JP4524222B2 - 基板組立方法及びその装置 - Google Patents
基板組立方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4524222B2 JP4524222B2 JP2005202690A JP2005202690A JP4524222B2 JP 4524222 B2 JP4524222 B2 JP 4524222B2 JP 2005202690 A JP2005202690 A JP 2005202690A JP 2005202690 A JP2005202690 A JP 2005202690A JP 4524222 B2 JP4524222 B2 JP 4524222B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transmission device
- machine base
- suction cup
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 173
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 100
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 34
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 22
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 claims description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/46—Fixing elements
- G02F2201/465—Snap -fit
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
(A)第1伝送装置で上基板を真空室の上機台上に送入し、そのうち、第1伝送装置は複数の第1下吸盤、及び第1下表面を包含し、且つ複数の第1下吸盤が第1下表面の上に設けられ、第1伝送装置が複数の第1下吸盤で上基板を上機台上に送入するステップ、
(B)上述の第1伝送装置が下機台上の前回組合せ完成した前回基板アセンブリを送出するのと同時に、第2伝送装置が下基板を真空室の下機台上に送入するステップ、
(C)液晶を下基板上に注入するステップ、
(D)上基板を下基板の上に重ね合わせて基板アセンブリの組合せを完成するステップ、
以上のステップを包含する。
(A)第1伝送装置で上基板を真空室の上機台上に送入し、そのうち、該第1伝送装置は一つのアームとされ、且つ第1上表面、該第1上表面の反対側に位置する第1下表面、複数の第1上吸盤及び複数の第1下吸盤を具え、これら第1上吸盤が該第1上表面に設けられ、且つこれら第1下吸盤が該第1下表面に設けられ、該第1伝送装置がこれら第1下吸盤で該上基板を該上機台上に送入し、該上機台が複数の上機台吸盤を包含し、これら上機台吸盤で該上基板を該上機台上に送入するステップ、
(B)上述の第1伝送装置でこれら第1上吸盤で該下機台上の前回組合せ完成した前回基板アセンブリを送出し、それと同時に該第2伝送装置で次の基板を該下機台上に送入し、該第2伝送装置は一つのアームとされ、且つ第2上表面と複数の第2上吸盤を具え、且これら第2上吸盤が該第2上表面に設けられ、該第2伝送装置がこれら第2上吸盤で該下基板を該下機台上に送入し、該下機台が複数の下機台吸盤を包含して該前回基板アセンブリ或いは該下基板を該下機台上に送入するステップ、
(C)液晶を下基板上に注入するステップ、
(D)上基板を下基板の上に重ね合わせて基板アセンブリの組合せを完成するステップ、
以上のステップを包含することを特徴とする、基板組立方法としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の基板組立方法において、(A)のステップ中、第1下吸盤がそれぞれ第1下通気管路に連通し、且つ該第1下通気管路が外部に連通することを特徴とする、基板組立方法としている。
請求項3の発明は、請求項1記載の基板組立方法において、(A)のステップ中、第1上吸盤がそれぞれ第1上通気管路に連通し、且つ該第1上通気管路が外部に連通することを特徴とする、基板組立方法としている。
請求項4の発明は、請求項1記載の基板組立方法において、(A)のステップ中、上基板が上基板正面、及び上基板背面を包含し、且つ第1伝送装置が上基板の上基板背面を吸着することを特徴とする、基板組立方法としている。
請求項5の発明は、請求項1記載の基板組立方法において、(B)のステップ中、下基板が下基板正面、及び下基板背面を包含し、且つ第2伝送装置が下基板の下基板背面を吸着することを特徴とする、基板組立方法としている。
請求項6の発明は、請求項1記載の基板組立方法において、(C)のステップ中、下基板上の周囲に感光樹脂接着剤が充填されたことを特徴とする、基板組立方法としている。
請求項7の発明は、基板組立装置において、該基板組立装置は真空室内に取り付けられ、該基板組立装置は、
複数の上機台吸盤を具えた上機台と、
複数の下機台吸盤を具えた下機台と、
該真空室内に設けられた第1マシンフレームと、
該真空室内に設けられた第2マシンフレームと、
第1マシンフレームに枢設され、一つのアームとされて、且つ第1上表面、該第1上表面の反対側に位置する第1下表面、複数の第1上吸盤及び複数の第1下吸盤を具え、これら第1上吸盤が該第1上表面に設けられ、これら第1下吸盤が該第1下表面に設けられた、第1伝送装置と、
第2マシンフレームに枢設され、一つのアームとされて、且つ第2上表面及び複数の第2上吸盤を具え、これら第2上吸盤が該第2上表面に設けられた、第2伝送装置と、
を包含し、
該第1伝送装置がこれら第1上吸盤で該下機台上の前回組合せ完成した前回基板アセンブリを送出し、それと同時に該第2伝送装置が次の基板を該下機台上に送入することを特徴とする、基板組立装置としている。
請求項8の発明は、請求項7記載の基板組立装置において、第2伝送装置が複数の第2上吸盤、及び第2上表面を包含し、且つこれら第2上吸盤が該第2上表面に設けられたことを特徴とする、基板組立装置としている。
請求項9の発明は、請求項7記載の基板組立装置において、第1伝送装置が第1上通気管路、及び第1下通気管路を更に包含し、第1上吸盤がそれぞれ第1上通気管路に連通し、第1下吸盤がそれぞれ第1下通気管路に連通し、且つ第1上通気管路と第1下通気管路が外部に連通することを特徴とする、基板組立装置としている。
請求項10の発明は、請求項8記載の基板組立装置において、該第2伝送装置が第2上吸盤で下基板を吸着して下機台上に送入することを特徴とする、基板組立装置としている。
12 下機台 121 下機台吸盤 2 第1伝送装置
21 第1上表面 211 第1上吸盤
212 第1上通気管路 22 第1下表面
30 前回基板アセンブリ 31 上基板
311 上基板正面 312 上基板背面 32 下基板
321 下基板正面 322 下基板背面 33 基板アセンブリ
4 第2伝送装置 41 第2上表面 411 第2上吸盤
5 第1マシンフレーム 6 第2マシンフレーム 7 液晶
8 感光樹脂接着剤
Claims (10)
- 基板組立方法であって、該基板組立方法は、上機台、及び下機台を包含する真空室内で実行され、
(A)第1伝送装置で上基板を真空室の上機台上に送入し、そのうち、該第1伝送装置は一つのアームとされ、且つ第1上表面、該第1上表面の反対側に位置する第1下表面、複数の第1上吸盤及び複数の第1下吸盤を具え、これら第1上吸盤が該第1上表面に設けられ、且つこれら第1下吸盤が該第1下表面に設けられ、該第1伝送装置がこれら第1下吸盤で該上基板を該上機台上に送入し、該上機台が複数の上機台吸盤を包含し、これら上機台吸盤で該上基板を該上機台上に送入するステップ、
(B)上述の第1伝送装置でこれら第1上吸盤で該下機台上の前回組合せ完成した前回基板アセンブリを送出し、それと同時に該第2伝送装置で次の基板を該下機台上に送入し、該第2伝送装置は一つのアームとされ、且つ第2上表面と複数の第2上吸盤を具え、且これら第2上吸盤が該第2上表面に設けられ、該第2伝送装置がこれら第2上吸盤で該下基板を該下機台上に送入し、該下機台が複数の下機台吸盤を包含して該前回基板アセンブリ或いは該下基板を該下機台上に送入するステップ、
(C)液晶を下基板上に注入するステップ、
(D)上基板を下基板の上に重ね合わせて基板アセンブリの組合せを完成するステップ、
以上のステップを包含することを特徴とする、基板組立方法。 - 請求項1記載の基板組立方法において、(A)のステップ中、第1下吸盤がそれぞれ第1下通気管路に連通し、且つ該第1下通気管路が外部に連通することを特徴とする、基板組立方法。
- 請求項1記載の基板組立方法において、(A)のステップ中、第1上吸盤がそれぞれ第1上通気管路に連通し、且つ該第1上通気管路が外部に連通することを特徴とする、基板組立方法。
- 請求項1記載の基板組立方法において、(A)のステップ中、上基板が上基板正面、及び上基板背面を包含し、且つ第1伝送装置が上基板の上基板背面を吸着することを特徴とする、基板組立方法。
- 請求項1記載の基板組立方法において、(B)のステップ中、下基板が下基板正面、及び下基板背面を包含し、且つ第2伝送装置が下基板の下基板背面を吸着することを特徴とする、基板組立方法。
- 請求項1記載の基板組立方法において、(C)のステップ中、下基板上の周囲に感光樹脂接着剤が充填されたことを特徴とする、基板組立方法。
- 基板組立装置において、該基板組立装置は真空室内に取り付けられ、該基板組立装置は、
複数の上機台吸盤を具えた上機台と、
複数の下機台吸盤を具えた下機台と、
該真空室内に設けられた第1マシンフレームと、
該真空室内に設けられた第2マシンフレームと、
第1マシンフレームに枢設され、一つのアームとされて、且つ第1上表面、該第1上表面の反対側に位置する第1下表面、複数の第1上吸盤及び複数の第1下吸盤を具え、これら第1上吸盤が該第1上表面に設けられ、これら第1下吸盤が該第1下表面に設けられた、第1伝送装置と、
第2マシンフレームに枢設され、一つのアームとされて、且つ第2上表面及び複数の第2上吸盤を具え、これら第2上吸盤が該第2上表面に設けられた、第2伝送装置と、
を包含し、
該第1伝送装置がこれら第1上吸盤で該下機台上の前回組合せ完成した前回基板アセンブリを送出し、それと同時に該第2伝送装置が次の基板を該下機台上に送入することを特徴とする、基板組立装置。 - 請求項7記載の基板組立装置において、第2伝送装置が複数の第2上吸盤、及び第2上表面を包含し、且つこれら第2上吸盤が該第2上表面に設けられたことを特徴とする、基板組立装置。
- 請求項7記載の基板組立装置において、第1伝送装置が第1上通気管路、及び第1下通気管路を更に包含し、第1上吸盤がそれぞれ第1上通気管路に連通し、第1下吸盤がそれぞれ第1下通気管路に連通し、且つ第1上通気管路と第1下通気管路が外部に連通することを特徴とする、基板組立装置。
- 請求項8記載の基板組立装置において、該第2伝送装置が第2上吸盤で下基板を吸着して下機台上に送入することを特徴とする、基板組立装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW093130662A TWI285758B (en) | 2004-10-08 | 2004-10-08 | A method for combining set of substrates and apparatus of the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006106688A JP2006106688A (ja) | 2006-04-20 |
JP4524222B2 true JP4524222B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=36376451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005202690A Expired - Fee Related JP4524222B2 (ja) | 2004-10-08 | 2005-07-12 | 基板組立方法及びその装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4524222B2 (ja) |
KR (1) | KR100740724B1 (ja) |
TW (1) | TWI285758B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4713517B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2011-06-29 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 貼り合わせ基板の製造装置及び製造方法 |
CN104210844B (zh) * | 2014-09-10 | 2016-11-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板传递***及其机械手 |
KR102430727B1 (ko) * | 2020-02-25 | 2022-08-10 | (주)메가센 | 원장 패널 흡착 장치 |
KR20230045749A (ko) * | 2021-09-28 | 2023-04-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 이송부를 포함하는 진공 챔버 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001242471A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Ran Technical Service Kk | 液晶パネルの基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置 |
JP2003270609A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Fujitsu Ltd | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 |
JP2003315757A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Anelva Corp | 統合型液晶ディスプレイパネル組立装置及び基板重ね合わせ装置 |
JP2004220023A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-08-05 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59171925A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-28 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶充填方法および装置 |
JPH0961831A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Denso Corp | 液晶表示素子の液晶注入方法および液晶注入装置 |
JPH11121378A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Toshiba Corp | 多結晶半導体膜の製造方法、半導体装置の製造方法、液晶表示装置の製造方法、及びレーザアニール装置 |
JP3641709B2 (ja) * | 1999-12-09 | 2005-04-27 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板の組立方法とその装置 |
TWI266104B (en) * | 2002-03-14 | 2006-11-11 | Sharp Kk | Manufacturing method of liquid crystal display apparatus and substrate assembling apparatus |
JP3906753B2 (ja) * | 2002-07-01 | 2007-04-18 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 基板組立て装置 |
TW594297B (en) * | 2002-07-19 | 2004-06-21 | Hitachi Ind Co Ltd | Substrate assembling device |
-
2004
- 2004-10-08 TW TW093130662A patent/TWI285758B/zh not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-07-12 JP JP2005202690A patent/JP4524222B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-15 KR KR1020050064131A patent/KR100740724B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001242471A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Ran Technical Service Kk | 液晶パネルの基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置 |
JP2003270609A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Fujitsu Ltd | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 |
JP2003315757A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Anelva Corp | 統合型液晶ディスプレイパネル組立装置及び基板重ね合わせ装置 |
JP2004220023A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-08-05 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI285758B (en) | 2007-08-21 |
KR20060050206A (ko) | 2006-05-19 |
TW200612129A (en) | 2006-04-16 |
JP2006106688A (ja) | 2006-04-20 |
KR100740724B1 (ko) | 2007-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4187551B2 (ja) | 貼り合わせ装置及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法 | |
CN100456088C (zh) | Lcd粘接机和用这种粘接机制造lcd的方法 | |
TWI524407B (zh) | A grain bonding apparatus, a grain picking apparatus, and a grain picking method | |
JP4850207B2 (ja) | 垂直蒸着型マスクの製造装置及びこれを用いた垂直蒸着型マスクの製造方法 | |
JP4524222B2 (ja) | 基板組立方法及びその装置 | |
TW201114669A (en) | Sucking apparatus | |
KR20150113397A (ko) | 플렉시블 디스플레이 및 곡면 커버 부재의 합착 장치 및 합착 방법 | |
JP2003241202A (ja) | 液晶表示素子用貼り合わせ装置 | |
JP2005258325A (ja) | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 | |
KR101308429B1 (ko) | 액정 표시장치의 제조장치 및 제조방법 | |
US20050231886A1 (en) | Substrate attaching device and method | |
CN206842514U (zh) | 一种吸取摄像模组的吸头治具 | |
JP2007090322A (ja) | ディスペンサステージのガラス吸着構造 | |
CN100403104C (zh) | 基板贴合方法 | |
KR101390513B1 (ko) | 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법 | |
KR101404057B1 (ko) | 기판 합착 장치용 라미네이팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법 | |
KR101329228B1 (ko) | 멀티 정반 및 이를 이용한 터치패널과 디스플레이 패널을 합착하는 패널합착장치 | |
JP2011093707A (ja) | 基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリ | |
KR101609712B1 (ko) | 흡착지그 | |
CN110027902B (zh) | 触控面板真空吸附装置 | |
CN111402720A (zh) | 一种屏贴合组件及其高效贴合设备与贴合方法 | |
CN106066555B (zh) | 对盒设备 | |
JP2020131309A (ja) | ウェーハ回収装置、研磨システム、および、ウェーハ回収方法 | |
CN111152448A (zh) | 一种硬膜在上式新型硬膜和软膜贴合装置 | |
JP4642350B2 (ja) | 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090106 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090406 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090409 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100208 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4524222 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130604 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |