JP7017900B2 - ペリクル構造体、ペリクル収納体及び固定方法 - Google Patents

Description

本発明は、ペリクル構造体、ペリクル収納体及び固定方法に関する。

ＬＳＩ、フラットパネルディスプレイを構成する薄膜トランジスタ、カラーフィルタ等の製造工程では、フォトマスクやレティクル（以下、「フォトマスク等」という）の防塵が必要となる。防塵手段として、ペリクル構造体と称される構造体が広く用いられている。

ペリクル構造体は、一般的には枠体と高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）とによって構成される。ペリクル膜は、例えば、ニトロセルロースや、セルロース誘導体、フッ素ポリマー等によって形成された厚さ１０μｍ以下の透明な膜である。ペリクル構造体は、枠体の一端面にペリクル膜を貼着するとともに、当該ペリクル膜によって枠体の内部を覆うようにして構成される。枠体の他端面には、ペリクル構造体をフォトマスク等に粘着させるための粘着層が設けられる。

このようなペリクル構造体は、一般的には、当該ペリクル構造体の製造者から、フォトマスク等の製造者に供給される。フォトマスク等の製造者は、粘着層をフォトマスク等に粘着させることにより、ペリクル構造体をフォトマスク等に対して固定する。したがって、ペリクル構造体の製造者は、その用に供するまで粘着層の粘着力を維持させるために、粘着層に保護フィルムを貼着させて保護した状態で、ペリクル構造体をフォトマスク等の製造者に供給する。フォトマスク等の製造者は、供給されたペリクル構造体の保護フィルムを剥離させ、枠体の粘着層を露出させることにより、ペリクル構造体を粘着層においてフォトマスク等に粘着させることが可能になる。

また、ペリクル構造体は、その損傷や、ペリクル膜等への異物の付着を防止するために、収納容器に密封された状態で搬送される。ペリクル構造体は、枠体やペリクル膜を収納容器に接触させることなく、収納容器の内部で確実に固定されることが必要となる。

このような要求に対し、特許文献１には、テープを用いてペリクル構造体を収納容器に対して固定する構成が提案されている。詳細には、当該構成では、保護フィルムに複数の押さえ代が形成されており、押さえ代と収納容器のトレイとに跨るようにテープを貼着することにより、ペリクル構造体の保護フィルムをトレイに対して固定することができる。ペリクル構造体を収納容器から取り出す際は、トレイから引き離すようにペリクル構造体に力を付加する。これにより、保護フィルムがトレイに固定されたままの状態で、粘着層から保護フィルムを剥離させ、枠体の粘着層を露出させることが可能になる。すなわち、収納容器からのペリクル構造体の取り出しと、保護フィルムの剥離と、を同時に行うことが可能になる。

ペリクル構造体を収納容器から取り出す際は、トレイから引き離すようにペリクル構造体に力を付加することにより、まず、粘着層と保護フィルムとの間に、剥離を開始する端部（以下、この端部を「剥離端」という）を形成する必要がある。剥離端の形成後、ペリクル構造体にさらに力を付加することにより、保護フィルムのうち粘着層から剥離した範囲が剥離端から拡大させ、保護フィルム全体を粘着層から剥離させることができる。

国際公開第２００６／５９３８８号

特許文献１で提案されている構成では、剥離端を形成するためにペリクル構造体に大きな力を付加すると、押さえ代には、テープから引き抜くような力が作用する。押さえ代がテープから引き抜かれ、保護フィルムを収納容器に固定されたままとすることができなくなると、粘着層から保護フィルムを剥離させることができなくなるという課題があった。

また、近年のディスプレイの大型化に伴い、ペリクル構造体の枠体も大型化する傾向にある。したがって、ペリクル構造体に大きな力を付加して剥離端を形成しようとすると、枠体の変形を招くおそれがある。詳細には、収納容器からの取り出しの際に、トレイから引き離そうとする力と、保護フィルムから受ける反力と、が枠体に付加され、枠体に撓みが生じてしまうおそれがある。

このように、従来のペリクル構造体及びその固定方法には、収納容器の内部におけるペリクル構造体の確実な固定と、ペリクル構造体の容易な取り出しとを両立させることが困難であるという課題があった。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、収納容器から取り出す際に、粘着層から保護フィルムを確実に剥離させることが可能なペリクル構造体、ペリクル収納体及びその固定方法を提供することにある。

本発明者らは、鋭意検討した結果、ペリクル構造体を収納容器から取り出す際に、粘着層から保護フィルムを確実に剥離させることが可能な本発明を完成させるに至った。

すなわち、本発明は以下のとおりである。
（１）
ペリクル構造体であって、
正面視で外形が矩形で、背面側端面に粘着層を有する枠体と、
前記枠体の正面側端面に設けられ、該枠体の内部を覆うペリクル膜と、
前記粘着層に貼着して該粘着層を保護する保護部と、前記保護部と一体的に設けられた複数の押さえ代と、を有する保護フィルムと、を備え、
前記複数の押さえ代は、前記枠体の外部に向かって延びるように形成され、
前記複数の押さえ代の少なくとも１つは、一端部が前記保護部に接続された基端部と、前記基端部の他端部に接続されたアンカ部と、を有し、
前記アンカ部の幅は、前記基端部の幅よりも大きいことを特徴とするペリクル構造体。
（２）
前記アンカ部は、該アンカ部を有する前記押さえ代が延びる方向に対して垂直な方向に延びるように形成されていることを特徴とする（１）に記載のペリクル構造体。
（３）
前記基端部の他端部の幅は、前記保護部から前記アンカ部に向かって漸次大きくなることを特徴とする（１）又は（２）に記載のペリクル構造体。
（４）
前記アンカ部は、該アンカ部を有する前記押さえ代が延びる方向に沿うスリットが形成されていることを特徴とする（１）から（３）の何れか一つに記載のペリクル構造体。
（５）
前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の４０％以上であることを特徴とする（１）から（４）の何れか一つに記載のペリクル構造体。
（６）
前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の９０％以下であることを特徴とする（１）から（５）の何れか１つに記載のペリクル構造体。
（７）
前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の８０％以下であることを特徴とする請求項６に記載のペリクル構造体。
（８）
前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の７０％以下であることを特徴とする（６）に記載のペリクル構造体。
（９）
前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の６０％以下であることを特徴とする（６）に記載のペリクル構造体。
（１０）
前記基端部の幅の寸法は６０ｍｍ以下であることを特徴とする（１）から（９）の何れか一つに記載のペリクル構造体。
（１１）
前記基端部の幅の寸法は４０ｍｍ以下であることを特徴とする（１０）に記載のペリクル構造体。
（１２）
前記基端部の幅の寸法は３０ｍｍ以下であることを特徴とする（１１）に記載のペリクル構造体。
（１３）
前記基端部の幅の寸法は２０ｍｍ以下であることを特徴とする（１２）に記載のペリクル構造体。
（１４）
（１）～（１３）の何れか一つに記載のペリクル構造体と、前記ペリクル構造体を収納する収納容器と、を備えるペリクル収納体であって、
前記基端部を前記収納容器に固定するための固定部材を有することを特徴とするペリクル収納体。
（１５）
前記複数の押さえ代の隣り合う押さえ代の間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
前記隣り合う押さえ代の間の前記収納容器に固定されていない保護フィルムの長さは２００ｍｍ以上であることを特徴とする（１４）に記載のペリクル収納体。
（１６）
前記複数の押さえ代の隣り合う押さえ代の間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
前記隣り合う押さえ代の間の前記収納容器に固定されていない保護フィルムの長さは４１０ｍｍ以上であることを特徴とする（１５）に記載のペリクル収納体。
（１７）
ペリクル構造体と、前記ペリクル構造体を収納する収納容器と、を備えるペリクル収納体であって、
前記ペリクル構造体は、
正面視で外形が矩形の枠体と、
前記枠体の一方の面に設けられ、前記枠体の内部を覆うペリクル膜と、
前記枠体の他方の面に設けられた粘着層と、
前記粘着層の前記枠体が設けられた面とは反対側の面に貼着された保護フィルムと、を備え、
前記保護フィルムは、前記保護フィルムの外側に突出する押さえ代を有し、
前記押さえ代は、固定部材により前記ペリクル収納体に固定されており、
前記保護フィルムの１辺の長さに占める前記押さえ代の前記固定部材により前記ペリクル収納体に固定されている部分の長さの合計が、１．０％以上７．０％以下であることを特徴とするペリクル収納体。
（１８）
前記保護フィルムの１辺の長さに占める前記押さえ代の前記固定部材により前記ペリクル収納体に固定されている部分の長さの合計が、１．０％以上４．０％以下であることを特徴とする（１７）に記載のペリクル収納体。
（１９）
ペリクル構造体と、前記ペリクル構造体を収納する収納容器と、を備えるペリクル収納体であって、
前記ペリクル構造体は、
正面視で外形が矩形の枠体と、
前記枠体の一方の面に設けられ、前記枠体の内部を覆うペリクル膜と、
前記枠体の他方の面に設けられた粘着層と、
前記粘着層の前記枠体が設けられた面とは反対側の面に貼着された保護フィルムと、を備え、
前記保護フィルムは、前記保護フィルムの外側に突出する第１から第３の押さえ代を有し、
前記第１から第３の押さえ代は、第１から第３の固定部材により前記ペリクル収納体に固定されており、
前記第１の固定部材と前記第２の固定部材と前記第３の固定部材とは、前記枠体の同一の辺に沿ってこの順に設けられており、
前記第１の押さえ代と前記第２の押さえ代と前記第３の押さえ代とは、前記枠体の同一の辺に沿ってこの順に設けられており、
第１の固定部材と第２の固定部材との間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
第２の固定部材と第３の固定部材との間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
前記第１の固定部材と第２の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さと、前記第２の固定部材と第３の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さが共に２００ｍｍ以上であり、
前記第２の押さえ代の最小幅が６０ｍｍ以下であり、
前記第２の押さえ代の最小幅部分が、前記第２の固定部材により前記ペリクル収納体に固定されることを特徴とするペリクル収納体。
（２０）
前記第２の押さえ代の最小幅が４０ｍｍ以下であることを特徴とする（１９）に記載のペリクル収納体。
（２１）
前記第２の押さえ代の最小幅が３０ｍｍ以下であることを特徴とする（２０）に記載のペリクル収納体。
（２２）
前記第２の押さえ代の最小幅が２０ｍｍ以下であることを特徴とする（２１）に記載のペリクル収納体。
（２３）
前記第１の固定部材と第２の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さと、
前記第２の固定部材と第３の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さが共に２５０ｍｍ以上であることを特徴とする（１９）から（２２）の何れか一つに記載のペリクル収納体。
（２４）
前記第１の固定部材と第２の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さと、前記第２の固定部材と第３の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さが共に３００ｍｍ以上であることを特徴とする（２３）に記載のペリクル収納体。
（２５）
ペリクル構造体を収納容器に対して固定する固定方法であって、
前記ペリクル構造体は、
正面視で外形が矩形で、背面側端面に粘着層を有する枠体と、
前記枠体の正面側端面に設けられ、該枠体の内部を覆うペリクル膜と、
前記粘着層に貼着して該粘着層を保護する保護部と、前記保護部と一体的に設けられ前記枠体の外部に向かって延びるように形成された複数の押さえ代と、を有する保護フィルムと、を備え、
前記複数の押さえ代の少なくとも１つは、一端部が前記保護部に接続された基端部と、前記基端部の他端部に接続され前記基端部よりも幅が大きいアンカ部と、を有し、
テープを、前記アンカ部に貼着することなく、前記基端部と前記収納容器に跨るように貼着することを特徴とする固定方法。

本発明によれば、収納容器から取り出す際に、粘着層から保護フィルムを確実に剥離させることが可能なペリクル構造体、ペリクル収納体及びその固定方法を提供することができる。

第１実施形態に係るペリクル構造体を示す正面図である。 図１のＩＩ－ＩＩ断面を示す断面図である。 図１のＩＩＩ部の拡大図である。 図１のＩＩＩ部の拡大図である。 第２実施形態に係るペリクル構造体の拡大図である。 第２実施形態に係るペリクル構造体の拡大図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。

［第１実施形態］
まず、図１及び図２を参照しながら、第１実施形態に係るペリクル構造体１の概要について説明する。図１は、ペリクル構造体１を示す正面図である。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ断面を示す断面図である。図１は、後述する収納容器９のトレイ９１に固定されているペリクル構造体１を示すとともに、収納容器９の蓋９２の図示を省略している。

このペリクル構造体１は、フォトリソグラフィにおいてフォトマスク等の防塵を行う機器である。ペリクル構造体１は、枠体２と、ペリクル膜３と、保護フィルム４と、を備えている。

図１に示されるように、枠体２は、長辺部材２１と、短辺部材２２と、をそれぞれ２つ有している。長辺部材２１及び短辺部材２２は、いずれもアルミニウム合金によって形成され、直線状に延びる棒状の部材である。２つの長辺部材２１は互いに間隔を空けて平行に配置されており、同様に、２つの短辺部材２２も互いに間隔を空けて平行に配置されている。長辺部材２１と短辺部材２２とは、互いに略直角を成すように端部が接続されている。これにより、枠体２の外形は正面視で矩形を呈している。枠体２のサイズは、フォトマスク等のサイズに基づいて定められている。例えば、長辺部材２１の長さは１７００ｍｍ以上であり、短辺部材２２の長さは１５００ｍｍ以上であり、開口面積は１０００ｃｍ²以上である。

尚、理解を容易にするため、図１に示されるように、枠体２の長辺部材２１が延びる方向をＸ方向とし、短辺部材２２が延びる方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とする直交座標を用いて説明する。図２以降においても、当該直交座標と対応する座標が示される。

図２に示されるように、枠体２の－Ｚ方向側の端面には、粘着層２４が設けられている。粘着層２４は、当該端面の全周に亘って設けられている。後述するように、粘着層２４はフォトマスク等への粘着に用いられる。

ペリクル膜３は、例えば、ニトロセルロースや、セルロース誘導体、フッ素ポリマー等によって形成された薄膜である。ペリクル膜３は、その厚みが１０μｍ以下であり、フォトリソグラフィにおいて光源が発する光を十分に透過させるように形成されている。図２に示されるように、ペリクル膜３は、接着剤２３を介して枠体２のＺ方向側の端面に接着され、枠体２の内部を覆っている。

保護フィルム４は、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン等の樹脂材料によって形成されている。保護フィルム４は、厚さが３０μｍから５００μｍ程度の薄膜であり、可撓性を有している。

図１に示されるように、保護フィルム４は、１つの保護部４１と、８つの押さえ代５と、を有している。保護部４１は、枠体２と対応する枠形状を呈している。押さえ代５は、保護部４１の外周から放射状に延びるように形成されている。つまり、各押さえ代５は、互いに間隔を空けて配置されるとともに、保護部４１から突出するように形成されている。

図２に示されるように、保護フィルム４は、保護部４１において枠体２の粘着層２４に貼着する。これにより、粘着層２４の略全周が保護部４１によって覆われ、粘着層２４への塵の付着が防止される。粘着層２４の粘着力は、保護部４１によって覆われることで保護される。また、保護フィルム４を剥離して粘着層２４を露出させることにより、それまで保護されていた粘着力を発揮させることができる。保護部４１が粘着層２４に粘着することにより、各押さえ代５は、枠体２の外部に向かって延びるように配置される。

以上の説明のように構成されたペリクル構造体１は、収納容器９に密封された状態で搬送される。次に、図１及び図２を参照しながら、収納容器９の概要について説明する。

図２に示されるように、収納容器９は、トレイ９１と、蓋９２と、を有している。トレイ９１及び蓋９２は、例えばポリエチレンテレフタレート、アクリロニトリルブタジエンスチレン、アクリル、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料によって形成されている。トレイ９１及び蓋９２は、それぞれの端部がクリップ９３によってＺ方向に挟持され、互いに対して固定される。トレイ９１及び蓋９２の中央部は、Ｚ方向に隙間を隔てて設けられる。当該隙間が、ペリクル構造体１が配置される収納空間９０である。

収納空間９０に配置されたペリクル構造体１は、トレイ９１に対して固定される。ペリクル構造体１の固定には、テープ８等の固定部材が用いられる。テープ８は、帯形状を呈しており、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料や、不織布によって形成することができる。テープ８の一側面には、粘着性を有する糊が設けられている。当該糊としては、例えばアクリル系のものや、ポリビニルアルコール等を採用することができる。

ペリクル構造体１は、トレイ９１の中央部で***する固定面９１１に配置される。テープ８は、糊が設けられた面が固定面９１１側に向けられるとともに、図１に示されるように、保護フィルム４の押さえ代５と、トレイ９１の固定面９１１と、に跨るように貼着される。これにより、ペリクル構造体１は、保護フィルム４においてトレイ９１の固定面９１１に対して固定される。

このように固定されたペリクル構造体１は、保護フィルム４のみにおいて収納容器９と接触している。つまり、枠体２やペリクル膜３を収納容器９に接触させる必要が無い。したがって、ペリクル構造体１を収納した収納容器９を搬送する際に、振動によって枠体２やペリクル膜３が収納容器９と擦れることがない。これにより、収納空間９０において新たな塵が発生することがない。

収納容器９からのペリクル構造体１の取り出しは、高い空気清浄度が維持された環境で行われる。当該環境において、まず、クリップ９３がトレイ９１及び蓋９２の端部から取り外される。次に、蓋９２をトレイ９１から離反させ、トレイ９１に対して固定されているペリクル構造体１を露出させる。さらに、所定の冶具を、ペリクル構造体１の枠体２と、トレイ９１と、に対して固定するとともに、当該冶具によって枠体２にＺ方向に力を付加する。すなわち、トレイ９１から引き離すように枠体２に力を付加する。

これにより、枠体２の粘着層２４に貼着している保護フィルム４にも、トレイ９１から引き離すように力が作用する。しかしながら、前述したように、保護フィルム４の押さえ代５と、トレイ９１の固定面９１１と、に跨るようにテープ８が貼着されているため、保護フィルム４は固定面９１１に固定されたままである。この結果、枠体２の粘着層２４と、保護フィルム４の保護部４１と、を引き離すように力が作用する。このような力は、保護部４１の全周のうち、押さえ代５が形成されている部位に集中的に作用する。

この結果、押さえ代５が形成されている部位の近傍において、不図示の剥離端が形成される。剥離端の形成後、枠体２にさらに力を付加することにより、保護フィルム４の保護部４１のうち、粘着層２４から剥離した範囲を拡大させ、保護フィルム４全体を粘着層２４から剥離させることができる。

このように、収納容器９からのペリクル構造体１（但し、保護フィルム４が剥離した状態のもの）の取り出しと、保護フィルム４の剥離と、は同時に行われる。保護フィルム４を剥離させることにより、粘着層２４の粘着力を発揮させ、ペリクル構造体１を粘着層２４においてフォトマスク等に粘着させることが可能になる。当該ペリクル構造体１は、フォトマスク等に形成された画像パターンをペリクル膜３によって覆う。これにより、フォトリソグラフィにおいてフォトマスク等の防塵を行うことができる。

このペリクル構造体１によれば、保護フィルム４の押さえ代５と収納容器９とに跨るようにテープ８を貼着することにより、ペリクル構造体１を収納容器９に対して固定することができる。８つの押さえ代５は、枠体２の粘着層２４に貼着する保護部４１と一体的に設けられるとともに、枠体２の外部に向かって放射状に延びるように形成されている。このように押さえ代５が延びることにより、収納容器９に対して押さえ代５を固定できる範囲を確保することができる。この結果、収納容器９に対してペリクル構造体１を確実に固定することが可能になる。

また、枠体２の外部に向かって放射状に延びるように８つの押さえ代５を形成することにより、押さえ代５を局所的に形成することが可能になる。隣り合う押さえ代５，５の間の保護フィルム４は、収納容器９に固定されていない。このように構成されたペリクル構造体１に、収納容器９から引き離すように力を付加すると、粘着層２４と保護フィルム４との間では、押さえ代５が形成されている部位に集中的に力が作用する。この結果、収納容器９からペリクル構造体１を取り出す際に、剥離端を容易に形成することが可能になる。

尚、剥離端を容易に形成するためには、隣り合う押さえ代５，５間の距離（保護フィルム４のうち収納容器９に固定されていない部分の長さ）は長い方が好ましく、２００ｍｍ以上に設定することが好ましく、２５０ｍｍ以上に設定することが好ましく、３００ｍｍ以上に設定することが好ましく、３５０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４００ｍｍ以上に設定することが好ましく、４１０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４２０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４３０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４４０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４５０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４６０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４７０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４８０ｍｍ以上に設定することが好ましく、４９０ｍｍ以上に設定することが好ましく、５００ｍｍ以上に設定することが好ましく、５２０ｍｍ以上に設定することが好ましく、５４０ｍｍ以上に設定することが好ましく、５６０ｍｍ以上に設定することが好ましく、５８０ｍｍ以上に設定することが好ましく、６００ｍｍ以上に設定することが好ましい。上限は特に限定は無いが、当該距離は２０００ｍｍ以下であってもよく、１５００ｍｍ以下であってもよい。

剥離端を容易に形成するためには、保護フィルム４の一辺に対する押さえ代５が少ない方がよい。保護フィルム４の一辺に対する押え代が少ないと、トレイ９１からペリクル膜３を引き離す際に、保護フィルム４が上方へ動いてマスク粘着剤に対して斜めに引っ張られる個所が複数できることで、剥離が容易になる。

保護フィルム４の一辺の長さをＬｐ、保護フィルム４の一辺における、押さえ代５の固定部材によりペリクル収納体に固定されている部分の長さの合計をＬａとしたときに、Ｌａ／Ｌｐの値は７．０％以下であることが好ましく、６．０％以下であることが好ましく、５．０％以下であることが好ましく、４．０％以下であることが好ましい。Ｌａ／Ｌｐの値の下限は保護フィルム４が収納容器９に固定できる範囲であれば特に限定は無いが、１．０％以上であってもよく、２．０％以上であってもよい。

すなわち、上記構成によれば、収納容器９に対してペリクル構造体１を確実に固定するとともに、収納容器９からのペリクル構造体１の取り出しを容易とすることが可能になる。

ところで、押さえ代５が形成されている部位に集中的に力を作用させると、当該押さえ代５がテープ８から引き抜かれてしまい、保護フィルム４を収納容器９に固定されたままとすることができなくなるおそれがある。保護フィルム４を収納容器９に固定されたままとすることができなくなると、ペリクル構造体１を収納容器９から取り出す際に、粘着層２４から保護フィルム４を剥離させることができない。

このような課題に対し、ペリクル構造体１では、保護フィルム４の押さえ代５の形状を工夫することにより、押さえ代５がテープ８から引き抜かれてしまうことを防止している。次に、図３及び図４を参照しながら、押さえ代５について詳細に説明する。図３及び図４は、図１のＩＩＩ部の拡大図である。図３は、取り出しの際の力がペリクル構造体１に付加されていない状態を示しており、図４は、取り出しの際の力がペリクル構造体１に付加されている状態を示している。

前述したように、保護フィルム４は８つの押さえ代５を有しているが、各押さえ代５の基本的な形状は同一である。したがって、ここでは図１のＩＩＩ部に示される１つの押さえ代５について説明し、他の押さえ代５に関する説明を省略する。押さえ代５は、基端部５１と、アンカ部５２と、を有している。

基端部５１は、一方の端部５１１が保護部４１と接続されている。基端部５１は、当該基端部５１が接続される保護部４１から、当該保護部４１が枠体２に沿って延びる方向（図３に示される例ではＸ方向）に対して略垂直な方向（図３に示される例ではＹ方向）に延びるように形成されている。基端部５１の幅の寸法（図３に示される例ではＸ方向における寸法）Ｗ１は、約１５ｍｍである。また、基端部５１が保護部４１から突出する長さＬ１は、約２０ｍｍである。

アンカ部５２は、基端部５１の端部５１２と接続されている。アンカ部５２は、当該アンカ部５２を有する押さえ代５が延びる方向（図３に示される例ではＹ方向）に対して垂直な方向（図３に示される例ではＸ方向）に延びるように形成されている。アンカ部５２の幅の寸法（図３に示される例ではＸ方向における寸法）Ｗ２は、約３０ｍｍである。また、アンカ部５２が基端部５１の端部５１２から突出する長さＬ２は、約５ｍｍである。

剥離端を容易に形成する観点から、アンカ部５２の幅は、基端部５１の幅よりも大きい。また、基端部５１の幅の寸法Ｗ１は、アンカ部５２の幅の寸法Ｗ２の１０％以上である。基端部５１の幅の寸法Ｗ１は、アンカ部５２の幅の寸法Ｗ２の２０％以上であってもよく、３０％以上であってもよく、４０％以上であってもよい。さらに、基端部５１の端部５１２の幅は、保護部４１からアンカ部５２に向かって漸次大きくなる。

また、剥離端を容易に形成する観点から、基端部５１の幅の寸法Ｗ１は、アンカ部５２の幅の寸法Ｗ２の９０％以下であることが好ましく、８０％以下であることが好ましく、７０％以下であることが好ましく、６０％以下であることが好ましい。

また、剥離端を容易に形成する観点から、基端部５１の幅の寸法Ｗ１は小さい方が好ましく、６０ｍｍ以下が好ましく、５５ｍｍ以下が好ましく、５０ｍｍ以下が好ましく、４５ｍｍ以下が好ましく、４０ｍｍ以下が好ましく、３５ｍｍ以下が好ましく、３０ｍｍ以下が好ましく、２５ｍｍ以下が好ましく、２０ｍｍ以下が好ましく、１５ｍｍ以下が好ましく、１０ｍｍ以下が好ましい。寸法Ｗ１の下限は特にないが、３ｍｍ以上であればよく、５ｍｍ以上であってもよい。

また、剥離端を容易に形成する観点から、アンカ部５２の幅の寸法Ｗ２は、基端部５１の幅よりも大きいことが好ましい。アンカ部５２の幅の寸法Ｗ２は、１０ｍｍ以上であってもよく、２０ｍｍ以上であってもよく、３０ｍｍ以上であってもよく、４０ｍｍ以上であってもよく、５０ｍｍ以上であってもよく、６０ｍｍ以上であってもよく、７０ｍｍ以上であってもよい。

ペリクル構造体１を収納容器９のトレイ９１に固定する際は、図３に示されるようにテープ８が貼着される。テープ８は、押さえ代５の基端部５１と、トレイ９１の固定面９１１と、に跨るように貼着される。詳細には、テープ８は、基端部５１をＸ方向に横断するとともに、その中央部が基端部５１に貼着され、両端部が固定面９１１に貼着される。テープ８は、そのＹ方向側の端部８１が、アンカ部５２の－Ｙ方向側の端部５２１と所定間隔を空けるか、端部５２１と当接するように配置される。

ペリクル構造体１を収納容器９から取り出す際に、トレイ９１から引き離すように枠体２に力を付加すると、枠体２の粘着層２４に貼着している保護フィルム４にも力が作用する。この力は、図４に矢印Ｆ１１で示されるように、保護フィルム４の押さえ代５を－Ｙ方向に引くように作用する。

保護フィルム４が－Ｙ方向に移動すると、図４に示されるように、アンカ部５２の端部５２１が、テープ８の端部８１と当接する。これにより、アンカ部５２は、その端部５２１において、テープ８の端部８１から矢印Ｆ１２で示されるように力を受ける。押さえ代５は、この矢印Ｆ１２で示される力により、テープ８から引き抜くように作用する力に抗する。この結果、押さえ代５がテープ８から引き抜かれてしまうことを防止できる。

アンカ部５２は、当該アンカ部５２を有する押さえ代が延びる方向に対して垂直な方向に延びるように形成されている。この構成によれば、アンカ部５２とテープ８の端部８１とが当接する範囲を大きくし、押さえ代５がテープ８から引き抜かれてしまうことを確実に防止できる。

また、基端部５１の端部５１２の幅は、保護部４１からアンカ部５２に向かって漸次大きくなる。この構成によれば、基端部５１の端部５１２と、当該端部５１２に接続されたアンカ部５２との間における応力集中を緩和することが可能になる。この結果、トレイ９１から引き離すように枠体２に力を付加した場合でも、基端部５１の端部５１２とアンカ部５２とが破断することを防止できる。

また、基端部５１の幅の寸法Ｗ１は、アンカ部５２の幅の寸法Ｗ２の４０％以上である。この構成によれば、基端部５１と収納容器９とに跨るようにテープ８を貼着した場合に、収納容器９から引き離すようにペリクル構造体１に力を付加しても、基端部５１の破断を防止することが可能になる。この結果、ペリクル構造体１を収納容器９から取り出す際に、保護フィルム４を収納容器９に確実に固定されたままとすることが可能になる。

［第２実施形態］
次に、図５及び図６を参照しながら、第２実施形態に係るペリクル構造体１０について説明する。図５及び図６は、ペリクル構造体１０の拡大図であり、ペリクル構造体１０のうち図１のＩＩＩ部に相当する部位を示している。

ペリクル構造体１０は、第１実施形態と同様に、フォトマスク等の防塵に用いられる。ペリクル構造体１０は、その押さえ代６の形状が第１実施形態と異なる。ペリクル構造体１０の構成のうち、第１実施形態の構成と同一のものについては同一の符号を付して、説明を適宜省略する。

ペリクル構造体１０の押さえ代６は、基端部６１と、アンカ部６２と、を有している。

基端部６１は、一方の端部６１１が保護部４１と接続されている。基端部６１は、当該基端部６１が接続される保護部４１から、当該保護部４１が枠体２に沿って延びる方向（図５に示される例ではＸ方向）に対して略垂直な方向（図５に示される例ではＹ方向）に延びるように形成されている。

アンカ部６２は、基端部６１の端部６１２と接続されている。アンカ部６２は、当該アンカ部６２を有する押さえ代６が延びる方向（図５に示される例ではＹ方向）に対して垂直な方向（図５に示される例ではＸ方向）に延びるように形成されている。

また、アンカ部６２は、２つのスリット６３が形成されている。各スリット６３は、アンカ部６２の－Ｙ方向側の端部６２２から、当該アンカ部６２を有する押さえ代６が延びる方向（図５に示される例ではＹ方向）に沿って延びている。２つのスリット６３は、基端部６１の幅と同程度の間隔を空けて、互いに平行に延びている。アンカ部６２は、このようなスリット６３が形成されることにより、図５に矢印Ａ１で示されるように、２つの可動部６２１をめくり上げたり、めくり上げた可動部６２１を戻したりすることが可能になる。

ペリクル構造体１０を収納容器９のトレイ９１に固定する際は、図６（Ａ）に示されるようにテープ８が貼着される。テープ８は、矢印Ａ２で示されるように押さえ代６の可動部６２１をめくり上げた状態で、基端部６１と、トレイ９１の固定面９１１と、に跨るように貼着される。詳細には、テープ８は、基端部６１をＸ方向に横断するとともに、その中央部が基端部６１に貼着され、両端部が固定面９１１に貼着される。

テープ８の貼着後、めくり上げられていた可動部６２１は、図６（Ｂ）に矢印Ａ３で示されるように戻される。これにより、基端部６１はテープ８と固定面９１１との間に配置されるのに対して可動部６２１はテープ８よりもＺ方向側に配置される。このとき、テープ８は、そのＹ方向側の端部８１が、各スリット６３の端部６３１と所定間隔を空けるか、端部６３１と当接するように配置される。

ペリクル構造体１０を収納容器９から取り出す際に、トレイ９１から引き離すように枠体２に力を付加すると、枠体２の粘着層２４に貼着している保護フィルム４にも力が作用する。この力は、図６（Ｃ）に矢印Ｆ２１で示されるように、保護フィルム４の押さえ代６を－Ｙ方向に引くように作用する。

保護フィルム４が－Ｙ方向に移動すると、各スリット６３の端部６３１が、テープ８の端部８１と当接する。これにより、アンカ部６２は、各スリット６３の端部６３１において、テープ８の端部８１から矢印Ｆ２２で示されるように力を受ける。押さえ代６は、この矢印Ｆ２２で示される力により、テープ８から引き抜くように作用する力に抗する。この結果、押さえ代６がテープ８から引き抜かれてしまうことを防止できる。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

例えば、押さえ代５，６の基端部５１，６１の中央部に、基端部５１，６１をＺ方向に貫通する貫通孔を形成してもよい。貫通孔の形状は、円形や四角形等、種々のものにすることができる。この場合、基端部５１，６１に貼着されたテープ８は、当該貫通孔を介してトレイ９１の固定面９１１に貼着する。つまり、テープ８は、その両端部のみならず、中央部でも固定面９１１に貼着する。この構成によれば、保護フィルム４をさらに確実に固定面９１１に固定することが可能になる。
また、固定部材はテープ８に限らず、ねじやボルトなどを用いてもよい。但し、剥離端を容易に形成するとの観点からテープが最も好ましい。
また、保護フィルム４の１つの辺や枠体の１つの辺に沿って３つ以上の押さえ代が設けられていてもよく、４つ以上の押さえ代が設けられていてもよく、５つ以上の押さえ代が設けられていてもよく、６つ以上の押さえ代が設けられていてもよい。
また、保護フィルム４の１つの辺や枠体の１つの辺に沿って３つ以上の固定部材が設けられていてもよく、４つ以上の固定部材が設けられていてもよく、５つ以上の固定部材が設けられていてもよく、６つ以上の押さえ代が設けられていてもよい。

１，１０：ペリクル構造体 ２：枠体 ２４：粘着層 ３：ペリクル膜 ４：保護フィルム ４１：保護部 ５，６：押さえ代 ５１，６１：基端部 ５２，６２：アンカ部 ６３：スリット ８：テープ（固定部材） ９：収納容器

Claims (25)

1. ペリクル構造体であって、
   正面視で外形が矩形で、背面側端面に粘着層を有する枠体と、
   前記枠体の正面側端面に設けられ、該枠体の内部を覆うペリクル膜と、
   前記粘着層に貼着して該粘着層を保護する保護部と、前記保護部と一体的に設けられた複数の押さえ代と、を有する保護フィルムと、を備え、
   前記複数の押さえ代は、前記枠体の外部に向かって延びるように形成され、
   前記複数の押さえ代の少なくとも１つは、一端部が前記保護部に接続された基端部と、前記基端部の他端部に接続されたアンカ部と、を有し、
   前記アンカ部の幅は、前記基端部の幅よりも大きいことを特徴とするペリクル構造体。
2. 前記アンカ部は、該アンカ部を有する前記押さえ代が延びる方向に対して垂直な方向に延びるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル構造体。
3. 前記基端部の他端部の幅は、前記保護部から前記アンカ部に向かって漸次大きくなることを特徴とする請求項１又は２に記載のペリクル構造体。
4. 前記アンカ部は、該アンカ部を有する前記押さえ代が延びる方向に沿うスリットが形成されていることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のペリクル構造体。
5. 前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の４０％以上であることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のペリクル構造体。
6. 前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の９０％以下であることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のペリクル構造体。
7. 前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の８０％以下であることを特徴とする請求項６に記載のペリクル構造体。
8. 前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の７０％以下であることを特徴とする請求項６に記載のペリクル構造体。
9. 前記基端部の幅の寸法は、前記アンカ部の幅の寸法の６０％以下であることを特徴とする請求項６に記載のペリクル構造体。
10. 前記基端部の幅の寸法は６０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から９の何れか一項に記載のペリクル構造体。
11. 前記基端部の幅の寸法は４０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１０に記載のペリクル構造体。
12. 前記基端部の幅の寸法は３０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１１に記載のペリクル構造体。
13. 前記基端部の幅の寸法は２０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１２に記載のペリクル構造体。
14. 請求項１～１３の何れか一項に記載のペリクル構造体と、前記ペリクル構造体を収納する収納容器と、を備えるペリクル収納体であって、
    前記基端部を前記収納容器に固定するための固定部材を有することを特徴とするペリクル収納体。
15. 前記複数の押さえ代の隣り合う押さえ代の間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
    前記隣り合う押さえ代の間の前記収納容器に固定されていない保護フィルムの長さは２００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１４に記載のペリクル収納体。
16. 前記複数の押さえ代の隣り合う押さえ代の間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
    前記隣り合う押さえ代の間の前記収納容器に固定されていない保護フィルムの長さは４１０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１５に記載のペリクル収納体。
17. ペリクル構造体と、前記ペリクル構造体を収納する収納容器と、を備えるペリクル収納体であって、
    前記ペリクル構造体は、
    正面視で外形が矩形の枠体と、
    前記枠体の一方の面に設けられ、前記枠体の内部を覆うペリクル膜と、
    前記枠体の他方の面に設けられた粘着層と、
    前記粘着層の前記枠体が設けられた面とは反対側の面に貼着された保護フィルムと、を備え、
    前記保護フィルムは、矩形の枠体の少なくとも一辺の両端部分と該両端部分の間とに対応する位置に、前記保護フィルムの外側に突出する押さえ代を有し、
    前記押さえ代は、固定部材により前記ペリクル収納体に固定されており、
    前記保護フィルムの１辺の長さに占める前記押さえ代の前記固定部材により前記ペリクル収納体に固定されている部分の長さの合計が、１．０％以上７．０％以下であることを特徴とするペリクル収納体。
18. 前記保護フィルムの１辺の長さに占める前記押さえ代の前記固定部材により前記ペリクル収納体に固定されている部分の長さの合計が、１．０％以上４．０％以下であることを特徴とする請求項１７に記載のペリクル収納体。
19. ペリクル構造体と、前記ペリクル構造体を収納する収納容器と、を備えるペリクル収納体であって、
    前記ペリクル構造体は、
    正面視で外形が矩形の枠体と、
    前記枠体の一方の面に設けられ、前記枠体の内部を覆うペリクル膜と、
    前記枠体の他方の面に設けられた粘着層と、
    前記粘着層の前記枠体が設けられた面とは反対側の面に貼着された保護フィルムと、を備え、
    前記保護フィルムは、前記保護フィルムの外側に突出する第１から第３の押さえ代を有し、
    前記第１から第３の押さえ代は、第１から第３の固定部材により前記ペリクル収納体に固定されており、
    前記第１の固定部材と前記第２の固定部材と前記第３の固定部材とは、前記枠体の同一の辺に沿ってこの順に設けられており、
    前記第１の押さえ代と前記第２の押さえ代と前記第３の押さえ代とは、前記枠体の同一の辺に沿ってこの順に設けられており、
    第１の固定部材と第２の固定部材との間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
    第２の固定部材と第３の固定部材との間の保護フィルムは前記収納容器に固定されておらず、
    前記第１の固定部材と第２の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さと、前記第２の固定部材と第３の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さが共に２００ｍｍ以上であり、
    前記第２の押さえ代の最小幅が６０ｍｍ以下であり、
    前記第２の押さえ代の最小幅部分が、前記第２の固定部材により前記ペリクル収納体に固定されることを特徴とするペリクル収納体。
20. 前記第２の押さえ代の最小幅が４０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１９に記載のペリクル収納体。
21. 前記第２の押さえ代の最小幅が３０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２０に記載のペリクル収納体。
22. 前記第２の押さえ代の最小幅が２０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２１に記載のペリクル収納体。
23. 前記第１の固定部材と第２の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さと、
    前記第２の固定部材と第３の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さが共に２５０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１９から２２の何れか一項に記載のペリクル収納体。
24. 前記第１の固定部材と第２の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さと、前記第２の固定部材と第３の固定部材との間の前記収納容器に固定されていない前記保護フィルムの長さが共に３００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項２３に記載のペリクル収納体。
25. ペリクル構造体を収納容器に対して固定する固定方法であって、
    前記ペリクル構造体は、
    正面視で外形が矩形で、背面側端面に粘着層を有する枠体と、
    前記枠体の正面側端面に設けられ、該枠体の内部を覆うペリクル膜と、
    前記粘着層に貼着して該粘着層を保護する保護部と、前記保護部と一体的に設けられ前記枠体の外部に向かって延びるように形成された複数の押さえ代と、を有する保護フィルムと、を備え、
    前記複数の押さえ代の少なくとも１つは、一端部が前記保護部に接続された基端部と、前記基端部の他端部に接続され前記基端部よりも幅が大きいアンカ部と、を有し、
    テープを、前記アンカ部に貼着することなく、前記基端部を横断させるとともに、前記基端部と、その両側の前記収納容器に貼着することを特徴とする固定方法。

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