CN100403104C - 基板贴合方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种基板贴合方法，其包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘，该第一静电吸盘具有一开设多个导气孔的吸盘主体；将一第一基板通过静电感应吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，该气体是通过一供气装置供应，该供气装置通过一气体管路与该第一静电吸盘的吸盘主体的导气孔贯通，该气体冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。
Description
【技术领域】
本发明是关于一种基板贴合方法，特别是一种适用于滴下方式(One Drop Filling，ODF)的液晶灌注制程的基板贴合方法。
【背景技术】
液晶显示面板的结构通常包括两个玻璃基板、涂覆在该两个玻璃基板间的胶框以及灌注在该胶框与两个玻璃基板所组成空间中的液晶。
将液晶灌注入该胶框和两个玻璃基板所组成的空间中的方法一般包括两种。一种是注入法，即：先将胶框涂覆在一玻璃基板上，并在该胶框上设置一个或多个液晶注入开口；然后将另一玻璃基板与前述玻璃基板贴合，并将胶框固化使两个玻璃基板牢固结合；再在真空环境中使液晶注入开口接触液晶，随后取消真空使液晶在大气压作用下注入该液晶显示面板的空间中。另一种液晶灌注法是滴下方式，即：先将一完整胶框涂覆在一水平放置的玻璃基板上；以液晶分滴器(Dispenser)将液晶分布在该胶框与玻璃基板所组成的空间内；在真空环境中将另一玻璃基板与前述玻璃基板贴合，并将胶框固化使两个玻璃基板牢固结合。
滴下方式的液晶灌注制程需要采用可以提供真空条件的基板贴合装置，该种基板贴合装置的现有技术请参阅公告于2003年4月1日的中国台湾专利第526367号。该现有技术的基板贴合装置是在真空条件下，利用一静电吸盘吸附待贴合的第一基板，然后朝设置在一工作台上的第二基板方向移动该第一基板，使该第一基板与第二基板贴合。
但是，利用静电吸盘吸附该第一基板进行贴合后，仅仅通过消除静电吸盘上的电压并不能使该第一基板与该静电吸盘立即脱离，这是因为静电吸盘上的静电通常难以在短时间内消失的原因。
请参阅图1，是一种通过气流动力辅助基板脱离的现有技术基板贴合装置。该基板贴合装置1包括一真空腔11、第一静电吸盘12、一工作台13、一供气装置14和一控制装置15。该第一静电吸盘12和工作台13设置在该真空腔11内，该第一静电吸盘12包括一吸盘主体121，该吸盘主体121上开设多个导气孔122，该供气装置14通过一气体管路141与该多个导气孔122贯通，该控制装置15控制供气装置14与真空腔11交替工作。
该基板贴合装置1用于贴合第一基板22与第二基板23，在贴合前，该第二基板23已经涂覆有胶框231并将液晶232滴注完毕。
该基板贴合装置1的基板贴合方法如下所述。首先，朝第二基板23方向移动第一静电吸盘12，使吸附在第一静电吸盘12上的第一基板22与第二基板23贴合；其次，参照图2，控制装置15控制真空腔11停止抽真空工作，开始控制供气装置14向吸盘主体121的导气孔122供应氮气，通过气流的动力辅助第一基板22脱离吸盘主体121。
但是，这种基板贴合方法存在如下缺点：因为该基板贴合装置1在供气时，该真空腔11停止抽真空，使得贴合后的第一基板22与第二基板23所形成的空间内的气压小于真空腔11内的气压，又因此时该胶框231尚未固化，供气装置14所供应的氮气有可能因压力差而冲入第一基板22与第二基板23所形成的空间内，甚至使液晶232形成气泡，导致液晶显示面板不良和报废。
【发明内容】
为克服现有技术的基板贴合方法容易导致液晶显示面板不良和报废的问题，本发明提供一种可提高液晶显示面板良率的基板贴合方法。
本发明的基板贴合方法包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘，该第一静电吸盘具有一开设多个导气孔的吸盘主体；将一第一基板通过静电感应吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，该气体是通过一供气装置供应，该供气装置通过一气体管路与该第一静电吸盘的吸盘主体的导气孔贯通，该气体冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。
相较于现有技术，由于本发明的基板贴合方法可以在向第一基板供应气流动力的同时，持续对真空腔进行抽气，避免气体冲入第一基板与第二基板所形成的空间内，从而提高液晶显示面板的良率。
【附图说明】
图1是一种现有技术基板贴合装置的剖面示意图。
图2是采用图1所示基板贴合装置的基板贴合方法的示意图。
图3是本发明基板贴合方法所采用的基板贴合装置的剖面示意图。
图4是采用图3所示基板贴合装置的基板贴合方法的示意图。
【具体实施方式】
如图3所示，是本发明基板贴合方法所采用的基板贴合装置的剖面示意图。该基板贴合装置3包括一真空腔31、一第一静电吸盘32、一工作台33、一供气装置34、一第一控制装置36和一第二控制装置37。
该真空腔31是一可提供真空条件的腔体，其自身具有抽气装置，通过第二控制装置37控制抽气装置的持续工作，保持该真空腔31内为真空状态。
该第一静电吸盘32具有一开设多个导气孔322的吸盘主体321，该吸盘主体321通过静电感应现象吸附待贴合的第一基板42。该第一静电吸盘32具有上下移动的功能，以带动第一基板42在真空腔31内上下移动。
该工作台33用以放置第二基板43，其在进行第一基板42与第二基板43的贴合时，是与该吸盘主体321相对设置在该真空腔31内。但是，该工作台33可左右移动以出入该真空腔31，该第二基板43上的涂覆胶框431和滴注液晶432即是在该真空腔31外进行。本实施方式中，该工作台33是一静电吸盘，其工作原理同吸盘主体321相同，也是通过静电感应现象吸附第二基板43。
该供气装置34是通过一气体管路341与该吸盘主体321的导气孔322贯通，该供气装置34的工作是通过第一控制装置36控制，所供应的气体为氮气。该控制装置36可控制该供气装置34的供气与否。
一起参照图4，本发明的基板贴合方法如下所述。
首先，提供一基板贴合装置3。
其次，将第一基板42吸附在该第一静电吸盘32上，将第二基板43设置在该工作台33上。
再次，贴合第一基板42与第二基板43，其中，该第一基板42与第二基板43的贴合是通过第一静电吸盘32朝工作台33方向移动实现。
最后，保持真空腔31持续抽真空的同时，提供一气体，冲击该第一基板42并使之与该第一静电吸盘32脱离。其中，该气体为氮气，其是通过供气装置34供应，该供气装置34通过气体管路341与该吸盘主体321的导气孔322贯通。该供气装置34的工作是通过第一控制装置36控制，该真空腔31的工作是通过第二控制装置37控制。
当然，本发明的基板贴合方法还包括在该第二基板43上涂覆胶框431和滴注液晶432的步骤。
因为本发明基板贴合方法所采用的基板贴合装置3采用两个控制装置36、37分别控制供气装置34和真空腔31的工作，其可以实现在向第一基板42供应气流动力的同时持续对真空腔31的抽气，保持贴合后第一基板42与第二基板43所形成的空间内的气压与真空腔31内气压平衡，避免气体冲入贴合后的第一基板42与第二基板43所形成的空间内，从而提高液晶显示面板的良率。
Claims (8)
1.一种基板贴合方法，包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘，该第一静电吸盘具有一开设多个导气孔的吸盘主体；将一第一基板通过静电感应吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合该第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，该气体是通过一供气装置供应，该供气装置通过一气体管路与该第一静电吸盘的吸盘主体的导气孔贯通，该气体冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。
2.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：该工作台是一静电吸盘。
3.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：该气体为氮气。
4.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：该第一基板与第二基板的贴合是通过第一静电吸盘朝工作台方向移动实现。
5.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：该第一基板吸附在该第一静电吸盘的吸盘主体上。
6.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：该供气装置的工作是通过一第一控制装置控制。
7.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：该真空腔的工作是通过一第二控制装置控制。
8.如权利要求1所述的基板贴合方法，其特征在于：在将一第二基板设置在该工作台上的步骤之前，还包括在该第二基板上涂覆胶框和滴注液晶的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2004100270990A CN100403104C (zh) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 基板贴合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2004100270990A CN100403104C (zh) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 基板贴合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1690787A CN1690787A (zh) | 2005-11-02 |
| CN100403104C true CN100403104C (zh) | 2008-07-16 |
Family
ID=35346330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2004100270990A Expired - Fee Related CN100403104C (zh) | 2004-04-28 | 2004-04-28 | 基板贴合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100403104C (zh) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN101316777B (zh) * | 2006-09-29 | 2012-01-18 | 信越工程株式会社 | 工件移送方法和静电吸盘装置以及基板粘贴方法 |
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| US8836886B2 (en) | 2012-08-21 | 2014-09-16 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Frameless liquid crystal display device |
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-
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|---|---|
| CN1690787A (zh) | 2005-11-02 |
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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