領域の膜厚が均一になって厚膜部分がなくなるため、
現像工程での現像残りを防止し、それに起因するパター
ンのショート不良の低減及びパターン寸法のバラツキの
低減が図れるようになるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の
搬送装置の実施例であるロールコーティング装置の平面
図である。

【図２】図２は図１のロールコーティング装置の側面図
である。

【図３】図３は本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の
搬送装置の他の実施例であるロールコーティング装置の
平面図である。

【図４】図４は図３のロールコーティング装置の正面図
である。

【図５】図５は図４の部分拡大正面図である。

【図６】図６は本発明に係る枚葉状フレキシブル基板の
搬送装置の実施例である回転ブラシを用いる洗浄装置の
平面図である。

【図７】図７は図６の洗浄装置の正面図である。

【図８】図８は図６の洗浄装置の側面図である。

【図９】図９は図４に示す基板の平面図である。

【図１０】図１は従来の枚葉状フレキシブル基板の搬送
装置の例であるロールコーティング装置の平面図であ
る。

【図１１】図１１は図１０のロールコーティング装置の
側面図である。

【図１２】図１２は図１１に示す基板の平面図である。

【図１３】図１３は従来の枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置の例である他のロールコーティング装置の平面図
である。

【図１４】図１４は図１３のロールコーティング装置の
正面図である。

【図１５】図１５は図１３のロールコーティング装置の
部分側面図である。

【図１６】図１６は図１４の部分拡大正面図である。

【図１７】図１７は基板上への塗布膜の形成状態を示す
正面図である。

【図１８】図１８は従来の枚葉状フレキシブル基板の搬
送装置の例である洗浄装置の側面図である。

【図１９】図１９は図１８の洗浄装置の正面図である。

【図２０】図２０は図１８の洗浄装置の側面図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ ドクターロール ３ コーティングロール ４ 基板の塗布領域 ７ 塗布液 ７ａ 余った塗布液 ２０ 除電バー ２５ コーティングロール ２６ テーパー部 ３０ 基板 ３１ 開口 ３２ 搬送ベルト ３３ メッシュ部 ３５ 突部 ３７ 回転ブラシ Ａ イオン化エアー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石田 智美 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 宮口 耀一郎 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ローラーにより枚葉状フレキシブル基板
   を搬送する装置において、基板に帯電している静電気を
   除去するための除電手段を基板搬入部に設けたことを特
   徴とする枚葉状フレキシブル基板の搬送装置。
2. 【請求項２】 上記除電手段としてイオン化エアーの吹
   き出しによる除電バーを用い、該除電バーのエアー吹き
   出し方向を、上記基板の搬送方向上流側へ向けて傾斜さ
   せて設けたことを特徴とする請求項１の枚葉状フレキシ
   ブル基板の搬送装置。
3. 【請求項３】 上記フレキシブル基板が両縁に複数の開
   口を備え、該フレキシブル基板を搬送するための搬送ベ
   ルトの両縁に、上記フレキシブル基板の開口を嵌入させ
   る突部を複数設けたことを特徴とする請求項１または２
   の枚葉状フレキシブル基板の搬送装置。
4. 【請求項４】 上記ローラーの両端部にテーパー部を設
   けたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの枚
   葉状フレキシブル基板の搬送装置。