JP4491760B2 - インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けてノズルプレートの組立を行なうが、ノズルプレート基材には撥インク処理が施されているから保護シートを貼って傷付けないようにして外形加工とノズル孔加工し、その後保護シートを剥がして、さらにノズル孔加工したノズルプレートをアクチュエータに貼り付け、このノズルプレートに再度保護シートを貼り付けている。インクジェットヘッドの検査を行なう時に、ノズルプレートの保護シートを剥がしている。
【0003】
また、1枚のノズルプレート基材から複数のノズルプレートを作る加工において、先に行う外形加工ではノズルプレート基材だけの切断をして保種シートは切断をしない。そうすることで、次に行うノズル加工において連続的に並んでいるノズルプレートのノズル加工を効率的に行っているが、ノズルプレートの貼付工程のときは保護シートを剥離しないと複数連続に加工したノズルプレートがバラバラの状態にならない。
【0004】
その後、ノズルプレートのアクチュエーターヘの貼付を行った後、再び表面の保護のために保護シートを貼り付けている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このようにノズルプレートに保護シートを貼ったり、剥がしたりすることが行なわれ、組立の作業性が悪いと共に、この組立の作業時にノズルプレートの表面を傷付ける虞がある。
【0006】
また、ノズルプレートの外形加工の際に保護シートごと切断してしまうことも可能であるが、その後に行うノズル加工において、バラバラになったノズルプレートに対して1枚1枚位置合わせを行う必要がでてくるので極端に作業性が低下する問題がある。また、ノズル加工を先に行って外形加工を後に行うプロセスではノズル内部を汚す場合があり、品質を低下させる問題がある。
【0007】
本発明は、これら問題を解決するもので、組立の作業時のノズルプレートの表面の傷付きを防止し、またノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止し、またノズルプレートの貼付時の位置合わせが容易であることを課題としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、この発明は、以下のように構成した。
【0009】
請求項1に記載の発明は、『シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けるインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法であり、
前記ノズルプレート基材に対して第1のシートの貼り付けを行い、
前記第1のシートの貼付面上に第2のシートを貼り付け、
前記ノズルプレート基材側からノズルプレートの外形の切断を、前記ノズルプレート基材と前記第1のシートまで行ない、
前記第2のシートは一部切断して残し、前記ノズルプレートのノズル孔加工をレーザ光を照射して行い、
前記加工終了後、前記第2のシートのみを剥離し、前記第1のシートが貼り付いた状態のノズルプレートを得て、
前記ノズルプレートは前記第1のシートが貼られた状態で前記ノズルプレート基材側を前記アクチュエータに貼り付けることを特徴とするインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【0010】
請求項1に記載の発明によれば、シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工し、ノズル孔加工を行なう際には、第1のシートと第2のシートで保護され、ノズル孔加工を施した後は、第2のシートのみを剥離し、ノズルプレートは第1のシートが貼られた状態でノズルプレート基材側をアクチュエータに貼り付け、第1のシートで保護された状態でアクチュエータに貼り付けることで、組立の作業時のノズルプレートの表面の傷付きを防止し、またノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【0011】
請求項2に記載の発明は、『前記第2のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【0012】
請求項2に記載の発明によれば、第2のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであり、ノズル孔加工を施した後は、容易に剥離することができ作業性が向上する。
【0013】
請求項3に記載の発明は、『前記ノズルプレートのノズル孔加工の際に、前記第1のシートを貫通しないようにすることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【0014】
請求項3に記載の発明によれば、ノズルプレートのノズル孔加工の際に、第1のシートを貫通しないようにすることで、ノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【0015】
請求項4に記載の発明は、『前記ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工を前記ノズル孔位置とは別に前記第1のシートを貫通させて行なうことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【0016】
請求項4に記載の発明によれば、ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工をノズル孔位置とは別に第1のシートを貫通させて行なうことで、ノズルプレートの貼付時にカメラ等で貼付用位置決め孔を認識し、アクチュエータとの位置合わせが容易である。
【0017】
また、第1のシートが不透明である場合などは、クチュエータの位置認識を行うために上から下を映し出すカメラ等の撮像手段とノズルプレートのノズル孔を認識するための下から上を覗くカメラ等の撮像手段の2つが必要となるが、第1のシートを貫通させた貼付用位置決め孔を設けることで、上から下方向を見るカメラ等の撮像手段のみで作業ができる。
【0018】
請求項5に記載の発明は、『前記ノズルプレート基材には、撥インク処理が施され、この撥インク処理面に前記第1のシートの貼り付けを行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。』である。
【0019】
請求項5に記載の発明によれば、ノズルプレート基材の撥インク処理面を第1のシートが保護でき、しかもノズル孔加工でノズル孔を精度よく開けることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法を、実施の形態を挙げて説明するが、この発明の態様はこれに限定されない。
【0021】
本発明の第1の実施の形態のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法を図1及び図2を用いて説明する。図1はノズルプレートの加工を説明する図、図2はノズルプレートをアクチュエータに組み付ける状態を説明する図である。
【0022】
シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けるインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法であり、撥インク処理を施したノズルプレート基材1に対して、撥インク処理面1aに第1のシート2の貼り付けを行う(図1(a))。
【0023】
ノズルプレート基材の材料には、ポリエステル、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルイミド、ポリアミド、アロマティックポリアミドといった樹脂シートが好ましく、撥水性のコーティングにはPTFE,FEP,PFA,パーフルオロシクロポリマー等のフッ素樹脂が好ましい。
【0024】
次に、第1のシート2の貼付面上に第2の保護シート3を貼り付け(図1(b))、ノズルプレート基材1側からノズルプレート4の外形の切断5を、ノズルプレート基材1と第1のシート2まで行ない、第2のシート3は一部切断して残す(図1(c))。
【0025】
ノズルプレート4のノズル孔加工をレーザ光を照射して行う(図1(d))。このノズルプレート4のノズル孔加工の際に、第1のシート2を貫通しないようにすることで、ノズル孔6内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【0026】
ノズルプレート4のノズル孔加工に使用するレーザは、エキシマレーザ等の紫外線レーザが適している。
【0027】
このノズル孔6の加工終了後、第2のシート3側から紫外線を照射する(図1(e))。第2のシート3は紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤3a付きシートであり、第2のシート3を剥離する時に、第2のシート3に紫外線等を照射することで粘着剤3aの粘着力が低下し、ノズル孔加工を施した後は、容易に第2のシート3のみを剥離することができ作業性が向上する。
【0028】
この第2のシート3側から紫外線を照射することで、第2のシート3のみを剥離し、第1のシート2が貼り付いた状態のノズルプレート4を得る(図1(f))。
【0029】
このようにして得られたノズルプレート4は、図2に示すように、第1のシート2が貼られた状態で、インク室10aを有するアクチュエータ10に貼り付ける。
【0030】
このように、シート状のノズルプレート基材1に対して、外形加工し、ノズル孔加工を行なう際には、第1のシート2と第2のシート3で保護され、ノズル孔加工を施した後は、第2のシート3のみを剥離し、第1のシート1で保護された状態でアクチュエータ10に貼り付けることで、組立の作業時のノズルプレート4の表面の傷付きを防止し、またノズル孔6内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【0031】
また、図1(d)に示す工程で、ノズルプレート4のノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔20の加工をノズル孔位置とは別に第1のシート2を貫通させて行なう。
【0032】
このノズルプレート4の貼付時に、図2に示すように、カメラ等の撮像手段30で貼付用位置決め孔20を認識し、この位置情報を制御手段31に送り、制御手段31では位置情報に基づいて移動手段32を介してノズルプレート4を移動してアクチュエータ10に組み付ける。
【0033】
このように、ノズルプレート4のノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工をノズル孔位置とは別に第1のシート2を貫通させて行なうことで、ノズルプレート4の貼付時にカメラ等で貼付用位置決め孔20を認識し、アクチュエータ10との位置合わせが容易である。
【0034】
また、第1のシート2が不透明である場合などは、ノズルプレート4の貼付面側から位置認識を行う必要があり、この場合アクチュエータ10の位置認識を行うために上から下を映し出すカメラ等の撮像手段とノズルプレート4のノズル孔を認識するための下から上を覗くカメラ等の撮像手段の2つが必要となるが、第1のシート2を貫通させた貼付用位置決め孔20を設けることで、上から下方向を見るカメラ等の撮像手段30のみで作業ができる。
【0035】
【発明の効果】
前記したように、請求項1に記載の発明では、シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工し、ノズル孔加工を行なう際には、第1のシートと第2のシートで保護され、ノズル孔加工を施した後は、第2のシートのみを剥離し、ノズルプレートは第1のシートが貼られた状態でノズルプレート基材側をアクチュエータに貼り付け、第1のシートで保護された状態でアクチュエータに貼り付けることで、組立の作業時のノズルプレートの表面の傷付きを防止し、またノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【0036】
請求項2に記載の発明では、第2のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであり、ノズル孔加工を施した後は、容易に剥離することができ作業性が向上する。
【0037】
請求項3に記載の発明では、ノズルプレートのノズル孔加工の際に、第1のシートを貫通しないようにすることで、ノズル孔内へのゴミの進入を確実に防止することができる。
【0038】
請求項4に記載の発明では、ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工をノズル孔位置とは別に第1のシートを貫通させて行なうことで、ノズルプレートの貼付時にカメラ等で貼付用位置決め孔を認識し、アクチュエータとの位置合わせが容易である。
【0039】
また、第1のシートが不透明である場合などは、クチュエータの位置認識を行うために上から下を映し出すカメラ等の撮像手段とノズルプレートのノズル孔を認識するための下から上を覗くカメラ等の撮像手段の2つが必要となるが、第1のシートを貫通させた貼付用位置決め孔を設けることで、上から下方向を見るカメラ等の撮像手段のみで作業ができる。
【0040】
請求項5に記載の発明では、ノズルプレート基材の撥インク処理面を第1のシートが保護でき、しかもノズル孔加工でノズル孔を精度よく開けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ノズルプレートの加工を説明する図である。
【図2】ノズルプレートをアクチュエータに組み付ける状態を説明する図である。
【符号の説明】
1 ノズルプレート基材
2 第1のシート
3 第2のシート
4 ノズルプレート
10 アクチュエータ
Claims (5)
- シート状のノズルプレート基材に対して、外形加工、ノズル孔加工を施した後にアクチュエータにノズルプレートを貼り付けるインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法であり、
前記ノズルプレート基材に対して第1のシートの貼り付けを行い、
前記第1のシートの貼付面上に第2のシートを貼り付け、
前記ノズルプレート基材側からノズルプレートの外形の切断を、前記ノズルプレート基材と前記第1のシートまで行ない、
前記第2のシートは一部切断して残し、前記ノズルプレートのノズル孔加工をレーザ光を照射して行い、
前記加工終了後、前記第2のシートのみを剥離し、前記第1のシートが貼り付いた状態のノズルプレートを得て、
前記ノズルプレートは前記第1のシートが貼られた状態で前記ノズルプレート基材側を前記アクチュエータに貼り付けることを特徴とするインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。 - 前記第2のシートは紫外線照射等によって粘着力が低下する粘着剤付きシートであることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
- 前記ノズルプレートのノズル孔加工の際に、前記第1のシートを貫通しないようにすることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
- 前記ノズルプレートのノズル孔加工とは別に、貼付用位置決め孔加工を前記ノズル孔位置とは別に前記第1のシートを貫通させて行なうことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
- 前記ノズルプレート基材には、撥インク処理が施され、この撥インク処理面に前記第1のシートの貼り付けを行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドのノズルプレート組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000134920A JP4491760B2 (ja) | 2000-05-08 | 2000-05-08 | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000134920A JP4491760B2 (ja) | 2000-05-08 | 2000-05-08 | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001315339A JP2001315339A (ja) | 2001-11-13 |
JP4491760B2 true JP4491760B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=18643104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000134920A Expired - Fee Related JP4491760B2 (ja) | 2000-05-08 | 2000-05-08 | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4491760B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004130715A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP4534532B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2010-09-01 | ブラザー工業株式会社 | ノズルプレートの製造方法 |
JP2007130816A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置 |
JP4821468B2 (ja) * | 2006-07-05 | 2011-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットの製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05330061A (ja) * | 1992-06-04 | 1993-12-14 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置の製造方法 |
JPH07156410A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-20 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの製造方法 |
JPH07186393A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-25 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの製造方法 |
JPH1199650A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドの製造方法と該記録ヘッドの使用方法 |
-
2000
- 2000-05-08 JP JP2000134920A patent/JP4491760B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05330061A (ja) * | 1992-06-04 | 1993-12-14 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置の製造方法 |
JPH07156410A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-20 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの製造方法 |
JPH07186393A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-25 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの製造方法 |
JPH1199650A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドの製造方法と該記録ヘッドの使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001315339A (ja) | 2001-11-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100312 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |