JP4562462B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
請求項3のように、前記枠部の内側周縁部に、前記光学要素を嵌め込む段付き部を形成すれば、光学要素の固定作業が容易になる。
また、請求項5のように、前記アクチュエータ本体の可動部が、前記トーションバーで軸支される平板部からなり、該平板部に前記光学要素を載置固定する構成としてもよい。この場合、請求項6のように、前記平板部に、前記光学要素を嵌め込む溝部を形成するとよい。
図1に、本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第1実施形態の平面図を示す。
図1において、本実施形態のプレーナ型アクチュエータは、アクチュエータ本体1と、該アクチュエータ本体1の後述する可動部13に固定する光学要素である例えば反射ミラー2と、静磁界発生手段として例えば一対の永久磁石3A,3Bとを備える。
図4は、第2実施形態のアクチュエータ本体の平面図、図5は図4のA−A矢視断面図である。尚、第1実施形態と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態のアクチュエータ本体1は、可動部13の枠部13Aの内側周縁部に、反射ミラー2を嵌め込むための段付き部13aを形成して構成する。
尚、反射ミラーが図1のような円形であれば、図6のように円形の段付き部13aとするとよく、反射ミラーの形状に対応した段付き部形状とすることが望ましい。また、反射ミラーの形状はどのような形状でもよいことは言うまでもない。また、図2,図4,図6のように、可動部13を枠状に形成すれば、可動部13が上下方向に貫通状態となるので、反射ミラー2の裏面側にも光学機能を設けることができる。即ち、反射ミラー2の両面に光ビームを反射する反射面を形成して使用することができる。また、アクチュエータ本体1に固定する光学要素として光ビームを透過するレンズを使用することが可能になる。
図7は、本実施形態のプレーナ型アクチュエータの平面図である。尚、第1実施形態と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。また、駆動コイル、電極端子及び静磁界発生手段は第1実施形態と同様であるので、図示を省略してある。
図7のプレーナ型アクチュエータは、アクチュエータ本体1の可動部13を、単に板状の平板部で構成したものである。
かかる構成では、可動部13に、熱硬化性接着剤を塗布した後、可動部13の動作を妨げないように反射ミラー2を載置固定する。
ただし、図7、図8の第3及び第4実施形態の場合には、アクチュエータ本体1の可動部13に設ける光学要素としてレンズは使用できない。
2 反射ミラー(光学要素)
3A,3B 永久磁石
11 固定部
12 トーションバー
13 可動部
13A 枠部
13B 梁部
13a 段付き部
13b 溝部
14 駆動コイル
15A,15B 電極端子
Claims (7)
- 可動部と、該可動部を固定部に対して回動可能に軸支するトーションバーと、前記可動部を前記トーションバーの軸回りに駆動する駆動手段と、前記可動部に設ける光学要素とを備えたプレーナ型アクチュエータにおいて、
前記可動部、前記トーションバー及び前記駆動手段を備えるアクチュエータ本体と別部材で形成した前記光学要素を、前記可動部上に載置する当該光学要素に対して緩衝材となるような熱硬化性接着剤で前記アクチュエータ本体の前記可動部に固定する構成としたことを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記アクチュエータ本体の可動部が、前記トーションバーで軸支される枠部と、該枠部の内側面から内方に向かって突設した複数の突出部とからなり、該複数の突出部上面に前記光学要素を載置固定する構成とした請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記枠部の内側周縁部に、前記光学要素を嵌め込む段付き部を形成した請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記アクチュエータ本体の可動部が、前記トーションバーで軸支される枠部からなり、該枠部の内側周縁部に前記光学要素を嵌め込む段付き部を形成した請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記アクチュエータ本体の可動部が、前記トーションバーで軸支される平板部からなり、該平板部に前記光学要素を載置固定する構成とした請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記平板部に、前記光学要素を嵌め込む溝部を形成した請求項5に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記光学要素が、反射ミラーである請求項1〜6のいずれか1つに記載のプレーナ型アクチュエータ。
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