JP4543543B2 - 圧力センサ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体圧力を大気圧との差に応じて電気信号に変換するセンサチップ（圧力検知素子）を用いて流体圧力を測定する圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の圧力センサは、例えば自動車等に搭載され、油圧等の各種流体圧力を測定するために使用されるものである。従来技術の圧力センサは、図３〜図６の概略断面図に示されるものである。
【０００３】
図３〜図６の圧力センサ１００〜４００では、ダイアフラム１０２下面が測定対象流体の圧力を受け、この受圧した圧力によってダイアフラム１０２が変形し、該ダイアフラム１０２とセンサチップ（圧力検知素子）１０４間に封入されたシリコンオイルによって圧力がセンサチップ１０４に伝達される。
【０００４】
センサチップ１０４に伝達された圧力は、リファレンスパイプ１０７から導入された大気圧との差（ゲージ圧）に応じて電気信号に変換される。
【０００５】
このセンサチップ１０４が変換した電気信号は、ピン１０８及びサブサーキット１１１を介してＨＩＣ１１３へ伝えられ、ＨＩＣ１１３にて電気信号が増幅・調整された後、リード線１１８から出力される又はフレキシブルサーキット１１４を介してのコネクタ部１４０のコネクタピン（出力端子）１４１から出力される。
【０００６】
このような従来の圧力センサ１００〜４００では、センサチップ１０４での電気信号の変換に、測定対象圧力と大気圧との差圧をゲージ圧として用いるので、測定精度の悪化防止のためには常に大気圧を基準とする必要がある。特に、低圧測定用の圧力センサの場合には、大気圧を正確にセンサチップ１０４まで導く必要がある。
【０００７】
センサ内部に配置されたリファレンスパイプ１０７は、センサチップ１０４への大気圧導入のためにあるが、リファレンスパイプ１０７のセンサチップ１０４側端と反対側端は、センサ内部空間に開放されている開放端となっているだけである。
【０００８】
このため、外部の大気圧を何らかの方法でセンサ内部のリファレンスパイプ１０７の開放端へ導く構成を設けなければならない。
【０００９】
以下、図３〜図６の従来技術の圧力センサ１００〜４００で、大気圧をセンサ内部へ導く各々で異なる構成を説明する。
【００１０】
図３では、外部へ出力するリード線１１８をシース１１９で１束にしたキャブタイヤケーブル１６０に、第２リファレンスパイプ１６１もリード線１１８と伴に１束にした構成である。キャブタイヤケーブル１６０の第２リファレンスパイプ１６１は、一端が外部に開放され、他端がセンサ内部に開放されており、外部からセンサ内部へ大気圧を導入している。
【００１１】
図４では、外部へ出力するリード線１１８をシース１１９で１束にしたキャブタイヤケーブル１６０のシース１１９とリード線１１８間に隙間を設けた構成である。シース１１９とリード線１１８間の隙間を用いて外部からセンサ内部へ大気圧を導入している。
【００１２】
この図４の応用例として、キャブタイヤケーブル１６０が本体に接続されるケース上部（ブッシュ部等）に防水コネクタ部を設け、キャブタイヤケーブル１６０を防水コネクタ部へコネクタ接続した際に、キャブタイヤケーブル１６０のシース１１９とリード線１１８間の隙間と防水コネクタ部に設けた通路とを接続する構成もある。
【００１３】
図５では、ケース１３０とプレッシャポート１２０をネジ１２３等で結合して組み立てる際に、ネジ１２３の装着部やケース１３０とプレッシャポート１２０の結合部に隙間を設けた構成である。この隙間を用いて外部からセンサ内部へ大気圧を導入している。
【００１４】
図６では、ケース１３０に直接、外部からセンサ内部に貫通する貫通孔１３０ａを設けた構成である。この貫通孔１３０ａを用いて外部からセンサ内部へ大気圧を導入している。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術の圧力センサで、大気圧をセンサ内部へ導く構成には、以下のような問題があった。
【００１６】
図３、図４の構成では、構造上、センサ内部に貫通コンデンサを取り入れ難く、出力の耐ノイズ性が大きくダウンしてしまう。
【００１７】
また、図３、図４の構成では、キャブタイヤケーブルの長さ、屈曲状態によっては、大気圧の導入に時間遅れが発生し、出力精度の低下の一因となる。
【００１８】
さらに、図３、図４の構成では、圧力センサに一体的にキャブタイヤケーブルが設けられているため、圧力センサの取付時には、キャブタイヤケーブルごと圧力センサを回して装着する等取り扱いが面倒であり、製作上もキャブタイヤケーブルが邪魔となり取り扱いが困難である。
【００１９】
図４の応用例の構成では、キャブタイヤケーブルにさらにコネクタを追加するので、コネクタ部品の単価も高く、コスト高になってしまう。
【００２０】
そして、圧力センサは、例えば自動車等に搭載されるため、雨天走行時や洗車時等に水の浸入を防止する防水性が必要であるが、図３、図４の構成では、第２リファレンスパイプの外部開放端から毛細管現象によって水を吸ってしまい、図４の応用例の構成では、防水コネクタ部自身又はコネクタ接続部分から水が浸入する可能性があり、図５、図６の構成では、抜本的な防水対策がとられておらず、各構成ともセンサ内部に水が浸入してしまう問題があった。
【００２１】
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、大気圧をセンサ内部に導入しつつ防水性を向上する高性能な圧力センサを提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明にあっては、
センサにおいてプレッシャポート内部に配置され、伝達される対象流体の圧力を、センサ内部に導入された大気圧との差に応じて電気信号に変換する圧力検知素子と、
センサにおいてプレッシャポートに接合されたケース内部に配置され、ハイブリッドＩＣを含み、前記圧力検知素子から伝達された前記電気信号を処理するための回路と、
前記ケースの前記プレッシャポートとは反対側に嵌合され、前記回路において処理された電気信号が伝達される出力端子が内側に突出すると共に外側を相手側雌コネクタの外装部に嵌合されるシェルガイドを有する雄コネクタと、
前記ケース内部の前記回路が配置された領域と前記雄コネクタとの間に設けられて電磁波を遮断するとともに、前記出力端子が接続される貫通コンデンサを有するプレートと、を備えた圧力センサであって、
前記シェルガイドの外側からセンサ内部に大気圧を導くべく前記雄コネクタの前記シェルガイドを貫通し、前記相手側雌コネクタの外装部に開口が覆われる大気圧導入孔と、
前記大気圧導入孔から導入された大気圧を、前記プレートの前記雄コネクタ側から前記ケース側に導くべく、前記プレートに設けられた空気導通用の孔と、
前記空気導通用の孔から前記プレートの前記ケース側に導入された大気圧を、前記圧力検知素子まで導くべく、前記ケース内部に充填されるポッティング剤の充填領域内を前記雄コネクタ側から前記プレッシャポート側まで延びるパイプ、及び、前記プレッシャポート内部を前記パイプの前記プレッシャポート側の一端から前記圧力検出素子まで延びる貫通孔と、
を備え、
前記ハイブリッドＩＣを、前記ポッティング剤の充填領域内部に配置したことを特徴とする。
【００２３】
したがって、大気圧導入孔でシェルガイドの外側から内側へ大気圧を導き、シェルガイド内側からセンサ内部へ大気圧を導入して、外部からセンサ内部へ大気圧を導く大気圧導入経路を形成することができると共に、外部で飛散する水滴等は相手側雌コネクタの外装部で防ぎ、大気圧導入孔の開口への水の浸入が防止され、優れた防水性を得ることができる。
【００２４】
また、簡単なコネクタ接続の構成であるので、センサ内部に貫通コンデンサを取り入れ、出力の耐ノイズ性を向上できると共に、取付時や製作時の取り扱いが容易であり、低コストである。雄コネクタのシェルガイドの大気圧導入孔から大気圧を導入するので、センサ内部までの大気圧導入経路が短く、時間遅れが発生せず、測定精度の悪化が防止できる。大気圧導入孔は、シェルガイドの内外を貫通する構成であるので、製作も容易である。
【００２５】
接続時の前記雄コネクタの前記シェルガイド先端と前記相手側雌コネクタとの隙間を密封するパッキンを備え、
前記大気圧導入孔は、前記パッキンで密封される領域よりも前記シェルガイド根元側に設けられたことが好適である。
【００２６】
これにより、パッキンで、雄コネクタと相手側雌コネクタとの間に全周にわたって存在する隙間によって雄コネクタと相手側雌コネクタとの間にガタが生じて水が浸入することを防止できる。また、大気圧導入孔は、そのパッキンの影響を受けることなく、シェルガイドの外側から内側へ大気圧を導くことができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２８】
以下に、図１、図２を用いて実施の形態を説明する。図１は実施の形態に係る圧力センサを示す断面図である。図２は実施の形態に係る圧力センサ装着時のコネクタ接続部分を拡大して示す断面図である。
【００２９】
図１において、圧力センサ１は、従来技術と同様に、自動車等に搭載され、油圧回路の油圧等の各種流体圧力を測定するために使用されるものである。
【００３０】
圧力センサ１は、下側方のボルト状の金属製プレッシャポート２０と、プレッシャポート２０と接合された筒状のケース３０と、ケース３０の上側の樹脂製コネクタ部４０と、が嵌合した外装となっている。
【００３１】
プレッシャポート２０は、下方が油圧回路の油圧測定部の取付孔に螺合するために外周面にネジ部２１ａが設けられ流路に測定対象流体である油が流れるポート部２１であり、上方が１周の外周形状が例えば６角ナットのように多角形状に設けられた内部中空の本体部２２である。
【００３２】
プレッシャポート２０には、本体部２２の内部中空の底にダイアフラム２が設けられている。ダイアフラム２の下面は、ポート部２１の流路の流体に接触し流体の圧力を直接受ける受圧面となっている。
【００３３】
ダイアフラム２の上にはボディ３が重ねられ、本体部２２の内部中空を埋めている。ボディ３下面には、凹部が形成されており、この凹部にセンサチップ（圧力検知素子）４、スペーサ５及びガイド６が配置されている。
【００３４】
凹部は、ダイアフラム２上面とで密封された空間となっており、この空間にシリコンオイルが充填されている。
【００３５】
センサチップ４は、凹部上底面の中心に固定されている。センサチップ４の上面は、ボディ３に設けられた貫通孔３ａの開口を閉塞している。
【００３６】
スペーサ５は、センサチップ４の周りを囲んで凹部上底面に固定されている。
スペーサ５の下面には、導通パターンが形成されており、導通パターンとセンサチップ４との間がボンディングワイヤで接続されている。
【００３７】
ガイド６は、外周に設けられた環部でスペーサ５との隙間を隔てるようにしてスペーサ５の下側に固定されている。このスペーサ５とガイド６との間に形成された隙間でボンディングワイヤがガイド６と接触することも防止している。
【００３８】
そして、センサチップ４は、ダイアフラム２下面の受圧面が流体の圧力を受け、この圧力によってダイアフラム２が変形し、シリコンオイルを伝達して圧力を下面に受ける。
【００３９】
センサチップ４の下面に伝達された圧力は、リファレンスパイプ７から貫通孔３ａに導入されセンサチップ４の上面が受ける大気圧との差（ゲージ圧）に応じて電気信号に変換される。
【００４０】
このセンサチップ４の出力する電気信号は、ボンディングワイヤを介してスペーサ５下面の導通パターンへ伝達される。
【００４１】
また、ボディ３には、導電性を有するピン８が挿通されている。ピン８周りは、ガラス９で封止されており、絶縁性を確保してピン８がボディ３と導通することを防止し、かつシリコンオイルがピン８周りへ漏洩することを防止している。
【００４２】
また、ピン８の下端はスペーサ５下面に突出しており、ピン８下端とスペーサ５下面の導通パターンとが導通されている。一方、ピン８上端はボディ３から突出し、ケース３０内部に延びている。よって、センサチップ４の電気信号は、スペーサ５下面の導通パターンからさらにピン８へ伝達される。
【００４３】
ケース３０は、内部にサブサーキット１１やＨＩＣ（ハイブリッドＩＣ）１３等を収納している。
【００４４】
ケース３０内部の底は、絶縁体である樹脂製のインシュレータ１０がボディ３の上に支持されている。インシュレータ１０は、ボディ３から突き出たピン８を位置決め固定する。このインシュレータ１０はサブサーキット１１を支持固定している。
【００４５】
サブサーキット１１は、インシュレータ１０上面に設けられている。サブサーキット１１には、回路パターンが形成されている。また、上方へ延びるコムリード１２が中央近傍に複数配置されており、コムリード１２はサブサーキット１１の回路と接続されている。
【００４６】
また、ケース３０内部へ突出したピン８の上端はサブサーキット１１まで至っており、サブサーキット１１の回路とピン８の上端とがはんだ付けされている。
【００４７】
よって、ピン８に伝達されたセンサチップ４の電気信号は、サブサーキット１１の回路を介してコムリード１２へ伝達される。
【００４８】
サブサーキット１１の上には、ＨＩＣ１３が設けられている。ＨＩＣ１３には、センサチップ４の電気信号の増幅・調整をデジタルトリミングにより行うＡＳＩＣ（カスタムＩＣ）やセンサチップ４への供給電力量を制御するトランジスタやフレキシブルサーキット１４を接続するためのピンヘッダ等が備えられている。
【００４９】
ＨＩＣ１３は、中央近傍でコムリード１２上端部に支持固定されており、コムリード１２上端とはんだ付けされている。
【００５０】
よって、コムリード１２へ伝達されたセンサチップ４の電気信号は、ＨＩＣ１３に設けられたＡＳＩＣで増幅・調整が行われ、その後に、増幅・調整が行われた電気信号がピンヘッダを介してフレキシブルサーキット１４へ伝達される。
【００５１】
また、ケース３０内部は、インシュレータ１０からＨＩＣ１３の上側まで、各部材を保護する等のためにシリコンゲル等のポッティング剤１５が充填されている。
【００５２】
一方、リファレンスパイプ７もポッティング剤１５の充填領域に配置されている。リファレンスパイプ７は、一端がボディ３に設けられた貫通孔３ａに接続され、この接続端からインシュレータ１０及びサブサーキット１１の上方へ延びた後に曲折し、ケース３０内壁近傍のＨＩＣ１３外側でポッティング剤１５から他端の開放端をケース３０内部空間に突き出している。これにより、センサチップ４上面へ空気が導通されている。
【００５３】
また、ＨＩＣ１３の上側には、電磁波を遮蔽する蓋状の金属製のプレート１６が設けられている。プレート１６は、外周端をケース３０上端内周に係止させている。また、空気導通用の孔１６ａが形成されている。
【００５４】
このプレート１６には、中央近傍に貫通コンデンサ１７が設けられており、貫通コンデンサ１７はコネクタ部４０のコネクタピン（出力端子）４１とはんだ付けされて接続されている。また、フレキシブルサーキット１４もコネクタピン４１とはんだ付けされて接続されている。フレキシブルサーキット１４とコネクタピン４１の接続部には、電気的接続を良好にするための基板を介在させている。
【００５５】
プレート１６の上側では、ケース３０を蓋状に覆うコネクタ部４０がケース３０に装着される。コネクタ部４０の下端がプレート１６を下方に押し付け、コネクタ部４０の下端外周のフランジがケース３０上端とカシメ固定されている。コネクタ部４０下端外周とケース３０内周との間には、ケース３０内部を密封するＯリングが装着されている。
【００５６】
コネクタ部４０は、頂部に略直方体のシェルガイド４２が設けられており、シェルガイド４２の内側にコネクタピン４１が突出した雄コネクタである。
【００５７】
シェルガイド４２は、内側から外側へ貫通する大気圧導入孔４２ａが設けられている。シェルガイド４２先端には、内径がシェルガイド４２根元よりも大きくなっている先端部４２ｂが設けられている。大気圧導入孔４２ａは、先端部４２ｂよりも根元側に設けられている。また、シェルガイド４２の外周面には、相手側コネクタ５０の外装部５１に係止する係止突起４２ｃが形成されている。
【００５８】
コネクタピン４１は、ケース３０内部に達して貫通コンデンサ１７とはんだ付けされている。なお、コネクタピン４１がコネクタ部４０内部で折れ曲がっているのは、相手側コネクタ５０の取り付け、取り外しを繰り返し行っていくうちにコネクタピン４１が緩む（抜き出てしまう）ことを防止するためである。
【００５９】
コネクタ部４０には、コネクタ部４０をカシメ固定する際の（コネクタ部４０を押え付けることでセンサ内部容積が減少することによる）内圧上昇を防止するため、圧力逃げのφ１ｍｍ程度の圧力逃げ孔（不図示）が設けられるが、本実施の形態では、この圧力逃げ孔をセンサ内部からシェルガイド４２の内側に通じる位置に設けている。
【００６０】
そして、ＨＩＣ１３で増幅・調整が行われた電気信号が、フレキシブルサーキット１４から貫通コンデンサ１７を介してコネクタピン４１に伝達されて圧力センサ１から取り出され、相手側コネクタ５０から外部装置に伝達される。
【００６１】
ここで、図２を用いて、本実施の形態に係る圧力センサ１が装着される相手側コネクタ５０についても詳しく説明する。
【００６２】
図２において、相手側コネクタ５０は、雌コネクタであり、コネクタピン４１が差込まれる。相手側コネクタ５０には、シェルガイド４２の外側を嵌合する外装部５１が設けられている。
【００６３】
外装部５１は、微小隙間を隔ててシェルガイド４２を根元まで覆っており、シェルガイド４２の大気圧導入孔４２ａの開口も覆われている。シェルガイド４２外周面と対向する外装部５１内壁には、係止突起４２ｃを係止するための係止穴５１ａが形成されている。
【００６４】
また、相手側コネクタ５０には、シェルガイド先端部４２ｂと相手側コネクタ５０との隙間を密封するパッキン５２が備えられており、シェルガイド４２の先端部４２ｂの大きな内径領域に嵌合する。
【００６５】
以上の構成を備えた本実施の形態の圧力センサ１では、大気圧導入孔４２ａを用いて外部からセンサ内部へ大気圧を導く大気圧導入経路を形成することができる。
【００６６】
具体的には、まず、相手側コネクタ５０の外装部５１とシェルガイド４２外周との間の微小隙間で、外部から大気圧導入孔４２ａへ大気圧を導く。この時、外部で飛散する水滴等は相手側コネクタ５０の外装部５１で防ぎ、大気圧導入孔４２ａの開口への水の浸入が防止され、優れた防水性を得ることができる。
【００６７】
次に、大気圧導入孔４２ａでシェルガイド４２の外側から内側へ大気圧を導く。この大気圧導入孔４２ａの孔径は、φ０．１ｍｍ〜φ０．８ｍｍで形成される。このため、仮に水が開口に浸入してきても孔径が極小であり、孔内への水の浸入は抑えられる。特に、大気圧を導きつつ水の浸入を防止するには、φ０．３ｍｍ〜φ０．５ｍｍの孔径であると有効である。
【００６８】
そして、シェルガイド４２内側からセンサ内部へ大気圧を導入する。本実施の形態では、シェルガイド４２内側からセンサ内部へ通じる不図示の圧力逃げ孔を用いてセンサ内部への大気圧の導入を行う。
【００６９】
なお、コネクタ部４０には、コネクタピン４１がインサート成形により一体形成されているが、コネクタピン４１の周りは完全にシールされておらず、そのような仕様にもなっていないことから、コネクタピン４１の周りの微小隙間を用いてセンサ内部への大気圧の導入を行うようにしてもよい。
【００７０】
センサ内部では、まず、大気圧がコネクタ部４０とプレート１６との間に導入される。プレート１６には、孔１６ａが設けてあることから、孔１６ａを介してケース３０内部にも導かれる。さらに、ケース３０内部の大気圧はリファレンスパイプ７によってセンサチップ４表面まで行き届く。よって、測定対象圧力と大気圧との差圧をゲージ圧として用いるセンサチップ４では、常に大気圧を基準とする電気信号の変換が行え、測定精度の悪化防止ができる。
【００７１】
また、本実施の形態の圧力センサ１は、簡単なコネクタ接続の構成であるので、センサ内部にコネクタピン４１に接続される貫通コンデンサ１７を取り入れ、出力の耐ノイズ性を向上できると共に、従来技術のようなキャブタイヤケーブル等がなく、取付時や製作時の取り扱いが容易であり、部品点数も少なく低コストである。
【００７２】
そして、コネクタ部４０のシェルガイド４２の大気圧導入孔４２ａから大気圧を導入するので、大気圧導入位置とセンサ内部が離れてしまうこともなく、大気圧導入の時間遅れが発生せず、測定精度の悪化が防止できる。
【００７３】
また、大気圧導入孔４２ａは、シェルガイド４２の内外を貫通する構成であるので、製作も容易である。このため、大気圧導入のための構成は低コストで形成できる。
【００７４】
一方、パッキン５２で、コネクタ部４０と相手側コネクタ５０との間に全周にわたって存在する隙間によってコネクタ部４０と相手側コネクタ５０との間にガタが生じて水が浸入することを防止できる。このため、浸入した水によってコネクタピン４１を腐食させてしまうことやセンサ内部への水の浸入を防止できる。
【００７５】
また、大気圧導入孔４２ａは、パッキン５２で密封される領域よりもシェルガイド４２根元側に設けられているので、そのパッキン５２の影響を受けることなく、シェルガイド４２の外側から内側へ大気圧を導くことができる。
【００７６】
（防水性試験）
以下、上記実施の形態での防水性試験を行った結果について説明する。防水性試験は、ＪＩＳ Ｄ２０３に準拠して行う。ＪＩＳ Ｄ２０３のＳ１条件での試験は、ＪＩＳ Ｃ９２０でのＩＰ５５、ＩＰ５６（ＩＥＣ準拠）程度の保護等級に相当するものである。
【００７７】
本試験に用いる圧力センサ１の大気圧導入孔４２ａの孔径は、φ０．５ｍｍに設定した。
【００７８】
防水性試験の試験結果は、Ｓ１条件を縦方向３回連続、横方向３回連続した試験に耐えることができた。
【００７９】
また、Ｓ１条件の試験時間は３０ｍｉｎであるが、試験時間を３ｈに変更して縦横方向にそれぞれ１回ずつ行った試験でも、水の浸入の問題は発生しなかった。
【００８０】
以上のように、実施の形態に係る圧力センサ１は、簡易な構成で極めて防水性に優れ、自動車に搭載する場合に特に最適な構造である。
【００８１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にあっては、雄コネクタのシェルガイドを貫通し、相手側雌コネクタの外装部に開口が覆われる大気圧導入孔を備えたことで、大気圧導入孔でシェルガイドの外側から内側へ大気圧を導き、シェルガイド内側からセンサ内部へ大気圧を導入して、外部からセンサ内部へ大気圧を導く大気圧導入経路を形成することができると共に、外部で飛散する水滴等は相手側雌コネクタの外装部で防ぎ、大気圧導入孔の開口への水の浸入が防止され、優れた防水性を得ることができる。
【００８２】
また、簡単なコネクタ接続の構成であるので、センサ内部に貫通コンデンサを取り入れ、出力の耐ノイズ性を向上できると共に、取付時や製作時の取り扱いが容易であり、低コストである。雄コネクタのシェルガイドの大気圧導入孔から大気圧を導入するので、センサ内部までの大気圧導入経路が短く、時間遅れが発生せず、測定精度の悪化が防止できる。大気圧導入孔は、シェルガイドの内外を貫通する構成であるので、製作も容易である。
【００８３】
接続時の雄コネクタのシェルガイド先端と相手側雌コネクタとの隙間を密封するパッキンを備え、大気圧導入孔は、パッキンで密封される領域よりもシェルガイド根元側に設けられたことで、パッキンで、雄コネクタと相手側雌コネクタとの間に全周にわたって存在する隙間によって雄コネクタと相手側雌コネクタとの間にガタが生じて水が浸入することを防止できる。また、大気圧導入孔は、そのパッキンの影響を受けることなく、シェルガイドの外側から内側へ大気圧を導くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態に係る圧力センサを示す断面図である。
【図２】実施の形態に係る圧力センサ装着時のコネクタ接続部分を拡大して示す断面図である。
【図３】従来技術の圧力センサを示す断面図である。
【図４】従来技術の圧力センサを示す断面図である。
【図５】従来技術の圧力センサを示す断面図である。
【図６】従来技術の圧力センサを示す断面図である。
【符号の説明】
１ 圧力センサ
２ ダイアフラム
３ ボディ
３ａ 貫通孔
４ センサチップ
５ スペーサ
６ ガイド
７ リファレンスパイプ
８ ピン
９ ガラス
１０ インシュレータ
１１ サブサーキット
１２ コムリード
１３ ＨＩＣ
１４ フレキシブルサーキット
１５ ポッティング剤
１６ プレート
１６ａ 孔
１７ 貫通コンデンサ
２０ プレッシャポート
２１ ポート部
２１ａ ネジ部
２２ 本体部
３０ ケース
４０ コネクタ部
４１ コネクタピン
４２ シェルガイド
４２ａ 大気圧導入孔
４２ｂ 先端部
４２ｃ 係止突起
５０ 相手側コネクタ
５１ 外装部
５１ａ 係止穴
５２ パッキン

Claims (2)

1. センサにおいてプレッシャポート内部に配置され、伝達される対象流体の圧力を、センサ内部に導入された大気圧との差に応じて電気信号に変換する圧力検知素子と、
   センサにおいてプレッシャポートに接合されたケース内部に配置され、ハイブリッドＩＣを含み、前記圧力検知素子から伝達された前記電気信号を処理するための回路と、
   前記ケースの前記プレッシャポートとは反対側に嵌合され、前記回路において処理された電気信号が伝達される出力端子が内側に突出すると共に外側を相手側雌コネクタの外装部に嵌合されるシェルガイドを有する雄コネクタと、
   前記ケース内部の前記回路が配置された領域と前記雄コネクタとの間に設けられて電磁波を遮断するとともに、前記出力端子が接続される貫通コンデンサを有するプレートと、を備えた圧力センサであって、
   前記シェルガイドの外側からセンサ内部に大気圧を導くべく前記雄コネクタの前記シェルガイドを貫通し、前記相手側雌コネクタの外装部に開口が覆われる大気圧導入孔と、
   前記大気圧導入孔から導入された大気圧を、前記プレートの前記雄コネクタ側から前記ケース側に導くべく、前記プレートに設けられた空気導通用の孔と、
   前記空気導通用の孔から前記プレートの前記ケース側に導入された大気圧を、前記圧力検知素子まで導くべく、前記ケース内部に充填されるポッティング剤の充填領域内を前記雄コネクタ側から前記プレッシャポート側まで延びるパイプ、及び、前記プレッシャポート内部を前記パイプの前記プレッシャポート側の一端から前記圧力検出素子まで延びる貫通孔と、
   を備え、
   前記ハイブリッドＩＣを、前記ポッティング剤の充填領域内部に配置したことを特徴とする圧力センサ。
2. 接続時の前記雄コネクタの前記シェルガイド先端と前記相手側雌コネクタとの隙間を密封するパッキンを備え、
   前記大気圧導入孔は、前記パッキンで密封される領域よりも前記シェルガイド根元側に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。

Images