JP4550794B2 - 能動デバイスアレイ基板とその製造方法 - Google Patents
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Description
この発明は、有機材料層を形成する特殊な方法を使用する。そして、プラズマ処理が有機材料層の表面に施されて凹状パターンを形成し、液晶分子が異なるプレチルト角で配向するように配列されるから、「むら(斑mura)効果」を低減する。さらに、類似する従来技術と比較して、この発明の凹状パターンを製作する方法は、低い製作コストという利点および液晶分子の寸法に近いマイクロメーターを有する凹状パターンを製作する能力を備えている。
<第1実施例>
図1Aと図1Bとは、この発明の実施形態にかかる能動デバイスアレイ基板を製造するプロセスを示す平面図である。図2A〜図2Dは、この発明の実施形態にかかる能動デバイスアレイ基板を製造するプロセスを図1Aおよび図1BのI−I’線に沿って示す要部断面図である。
第1実施例中、能動デバイスアレイ基板が有機材料層の下に保護層を伴って形成されている。しかしながら、保護層は、この発明において絶対的に必要なものではない。実際、有機材料層は、能動デバイス・データ線・走査線を形成した後で直接形成することができる。以下に詳細を説明する。
102 走査線
104 データ線
106 能動デバイス
106a ゲート電極
106b ゲート絶縁層
106c チャネル層
106d ソース(116d)
106e ドレイン
108 保護層
110 有機材料層
112 接触開口
114 プラズマ処理
115 凹状パターン
116 画素電極
300 有機材料層
302 接触開口
304 プラズマ処理
305 凹状パターン
306 画素電極
Claims (12)
- 能動デバイスアレイ基板を製造する方法であって:
基板を提供することと;
前記基板上に複数の走査線・複数のデータ線・複数の能動デバイスを形成し、そのうち、前記した各能動デバイスが対応する前記走査線および前記データ線に電気接続されることと;
前記基板上に前記走査線・前記データ線・前記能動デバイスを被膜する保護層を形成することと、
前記基板上に有機材料層を形成して前記保護層を被覆することと;
前記有機材料層中に複数の接触開口を形成し、前記複数の接触開口が前記保護層を露出させることと、
前記有機材料層の表面にプラズマ処理を行って前記有機材料層の前記表面上に複数の凹状パターンを形成すると同時に、前記複数の接触開口中で露出された前記保護層を除去し、
そのうち、前記した各凹状パターンの寸法が1ミクロン(μm)より小さいことと;
前記有機材料層上に複数の画素電極を形成し、前記した各画素電極が対応する前記能動デバイスの1つに電気接続されることと
を含むものである能動デバイスアレイ基板を製造する方法。 - 前記した有機材料層を形成することが:
有機材料溶液を調製することと;
前記基板上に前記有機材料溶液をコーティングすることと;
ベーキングプロセスを実行して前記有機材料溶液を硬化させるとともに、前記有機材料層を形成することと
を含むものである請求項1記載の方法。 - 前記有機材料溶液が、絶縁材料・第1溶剤・第2溶剤を含み、前記第1溶剤が第2溶剤の沸点より高い沸点を有するものである請求項2記載の方法。
- 前記有機材料溶液中の前記第1溶剤の量が、前記有機材料溶液中の前第2溶剤より少ないものである請求項3記載の方法。
- 前記第1溶剤および前記第2溶剤が、それぞれジエチレングリコールメチルエチルエーテル(diethylene glycol methyl ethyl ether = EDM)・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(propylene glycol monomethyl ether acetate = PGMEA)・プロピレングリコールメチルエチルエーテル(propylene glycol methyl ether = PGME)・ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(diethylene glycol monoethyl ether acetate = CTAC)からなる群より選択されるものである請求項3記載の方法。
- 前記ベーキングプロセスが実行される時、前記有機材料層の前記表面が50℃〜160℃間の温度に維持されるものである請求項2記載の方法。
- さらに、前記ベーキングプロセスを実行する前に、真空乾燥プロセスが実行されることを含むものである請求項2記載の方法。
- 前記プラズマ処理に使用される反応ガスが、ハロゲン含有ガス・酸素・窒素・不活性ガスまたはそれらの組み合わせを含むものである請求項1記載の方法。
- 前記不活性ガスが、アルゴンを含むものである請求項8記載の方法。
- 前記プラズマ処理に供給される圧力が、1大気圧より高くないものである請求項1記載の方法。
- 前記した複数の能動デバイスが、薄膜トランジスターを含むものである請求項1記載の方法。
- 前記有機材料層の前記表面上の前記した複数の各凹状パターンが、0.1〜1マイクロメーター間の寸法を有するものである請求項1記載の方法。
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