JPH02141635A - 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 - Google Patents
高圧用半導体式圧力センサの取付け構造Info
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- JPH02141635A JPH02141635A JP29526988A JP29526988A JPH02141635A JP H02141635 A JPH02141635 A JP H02141635A JP 29526988 A JP29526988 A JP 29526988A JP 29526988 A JP29526988 A JP 29526988A JP H02141635 A JPH02141635 A JP H02141635A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧力検出素子として半導体圧力検出素子を使
用した半導体式圧力センサの取付は構造に関するもので
あり、特に、500kgf/aa以上の高圧下にて用い
るのに都合の良いものである。
用した半導体式圧力センサの取付は構造に関するもので
あり、特に、500kgf/aa以上の高圧下にて用い
るのに都合の良いものである。
被検出圧力に応じた電気信号を発生する圧力センサとし
て、従来から種々の検出原理のものが知られているが、
近年に至りシリコン基板にピエゾ抵抗素子を形成してな
る、いわゆる半導体圧力検出素子が広く使用されるよう
になってきた。
て、従来から種々の検出原理のものが知られているが、
近年に至りシリコン基板にピエゾ抵抗素子を形成してな
る、いわゆる半導体圧力検出素子が広く使用されるよう
になってきた。
ところで、この半導体圧力検出素子を用いた圧力センサ
には、この素子の劣化に伴う問題点を除くため、シリコ
ーンオイル等の適当な液体中に検出素子を封入した状態
で使用する、いわゆる液封、型圧力センサとして構成さ
れたものが知られており、その−例を第4図に示す。
には、この素子の劣化に伴う問題点を除くため、シリコ
ーンオイル等の適当な液体中に検出素子を封入した状態
で使用する、いわゆる液封、型圧力センサとして構成さ
れたものが知られており、その−例を第4図に示す。
この第4図において、100はその一端の凹部101内
に台座102および半導体圧力検出素子103を有する
ハウジングであり、その凹部101内にはシリコーンオ
イル等の封入液104が充填しており、又、これをハウ
ジング100に対して溶接等により固着したシールダイ
ヤフラム105により気密に封止している。そして、検
出素子103からリード106を介して取り出される電
気信号を外部に導くために、凹部101内にはハーメチ
ック端子107の一端が導出している。このハーメチッ
ク端子107は、ハウジング100内を貫通してガラス
108によりハーメチックシールされており、その他端
を回路基板109側の非受圧部に導出している。そして
、このように構成された圧力センサを取付は部材110
に対してネジ111により取付ける。この場合、図中矢
印で示すような方向から作用する被検出圧力媒体の圧力
はゴム製の0−リング112でシールされる。
に台座102および半導体圧力検出素子103を有する
ハウジングであり、その凹部101内にはシリコーンオ
イル等の封入液104が充填しており、又、これをハウ
ジング100に対して溶接等により固着したシールダイ
ヤフラム105により気密に封止している。そして、検
出素子103からリード106を介して取り出される電
気信号を外部に導くために、凹部101内にはハーメチ
ック端子107の一端が導出している。このハーメチッ
ク端子107は、ハウジング100内を貫通してガラス
108によりハーメチックシールされており、その他端
を回路基板109側の非受圧部に導出している。そして
、このように構成された圧力センサを取付は部材110
に対してネジ111により取付ける。この場合、図中矢
印で示すような方向から作用する被検出圧力媒体の圧力
はゴム製の0−リング112でシールされる。
こうして作られた圧力センサは、シールダイヤフラム1
05及び封入液104を介して、検出素子103が被測
定圧力を受け、それに応じた電気信号をハーメチック端
子107に発生し、圧力センサとして動作することにな
る。
05及び封入液104を介して、検出素子103が被測
定圧力を受け、それに応じた電気信号をハーメチック端
子107に発生し、圧力センサとして動作することにな
る。
又、この液封型圧力センサによれば、検出素子103の
検出面がシリコーンオイル等の安定な液体によって封じ
込められているため、被測定圧力がもたらす液体等によ
る劣化の恐れがなく、耐環境性に富み、高い信頼性を与
えることができる。
検出面がシリコーンオイル等の安定な液体によって封じ
込められているため、被測定圧力がもたらす液体等によ
る劣化の恐れがなく、耐環境性に富み、高い信頼性を与
えることができる。
(発明が解決しようとする課題〕
ところで、このような構成の圧力センサにおいては、セ
ンサ全体としては被検出圧力媒体から受ける圧力は、そ
のシール部分である0−リング112の径で決まり、こ
の径が大きくなる程、受ける圧力は高くなる。第4図の
構成では、ネジ111が形成される位置がO−リング1
12によるシール部分よりも被検出圧力媒体側にあるの
で、Oリング112の径は必然的にネジ111の径より
も大きくせざるを得なかった。そして、このように0−
リング112の径が制限されるので、被検出圧力として
500kgf/c+f1以上の高圧用として使用しよう
とする場合には受ける圧力がかなり高い値となり1.ネ
ジ111部分における機械的強度の信頼性が低下すると
いう問題がある。
ンサ全体としては被検出圧力媒体から受ける圧力は、そ
のシール部分である0−リング112の径で決まり、こ
の径が大きくなる程、受ける圧力は高くなる。第4図の
構成では、ネジ111が形成される位置がO−リング1
12によるシール部分よりも被検出圧力媒体側にあるの
で、Oリング112の径は必然的にネジ111の径より
も大きくせざるを得なかった。そして、このように0−
リング112の径が制限されるので、被検出圧力として
500kgf/c+f1以上の高圧用として使用しよう
とする場合には受ける圧力がかなり高い値となり1.ネ
ジ111部分における機械的強度の信頼性が低下すると
いう問題がある。
そして、従来の圧力センサにおいては、上述のような問
題点に対して何ら対策が取られておらず、従って、従来
では信頼性が高い500kgf/cff1以上の高圧用
の半導体式圧力センサは存在していなかった。
題点に対して何ら対策が取られておらず、従って、従来
では信頼性が高い500kgf/cff1以上の高圧用
の半導体式圧力センサは存在していなかった。
近年、車両用等において油(あるいは燃料)等の圧力を
測定する必要が生じており、高圧用の半導体式圧力セン
サへの要求が高まっている。そこで本発明は、このよう
な要求に応えるべくなされたものであり、新規な半導体
式圧力センサの構造及び取付は部との取付は構造を提供
することにより、ネジ部における信頼性を高め、又、シ
リコーンオイル等の封入液が漏れることがない信頼性の
高い高圧用半導体式圧力センサを実現するものである。
測定する必要が生じており、高圧用の半導体式圧力セン
サへの要求が高まっている。そこで本発明は、このよう
な要求に応えるべくなされたものであり、新規な半導体
式圧力センサの構造及び取付は部との取付は構造を提供
することにより、ネジ部における信頼性を高め、又、シ
リコーンオイル等の封入液が漏れることがない信頼性の
高い高圧用半導体式圧力センサを実現するものである。
上記の目的を達成するために、本願の第1発明の高圧用
半導体式圧力センサの取付は構造は、A、取付は用雄ネ
ジ部、及び凹部を有するハウジング、 前記凹部内に前記ハウジングと絶縁して取付けられ、被
検出圧力に応じた電気信号を発生する半導体圧力検出素
子、 前記ハウジングを貫通してハーメチックシールされ、そ
の一端を前記凹部内に導出すると共に、他端を非受圧部
に導出し、さらに前記半導体圧力検出素子に電気接続さ
れ前記電気信号を伝達する端子、 前記半導体圧力検出素子の劣化を防ぐ為に、前記凹部内
に封入される絶縁性の封入液、前記凹部を気密に塞ぐよ
うに形成されたダイヤフラムとを有する高圧用半導体式
圧力センサと、B、該圧力センサを取付ける為の雌ネジ
部、前記雌ネジ部の径より小さい径にて形成され、該雌
ネジ部より圧力媒体側に位置する段差部とを有する取付
は部材と、 C3前記圧力センサと前記段差部との間に介在し、前記
圧力媒体をシールするリングとを備えた構造としている
。
半導体式圧力センサの取付は構造は、A、取付は用雄ネ
ジ部、及び凹部を有するハウジング、 前記凹部内に前記ハウジングと絶縁して取付けられ、被
検出圧力に応じた電気信号を発生する半導体圧力検出素
子、 前記ハウジングを貫通してハーメチックシールされ、そ
の一端を前記凹部内に導出すると共に、他端を非受圧部
に導出し、さらに前記半導体圧力検出素子に電気接続さ
れ前記電気信号を伝達する端子、 前記半導体圧力検出素子の劣化を防ぐ為に、前記凹部内
に封入される絶縁性の封入液、前記凹部を気密に塞ぐよ
うに形成されたダイヤフラムとを有する高圧用半導体式
圧力センサと、B、該圧力センサを取付ける為の雌ネジ
部、前記雌ネジ部の径より小さい径にて形成され、該雌
ネジ部より圧力媒体側に位置する段差部とを有する取付
は部材と、 C3前記圧力センサと前記段差部との間に介在し、前記
圧力媒体をシールするリングとを備えた構造としている
。
又、第2発明として、
前記ハウジングは、前記取付は用雄ネジ部が形成された
第1部分と、該第1部分の径より小さい径にて形成され
突出した第2部分と、前記第1部分及び第2部分を連通
ずる肩部とを有し、前記第2部分内に前記凹部を形成す
ると共に、前記バーチノックされた端子は、前記第2部
分をも貫通して形成されたものであり、 前記リングは、前記肩部と前記段差部との間に介在する
ようにしてもよい。
第1部分と、該第1部分の径より小さい径にて形成され
突出した第2部分と、前記第1部分及び第2部分を連通
ずる肩部とを有し、前記第2部分内に前記凹部を形成す
ると共に、前記バーチノックされた端子は、前記第2部
分をも貫通して形成されたものであり、 前記リングは、前記肩部と前記段差部との間に介在する
ようにしてもよい。
又、第3発明として、
前記ハウジングは、前記凹部に導出した前記端子を囲う
ように該凹部内にさらに溝部を有し、該溝部にも前記封
入液を封入してなる構造としてもよい。
ように該凹部内にさらに溝部を有し、該溝部にも前記封
入液を封入してなる構造としてもよい。
上記のように構成された第1発明によると、圧力媒体の
シール部分は、雌ネジ部の径より小さい径にて形成され
た段差部と、圧力センサとの間に介在するリングにて設
定されるので、その径をネジ部の径より小さくすること
ができ、圧力センサ全体として受ける圧力を低下させる
ことができる。
シール部分は、雌ネジ部の径より小さい径にて形成され
た段差部と、圧力センサとの間に介在するリングにて設
定されるので、その径をネジ部の径より小さくすること
ができ、圧力センサ全体として受ける圧力を低下させる
ことができる。
又、第2発明の構成によると、第2部分を貫通する部分
における端子は、取付は部材と第2部分との間に存在す
る被検出圧力媒体からも圧力が加わり、端子の周辺のハ
ウジングが端子の方に向けて圧縮されるように作用する
ので、ハーメチックシール部分におけるシール性が向上
する。
における端子は、取付は部材と第2部分との間に存在す
る被検出圧力媒体からも圧力が加わり、端子の周辺のハ
ウジングが端子の方に向けて圧縮されるように作用する
ので、ハーメチックシール部分におけるシール性が向上
する。
又、第3発明の構成によると、端子を囲う溝部にも封入
液が存在しており、この部分にも圧力が同様に作用する
ので、この部分に存在する封入液からも圧力が加わり、
溝部と端子との間のハウジングが端子の方に向けて圧縮
されるように作用するので、ハーメチックシール部分に
おけるシール性が向上する。
液が存在しており、この部分にも圧力が同様に作用する
ので、この部分に存在する封入液からも圧力が加わり、
溝部と端子との間のハウジングが端子の方に向けて圧縮
されるように作用するので、ハーメチックシール部分に
おけるシール性が向上する。
以下、本発明を図面に示す実施例を用いて説明する。第
1図(a)は本発明の第1実施例の高圧用半導体式圧力
センサの取付は構造を示す断面図を表しており、第1図
(b)は第1図(a)において金属ダイヤフラム1bお
よび穴あき円板1gを除いた構成の平面図を表している
。図において、3はその一端の凹部3a内にセンサ感圧
部lを有し、他端部が開口する断面円形の内部空間2を
形成する容器状のハウジングであり、そのハウジング3
の内部空間2には回路基板4が収納される。又、カバー
部材5とかしめ等により結合固定されている。センサ感
圧部1は、圧力室1aと、圧力室1aの開口部を覆って
溶接等により接合された金属ダイヤフラム1bと、圧力
室la内に固定された絶縁性を有する台座1cに接着さ
れ、−主面に図示しない拡散等による半導体歪ゲージを
形成すると共に、他主面にダイヤフラムを形成するため
の凹部を形成した半導体圧力検出素子1dとを有し、圧
力室laには、半導体圧力検出素子1dの劣化を防ぐた
めに、封入液である絶縁性を有するシリコーンオイルl
eが封入されている。また、ハウジング3にはハウジン
グ3を貫通してガラス製絶縁シール6を介して電気的伝
達手段であるリード(端子)7が保持され、リード7の
一端は凹部3a内に導出しており、半導体圧力検出素子
1dとワイヤ1fによりワイヤボンディングされ、接続
されている。リード7の他端は非受圧部である内部空間
2に突出し、回路基板4にハンダ付けにより固定されて
いる。又、穴あき円板1gは金属ダイヤフラム1bとあ
わせて全周溶接される。尚、ハウジング3は雄ネジ部8
が形成された第1部分3bと、この第1部分3bの径よ
り小さい径にて形成され第1部分3bより突出した第2
部分3c及びこれら第1部分3b、第2部分3cを連結
する肩部3dとを有した構成であり、そして、各種高圧
機器、油圧機器等において、ネジ部8により取付は部品
50に螺合可能となっている。取付は部材50は雄ネジ
部8に対する雌ネジ部50aとこの雌ネジ部50aの径
より小さい径にて形成された段差部50bとを有してい
る。尚、この段差部50bは圧力センサを取付けた状態
にて雌ネジ部50aよりも被検出圧力媒体P側に位置し
ている。メタルC−リング9は、弾力性を有する金属性
の部材からなり、第2図の拡大図に示すように断面がC
形状をなしている。そして、このメタルC−リング9は
段差部50bと肩部3dとの間に介在しており、被検出
圧力に対するシールを行っている。
1図(a)は本発明の第1実施例の高圧用半導体式圧力
センサの取付は構造を示す断面図を表しており、第1図
(b)は第1図(a)において金属ダイヤフラム1bお
よび穴あき円板1gを除いた構成の平面図を表している
。図において、3はその一端の凹部3a内にセンサ感圧
部lを有し、他端部が開口する断面円形の内部空間2を
形成する容器状のハウジングであり、そのハウジング3
の内部空間2には回路基板4が収納される。又、カバー
部材5とかしめ等により結合固定されている。センサ感
圧部1は、圧力室1aと、圧力室1aの開口部を覆って
溶接等により接合された金属ダイヤフラム1bと、圧力
室la内に固定された絶縁性を有する台座1cに接着さ
れ、−主面に図示しない拡散等による半導体歪ゲージを
形成すると共に、他主面にダイヤフラムを形成するため
の凹部を形成した半導体圧力検出素子1dとを有し、圧
力室laには、半導体圧力検出素子1dの劣化を防ぐた
めに、封入液である絶縁性を有するシリコーンオイルl
eが封入されている。また、ハウジング3にはハウジン
グ3を貫通してガラス製絶縁シール6を介して電気的伝
達手段であるリード(端子)7が保持され、リード7の
一端は凹部3a内に導出しており、半導体圧力検出素子
1dとワイヤ1fによりワイヤボンディングされ、接続
されている。リード7の他端は非受圧部である内部空間
2に突出し、回路基板4にハンダ付けにより固定されて
いる。又、穴あき円板1gは金属ダイヤフラム1bとあ
わせて全周溶接される。尚、ハウジング3は雄ネジ部8
が形成された第1部分3bと、この第1部分3bの径よ
り小さい径にて形成され第1部分3bより突出した第2
部分3c及びこれら第1部分3b、第2部分3cを連結
する肩部3dとを有した構成であり、そして、各種高圧
機器、油圧機器等において、ネジ部8により取付は部品
50に螺合可能となっている。取付は部材50は雄ネジ
部8に対する雌ネジ部50aとこの雌ネジ部50aの径
より小さい径にて形成された段差部50bとを有してい
る。尚、この段差部50bは圧力センサを取付けた状態
にて雌ネジ部50aよりも被検出圧力媒体P側に位置し
ている。メタルC−リング9は、弾力性を有する金属性
の部材からなり、第2図の拡大図に示すように断面がC
形状をなしている。そして、このメタルC−リング9は
段差部50bと肩部3dとの間に介在しており、被検出
圧力に対するシールを行っている。
回路基板4にはリード線10がハンダ付けにより保持さ
れ、回路基板4は水分、チリ等の汚染から保護するため
に、その周囲でシリコーンゲル11がボッティングされ
ている。カバ一部材5は一端がハウジング3の内部空間
2内に挿入され、ハウジング3の端部12がカバ一部材
5の端部外側面にかしめにより締結されることにより、
カバー部材5とハウジング3とは固定されている。また
、カバ一部材5には樹脂製被膜13によって覆われたリ
ード線14がエポキシ樹脂15によってポツティングさ
れており、その一端はリード線10とハンダ付けにより
固定されている。
れ、回路基板4は水分、チリ等の汚染から保護するため
に、その周囲でシリコーンゲル11がボッティングされ
ている。カバ一部材5は一端がハウジング3の内部空間
2内に挿入され、ハウジング3の端部12がカバ一部材
5の端部外側面にかしめにより締結されることにより、
カバー部材5とハウジング3とは固定されている。また
、カバ一部材5には樹脂製被膜13によって覆われたリ
ード線14がエポキシ樹脂15によってポツティングさ
れており、その一端はリード線10とハンダ付けにより
固定されている。
鋼等より成る球形の鋼球バルブ16は、シリコーンオイ
ルleを封入するためのもので、ネジ17によって圧接
固定されており、ネジ17の鋼球パルプ16と接する面
と反対の面は、ダイヤフラム1bと同様に圧力媒体と接
している。
ルleを封入するためのもので、ネジ17によって圧接
固定されており、ネジ17の鋼球パルプ16と接する面
と反対の面は、ダイヤフラム1bと同様に圧力媒体と接
している。
上記のように構成された第1実施例によれば、メタルC
−リング9にてシールされる部分は雄ネジ部9の径より
小さくなっているので、従来、ネジ部の径より大きな径
にてシール部を形成していた技術に対して、圧力センサ
全体が受ける圧力を。
−リング9にてシールされる部分は雄ネジ部9の径より
小さくなっているので、従来、ネジ部の径より大きな径
にてシール部を形成していた技術に対して、圧力センサ
全体が受ける圧力を。
低くすることができ、その分、ネジの機械的強度の信頼
性を高めることができる。又、圧力センサ全体が受ける
圧力を低くするために、隨ネジ部8よりもメタルC−リ
ング9を圧力媒体P側に配置すると、リード7の一端に
は高圧が与えられたシリコーンオイルleが作用し、他
端は非受圧部である内部空間2側に導出しているので、
第5図に示すようにハーメチックシールを行う絶縁シー
ル6の周辺の第2部分3Cは外に押し広げられ、延いて
はシリコーンオイルleが絶縁シール6の界面を伝って
漏れてしまい、センサの特性を悪化させてしまう可能性
がでて(るが、本実施例によると、第2部分3cを貫通
する部分におけるリード7は、第2部分3cと取付は部
材5oとの間に存在する被検出圧力媒体Pからも圧力が
加わり、図中に矢印で示したようにリード7周辺の第2
部分3Cがリード7の方に向けて圧縮されるように作用
するので、この部分の絶縁シール6が第5図にて示した
ように分離することがなく、シール性が向上する。
性を高めることができる。又、圧力センサ全体が受ける
圧力を低くするために、隨ネジ部8よりもメタルC−リ
ング9を圧力媒体P側に配置すると、リード7の一端に
は高圧が与えられたシリコーンオイルleが作用し、他
端は非受圧部である内部空間2側に導出しているので、
第5図に示すようにハーメチックシールを行う絶縁シー
ル6の周辺の第2部分3Cは外に押し広げられ、延いて
はシリコーンオイルleが絶縁シール6の界面を伝って
漏れてしまい、センサの特性を悪化させてしまう可能性
がでて(るが、本実施例によると、第2部分3cを貫通
する部分におけるリード7は、第2部分3cと取付は部
材5oとの間に存在する被検出圧力媒体Pからも圧力が
加わり、図中に矢印で示したようにリード7周辺の第2
部分3Cがリード7の方に向けて圧縮されるように作用
するので、この部分の絶縁シール6が第5図にて示した
ように分離することがなく、シール性が向上する。
次に、本発明の第2実施例を第3図の断面図を用いて説
明する。尚、第3図は第1図(a)に示される構造に対
して、取付は部材50内に取付けた部分のみを部分的に
拡大して示した図であり、本実施例において他の構成要
素は上記第1実施例の、ものと同様のものが適用できる
。
明する。尚、第3図は第1図(a)に示される構造に対
して、取付は部材50内に取付けた部分のみを部分的に
拡大して示した図であり、本実施例において他の構成要
素は上記第1実施例の、ものと同様のものが適用できる
。
本実施例においては、上記第1実施例のようにハウジン
グ3の雄ネジ部8が形成された部分から突出した径の小
さい部分は有することがなく、又、メタルC−リング9
によるシール部分はハウジング3の先端の部分と段差部
50bとの間に介在する構成であり、第1実施例のよう
に被検出圧力が第2部分3Cをリード7の方に向けて圧
縮するという作用はないが、その代わりにハウジング3
の凹部3a内に、リード7を囲うように環状の満20を
形成しており、この溝部20にもシリコーンオイル1e
を封入する構成にしている。これにより、本実施例によ
ると、溝部20内のシリコーンオイル1eにも圧力が同
様に作用することになり、この圧力を受けたシリコーン
オイルleが、シリコーンオイル1eと絶縁シール6と
の間に存在するハウジング3の部分21をリード7の方
に向けて圧縮するように作用し、シール性を向上するこ
とができる。尚、本実施例においてもシール部の径をネ
ジ部の径より小さくすることによる効果は上記第1実施
例と同様である。
グ3の雄ネジ部8が形成された部分から突出した径の小
さい部分は有することがなく、又、メタルC−リング9
によるシール部分はハウジング3の先端の部分と段差部
50bとの間に介在する構成であり、第1実施例のよう
に被検出圧力が第2部分3Cをリード7の方に向けて圧
縮するという作用はないが、その代わりにハウジング3
の凹部3a内に、リード7を囲うように環状の満20を
形成しており、この溝部20にもシリコーンオイル1e
を封入する構成にしている。これにより、本実施例によ
ると、溝部20内のシリコーンオイル1eにも圧力が同
様に作用することになり、この圧力を受けたシリコーン
オイルleが、シリコーンオイル1eと絶縁シール6と
の間に存在するハウジング3の部分21をリード7の方
に向けて圧縮するように作用し、シール性を向上するこ
とができる。尚、本実施例においてもシール部の径をネ
ジ部の径より小さくすることによる効果は上記第1実施
例と同様である。
以上、本発明を上記第1、第2実施例を用いて説明した
が、本発明はそれらに限定されることなく、その主旨を
逸脱しない限り、例えば以下に示すように種々変形可能
である。
が、本発明はそれらに限定されることなく、その主旨を
逸脱しない限り、例えば以下に示すように種々変形可能
である。
(1)被検出圧力として500kgf/c+ff以上の
圧力を検出する場合、シール部材としてはゴム製の〇−
リングでは不充分であるので、金属製のC−リングある
いは0−リングを使うのが望ましいが、その場合には、
例えばステンレスに銅メツキを施したもの、インコネル
、ハステロイ等を使用できる。
圧力を検出する場合、シール部材としてはゴム製の〇−
リングでは不充分であるので、金属製のC−リングある
いは0−リングを使うのが望ましいが、その場合には、
例えばステンレスに銅メツキを施したもの、インコネル
、ハステロイ等を使用できる。
(2)上記実施例ではシリコーンオイル1eを封入した
後、シールする手段として、剛球バルブ16およびネジ
17を使用しているが、これらの手段をなくし、特開昭
61−22222号公報に示されるように、金属ダイヤ
フラムを固定する手段の塑性変形によりシールしても良
い。
後、シールする手段として、剛球バルブ16およびネジ
17を使用しているが、これらの手段をなくし、特開昭
61−22222号公報に示されるように、金属ダイヤ
フラムを固定する手段の塑性変形によりシールしても良
い。
(3)絶縁性の封入液としては、シリコーンオイルの他
に、フロロシリコーン等の液でも良い。
に、フロロシリコーン等の液でも良い。
以上述べたように、本願の第1発明によると、圧力セン
サ全体として受ける圧力を低下させることができ、取付
は部材との取付は部分におけるネジ強度の信頼性を向上
することができる。
サ全体として受ける圧力を低下させることができ、取付
は部材との取付は部分におけるネジ強度の信頼性を向上
することができる。
第2発明、第3発明によると、ハーメデックシール部分
におけるシール性を向上させることができ、ハーメチッ
ク端子を有する高圧用の半導体圧力センサを実現できる
という効果がある。
におけるシール性を向上させることができ、ハーメチッ
ク端子を有する高圧用の半導体圧力センサを実現できる
という効果がある。
部分、3c・・・第2部分、3d・・・肩部、6・・・
絶縁シール、7・・・リード、8・・・雄ネジ部、9・
・・メタルC−リング、20・・・溝部、50・・・取
付は部材、50a・・・雌ネジ部、50b・・・段差部
。
絶縁シール、7・・・リード、8・・・雄ネジ部、9・
・・メタルC−リング、20・・・溝部、50・・・取
付は部材、50a・・・雌ネジ部、50b・・・段差部
。
代理人弁理士 岡 部 隆
第1図(a)は本発明の第1実施例の断面図、第1図(
b)は第1実施例の平面図、第2図はメタルC−リング
の斜視図、第3図は本発明の第2実施例の部分断面図、
第4図は従来技術の断面図、第5図は従来技術の問題点
を説明するためのハーメチックシール部分における断面
図である。 1・・・センサ感圧部、1b・・・金属ダイヤフラム。 1d・・・半導体圧力検出素子、le・・・シリコーン
オイル、3・・・ハウジング、3a・・・凹部、3b・
・・第1第 図 第 図
b)は第1実施例の平面図、第2図はメタルC−リング
の斜視図、第3図は本発明の第2実施例の部分断面図、
第4図は従来技術の断面図、第5図は従来技術の問題点
を説明するためのハーメチックシール部分における断面
図である。 1・・・センサ感圧部、1b・・・金属ダイヤフラム。 1d・・・半導体圧力検出素子、le・・・シリコーン
オイル、3・・・ハウジング、3a・・・凹部、3b・
・・第1第 図 第 図
Claims (3)
- (1)A、取付け用雄ネジ部、及び凹部を有するハウジ
ング、 前記凹部内に前記ハウジングと絶縁して取付けられ、被
検出圧力に応じた電気信号を発生する半導体圧力検出素
子、 前記ハウジングを貫通してハーメチックシールされ、そ
の一端を前記凹部内に導出すると共に、他端を非受圧部
に導出し、さらに前記半導体圧力検出素子に電気接続さ
れ前記電気信号を伝達する端子、 前記半導体圧力検出素子の劣化を防ぐ為に、前記凹部内
に封入される絶縁性の封入液、 前記凹部を気密に塞ぐように形成されたダイヤフラムと
を有する高圧用半導体式圧力センサと、B、該圧力セン
サを取付ける為の雌ネジ部、前記雌ネジ部の径より小さ
い径にて形成され、該雌ネジ部より圧力媒体側に位置す
る段差部とを有する取付け部材と、 C、前記圧力センサと前記段差部との間に介在し、前記
圧力媒体をシールするリングと を備えた高圧用半導体式圧力センサの取付け構造。 - (2)前記ハウジングは、前記取付け用雄ネジ部が形成
された第1部分と、該第1部分の径より小さい径にて形
成され突出した第2部分と、前記第1部分及び第2部分
を連通する肩部とを有し、前記第2部分内に前記凹部を
形成すると共に、前記ハーチメックされた端子は、前記
第2部分をも貫通して形成されたものであり、 前記リングは、前記肩部と前記段差部との間に介在する
ようにした請求項1記載の高圧用半導体式圧力センサの
取付け構造。 - (3)前記ハウジングは、前記凹部に導出した前記端子
を囲うように該凹部内にさらに溝部を有し、該溝部にも
前記封入液を封入してなる請求項1記載の高圧用半導体
式圧力センサの取付け構造。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63295269A JP2600863B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 |
US07/316,647 US5000047A (en) | 1988-03-29 | 1989-02-28 | Pressure sensor |
DE3908855A DE3908855A1 (de) | 1988-03-29 | 1989-03-17 | Drucksensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63295269A JP2600863B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02141635A true JPH02141635A (ja) | 1990-05-31 |
JP2600863B2 JP2600863B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=17818408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63295269A Expired - Lifetime JP2600863B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-11-22 | 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2600863B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08110278A (ja) * | 1993-12-14 | 1996-04-30 | Envec Mess & Regeltechnik Gmbh & Co | 圧力測定装置 |
JP2011506980A (ja) * | 2007-12-20 | 2011-03-03 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 隔膜圧力測定セルの構造 |
JP2015513092A (ja) * | 2012-03-06 | 2015-04-30 | ローズマウント インコーポレイテッド | 海中用遠隔シール圧力測定システム |
US9442031B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-13 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
US9459170B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-10-04 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure |
US9638600B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-05-02 | Rosemount Inc. | Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter |
CN109855787A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-07 | 无锡昆仑富士仪表有限公司 | 一种直接安装型高压力变送器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59135654U (ja) * | 1983-03-02 | 1984-09-10 | 株式会社山武 | 半導体圧力変換器 |
JPS60171429A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-04 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力電気変換器 |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63295269A patent/JP2600863B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59135654U (ja) * | 1983-03-02 | 1984-09-10 | 株式会社山武 | 半導体圧力変換器 |
JPS60171429A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-04 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力電気変換器 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH08110278A (ja) * | 1993-12-14 | 1996-04-30 | Envec Mess & Regeltechnik Gmbh & Co | 圧力測定装置 |
JP2011506980A (ja) * | 2007-12-20 | 2011-03-03 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 隔膜圧力測定セルの構造 |
JP2015513092A (ja) * | 2012-03-06 | 2015-04-30 | ローズマウント インコーポレイテッド | 海中用遠隔シール圧力測定システム |
US9389106B2 (en) | 2012-03-06 | 2016-07-12 | Rosemount Inc. | Remote seal pressure measurement system for subsea use |
US9442031B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-13 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
US9841338B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-12-12 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
US9459170B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-10-04 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure |
US9638600B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-05-02 | Rosemount Inc. | Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter |
CN109855787A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-07 | 无锡昆仑富士仪表有限公司 | 一种直接安装型高压力变送器 |
CN109855787B (zh) * | 2019-03-06 | 2023-11-03 | 无锡昆仑富士仪表有限公司 | 一种直接安装型高压力变送器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2600863B2 (ja) | 1997-04-16 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |