JP4532231B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は液晶表示装置に関し、特に、接触むら(タッチスポット)や重力及び押圧不良を防止できる液晶表示装置及びその製造方法に関する。
情報化社会の発達と共に、表示装置に対する要求も多様な形態で求められており、これに応じて最近、LCD(液晶ディスプレイ装置)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、ELD(ELディスプレイ)、VFD(真空蛍光ディスプレイ)など様々な平板表示装置が研究され、一部は既に各種装備の表示装置に活用されている。
その中で、現在、画質が優れており、軽量薄型、低消費電力の特徴及び長所から移動型画像表示装置の用途でCRTに替わってLCDが最も多用されており、ノートブックコンピューターのモニターのような移動型の用途以外にも放送信号を受信してディスプレイするテレビ及びコンピューターのモニターなどで多様に開発されている。
このような液晶表示装置が一般の画面表示装置として多様な所で使用されるには、軽量薄型、低消費電力の特長を維持しながらも高精細、高輝度、大面積など上質な画像をどれだけ実現できるかにかかっているといっても過言ではない。
以下、添付した図面を参照にして従来の液晶表示装置及び液晶表示装置のセルギャップを維持するスペーサーについて説明する。
図1は、一般的な液晶表示装置を示した分解斜視図である。
液晶表示装置は、図1に示したように、一定の空間を有して貼り合せられた第1基板1及び第2基板2と、前記第1基板1及び第2基板2の間に注入された液晶層3とで構成されている。
より具体的に説明すると、前記第1基板1には、画素領域Pを定義するために、一定の間隔を有して一方向に複数個のゲートライン4と、前記ゲートライン4と垂直方向に一定の間隔を有して複数個のデータライン5とが配列されている。そして、前記各画素領域Pには画素電極6が形成され、前記各ゲートライン4とデータライン5が交差する部分に薄膜トランジスターTが形成され、前記薄膜トランジスターが前記ゲートラインの信号に従って前記データラインのデータ信号を前記各画素電極に印加する。
そして、前記第2基板2には前記画素領域Pを除いた部分の光を遮断するためのブラックマトリックス層7が形成され、前記各画素領域に対応する部分には色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層8が形成され、前記カラーフィルター層8上には画像を具現するための共通電極9が形成されている。
上記のような液晶表示装置は、前記画素電極6と共通電極9の間の電界によって、前記第1、第2基板の間に形成された液晶層3が配向され、前記液晶層3の配向程度によって液晶層3を透過する光の量を調節して画像を表現できる。
このような液晶表示装置をTNモード液晶表示装置と言い、前記TNモード液晶表示装置は視野角が狭いという短所を有しており、このようなTNモードの短所を克服するためにIPSモード液晶表示装置か開発された。
前記IPSモード液晶表示装置は、第1基板の画素領域に画素電極と共通電極を一定の距離を有して互いに平行に形成し、前記画素電極と共通電極との間に横電界(水平電界)が発生するようにし、前記横電界によって液晶層か配向されるようにしたものである。
以下、従来のIPSモードの液晶表示装置の製造方法について説明する。
一般的な液晶表示装置の製造方法は、第1、第2基板の間に液晶層を形成する方法による液晶注入方式製造方法と、液晶滴下方式製造方法とに区分できる。
まず、液晶注入方式の液晶表示装置の製造方法は次の通りである。
図2は一般的な液晶注入方式の液晶表示装置の製造方法を示したフローチャートである。
液晶表示装置は、大きく、アレイ工程、セル工捏、モジュール工程などに区分される。
アレイ工程は、前述したように、前記TFT基板に互いに垂直となる方向に形成されたゲートライン及びデータラインと、前記ゲートラインに平行に形成された共通ラインと前記ゲートラインとデータラインが交差する部分に形成された薄膜トランジスターと、前記共通ラインから画素領域に延長される共通電極と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記共通電極の間に前記共通電極と平行に形成された画素電極などを備えているTFTアレイを形成し、カラーフィルター基板にブラックマトリックス層、カラーフィルター層、及びオーバーコート層などを備えたカラーフィルターアレイを形成する工程である。
この時、前記アレイ工程は、一つの基板に一つの液晶パネルを形成するのではなく、一つの大型カラス基板に複数個の液晶パネルを設計して、各液晶パネル領域にそれぞれTFTアレイ、及びカラーフィルターアレイを形成する。このようにTFTアレイが形成されたTFT基板と、カラーフィルターアレイが形成されたカラーフィルター基板とはセル工程ラインに移動する。
次に、前記TFT基板とカラーフィルター基板上に配向物質を塗布し、液晶分子が均一な方向性を有するようにするための配向工程(ラビング工程)(SlO)をそれぞれ進める。
ここで、前記配向工程SlOは、配向膜塗布前の洗浄、配向膜印刷、配向膜塑性、配向膜検査、ラビング工程の順に進められる。
次に、前記TFT基板及びカラーフィルター基板をそれぞれ洗浄(S20)する。
そして、前記TFT基板又はカラーフィルター基板上にセルギャップを一定に椎持するためのボールスペーサーを散布(S30)し、前記各液晶パネル領域の外郭部に両基板を貼り合わせるためのシールパターンを形成する(S40)。この際、シールパターンは、液晶を注入するための液晶注入口パターンを有するように形成される。
ここで、ボールスペ−サーは、プラスチックボールや弾性体プラスチック微粒子で形成されたものである。前記シールパターンが間に位置するように、前記TFT基板とカラーフィルター基板とを向き合わせて両基板を貼り合わせ、前記シールパターンを硬化させる(S50)。その後、前記貼り合せ及び硬化されたTFT基板、及びカラーフィルター基板を各単位液晶パネル領域別に切断し、加工(S60)して、一定のサイズの単位液晶パネルを製作する。
その後、それぞれの単位液晶パネルの液晶注入口を介して液晶を注入し、注入完了後に前記液晶注入口をシーリング(S70)して液晶層を形成する。そして、各単位液晶パネルの外観及び電気的な不良検査(S80)を進め、液晶表示装置を製作する。
以下、前記液晶注入工程について簡略に説明する。
まず、注入する液品物質を入れてある容器と、液晶を注入する液晶パネルとをチャンバー内部に位置させ、前記チャンバーの圧力を真空状態に維持することで、液晶物質の中や容器の内側に付いている水分を除去し、気泡を脱泡すると同時に前記液晶パネルの内部空間を真空状態にする。
そして、所望の真空状態で前記液晶パネルの液晶注入口を液晶物質を入れてある容器に浸したり、接触させた後で、前記チャンバー内部の圧力を真空状態から大気圧状態にし、前記液晶パネル内部の圧力と、チャンバーの圧力との差によって液晶注入口を介して液晶物質が前記液晶パネルの内部に注入されるようにする。
しかしながら、液晶注入方式の液晶表示装置の製造方法においては次のような問題点がある。
第一に、単位パネルにカッティングした後、両基板の間を真空状態に維持して液晶注入口を液晶液に浸し、液晶を注入するために、液晶注入に多くの時間が所要とされ、生産性が低下する。
第二に、大面積の液晶表示装置を製造する場合、液晶注入式で液晶を注入すると、パネル内に液晶が完全に注入されず不良の原因となる。
第三に、上記のように工程が複雑で、多くの時間を要するので、複数個の液晶注入装備が要求され、たくさんの空間が必要とされる。したがって、このような液晶注入方式の問題点を克服するために、両基板のうち一方の基板に液晶を滴下させた後、両基板を貼り合せる液晶滴下型液晶表示装置の製造方法が開発された。
図3は、液晶滴下型液晶表示装置の製造方法を示したフローチャートである。
即ち、液晶滴下方式の液晶表示装置の製造方法は、両基板を貼り合わせる前に両基板のうち何れか一方の基板に適当量の液晶を滴下した後、両基板を貼り合わせる方法である。
従って、液晶注入方式と同様にセルギャップ維持のためにボールスペーサーを使用する場合は、滴下した液晶が広がる時に前記ボールスペーサーが液晶の拡散方向に移動して、スペーサーが一方に片寄るので、正確なセルギャップの維持が不可能となる。
それゆえ、液晶滴下方式では、ボールスペーサーを使用せず、スペーサーが基板に固定される固定スペーサー(カラムスペーサー、又はパターン化スペーサー)を使用しなければならない。
即ち、図3に示したように、アレイ工程において、カラーフィルター基板にブラックマトリックス層、カラーフィルター層、及びオーバーコート層を形成し、前記オーバーコート層上に層光性樹脂を形成し、選択的に除去して前記ブラックマトリックス層の上側のオーバーコート層上にカラムスペーサーを形成する。勿論、前記カラムスペーサーは、フォト工程、又はインクジェット工程によって形成できる。
そして、前記カラムスペーサーを含むTFT基板、及びカラーフィルター基板の全面に配向膜を塗布し、その配向膜をラビング処理する。
このように、配向工程が完了したTFT基板と、カラーフィルター基板をそれぞれ洗浄(Sl0l)した後、前記TFT基板とカラーフィルター基板のうち一方の基板上の一定の領域に液晶を滴下し(Sl02)、他方の基板の各液晶パネル領域の外郭部にディスペンシング装置を用いてシールパターンを形成する(Sl03)。この時、前記両基板のうち一方の基板に液晶を滴下し、且つシールパターンをも形成しても良い。
そして、前記液晶が滴下されていない基板を反転(裏返して向き合うようにする)し(Sl04)、前記TFT基板とカラーフィルター基板とを押圧して貼り合せ、前記シールパターンを硬化させる(Sl05)。
次に、単位液晶パネル別に前記した貼り合せ基板を切断及び加工する(Sl06)。
そして、前記加工された単位液晶パネルの外観及び電気的な不良検査(Sl07)を進めることで、液晶表示素子を製作する。
図4はカラムスペーサーが形成された液晶表示装置を示した概略断面図である。
図4に示したように、前記液晶表示装置にはカラーフィルター基板2上にカラムスペーサー20が形成され、TFT基板に液晶を滴下して形成したものである。
前述したように、前記カラムスペーサーはカラーフィルター基板に固定されており、TFT基板に接触される。そして、前記TFT基板に接触されるカラムスペーサーの面は球状ではなく、平坦な面を有する。従って、液晶注入方式で製造される液晶表示装置では球状のボールスペーサーを使用し、且つスペーサーが基板に固定されないため、画面上に外部的な衝撃(押圧、摩擦など)を加えても液晶の復元力に優れており、染みが発生しない。
しかしながら、カラムスペーサーを用いた液晶表示装置においては次のような問題点があった。
第一に、カラムスペーサーは、一方の基板には固定され、他方の基板と接触する面が球状でないため、前記ボールスペーサーに比べて基板に接触する面積か広く、基板との摩擦力か大きい。従って、カラムスペーサーか形成された液晶表示装置の画面を擦る場合、長時間染みか発生する。
図5a及び図5bは、接触むらが生じる部位の状態を示した平面図及び断面図である。
図5aに示したように、液晶パネル10を所定の方向に指でタッチした状態でずれると、図5bに示したように、液晶パネルの上部基板は指のずれる方向に所定の間隔てシフトする。この時、円柱状のカラムスペーサーが上下部の基板に触れ、その接触面積が大きくなるため、カラムスペーサーと対向基板との間に発生する摩擦力が大きい。よって、カラムスペーサーの間の液晶は元の状態に戻りにくく、そのため不透明に見える染みが継続的に観察される。
また、所定の方向に指がずれる時、図5bに示したように、最後の接触部位に液晶か集まり、その部位は膨らむような形状となる。この場合、前記液晶が集まり、膨らんでいる部位は、カラムスペーサーの高さに定義される他部位のセルキャップ(h2)よりセルキャップ(hl)が高くなり、液晶の配列か不均一となるので光の漏れが生じる。このため輝度が不均一となるという問題点が発生する。
第二に、上述した接触むらは、滴下する液晶量を増やせば解決され得るものの、接触むらが解消される反面、相対的に重力不良という別の問題を引き起こす。即ち液晶表示装置は、モニター、ノートパソコン、TVなどの表示装置に用いられたもので、使用時にパネルが垂直に立っている状態が多い。この際、重力方向に液晶が片寄る。
第三に、ボールスペーサーは多くの量が散布されるが、カラムスペーサーは画素領域を除いた部分に選択的に形成されるので、カラムスペーサーが形成されない部分を押した場合、基板の撓みか生じやすく、又復元が遅くなり押された部分に染みが残るような押圧不良が発生する。このような問題点はIPSモードで更に深刻に現れる。
本発明は、上記のような問題点を解決するために考案されたもので、その目的は、カラムスペーサーが形成される対向基板に突起を形成して、カラムスペーサーの摩擦力を減少させ、接触むらを防止すると共に、セルキャップ維持のためのカラムスペーサーとは別途に押圧不良を解消するための他のカラムスペーサーを備えた液晶表示装置及びその製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置は、カラムスペーサーが固定された第1基板と、前記カラムスペーサーに対応する位置に突起か形成され、前記突起が前記カラムスペーサーに接触するように前記第1基板と向き合う第2基板と、前記第1、第2基板の間に形成された液晶層とを含んで構成されることを特徴とする。
ここで、前記突起は、前記カラムスペーサーに対応する位置に複数個が形成されることを特徴とする。
前記カラムスペーサーと突起は、同一の物質で形成されることを特徴とする。
前記突起は、第1突起パターンと第2突起パターンとが積層され形成されることを特徴とする。
前記第1突起パターンは、第2突起パターンより更に広い面積を有することを特徴とする。
前記第2突起パターンは、第1突起パターンより更に広い面積を有し、第1突起パターンを包むように形成されることを特徴とする。
前記突起は、第2基板に形成された第1突起パターンと、前記第1突起パターンに一定の部分がオーバーラップするように前記第2基板に形成された第2突起パターンとを有することを特徴とする。
前記突起は、互いに離隔した第1、第2突起パターンと、前記第1、第2突起パターンにかけて前記カラムスペーサーと接触するように形成された第3突起パターンとを有することを特徴とする。
前記第1、第2、第3突起パターンは有機絶縁膜を形成することを特徴とする。
前記第3突起パターンの表面は前記第1第2突起パターンの段差によって凹部を有することを特徴とする。
前記突起は、前記第1カラムスペーサーの断面積より更に狭い断面積を有することを特徴とする。
前記カラムスペーサーが固定された第1基板、又は前記突起が形成された第2基板の表面に少なくとも一つの配向膜か更に形成されることを特徴とする。
また、本発明に係る液晶表示装置は、複数個の第1、第2カラムスペーサーが固定された第1基板と、前記第1カラムスペーサーに対応する位置に突起が形成され、前記突起が前記第1カラムスペーサーに接触する第2基板と、前記第1、第2基板の間に形成された液晶層とを含んで構成されることに他の特徴がある。
ここで、前記第2カラムスペーサーと第2基板とは一定の間隔て離隔することを特徴とする。
また、本発明に係る液晶表示装置は、互いに向き合う第1、第2基板と、前記第1基板に形成された複数個の第1、第2カラムスペーサーと、画素領域を定義するために、前記第2基板に互いに交差して形成されたゲートライン及びデータラインと、半導体層、及びソースン/ドレイン電極を備えて前記ゲートラインとデータラインか交差する部分に形成された薄膜トランジスターと、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように第2基板に形成された保護膜と、前記薄膜トランンスターのトレイン電極に連結され、前記保護膜上の画素領域に形成される画素電極と、前記第1カラムスペーサーに対応する部分の保護膜上に形成され、前記第1カラムスペーサーと接触する突起と、前記第1、第2基板との間に形成される液晶層とを備えて構成されることに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置は、互いに向き合う第1第2基板と、前記第1基板に形成された複数個の第1第2カラムスペーサーと、画素領域を定義するために前記第2基板と互いに交差して形成されたゲートライン及びデータラインと、前記ゲートラインと平行方向に形成され、前記画素領域に前記データラインと平行方向に複数個の共通電極か突出した共通ラインと、半導体層、及びソース/ドレイン電極を備え、前記ゲートラインとデータラインが交差する部分に形成された薄膜トランジスターと、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように第2基板に形成された保護膜と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記保護膜上の画素領域に前記共通電極と一定の間隔で離隔して共通電極に平行に形成される画素領域と、前記第1カラムスペーサーに対応する部分の保護膜上に形成され、前記第1カラムスペーサーと接触する突起と、前記第1、第2基板との間に形成される液晶層とを備えて構成されることに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置は、互いに向き合う第1、第2基板と、前記第1基板に形成された複数個の第1、第2カラムスペーサーと、前記第2基板に形成されたゲートライン及びゲート電極と、前記ゲートライン及びゲート電極を含む第2基板の全面に形成されるゲート絶縁膜と、前記ゲート電極の上側のゲート絶縁膜、及ひ前記第1カラムスペーサーに相応する部分のゲート絶縁膜上にそれぞれ形成された半導体層、及び第1突起パターンと、画素領域を定義するために前記ゲートラインに垂直な方向に形成されるデータライン、前記半導体層の両側に形成されたソース/ドレイン電極、及び前記第1突起パターン上に形成された第2突起パターンと、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記第1、第2突起パターンを含む第2基板に形成された保護膜と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記保護膜上の画素領域に形成される画素電極と、前記第1第2基板との間に形成される液晶層とを備えて構成されることに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置は、互いに向き合う第1、第2基板と、前記第1基板に形成された複数個の第1、第2カラムスペーサーと、前記第2基板に形成されたゲートライン及びゲート電極と、前記ゲートラインに平行し、複数個の共通電極を有する共通ラインと、前記ゲートライン及び共通ラインを含む第2基板の全面に形成されるゲート絶縁膜と、前記ゲート電極の上側のゲート絶縁膜、及び前記第1カラムスペーサーに相応する部分のゲート絶縁膜上にそれぞれ形成された半導体層、及び第1突起パターンと、画素領域を定義するために前記ゲートラインに垂直な方向に形成されるデータライン、前記半導体層の両側に形成されたソース/ドレイン電極、及び前記第1突起パターン上に形成された第2突起パターンと、前記トレイン電極にコンタクトホールを有するように前記第1、第2突起パターンを含む第2基板に形成された保護膜と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記保護膜上の画素領域に前記共通電極と一定の間隔で離隔して前記共通電極に平行に形成される画素電極と、前記第1、第2基板との間に形成される液晶層とを備えて構成されることに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置は、複数個の画素領域を備えて互いに向き合う第1第2基板と、前記第2基板の各画素領域に形成される複数個の突起と、第1カラムスペーサーは前記一つの突起に整列され、第2カラムスペーサーは前記突起と整列されないように前記三つの画素領域ごとに第1基板に一つずつ形成される第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーと、前記第1、第2基板の間に形成された液晶層とを含んで構成されることに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置は、互いに向き合う第1、第2基板と、画素領域を定義するために前記第2基板に形成されたゲートライン及びゲート電極と、前記ゲートライン及びゲート電極を含む第2基板の全面に形成されるゲート絶縁膜と、各画素ごとに前記ゲート電極の上側のゲート絶縁膜、及び前記第1カラムスペーサーに相応する部分のゲート絶縁膜上にそれぞれ形成された半導体層、及び第1突起パターンと、画素領域を定義するために前記ゲートラインと垂直方向に形成されるデータライン、前記半導体層の両側に形成されたソース/ドレイン電極、及び前記第1突起パターン上に形成された第2突起パターンと、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記第1、第2突起パターンを含む第2基板に形成された保護膜と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記保護膜上の画素領域に形成される画素電極と、第1カラムスペーサーは前記一つの突起に整列され、第2カラムスペーサーは前記突起と整列されないように前記三つの画素領域ことに第1基板に一つずつ形成される第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーと、前記第1、第2基板との間に形成される液晶層とを備えて構成されることに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置は、複数個の第1、第2カラムスペーサーを備えた第1基板と、前記第1カラムスペーサーに接触するように前記第1基板に向き合う第2基板と、前記第1、第2基板との間に形成される液晶層とを含んで構成されることを特徴とする。
ここで、前記第1カラムスペーサーに相応する前記第2基板の表面は、前記第1カラムスペーサーに接触する第1領域と、前記第1カラムスペーサーと一定の間隔で離隔する第2領域とを有することを特徴とする。
前記第1領域の前記第2基板の垂直構造と、前記第2領域の前記第2基板の垂直構造とは互いに相違することを特徴とする。
前記第1領域の前記第2基板の垂直構造は、少なくとも前記基板、ゲートライン、ゲート絶縁膜、半導体層、データライン物質、及び保護膜が積層された構造であり、前記第2領域の前記第2基板の垂直構造は、少なくとも前記基板、ゲートライン、ゲート絶縁膜及び保護膜を含んで積層された構造であることを特徴とする。
前記第1領域と前記第2領域との段差は500Å以上であることを特徴とする。
前記第1カラムスペーサーに相応する前記第2基板の垂直構造と、前記第2カラムスペーサーに相応する前記第2基板の垂直構造とは互いに相違することを特徴とする。
前記第1カラムスペーサーに相応する前記第2基板の垂直構造は、少なくとも前記基板、ゲートライン、ゲート絶縁膜、半導体層、データライン物質、及び保護膜か積層された構造であり、前記第2カラムスペーサーに相応する前記第2基板の垂直構造は、少なくとも前記基板、ゲートライン、ゲート絶縁膜、及び保護膜か積層された構造であることを特徴とする。
前記第1カラムスペーサーに相応する前記第2基板の表面と、前記第2カラムスペーサーに相応する前記第2基板の表面との段差は500Å以上であることを特徴とする。
一方、上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第1基板にカラムスペーサーを形成する段階と、第2基板の前記カラムスペーサーに対応する位置に少なくとも一つ以上の突起を形成する段階と、前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記カラムスペーサーと前記突起とか接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含むことを特徴とする。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、前記第1基板に複数個の第1、第2カラムスペーサーを形成する段階と、前記第2基板の前記第1カラムスペーサーに対応する位置に少なくとも一つ以上の突起を形成する段階と、前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記第1カラムスペーサーと前記突起とか接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含むことに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第1基板に複数個の第1、第2カラムスペーサーを形成する段階と、第2基板に複数個のゲートライン及びゲート電極を形成する段階と、前記ゲートライン及びゲート電極を含む第2基板の全面にゲート絶縁膜を形成する段階と、前記ゲート電極の上部のゲート絶縁膜上に半導体層を形成する段階と、画素領域を定義するために前記ゲートラインと垂直方向にデータライン、及び前記半導体層の両側に形成されたソース/ドレイン電極を形成する段階と、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記データラインを含む第2基板の全面に保護膜を形成する段階と、前記ドレイン電極に連結されるように、前記保護膜上の画素領域に画素電極を形成する段階と、第2基板の前記第1カラムスペーサーに対応する位置に少なくとも一つ以上の突起を形成する段階と、前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記第1カラムスペーサーと前記突起とか接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含むことに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第1基板に複数個の第1、第2カラムスペーサーを形成する段階と、第2基板に襟数個のゲートライン及びゲート電極を形成する段階と、前記ゲートライン及びゲート電極を含む第2基板の全面にゲート絶縁膜を形成する段階と、前記ゲート電極の上部のゲート絶縁膜、及び前記第1カラムスペーサーに相応する部分のゲート絶縁膜上にそれぞれ半導体層、及び第1突起パターンを形成する段階と、画素領域を定義するために前記ゲートラインと垂直方向にデータライン、前記半導体層の両側にソース/ドレイン電極、及び前記第1突起パターン上に第2突起パターンを形成する段階と、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記第1、第2突起パターンを含む第2基板の全面に保護膜を形成する段階と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結されるように、前記保護膜上の画素領域に画素電極を形成する段階と前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記第1カラムスペーサーと前記第1、第2突起パターンとが形成された部分が互いに接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含むことに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第1基板に複数個の第1、第2カラムスペーサーを形成する段階と、第2基板にゲート電極を有する複数個のゲートライン、及び共通電極を有する共通ラインを形成する段階と、前記ゲートライン及び共通ラインを含む第2基板の全面にゲート絶縁膜を形成する段階と、前記ゲート電極の上部のゲート絶縁膜及び前記第1カラムスペーサーに相応する部分のゲート絶縁膜上にそれぞれ半導体層及び第1突起パターンを形成する段階と、画素領域を定義するために前記ゲートラインに垂直な方向にデータライン、前記半導体層の両側にソース/ドレイン電極、及び前記第1突起パターン上に第2突起パターンを形成する段階と、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記第1、第2突起パターンを含む第2基板の全面に保護膜を形成する段階と、前記薄膜トランンスターのドレイン電極に連結され、前記共通電極と平行に前記保護膜上の画素領域に画素電極を形成する段階と、前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記第1カラムスペーサーと前記第1、第2突起パターンとか形成された部分か互いに接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含むことに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、複数個の画素領域か定義された第1、第2基板を用意する段階と、前記第2基板の各画素領域に一つずつ複数個の突起を形成する段階と、三つの画素領域ことに前記一つの突起に整列される第1カラムスペーサーと、前記突起に整列されていない第2カラムスペーサーとを第1基板に形成する段階と、前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記第1カラムスペーサーと前記突起とが接触するように前記第1第2基板を貼り合わせる段階とを含むことに他の特徴がある。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第1、第2基板を用意する段階と、前記第2基板に画素領域を定義するために前記第2基板にゲートライン及びゲート電極を形成する段階と、前記ゲートライン及びゲート電極を含む第2基板の全面にゲート絶縁膜を形成する段階と、各画素ことに前記ゲート電極の上部、及び前記ゲートラインの上部のゲート絶縁膜上にそれそれ半導体層及び第1突起パターンを形成する段階と、画素領域を定義するために前記ゲートラインに垂直な方向にデータライン、前記半導体層の両側にソース/ドレイン電極、及び前記第1突起パターン上に第2突起パターンを形成する段階と、前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記第1、第2突起パターンを含む第2基板に保護膜を形成する段階と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結されるように前記保護膜上の画素領域に画素電極を形放する段階と、第1カラムスペーサーは前記した一つの第1、第2突起パターンに整列され、第2カラムスペーサーは前記突起パターンと整列されないように、三つの画素領域ことに一つずつ前記第1基板に第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーを形成する段階と、前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、前記第1カラムスペーサーと、前記突起パターンとか接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含むことに他の特徴がある。
本発明の液晶表示装置、及びその製造方底においては次のような効果がある。
液晶パネルの大面積化に伴い、生産性向上のために液晶滴下方式で液晶表示装置を製造したり、更にカラムスペーサーを使用する場合にも、前記カラムスペーサーに対応する部分に突起を形成してカラムスペーサーと基板との間の摩擦力を減少させる。
従って、液晶パネル面を所定の方向に擦ってもカラムスペーサーと対向する基板間の摩擦力か低くなり、液晶の復元か速やかに進められるので、タッチスポットを防止することかでき、タッチスポットで発生する輝度の不均一を改善して、層度に優れた液晶パネルを生産することができる。
また、複数個のカラムスペーサーのうち選択的な領域に突起を形成することにより、突起か形成されていないカラムスペーサーは押圧不良を防止できる。
以下、本発明に係る液晶表示装置、及びその製造方法を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
図6は本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置の概略的な断面図である。
図6に示したように、本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置は、カラーフィルターアレイが形成されたカラーフィルター基板100と、前記カラーフィルター基板100と対向してTFTアレイが形成されたTFT基板200と、前記カラーフィルター基板100とTFT基板200との間に液晶層55と、前記カラーフィルター基板100と前記TFT基板200との間にTFT基板200と所定の間で隔離して前記カラーフィルター基板100上に形成された複数個の第1、第2カラムスペーサー50a、50bと、前記複数個の第1カラムスペーサー50aに対応する部分のTFT基板200に形成された突起51とを含んでなる。
このように、突起51を複数個の第1、第2カラムスペーサーのうち、選択的に第1カラムスペーサー50aにのみ対向するように形成して、前記第1カラムスペーサー50aと、突起51によってTFT基板200と、カラーフィルター基板100の間のセルギャップが維持され、第2カラムスペーサー50bは、基板か押される時に緩衝の役割を果たして押圧不良を防止するためのものである。
ここで、前記突起51と前記第1カラムスペーサー50aとの接触面積は前記突起51の上部表面の面積によって決定される。
前記第1、第2カラムスペーサー50a、50bは、TFT基板200のゲートライン、又はデータラインに相応する領域に形成される。勿論、これに限定されず、前記第2カラムスペーーサーは画素領域に形成され得る。
ここで、前記突起51の表面積は前記第1カラムスペーサー50aの表面積より相対的に小さく形成される。即ち、第1カラムスペーサー50aの表面積は前記突起51と接触する第1領域と、前記突起51と接触しない第2領域とを有する。
上記のような本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置のタッチ時及びタッチ後の変化を図面に基づいて説明する。
図7a及び図7bは、それぞれ図6の液晶表示装置のタッチ時の変化と、タッチ後の復元状態を示した構造断面図である。
本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置は、図7aに示したようにタッチ時には第1カラムスペーサー50aと、突起51との接触面積が小さく、両方の間に摩擦力が小さい。
従って、タッチ後液晶がタッチされた状態で止まっておらず、図7bに示したように元の状態に素早く回復される。従って、従来のカラムスペーサーのように、タッチ部位に液晶が片寄って発生する光漏れ現象が起こらず、輝度がパネルの全面にかけて均一となる。
上記のような第1、第2カラムスペーサー及び突起について、より具体的に説明する。
図8は、本発明の第1実施形態に係るIPSモード液晶表示装置の平面図であり、図9は、図8のII−II′線上の構造断面図で、本発明の第1実施形態の詳細断面図である。
即ち、本発明の第1実施形態は、図8及び図9に示したように、一定の空間を有して貼り合せられたカラーフィルター基板100及びTFT基板200と、前記カラーフィルター基板100とTFT基板200との間に注入された液晶層55とで構成されている。
より具体的に説明すると、前記カラーフィルター基板100は、ガラス基板60上に画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマトリックス層31が形成され、前記各画素領域に対応した部分に色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層32が形成され、前記ブラックマトリックス層31と、カラーフィルター層32の上部に全面オーバーコート層33が形成される。そして、前記オーバーコート層33の上側の所定の部分に感光性樹脂などのような物質で第1カラムスペーサー50a及び第2カラムスペーサー50bが形成される。
前記カラーフィルター基板100に対向するTFT基板200は、ガラス基板70上に垂直に交差して画素領域を定義する複数個のゲートライン41及びデータライン42が形成され、前記ゲートラインに平行した方向に共通ライン47が形成され、前記共通ライン47で各画素領域に突出して、一定の間隔を有して共通電極47aが形成される。
そして、前記各ゲートライン41とデータライン42が交差する部分にソース/ドレイン電極42a、42bを備えた薄膜トランジスターTFTが形成され、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記各画素領域には前記共通電極47aと平行に前記共通電極の間に画素電極43が形成される。
そして、前記第1カラムスペーサー50aに相応する位置の前記ゲートライン41の上側に半導体層とデータライン物質とが蒸着された突起51が形成される。
ここで、前記薄膜トランジスター、画素電極、及び突起の製造について詳細に説明する。
前記ガラス基板70上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、複数個のゲートライン41及び前記ゲートライン41から突出する形状でゲート電極41aと共通ライン47及び共通電極47aを同時に形成する。
次に、前記ゲートライン41を含むガラス基板70上にSiNxなどの絶縁物質を全面蒸着してゲート絶縁膜45を形成し、前記ゲート絶縁膜45上に半導体層を蒸着し、パターニングして前記ゲート電極41aの上側のゲート絶縁膜45上に半導体層44を形成すると共に、前記第1カラムスペーサー50aに相応する部位のゲート絶縁膜45上に突起を形成するための第1突起パターン44aを形成する。
ここで、前記半導体層44は、非晶質シリコン層(又はポリシリコン層)及び不純物が高濃度でドーピングしたシリコン層を連続に蒸着した後、前記非晶質シリコン層(又はポリシリコン層)及びドーピングされたシリコン層を同時にパターニングして形成する。
そして、Mo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着し、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、前記ゲートライン41と垂直方向にデータライン42を形成し、前記半導体層44の両側にソース電極42a、ドレイン電極42bを形成すると同時に、前記第1突起パターン44a上に第2突起パターン42cを形成する。ここで、前記ソース電極42aは、前記データライン42から突出して形成される。
ソース/ドレイン電極パターニング工程で、前記ソース電極42aとドレイン電極42bとの間のドーピングしたシリコン層は除去される。したがって、前記第1突起パターン44aと第2突起パターン42cによって突起51が形成される。
次に、前記ソース電極42a及びドレイン電極42bを含む基板の全面に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜46を蒸着する。このような保護膜46の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB(ベンゾシクロブテン)、SOG、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。
そして、前記ドレイン電極42b上の保護膜46の一部を選択的にエッチングしてドレイン電極42bの一部を露出させるコンタクトホールを形成し、前記コンタクトホールを介して前記ドレイン電極42bに電気的に連結されるように前記保護膜46上に透明導電膜をスパッタリングして蒸着した後、選択的に除去して、前記ドレイン電極42bに連結され、且つ前記共通電極47aと平行して前記共通電極の間に位置するように前記画素領域に画素電極43を形成する。
上述したように、前記第2カラムスペーサー50bに対応する位置には突起51が形成されない。そして、図面には示していないが、上記のようにカラムスペーサー50a、50bが形成されたカラーフィルター基板100と、突起51が形成されたTFT基板200の全面に第1、第2配向膜を形成し、ラビング処理する。ここで、ラビング処理とは、布を均一の圧力や速度で配向膜の表面と摩擦させることで、前記配向膜の表面の高分子チェーンが一定の方向に整列されるようにして液晶の初期配向方向を決定する工程をいう。
ここで、前記突起51は、前記第1カラムスペーサー50aの表面に比べて相対的に小さい面積を有するように形成する。このように、前記第1カラムスペーサー50aに対応する部位に突起51を形成した理由は、液晶表示装置の画面を一方向に擦る時、前記第1カラムスペーサーと対向するTFT基板200上の構造物との接触面積を減らして摩擦力を減らすことで、液晶の復元力を高めるためである。
したがって、前記第1カラムスペーサー50aに相応するTFT基板200の垂直構造は、前記基板90、ゲートライン41、ゲート絶縁膜45、半導体層の第1突起パターン44a、データラインと同一の物質の第2突起パターン42c及び保護膜46が積層された構造を有し、前記第2カラムスペーサー50bに相応するTFT基板200の垂直構造は前記基板90、ゲートライン41、ゲート絶縁膜45及び保護膜が積層された構造を有する。
そして、前記第1カラムスペーサー50の全表面が前記突起51に全て接触するわけではなく、前記第1カラムスペーサー50aの表面は、前記突起51に接触する第1領域と、前記突起51に接触しない第2領域とに区分される。この際、前記第1領域に相応するTFT基板200の垂直構造は、前記基板90、ゲートライン41、ゲート絶縁膜45、半導体層の第1突起パターン44a、データラインと同一の物質の第2突起パターン42及び保護膜46が積層された構造を有し、前記第2領域に相応するTFT基板200の垂直構造は、前記基板90、ゲートライン41、ゲート絶縁膜45及び保護膜が積層された構造を有する。
ここで、前記第1カラムスペーサー50aに相応するTFT基板200の表面と、前記第2カラムスペーサー50bに相応するTFT基板200の表面とは約500Å以上の段差を有し、更に、前記第1領域に相応するTFT基板200の表面と、前記第2領域に相応するTFT基板200の表面とは約500Å以上の段差を有する。
上記ではカラーフィルター基板100にカラムスペーサー50a、50bを形成し、TFT基板200に突起を形成することを説明したが、これに限定されず、TFT基板にカラムスペーサーを形成し、カラーフィルター基板に突起を形成しても構わない。
上記本発明の第1実施形態の図8及び図9において、各画素ごとに第1カラムスペーサー50aと第2カラムスペーサー50bとが交互に形成され、前記突起51は、前記第1カラムスペーサー50aが形成された部分のみに形成されることを図示したが、これに限定されず、二つの画素に一つの第1カラムスペーサー50a又は第2カラムスペーサー50bが交互に形成され、第1カラムスペーサー50aに相応する位置に突起51が形成されることもある。
図10は、図8のII−II′線上の構造断面図で、本発明の第2実施形態に係る具体的な構造断面図である。
即ち、図8及び図10に示したように、本発明の液晶表示装置は、一定の空間を有して貼り合せられたカラーフィルター基板100及びTFT基板200と、前記カラーフィルター基板100とTFT基板200の間に注入された液晶層55とで構成されている。
より具体的に説明すると、前記カラーフィルター基板100は、ガラス基板60上に画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマトリックス層31が形成され、前記各画素領域に対応した部分に色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層32が形成され、前記ブラックマトリックス層31と、カラーフィルター層32の上部の全面にオーバーコート層33が形成される。そして、前記オーバーコート層33の上側の所定の部分に感光性樹脂などと同様な物質で第1カラムスペーサー50a及び第2カラムスペーサー50bが形成される。
前記カラーフィルター基板100に対向するTFT基板200は、ガラス基板70上に垂直に交差して画素領域を定義する複数個のゲートライン41及びデータライン42が形成され、前記ゲートラインと平行方向に共通ライン47が形成され、前記共通ライン47で各画素領域に突出して、一定の間隔を有して共通電極47aが形成される。
そして、前記各ゲートライン41とデータライン42との交差する部分にソース/ドレイン電極42a、42bを備えた薄膜トランジスターTFTが形成され、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記各画素領域には前記共通電極47aと平行して前記共通電極の間に画素電極43が形成される。
そして、前記第1カラムスペーサー50aに対応する位置のTFT基板200に突起51が形成される。
ここで、前記薄膜トランジスター、画素電極及び突起の製造について詳細に説明する。
前記ガラス基板70上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、複数個のゲートライン41及び前記ゲートライン41から突出する形状でゲート電極41aと共通ライン47及び共通電極47aを同時に形成する。
次に、前記ゲートライン41を含むガラス基板70上にSiNxなどの絶縁物質を全面蒸着してゲート絶縁膜45を形成し、前記ゲート絶縁膜45上に半導体層を蒸着し、パターニングして前記ゲート電極41aの上側のゲート絶縁膜45上に半導体層44を形成する。
ここで、前記半導体層44は、非晶質シリコン層(又はポリシリコン層)及び不純物が高濃度でドーピングされたシリコン層を連続に蒸着した後、前記非晶質シリコン層(又はポリシリコン層)及びドーピングされたシリコン層を同時にパターニングして形成する。
そして、Mo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着し、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、前記ゲートライン41に垂直な方向にデータライン42を形成し、前記半導体層44の両側にソース電極42a、ドレイン電極42bを形成する。ここで、前記ソース電極42aは、前記データライン42から突出して形成される。
ソース/ドレイン電極パターニング工程で、前記ソース電極42aとドレイン電極42bとの間のドーピングされたシリコン層は除去される。
次に、前記ソース電極42a及びドレイン電極42bを含む基板の全面に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜46を蒸着する。このような保護膜46の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB、SOG、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。
そして、前記ドレイン電極42b上の保護膜46の一部を選択的にエッチングしてドレイン電極42bの一部を露出させるコンタクトホールを形成し、前記コンタクトホールを介して前記ドレイン電極42bに電気的に連結されるように前記保護膜46上に透明導電膜をスパッタリングして蒸着した後、選択的に除去して、前記ドレイン電極42bに連結され、且つ前記共通電極47aと平行して前記共通電極の間に位置するように前記画素領域に画素電極43を形成する。
前記保護膜46に前記カラムスペーサーと同一の物質を蒸着し、選択的に除去して、前記カラーフィルター基板100に形成された第1カラムスペーサー50aに相応する部分に突起51を形成する。
そして、図示してはいないが、互いに向き合うカラーフィルター基板100と、TFT基板200の全面に第1、第2配向膜を形成し、ラビング処理する。ここで、ラビング処理とは、布を均一の圧力や速度で配向膜の表面と摩擦させることで、前記配向膜の表面の高分子チェーンが一定の方向に整列されるようにして液晶の初期配向方向を決定する工程をいう。
ここで、前記突起51は、前記第1カラムスペーサー50aの表面に比べて相対的に小さい面積を有するように形成する。このように、前記第1カラムスペーサー50aに対応する部位に突起51を形成した理由は、液晶表示装置の画面を一方向に擦る時、前記第1カラムスペーサーと対向するTFT基板200上の構造物との接触面積を減らして摩擦力を減らすことで、液晶の復元力を高めるためである。
上記ではカラーフィルター基板100にカラムスペーサー50a、50bを形成し、TFT基板200に突起を形成することを説明したが、これに限定されず、TFT基板にカラムスペーサーを形成し、カラーフィルター基板に突起を形成しても構わない。
前記図10においては、第1カラムスペーサー50aに対応する位置に突起51を別途に構成するので、工程が追加される。
前記本発明の第2実施形態の図10においても、各画素ごとに第1カラムスペーサー50aと、第2カラムスペーサー50bとが交互に形成され、前記突起51は、前記第1カラムスペーサー50aが形成された部分のみに形成されることを示したが、これに限定されず、二つの画素に一つの第1カラムスペーサー50a又は第2カラムスペーサー50bが交互に形成され、第1カラムスペーサー50aに相応する位置に突起51が形成されることもある。
同様に、前記第1カラムスペーサー50aに相応するTFT基板200の表面と、前記第2カラムスペーサー50bに相応するTFT基板200の表面とは約500Å以上の段差を有し、更に、前記第1領域に相応するTFT基板200の表面と、前記第2領域に相応するTFT基板200の表面とは約500Å以上の段差を有する。
一方、前記突起51は、各画素ごとにゲートライン上に一つずつ形成され、カラムスペーサー50a、50bは、三つの画素に二つのカラムスペーサーが形成されるようにする。
図11は本発明の第3実施形態に係るTFT基板の平面図で、図12は本発明の第3実施形態に係る液晶表示装置の平面図で、図13は図12のIII−III′線上の断面図である。
即ち、本発明の第3実施形態は、図11乃至図13に示したように、一定の空間を有して貼り合せられたカラーフィルター基板100及びTFT基板200と、前記カラーフィルター基板100とTFT基板200との間に注入された液晶層55とで構成されている。
より具体的に説明すると、前記カラーフィルター基板100は、ガラス基板60上に画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマトリックス層31が形成され、前記各画素領域に対応した部分に色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層32が形成され、前記ブラックマトリックス層31と、カラーフィルター層32の上部の全面にオーバーコート層33が形成される。そして、前記オーバーコート層33の上側の所定の部分に感光性樹脂などのような物質で第1カラムスペーサー50a及び第2カラムスペーサー50bが形成される。
ここで、前記第1カラムスペーサー50a及び第2カラムスペーサー50bは、三つの画素に二つのカラムスペーサーが形成される。即ち、三つの画素に一つの第1カラムスペーサー50aと、一つの第2カラムスペーサー50bとが形成される。より具体的に説明すると、Rカラーの画素に第1カラムスペーサー50aが形成され、Bカラーの画素に第2カラムスペーサー50bが形成され、Gカラーの画素にはカラムスペーサーが形成されずに、各カラムスペーサーの間隔は均一となるように形成する。
また、前記カラーフィルター基板100に対向するTFT基板200は、ガラス基板70上に垂直に交差して、画素領域を定義する複数個のゲートライン41及びデータライン42が形成され、前記ゲートラインに平行した方向に共通ライン47が形成され、前記共通ライン47で各画素領域に突出して、一定の間隔を有して共通電極47aが形成される。
そして、前記各ゲートライン41とデータライン42が交差する部分にソース/ドレイン電極42a、42bを備えた薄膜トランジスターTFTが形成され、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記各画素領域には前記共通電極47aと平行して前記共通電極の間に画素電極43が形成される。
そして、各画素ごとに前記ゲートライン41の上側に半導体層とデータライン物質が蒸着された一つの突起51が形成される。このように各画素ごとに一つの突起が形成され、その内一部の突起は第1カラムスペーサー50aと整列(オーバーラップ)され、残りの突起はカラムスペーサーと整列されない。
ここで、前記薄膜トランジスター、画素電極及び突起の製造について詳細に説明する。
前記ガラス基板70上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、複数個のゲートライン41及び前記ゲートライン41から突出する形状で、ゲート電極41aと共通ライン47及び共通電極47aを同時に形成する。
次に、前記ゲートライン41を含むガラス基板70上にSiNxなどの絶縁物質を全面蒸着してゲート絶縁膜45を形成し、前記ゲート絶縁膜45上に半導体層を蒸着し、パターニングして前記ゲート電極41aの上側のゲート絶縁膜45上に半導体層44を形成すると同時に、各画素ごとに一つずつ配置されるよう前記ゲート絶縁膜45上に突起を形成するための第1突起パターン44aを形成する。
前記第1突起パターン44aは、三つの画素のうち、一つの画素で前記第1カラムスペーサー50aと整列(オーバーラップ)されるように一定の位置で形成される。
ここで、前記半導体層44は、非晶質シリコン層(又はポリシリコン層)、及び不純物が高濃度でドーピングしたシリコン層を連続的に蒸着した後、前記非晶質シリコン層(又はポリシリコン層)及びドーピングされたシリコン層を同時にパターニングして形成する。
そして、Mo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着し、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、前記ゲートライン41に垂直な方向にデータライン42を形成し、前記半導体層44の両側にソース電極42a、ドレイン電極42bを形成すると同時に、前記第1突起パターン44a上に第2突起パターン42cを形成する。ここで、前記ソース電極42aは、前記データライン42から突出して形成される。
ソース/ドレイン電極パターニング工程で、前記ソース電極42aとドレイン電極42bとの間のドーピングしたシリコン層は除去される。したがって、前記第1突起パターン44aと第2突起パターン42cによって突起51が形成される。
次に、前記ソース電極42a及びドレイン電極42bを含む基板の全面に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜46を蒸着する。このような保護膜46の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB、SOG、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。
そして、前記ドレイン電極42b上の保護膜46の一部を選択的にエッチングしてドレイン電極42bの一部を露出させるコンタクトホールを形成し、前記コンタクトホールを介して前記ドレイン電極42bに電気的に連結されるよう前記保護膜46上に透明導電膜をスパッタリングして蒸着した後、選択的に除去して、前記ドレイン電極42bに連結され、且つ前記共通電極47aと平行して前記共通電極の間に位置するように前記画素領域に画素電極43を形成する。
そして、図示してはいないが、上記のようにカラムスペーサー50a、50bが形成されたカラーフィルター基板100と、突起が形成されたTFT基板200との全面に第1、第2配向膜を形成し、ラビング処理する。ここで、ラビング処理とは、布を均一の圧力や速度で配向膜の表面と摩擦させることで、前記配向膜の表面の高分子チェーンが一定の方向に整列されるようにして液晶の初期配向方向を決定する工程をいう。
ここで、前記突起51は、前記第1カラムスペーサー50aの表面に比べて相対的に小さい面積を有するように形成する。
上記ではカラーフィルター基板100にカラムスペーサー50a、50bを形成し、TFT基板200に突起を形成することを説明したが、これに限定されず、TFT基板にカラムスペーサーを形成し、カラーフィルター基板に突起を形成しても構わない。
また、前記突起51は、本発明の第2実施形態のように保護膜上に形成され得る。
前記第1乃至第3実施形態において、前記第1カラムスペーサー50aに対応する位置に一つの突起51を形成したが、突起を一つ形成すると、第1カラムスペーサーと突起との接触する部分に痕跡が生じ、セルギャップを調節し難い場合が発生し得る。このような短所を克服するために突起の大きさを大きくすれば、突起と第1カラムスペーサーとの接触面積が増加して、更にタッチスポットを防止する効果が低減するので、面積増加対比に集中される荷重の増加量を減らすために、第1カラムスペーサーに対応する位置に少なくとも二つ以上の突起を形成できる。
図14は、本発明の第4実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図で、第1カラムスペーサーに対応した部分に少なくとも二つの突起を形成することを示す。図14に示したように、本発明の第4実施形態に係る液晶表示装置は、カラーフィルター基板100に第1カラムスペーサー50a及び第2カラムスペーサー50b(図14には図示せず)を形成し、前記第1カラムスペーサー50aに対応する位置のTFT基板200に少なくとも二つ以上の突起51を形成したものである。
このような少なくとも二つの突起51は、本発明の第1及び第3実施形態のようにゲート絶縁膜上に半導体層とデータライン物質を用いて形成でき、本発明の第2実施形態のように保護膜上に形成することもできる。残りの構成は本発明の第1乃至第3実施形態と同様である。
図15は本発明の第5実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。
図15に示したように、本発明の第5実施形態に係る液晶表示装置は、互いに面積が異なる2層の第1突起パターン51aと、第2突起パターン51bとで突起部の構造を形成する。
ここで、前記第1、第2突起パターン51a、52bは、前記TFT基板200上に形成されたもので、前記第1カラムスペーサー50aに対応する第2突起パターン51bは、前記第1突起パターン51aよりは相対的に面積を小さくすることで、前記第1カラムスペーサー50aと、前記第2突起パターン51bとの接触面積を減らし、摩擦力を減らしてタッチスポットを減らす効果を高められる。
このような突起は、前記第1、第2突起パターン51a、51bの成分を同一の材質で形成し、別の蒸着工程及びパターニング工程を進めて形成できる。また、本発明の第1及び第3実施形態のように、ゲート絶縁膜上に半導体層とデータライン物質を用いて形成でき、本発明の第2実施形態のように保護膜上に形成することもでき、残りの構成は本発明の第1乃至第3実施形態と同様である。
図16は本発明の第6実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。
図16に示したように、本発明の第6実施形態に係る液晶表示装置は、前記第1カラムスペーサー50aに対応するTFT基板200上に第1突起パターン51aを形成した後、前記第1突起パターン51aの一部分をオーバーラップするようにTFT基板上に第2突起パターン51bを形成したものである。
この場合、前記第1カラムスペーサー50aと突起との接触面積は、前記第2突起パターン51bの上部の表面積によって決定され、その面積が小さいほど摩擦力が小さく、タッチスポットを最小化できる。ところがこの場合、第1カラムスペーサー50aの上部面をタッチする時、実際に突起が受ける荷重は、前記第1、第2突起パターン51a、51bの両方に及ぶので、相対的に表面積の小さい突起が一つ対応される構造に比べてカラムスペーサーの変形は殆どない。
このような突起は、本発明の第1及び第3実施形態のようにゲート絶縁膜上に半導体層とデータライン物質を用いて形成でき、本発明の第2実施形態のように保護膜上に形成することもできる。残りの構成は本発明の第1乃至第3実施形態と同様である。
図17は本発明の第7実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。
図17に示したように、本発明の第7実施形態に係る液晶表示装置は、TFT基板200上に第1有機絶縁膜を蒸着し、パターニングして互いに離隔した第1、第2突起パターン51a、51bを形成し、前記第1、第2突起パターン51a、51bを含む前記TFT基板200の全面に第2有機絶縁膜を形成した後、これをパターニングして前記第1、第2突起パターン51a、51bにかけて第1カラムスペーサー50aと接触する第3突起パターン51cを形成する。
この場合、前記第1、第2突起パターン51a、51bを形成するための第1、第2有機絶縁膜のパターニング時にミスアラインが発生しても、前記有機絶縁膜が同一の厚さで形成されるため、前記第1カラムスペーサー50aと、前記第3突起パターン51cとの接触面積は一定である。
そして、前記第3突起パターン51cは、前記第1、第2突起パターン51a、51bの段差によって凹部51dが形成されるので、容易に第1カラムスペーサーと突起との接触面積を減らせる。
このような突起は、本発明の第1及び第3実施形態に示したように、ゲート絶縁膜上に半導体層とデータライン物質を用いて第1、第2突起パターンは半導体層物質で形成し、第3突起パターン51cはデータライン物質で形成でき、本発明の第2実施形態のように保護膜上に形成することもできる。残りの構成は本発明の第1乃至第3実施形態と同様である。
図18は本発明の第8実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。
図18に示したように、本発明の第8実施形態に係る液晶表示装置は、突起部の構造を互いに面積が異なる2層の第1突起パターン51aと、第2突起パターン51bとで形成するが、第1突起パターン51aの面積を第2突起パターン51bの面積より更に小さく形成して、前記第2突起パターン51bが第1突起パターン51aを包むように形成したものである。
このような突起は、前記第1、第2突起パターン51a、51bの成分を同一の材質で形成し、別の蒸着工程及びパターニング工程を進めて形成できる。また、本発明の第1及び第3実施形態のようにゲート絶縁膜上に半導体層とデータライン物質を用いて形成でき、本発明の第2実施形態のように保護膜上に形成することもできる。残りの構成は本発明の第1乃至第3実施形態と同様である。
本発明の第1乃至第3実施形態はIPSモードの液晶表示装置を示したが、これに限定されず、TNモードの液晶表示装置にも適用され得る。
図19は本発明の第9実施形態に係るTNモードの液晶表示装置の平面図で、図20は図19のIV−IV′線上の断面図である。
より具体的に説明すると、前記カラーフィルター基板100は、ガラス基板60上に画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマトリックス層31が形成され、前記各画素領域に対応した部分に色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層32が形成され、前記ブラックマトリックス層31と、カラーフィルター層32の上部に全面共通電極34が形成される。そして、前記共通電極34の上側の所定の部分に感光性樹脂などのような物質で第1カラムスペーサー50a及び第2カラムスペーサー50bが形成される。
前記カラーフィルター基板100に対向するTFT基板200は、ガラス基板70上に垂直に交差して画素領域を定義する複数個のゲートライン41及びデータライン42が形成され、前記各画素領域には画素電極43が形成され、前記各ゲートライン41と、データライン42との交差する部分に薄膜トランジスターが形成される。
そして、前記ゲートライン41の上側に半導体層44aとデータライン物質42cとが蒸着された突起51が形成される。
ここで、前記薄膜トランジスター、画素電極及び突起の製造について詳細に説明する。
前記ガラス基板70上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、複数個のゲートライン41及び前記ゲートライン41から突出する形状でゲート電極41aを形成する。
次いて、前記ゲートライン41を含むガラス基板70上にSiNxなどの絶縁物質を全面蒸着してゲート絶縁膜45を形成し、前記ゲート絶縁膜45上に半導体層を蒸着し、パターニンクして前記ゲート電極41aの上側のゲート絶縁膜45上に半導体層44を形成すると共に、前記第1カラムスペーサー50aに相応する部位のゲート絶縁膜45上に突起を形成するための第1突起パターン44aを形成する。
ここで、前記半導体層44は、非晶質シリコン層及び燐(P)が高濃度でドーピングされたシリコン層を連続的に蒸着してから、前記非晶質シリコン層及びドーピングしたシリコン層を同時にパターニングして形成する。
そして、Mo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着し、写真食刻工程で前記金属物質をパターニングして、前記ゲートライン41と垂直方向にデータライン42を形成し、前記半導体層44の両側にソース電極42a、ドレイン電極42bを形成すると同時に、前記第1突起パターン44a上に第2突起パターン42cを形成する。ここで、前記ソース電極42aは、前記データライン42から突出して形成される。
ソース/ドレイン電極パターニング工程で、前記ソース電極42aとドレイン電極42bとの間のドーピングされたシリコン層は除去される。従って、前記第1突起パターン44aと第2突起パターン42cによって突起51が形成される。
次に、前記ソース電極42a及びドレイン電極42bを含む基板の全面に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜46を蒸着する。このような保護膜46の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB、SOG、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。
そして、前記ドレイン電極42b上の保護膜46の一部を選択的にエッチングしてドレイン電極42bの一部を露出させるコンタクトホールを形成し、前記コンタクトホールを介して前記ドレイン電極42bに電気的に連結されるように前記保護膜46上に透明導電膜をスパッタリングして蒸着した後、前記画素領域のみに残るように選択的に除去して前記画素領域に画素電極43を形成する。
そして、図示してはいないが、互いに向き合うカラーフィルター基板100と、TFT基板200との全面に第1、第2配向膜を形成し、ラビング処理する。ここで、ラビング処理とは、布を均一の圧力や速度で配向膜の表面と摩擦させることで、前記配向膜の表面の高分子チェーンが一定の方向に整列されるようにして液晶の初期配向方向を決定する工程をいう。
ここで、前記突起51は、前記第1カラムスペーサー50aの表面に比べて相対的に小さい面積を有するように形成する。
上記ではカラーフィルター基板にカラムスペーサーを形成し、TFT基板に突起を形成することを説明したが、これに限定されず、TFT基板にカラムスペーサーを形成し、カラーフィルター基板に突起を形成しても構わない。
また、第1、第2カラムスペーサー、及び各突起の配置方法などは本発明の第1乃至第8実施形態で説明したものと同様に構成できる。
上述した各実施形態において、前記第1、第2カラムスペーサー50a、50bと、TFT基板200との間の離隔間隔は500Å以上にして前記離隔間隔内に選択的に突起が形成されるようにする。
この場合、前記突起が形成されていない第2カラムスペーサーは、パネルの押圧不良を防止する機能を果たす。
以上の実施形態では前記カラムスペーサーがカラーフィルター基板に形成されたことを説明したが、これと逆に前記カラムスペーサーをTFT基板上に形成することも可能である。この場合、前記カラムスペーサーか形成される部位に対応してカラーフィルター基板上に突起が形成されなけれはならない。
一般的な液晶表示装置を示した分解斜視図である。 液晶注入型液晶表示装置の製造方法を示したフローチャートである。 液晶滴下型液晶表示装置の製造方法を示したフローチャートである。 カラムスペーサーが形成された液晶表示装置を示した概略断面図である。 タッチスポットが生じる部位の形状を示した平面図及び断面図である。 タッチスポットが生じる部位の形状を示した平面図及び断面図である。 本発明の第1実施形態に係る構造断面図である。 図6の液晶表示装置のタッチ時の変化と、タッチ後に復元された状態を示した構造断面図である。 図6の液晶表示装置のタッチ時の変化と、タッチ後に復元された状態を示した構造断面図である。 本発明の第1実施形態に係るIPSモード液晶表示装置の平面図である。 図8のII−II′線上の構造断面図で、本発明の第1実施形態の詳細な断面図である。 図8のII−II′線上の本発明の第2実施形態の具体的な構造断面図である。 本発明の第3実施形態に係るTFT基板の平面図である。 本発明の第3実施形態に係る液晶表示装置の平面図である。 図12のIII−III′線上の断面図である。 本発明の第4実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。 本発明の第5実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。 本発明の第6実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。 本発明の第7実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。 本発明の第8実施形態に係る液晶表示装置の概略的な構造断面図である。 本発明の第9実施形態に係るTNモードの液晶表示装置の平面図である。 図19のIV−IV′線上の断面図である。
符号の説明
31 ブラックマトリックス層
32 カラーフィルター層
33 オーバーコート層
34 共通電極
41 ゲートライン
41a ゲート電極
42 データライン
42a ソース電極
42b ドレイン電極
43 画素電極
44 半導体層
45 ゲート絶縁膜
46 保護膜
50、50a、50b カラムスペーサー
51 突起
55 液晶層
44a、42c、51a、51b、51c 突起パターン
60 第1基板
70 第2基板
100 カラーフィルター基板
200 TFT基板

Claims (12)

  1. 複数個の第1、第2カラムスペーサーが固定された第1基板と、
    前記第1及び第2カラムスペーサーのうち選択的に前記第1カラムスペーサーに対応する位置に前記第1カラムスペーサーの断面積より更に狭い断面積を有する突起が形成された第2基板であって、前記突起が前記第1カラムスペーサーに接触する第2基板と、
    前記第1、第2基板の間に形成された液晶層とを含んで構成されて、
    前記突起は、
    前記第2基板に互いに離隔して形成した第1、第2突起パターンと、前記第1、第2突起パターンにかけて前記第2基板に形成した第3突起パターンとを有して、
    前記第3突起パターンの表面が、前記第1、第2突起パターンの段差によって凹部を有することを特徴とする液晶表示装置。
  2. 前記第1、第2カラムスペーサーが固定された第1基板、又は前記突起が形成された第2基板の表面に少なくとも一つの配向膜が更に形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 画素領域を定義するために、前記第2基板に互いに交差して形成されたゲートライン及びデータラインと、
    半導体層、及びソース/ドレイン電極を備えて前記ゲートラインとデータラインが交差する部分に形成された薄膜トランジスターと、
    前記ゲートライン及び前記薄膜トランジスターのゲート電極を含む第2基板の全面に形成されるゲート絶縁膜と、
    前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように第2基板に形成された保護膜と、
    前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記保護膜上の画素領域に形成される画素電極とを更に備えて構成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  4. 前記第1、第2突起パターンは前記保護膜上に互いに離隔して形成されて、前記第3突起パターンは前記第1、第2突起パターンにかけて前記保護膜上に形成されたことを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。
  5. 前記第1、第2突起パターンは、前記半導体層と同一の物質で形成されることを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置。
  6. 前記第3突起パターンは、前記データラインと同一の物質で形成されることを特徴とする請求項に記載の液晶表示装置。
  7. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは前記三つの画素領域ごとに前記第1基板に一つずつ形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  8. 第1基板に複数個の第1、第2カラムスペーサーを形成する段階と、
    第2基板の前記第1及び第2カラムスペーサーのうち選択的に前記第1カラムスペーサーに対応する位置に前記第1カラムスペーサーの断面積より更に狭い断面積を有する少なくとも一つ以上の突起を形成する段階と、
    前記第1基板又は第2基板に液晶を滴下する段階と、
    前記第1基板又は第2基板にシールパターンを形成する段階と、
    前記第1カラムスペーサーと前記突起とが接触するように前記第1、第2基板を貼り合わせる段階とを含んで、
    前記突起を形成する段階は、
    前記第2基板の前記第1カラムスペーサーに対応する位置に互いに離隔した第1、第2突起パターンを形成する段階と、
    前記第1、第2突起パターンにかけて前記カラムスペーサーと接触するように前記第2基板に第3突起パターンを形成する段階と、を含んで、
    前記第3突起パターンの表面が、前記第1、第2突起パターンの段差によって凹部を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法 。
  9. 前記第2基板に複数個のゲートライン及びゲート電極を形成する段階と、
    前記ゲートライン及びゲート電極を含む第2基板の全面にゲート絶縁膜を形成する段階と、
    前記ゲート電極の上部のゲート絶縁膜上に半導体層を形成する段階と、
    画素領域を定義するために前記ゲートラインと垂直方向にデータライン、及び前記半導体層の両側に形成されたソース/ドレイン電極を形成する段階と、
    前記ドレイン電極にコンタクトホールを有するように前記データラインを含む第2基板の全面に保護膜を形成する段階と、
    前記ドレイン電極に連結されるように、前記保護膜上の画素領域に画素電極を形成する段階と、を更に含むことを特徴とする請求項に記載の液晶表示装置の製造方法。
  10. 前記第2基板に共通電極を有する共通ラインを形成する段階を更に含んで、
    前記画素電極は前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記共通電極と平行に前記保護膜上の画素領域に形成されることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法。
  11. 前記第1、第2突起パターンは前記半導体層と同一物質で形成されて、前記第3突起パターンは前記データラインと同一物質で形成されることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法。
  12. 前記第1、第2突起パターンは前記保護膜の前記第1カラムスペーサーに対応する位置に互いに離隔して形成されて、
    前記第3突起パターンは前記第1、第2突起パターンにかけて前記保護膜の上に形成されることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法。
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