JP4511208B2 - 圧力センサモジュール - Google Patents
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Description
2・・・圧力検出用弾性表面波素子
2a・・・圧力検出用弾性表面波素子のインターデジタルトランスデューサ
2b・・・圧力検出用弾性表面波素子の反射器
3・・・参照用弾性表面波素子
3a・・・参照用弾性表面波素子のインターデジタルトランスデューサ
3b・・・参照用弾性表面波素子の反射器
4・・・封止材
5・・・凹部
6・・・支持基板
7・・・電極パッド
8,9・・・接合用導体
10・・・圧力センサモジュール
12・・・ICチップ
13・・・アンテナ
14・・・樹脂
15・・・アンプ
Claims (2)
- 上面に凹部が形成されているセンサ基板の下面の、前記凹部直下の前記凹部の形成領域内に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む圧力検出用弾性表面波素子が、前記凹部の形成領域外に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む参照用弾性表面波素子がそれぞれ設けられたセンサ素子と、
前記圧力検出用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1の発振回路と、
前記参照用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2の発振回路と、
前記第1の発振回路からの電気信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに、該変換信号を出力するコンパレータと、
該コンパレータからの前記変換信号で前記第2の発振回路からの電気信号を変調して外部に出力する変調回路と、を備えてなる圧力センサモジュールであって、
前記圧力検出用弾性表面波素子と前記参照用弾性表面波素子とが間に反射器を介して一列状に配置されているとともに、該反射器がその両側に配される双方の弾性表面波素子の反射器として共用されており、該反射器全体が前記センサ基板の下面の前記凹部の形成領域内に形成されていることを特徴とする圧力センサモジュール。 - 前記第1の発振回路、前記第2の発振回路、前記コンパレータ及び前記変調回路が単一のICチップ上に集積されており、該ICチップと前記センサ素子とが共通の支持基板上に搭載されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサモジュール。
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