JP3133392B2 - 光ファイバ用スート母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用スート母材の製造方法Info
- Publication number
- JP3133392B2 JP3133392B2 JP18406891A JP18406891A JP3133392B2 JP 3133392 B2 JP3133392 B2 JP 3133392B2 JP 18406891 A JP18406891 A JP 18406891A JP 18406891 A JP18406891 A JP 18406891A JP 3133392 B2 JP3133392 B2 JP 3133392B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soot
- burner
- base material
- outlet
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/12—Nozzle or orifice plates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/24—Multiple flame type, e.g. double-concentric flame
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ用スート母
材の製造方法に関するものである。
材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用スート母材を製造する方法
の一つにいわゆる外付け法（ＯＶＤ法）がある。この方
法は、気化させた石英ガラス原料を火炎中に吹き込み、
火炎加水分解反応によってスートを生成させ、それを種
棒（通常は石英ガラス）に吹きつけてスート母材を成長
させていくものである。
の一つにいわゆる外付け法（ＯＶＤ法）がある。この方
法は、気化させた石英ガラス原料を火炎中に吹き込み、
火炎加水分解反応によってスートを生成させ、それを種
棒（通常は石英ガラス）に吹きつけてスート母材を成長
させていくものである。
【０００３】この方法では、種棒に付着するスート量が
増すに従ってスート母材の外径が大きくなるが、堆積ス
ートの密度を均一に保つためには、スート母材の外径の
増大に合わせて火力を増大させる必要がある。このため
従来は、燃料ガスすなわち水素と酸素のバーナーへの供
給量を徐々に増加させていた。
増すに従ってスート母材の外径が大きくなるが、堆積ス
ートの密度を均一に保つためには、スート母材の外径の
増大に合わせて火力を増大させる必要がある。このため
従来は、燃料ガスすなわち水素と酸素のバーナーへの供
給量を徐々に増加させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし大火力を得るに
は、バーナーの燃料ガス吹き出し口の断面積を大きくし
て、大量の燃料ガスの供給を確保しなければならない。
これは、燃料ガス吹き出し口の断面積を大きくせずに流
速を上げて大火力を得ようとすると、吹き出し口が抵抗
となって燃料ガスが流れ難くなったり、乱流状に吹き出
したりして、良好な火炎を形成することができないから
である。
は、バーナーの燃料ガス吹き出し口の断面積を大きくし
て、大量の燃料ガスの供給を確保しなければならない。
これは、燃料ガス吹き出し口の断面積を大きくせずに流
速を上げて大火力を得ようとすると、吹き出し口が抵抗
となって燃料ガスが流れ難くなったり、乱流状に吹き出
したりして、良好な火炎を形成することができないから
である。
【０００５】しかし単に燃料ガス吹き出し口の断面積を
大きくしただけでは、スート母材が細い初期の段階で火
力を絞った場合、吹き出し流速が低くなり過ぎて、火炎
にスート母材に届く勢いを持たせることができなくな
る。また燃料ガスである水素と酸素の無駄も大きくな
る。
大きくしただけでは、スート母材が細い初期の段階で火
力を絞った場合、吹き出し流速が低くなり過ぎて、火炎
にスート母材に届く勢いを持たせることができなくな
る。また燃料ガスである水素と酸素の無駄も大きくな
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
課題を解決した光ファイバ用スート母材の製造方法を提
供するものである。
課題を解決した光ファイバ用スート母材の製造方法を提
供するものである。
【０００７】本発明においては、気化させた石英ガラス
原料を火炎中に吹き込み、火炎加水分解反応によってス
ートを生成させ、それを種棒に吹きつけて光ファイバ用
スート母材を製造する場合に、石英ガラス原料吹き出し
口の周囲に層状に水素と酸素とアルゴンの吹き出し口を
有する多重管バーナーを中心部に配置し、その周囲に、
環状の水素吹き出し口内に間隔をあけて多数の細管状の
酸素吹き出し口を有する環状バーナーを多重に配置した
複合バーナーを使用する。
原料を火炎中に吹き込み、火炎加水分解反応によってス
ートを生成させ、それを種棒に吹きつけて光ファイバ用
スート母材を製造する場合に、石英ガラス原料吹き出し
口の周囲に層状に水素と酸素とアルゴンの吹き出し口を
有する多重管バーナーを中心部に配置し、その周囲に、
環状の水素吹き出し口内に間隔をあけて多数の細管状の
酸素吹き出し口を有する環状バーナーを多重に配置した
複合バーナーを使用する。
【０００８】そしてスート母材が細いうちは多重管バー
ナーと内側の環状バーナーによりスートを堆積させ、ス
ート母材が所定の太さに成長したところで順次外側の環
状バーナーを点火し、スート母材の成長につれ水素と酸
素の流量を徐々に増加させてスート母材の表面温度が低
下しないようにするものである。
ナーと内側の環状バーナーによりスートを堆積させ、ス
ート母材が所定の太さに成長したところで順次外側の環
状バーナーを点火し、スート母材の成長につれ水素と酸
素の流量を徐々に増加させてスート母材の表面温度が低
下しないようにするものである。
【０００９】
【作用】この方法では、スート母材の太さに合わせて簡
単に火炎を強くできるばかりでなく、火炎の太さそのも
のを大きくできるので、有効なスートの堆積が可能とな
る。なぜならば、スートの堆積は熱泳動（サーモホレシ
ス）に従って進行するので、スート流を火炎で囲んでス
ート母材側の温度を相対的に低くしてスート母材に向か
うスートを多くすることが必要であり、スート母材が太
くなるにつれ火炎を太くできることは、スートの堆積効
率を高めるのに有効である。
単に火炎を強くできるばかりでなく、火炎の太さそのも
のを大きくできるので、有効なスートの堆積が可能とな
る。なぜならば、スートの堆積は熱泳動（サーモホレシ
ス）に従って進行するので、スート流を火炎で囲んでス
ート母材側の温度を相対的に低くしてスート母材に向か
うスートを多くすることが必要であり、スート母材が太
くなるにつれ火炎を太くできることは、スートの堆積効
率を高めるのに有効である。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１にこの実施例に使用する複合バーナー
の吹き出し口の断面を示す。この複合バーナー11は、中
心の石英ガラス原料吹き出し口１の周囲に同心円状に環
状の水素吹き出し口２、アルゴン吹き出し口３、酸素吹
き出し口４、アルゴン吹き出し口５を順次設けた多重管
バーナー12が中心部にあり、その周囲にさらに二重に環
状バーナー13、14を設けたものである。二重の環状バー
ナー13、14はそれぞれ、環状の水素吹き出し口６、７内
に周方向に間隔をあけて多数の細管状の酸素吹き出し口
８、９を設けた構造である。
に説明する。図１にこの実施例に使用する複合バーナー
の吹き出し口の断面を示す。この複合バーナー11は、中
心の石英ガラス原料吹き出し口１の周囲に同心円状に環
状の水素吹き出し口２、アルゴン吹き出し口３、酸素吹
き出し口４、アルゴン吹き出し口５を順次設けた多重管
バーナー12が中心部にあり、その周囲にさらに二重に環
状バーナー13、14を設けたものである。二重の環状バー
ナー13、14はそれぞれ、環状の水素吹き出し口６、７内
に周方向に間隔をあけて多数の細管状の酸素吹き出し口
８、９を設けた構造である。
【００１１】なお環状バーナー13、14から吹き出される
酸素がバーナー端面より例えば20cmの位置で焦点を結ぶ
ようにしておけば、その位置で最も効率よくターゲット
(スート母材) を加熱することができるので好ましい。
酸素がバーナー端面より例えば20cmの位置で焦点を結ぶ
ようにしておけば、その位置で最も効率よくターゲット
(スート母材) を加熱することができるので好ましい。
【００１２】図２に上記複合バーナー11を用いたスート
母材の製造方法と複合バーナー11へのガス供給系を模式
的に示す。石英ガラスよりなる種棒15を旋盤にセット
し、軸線を中心として回転させながら軸線方向に往復動
させる。この場合は複合バーナー11は固定であるが、種
棒15を往復動させずに複合バーナー11を往復動させるよ
うにしてもよい。バーナーを点火し、SiCl4 を吹き込む
と、スート(SiO2 の粉）が生じ、これが種棒15に付着し
てスート母材16が成長する。
母材の製造方法と複合バーナー11へのガス供給系を模式
的に示す。石英ガラスよりなる種棒15を旋盤にセット
し、軸線を中心として回転させながら軸線方向に往復動
させる。この場合は複合バーナー11は固定であるが、種
棒15を往復動させずに複合バーナー11を往復動させるよ
うにしてもよい。バーナーを点火し、SiCl4 を吹き込む
と、スート(SiO2 の粉）が生じ、これが種棒15に付着し
てスート母材16が成長する。
【００１３】原料発生器17に液体のSiCl4 （四塩化ケイ
素）を入れ、加熱して一定温度に保ち、アルゴンガスを
流すと、蒸気圧に比例してガス状のSiCl4 が得られる。
バーナー中心の石英ガラス原料吹き出し口１には、この
SiCl4 がアルゴンガスと共に供給される。その流量は流
量制御器Ar-1により制御される。
素）を入れ、加熱して一定温度に保ち、アルゴンガスを
流すと、蒸気圧に比例してガス状のSiCl4 が得られる。
バーナー中心の石英ガラス原料吹き出し口１には、この
SiCl4 がアルゴンガスと共に供給される。その流量は流
量制御器Ar-1により制御される。
【００１４】多重管バーナー12の水素吹き出し口２には
流量制御器Ｈ2 −２で制御された水素が、アルゴン吹き
出し口３には流量制御器Ar-3で制御されたアルゴンが、
酸素吹き出し口４には流量制御器Ｏ2−４で制御された
酸素が、アルゴン吹き出し口５には流量制御器Ar-5で制
御されたアルゴンがそれぞれ供給される。
流量制御器Ｈ2 −２で制御された水素が、アルゴン吹き
出し口３には流量制御器Ar-3で制御されたアルゴンが、
酸素吹き出し口４には流量制御器Ｏ2−４で制御された
酸素が、アルゴン吹き出し口５には流量制御器Ar-5で制
御されたアルゴンがそれぞれ供給される。
【００１５】また内側の環状バーナー13の水素吹き出し
口６には流量制御器Ｈ2 −６で制御された水素が、酸素
吹き出し口８には流量制御器Ｏ2 −８で制御された酸素
がそれぞれ供給される。同様に外側の環状バーナー14の
水素吹き出し口７には流量制御器Ｈ2 −７で制御された
水素が、酸素吹き出し口９には流量制御器Ｏ2 −９で制
御された酸素がそれぞれ供給される。
口６には流量制御器Ｈ2 −６で制御された水素が、酸素
吹き出し口８には流量制御器Ｏ2 −８で制御された酸素
がそれぞれ供給される。同様に外側の環状バーナー14の
水素吹き出し口７には流量制御器Ｈ2 −７で制御された
水素が、酸素吹き出し口９には流量制御器Ｏ2 −９で制
御された酸素がそれぞれ供給される。
【００１６】この複合バーナー11は、多重管バーナー12
と内側の環状バーナー13がメインのバーナーを構成して
おり、外側の環状バーナー14はスート母材16が所定の太
さに成長したときに点火される補助的なバーナーであ
る。
と内側の環状バーナー13がメインのバーナーを構成して
おり、外側の環状バーナー14はスート母材16が所定の太
さに成長したときに点火される補助的なバーナーであ
る。
【００１７】次に合成条件を説明する。原料発生器17を
55℃に保ち、アルゴンガスを1.5 SLM(標準状態における
リットル／分）流して、SiCl4 ガスを中心の石英ガラス
原料吹き出し口１に供給した。多重管バーナー12の水素
吹き出し口２には水素を20 SLM、酸素吹き出し口４には
酸素を22 SLM流し、アルゴン吹き出し口３、５にはそれ
ぞれアルゴンを2 SLM 、5 SLM 流した。また内側の環状
バーナー13の水素吹き出し口６には水素を20 SLM、酸素
吹き出し口８には酸素を7.5 SLM 流した。
55℃に保ち、アルゴンガスを1.5 SLM(標準状態における
リットル／分）流して、SiCl4 ガスを中心の石英ガラス
原料吹き出し口１に供給した。多重管バーナー12の水素
吹き出し口２には水素を20 SLM、酸素吹き出し口４には
酸素を22 SLM流し、アルゴン吹き出し口３、５にはそれ
ぞれアルゴンを2 SLM 、5 SLM 流した。また内側の環状
バーナー13の水素吹き出し口６には水素を20 SLM、酸素
吹き出し口８には酸素を7.5 SLM 流した。
【００１８】種棒15は外径15mmφの GeO2 ドープ石英ガ
ラスであり、これを100rpmで回転させると共に、200mm/
分で往復動させた。バーナー先端と種棒15の距離は200
mmとした。
ラスであり、これを100rpmで回転させると共に、200mm/
分で往復動させた。バーナー先端と種棒15の距離は200
mmとした。
【００１９】以上の条件で種棒15の外周にスートを付着
させ、スートの外径が40mmになったところで、外側の環
状バーナー14を点火した。点火時の水素と酸素の流量
は、水素＝20SLM 、酸素＝7.5 SLM とし、１往復毎に流
量を増した。水素と酸素の流量比は水素／酸素＝１／0.
375 を保ち、最終的には水素＝80SLM 、酸素＝30SLM ま
で増加させた。最終段階でのスート外径は120 mmであっ
た。
させ、スートの外径が40mmになったところで、外側の環
状バーナー14を点火した。点火時の水素と酸素の流量
は、水素＝20SLM 、酸素＝7.5 SLM とし、１往復毎に流
量を増した。水素と酸素の流量比は水素／酸素＝１／0.
375 を保ち、最終的には水素＝80SLM 、酸素＝30SLM ま
で増加させた。最終段階でのスート外径は120 mmであっ
た。
【００２０】このようにして得られたスート母材をヘリ
ウムと塩素の雰囲気下で1600℃に加熱して、透明な光フ
ァイバ用ガラス母材を得、さらにこれを外径125 μm に
線引して光ファイバを得た。この光ファイバは所定の伝
送特性を有するものであった。
ウムと塩素の雰囲気下で1600℃に加熱して、透明な光フ
ァイバ用ガラス母材を得、さらにこれを外径125 μm に
線引して光ファイバを得た。この光ファイバは所定の伝
送特性を有するものであった。
【００２１】次に比較のため、多重管バーナー12は前記
実施例と同じとし、内側環状バーナー13と外側環状バー
ナー14の間の仕切をなくした、つまり燃料ガス吹き出し
口の断面積を単純に大きくしたバーナーを用いてスート
母材を製造した。この方法では、環状バーナーの水素と
酸素の流量を、水素40SLM 以下、酸素15SLM 以下にする
と、火炎が弱まってしまい、種棒を十分加熱するだけの
火炎流を得ることが出来なかった。
実施例と同じとし、内側環状バーナー13と外側環状バー
ナー14の間の仕切をなくした、つまり燃料ガス吹き出し
口の断面積を単純に大きくしたバーナーを用いてスート
母材を製造した。この方法では、環状バーナーの水素と
酸素の流量を、水素40SLM 以下、酸素15SLM 以下にする
と、火炎が弱まってしまい、種棒を十分加熱するだけの
火炎流を得ることが出来なかった。
【００２２】このため初期の段階から環状バーナーは水
素40 SLM以上、酸素15 SLM以上の流量にする必要がある
が、このような流量にすると、安定して吹き出す火炎は
得られるものの、種棒の加熱が強くなりすぎる。その結
果、種棒付近のスート層の密度が高くなりすぎ、スート
母材を透明化するときに塩素ガスによる脱水反応が十分
に行われず、得られた光ファイバの伝送特性は通常得ら
れる値より低いものであった。また初期の段階から水素
および酸素の流量が大きいため、燃料ガスの無駄が大き
い。
素40 SLM以上、酸素15 SLM以上の流量にする必要がある
が、このような流量にすると、安定して吹き出す火炎は
得られるものの、種棒の加熱が強くなりすぎる。その結
果、種棒付近のスート層の密度が高くなりすぎ、スート
母材を透明化するときに塩素ガスによる脱水反応が十分
に行われず、得られた光ファイバの伝送特性は通常得ら
れる値より低いものであった。また初期の段階から水素
および酸素の流量が大きいため、燃料ガスの無駄が大き
い。
【００２３】なお前記実施例では環状バーナー部が二重
の場合について説明したが、これは三重以上にしてもよ
い。三重以上の場合もスート母材の外径が大きくなるに
従い、内側の環状バーナーから順次外側の環状バーナー
へと点火していけばよい。また図３は外側の環状バーナ
ー14の外側形状を矩形にしたものを示している。この場
合、もしこの複合バーナーをＯＶＤ法に使用するなら、
この図のように酸素吹き出し口９は環状バーナー14の図
で見て上下に設ければよいし、ＶＡＤ法に使用するな
ら、酸素吹き出し口９は左右にも同様の間隔で、かつ同
数設ける等すればよい。このように環状バーナーという
言葉は、多重管バーナーを周方向に包囲しているバーナ
ーであることを意味し、図１のような円形状だけでなく
図３のような矩形状のものも含むものである。それ故、
内側の環状バーナー13についても同様に外側形状が矩形
状の環状バーナーとすることもできる。
の場合について説明したが、これは三重以上にしてもよ
い。三重以上の場合もスート母材の外径が大きくなるに
従い、内側の環状バーナーから順次外側の環状バーナー
へと点火していけばよい。また図３は外側の環状バーナ
ー14の外側形状を矩形にしたものを示している。この場
合、もしこの複合バーナーをＯＶＤ法に使用するなら、
この図のように酸素吹き出し口９は環状バーナー14の図
で見て上下に設ければよいし、ＶＡＤ法に使用するな
ら、酸素吹き出し口９は左右にも同様の間隔で、かつ同
数設ける等すればよい。このように環状バーナーという
言葉は、多重管バーナーを周方向に包囲しているバーナ
ーであることを意味し、図１のような円形状だけでなく
図３のような矩形状のものも含むものである。それ故、
内側の環状バーナー13についても同様に外側形状が矩形
状の環状バーナーとすることもできる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、初
期の段階では多重管バーナーと内側の環状バーナーとか
らなるメインのバーナーでスートを堆積させ、スート母
材が所定の太さに成長したところで順次外側の環状バー
ナーを点火してスート母材の成長に合わせて水素と酸素
の流量を徐々に増加させていくので、スートの堆積効率
がよく、大径のスート母材を効率よく製造できると共
に、燃料ガスの使用量も少なくて済む利点がある。
期の段階では多重管バーナーと内側の環状バーナーとか
らなるメインのバーナーでスートを堆積させ、スート母
材が所定の太さに成長したところで順次外側の環状バー
ナーを点火してスート母材の成長に合わせて水素と酸素
の流量を徐々に増加させていくので、スートの堆積効率
がよく、大径のスート母材を効率よく製造できると共
に、燃料ガスの使用量も少なくて済む利点がある。
【図１】 本発明の一実施例に使用される複合バーナー
の吹き出し口の断面図。
の吹き出し口の断面図。
【図２】 本発明に係る光ファイバ用スート母材の製造
方法の一実施例を示す説明図。
方法の一実施例を示す説明図。
【図３】 本発明の他の実施例に使用される複合バーナ
ーの吹き出し口の断面図。
ーの吹き出し口の断面図。
１：石英ガラス原料吹き出し口 ２：水素吹き出し口 ３：アルゴン吹き出し口 ４：酸素吹き出し口
５：アルゴン吹き出し口 ６：水素吹き出し口 ７：水素吹き出し口 ８：酸
素吹き出し口 ９：酸素吹き出し口 11：複合バーナー 12：多重
管バーナー 13：内側の環状バーナー 14：外側の環状バーナー
15：種棒 16：スート母材 17：原料発生器
５：アルゴン吹き出し口 ６：水素吹き出し口 ７：水素吹き出し口 ８：酸
素吹き出し口 ９：酸素吹き出し口 11：複合バーナー 12：多重
管バーナー 13：内側の環状バーナー 14：外側の環状バーナー
15：種棒 16：スート母材 17：原料発生器
Claims (1)
- 【請求項１】 気化させた石英ガラス原料を火炎中に吹
き込み、火炎加水分解反応によってスートを生成させ、
それを種棒に吹きつけて光ファイバ用スート母材を製造
する方法において、石英ガラス原料吹き出し口の周囲に
層状に水素と酸素とアルゴンの吹き出し口を有する多重
管バーナーを中心部に配置し、その周囲に、環状の水素
吹き出し口内に間隔をあけて多数の細管状の酸素吹き出
し口を有する環状バーナーを多重に配置した複合バーナ
ーを使用し、スート母材が細いうちは多重管バーナーと
内側の環状バーナーによりスートを堆積させ、スート母
材が所定の太さに成長したところで順次外側の環状バー
ナーを点火し、スート母材の成長につれスート母材の表
面温度が低下しないように水素と酸素の流量を徐々に増
加させていくことを特徴とする光ファイバ用スート母材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18406891A JP3133392B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 光ファイバ用スート母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18406891A JP3133392B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 光ファイバ用スート母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH059035A JPH059035A (ja) | 1993-01-19 |
| JP3133392B2 true JP3133392B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=16146823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18406891A Expired - Lifetime JP3133392B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 光ファイバ用スート母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3133392B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3567574B2 (ja) * | 1995-12-26 | 2004-09-22 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材合成用バーナ |
| TW564242B (en) | 1998-07-29 | 2003-12-01 | Shinetsu Chemical Co | Porous optical fiber base materials, optical fiber base materials and methods for producing them |
| WO2000017115A1 (en) * | 1998-09-22 | 2000-03-30 | Corning Incorporated | Burners for producing boules of fused silica glass |
| JP6623201B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2019-12-18 | 信越化学工業株式会社 | 合成用バーナ |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP18406891A patent/JP3133392B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH059035A (ja) | 1993-01-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4406684A (en) | Core torch for fabricating single-mode optical fiber preforms | |
| EP0185106B1 (en) | Method of producing a rod containing fluorine | |
| US4367085A (en) | Method of fabricating multi-mode optical fiber preforms | |
| US4627867A (en) | Method for producing highly pure glass preform for optical fiber | |
| GB2128982A (en) | Fabrication method of optical fiber preforms | |
| JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
| JPS64332B2 (ja) | ||
| EP0072069B1 (en) | Method of producing preforms for drawing optical fibres and apparatus for the continuous production of optical fibres | |
| JP2612941B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| US4781740A (en) | Method for producing glass preform for optical fiber | |
| JPS60264338A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPH10330129A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JPH03112820A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPS6041627B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPS62162637A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS62108748A (ja) | ガラスフアイバ母材の製造方法 | |
| JPH0460930B2 (ja) | ||
| JPH0331657B2 (ja) | ||
| JPH0986948A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH01100034A (ja) | 光ファイバ母材の製造装置 | |
| JPH02124736A (ja) | 光ファイバー母材の製造方法 | |
| JPS62162639A (ja) | Ｗ型シングルモ−ド光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS60221335A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPH0712951B2 (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JPH02164734A (ja) | 石英ガラススートの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071124 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081124 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081124 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091124 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101124 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111124 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111124 Year of fee payment: 11 |