JP4494367B2 - ノズルプレート製造方法 - Google Patents
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Description
ステップ1を図3に基づいて説明する。図3は、ノズルシート9の断面図である。ステップ1は、シート状のノズルシート基材7の片面に撥液膜8を形成してノズルシート9を作製する工程である。
ステップ2を図4に基づいて説明する。図4は、ノズルシート9にノズル穴5を形成する工程を示す断面図である。図示のように、エキシマレーザー光Lをノズルシート9に照射することによってノズル穴5を形成する。なお、図4では、エキシマレーザー光Lを撥液膜8と反対側の面からノズルシート9に照射している様子を示しているが、撥液膜8の面からエキシマレーザー光Lを照射してノズル穴5を形成することもできる。
ステップ3を、図1、及び図5〜図7に基づいて説明する。ステップ3は、ノズルシート9に、ノズルプレート2の分離ラインを加工する工程である。
ステップ3は、ステップ2やステップ3におけるエキシマレーザー光Lによる加工によってノズルシート9上に生成した煤等の付着物を除去する工程である。本実施の形態では、まず、アッシングとレーザー照射とを行い、次に、アッシング及びレーザー照射では除去しきれなかった付着物を超音波洗浄にて除去している。
ステップ5を、図8〜図10に基づいて説明する。ステップ5は、ノズルシート9からノズルプレート2を分離する工程である。
本実施の形態では50μmの厚さのノズルシート9を用い、溝状ライン部10Aで折り曲げて切断している。このときの切断のし易さは、ノズルシート9の厚さ、溝状ライン部10Aの深さ、及び幅で決まる。本実施の形態では、最適な条件として50μmのノズルシートに対して、溝状ライン部10Aの深さを35μm、幅を20μmとした。その他の条件についても実験を行ったので、その結果を以下の表に示す。表1は、厚さ50μmのノズルシートの場合を、表2は、厚さ125μmのノズルシートの場合をそれぞれ示している。
上述のように、本実施の形態のノズルプレート製造方法によると、ノズルプレート2の切断面にバリ等の突起が生じないため、インクジェットヘッドのワイプ動作時にワイプブレードの損傷や、インクの拭き残り等が起こることを防ぐことができる。
2 ノズルプレート
3 インクジェットヘッド本体
4 インク流路
5 ノズル穴
6 ノズルプレート接着面
7 ノズルシート基材
8 撥液膜
9 ノズルシート
10 分離ライン
10A 溝状ライン部
10B スリットライン部
11 作業スペース
12 延長部分
13 パターンマスク
14A 開口パターン
14B 開口パターン
15 パターンマスク
16 開口パターン
17 ブロック
18 バリ
L レーザー光
Claims (8)
- ノズルシート基材を用いてインクジェットヘッドのノズルプレートを製造する方法において、
前記ノズルシート基材に対して、ノズル穴を形成するノズル穴形成工程と、
前記ノズルシート基材に対して、取得すべきノズルプレートの外形に沿って同該ノズルプレートの外周全域を掘り込むことで分離ラインを形成する分離ライン形成工程と、
前記分離ラインが形成されたノズルシート基材を洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程で洗浄されたノズルシート基材を、前記分離ラインにて屈曲させることで、前記ノズルプレートを分離する分離工程とを備えていることを特徴とするノズルプレート製造方法。 - 前記ノズルシート基材は、複数のノズルプレートを取得可能であることを特徴とする請求項1に記載のノズルプレート製造方法。
- ノズルシート基材を用いてインクジェットヘッドのノズルプレートを製造する方法において、
前記ノズルシート基材に対して、ノズル穴を形成するノズル穴形成工程と、
前記ノズルシート基材に対して、取得すべきノズルプレートの外形に沿って該ノズルプレートの外周の一部を掘り込み、外周の他の部分には前記ノズルシート基材を貫通するスリットを形成することで分離ラインを形成する分離ライン形成工程と、
前記分離ラインが形成されたノズルシート基材を洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程で洗浄されたノズルシート基材を、前記分離ラインにて屈曲させることで、前記ノズルプレートを分離する分離工程とを備えていることを特徴とするノズルプレート製造方法。 - 前記分離ライン形成工程では、分離ラインをノズルシート基材の端部にまで延長させて掘り込むことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記ノズルシート基材は、ポリイミドを主成分とすることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記分離ライン形成工程においては、エキシマレーザー光により分離ラインを形成することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記分離ライン形成工程においては、光透過領域の光透過率が2種類設定されたマスクを用い、レーザー光により前記ノズルプレートの掘り込みと、前記スリットの形成とを行うことを特徴とする請求項3に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記ノズルシート基材は厚さが50〜150μmであり、
分離ライン形成工程における掘り込みの深さはノズルシート基材の厚さに対して50〜85%であり、
掘り込みの幅はノズルシート基材の厚さに対して20〜100%であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載のノズルプレート製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006140924A JP4494367B2 (ja) | 2006-05-19 | 2006-05-19 | ノズルプレート製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006140924A JP4494367B2 (ja) | 2006-05-19 | 2006-05-19 | ノズルプレート製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007307842A JP2007307842A (ja) | 2007-11-29 |
JP4494367B2 true JP4494367B2 (ja) | 2010-06-30 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006140924A Expired - Fee Related JP4494367B2 (ja) | 2006-05-19 | 2006-05-19 | ノズルプレート製造方法 |
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JP (1) | JP4494367B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6015043B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2016-10-26 | 株式会社リコー | ノズル板の製造方法 |
EP4173827A4 (en) | 2020-06-29 | 2024-01-03 | Konica Minolta, Inc. | NOZZLE PLATE, INKJET HEAD, METHOD FOR MANUFACTURING NOZZLE PLATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING INKJET HEAD |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06297180A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Ricoh Co Ltd | エキシマレーザ加工方法およびその加工方法を実施するエキシマレーザ加工装置およびその加工装置によって形成されたノズルシートおよびそのノズルシートを有するインクジェット記録ヘッド |
JPH0768760A (ja) * | 1993-04-23 | 1995-03-14 | Ricoh Co Ltd | サーマルインクジェットヘッド |
JPH08216414A (ja) * | 1995-02-16 | 1996-08-27 | Ricoh Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド用ノズル板の製作方法 |
JP2002154211A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置 |
JP2003251811A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
-
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JP2003251811A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
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---|---|
JP2007307842A (ja) | 2007-11-29 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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