JP4482801B2 - カーボンナノ材料の製造方法およびその製造装置 - Google Patents
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Description
本発明のカーボンナノ材料の製造方法は、レーザアブレーション法によりカーボンナノ材料を製造する方法であって、カーボンターゲットに波長が800nm以上であるレーザを照射して発生させたカーボンの蒸発ガスと、該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを金属ターゲットに照射して発生させた金属の蒸発ガスと、を気相中で反応させて該金属を担持したカーボンナノ材料を生成することを特徴とする。
前記金属ターゲットに照射するレーザの波長は、600nm以下であるのが望ましい。
本発明のカーボンナノ材料の製造装置は、レーザアブレーション法により金属を担持したカーボンナノ材料を製造する装置であって、反応容器と、カーボンターゲットおよび金属ターゲットを該反応容器内に固定するターゲット固定手段と、該カーボンターゲットにレーザを照射する第1レーザ発振器と、該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを前記金属ターゲットに照射する第2レーザ発振器と、前記反応容器内にガスを供給するガス供給手段と、前記反応容器内を排気する排気手段と、
を具備し、前記第1レーザ発振器は、YAGレーザ、CO 2 レーザ、または、半導体レーザであることを特徴とする。
前記第2レーザ発振器は、エキシマレーザ、第2高調波光を発振するYAGレーザ、第3高調波光を発振するYAGレーザ、または第4高調波光を発振するYAGレーザであるのが好ましい。なお、上記第1レーザ発振器のYAGレーザは、基本波を発振するYAGレーザである。
を具備し、前記第2レーザ発振器は、エキシマレーザ、第2高調波光を発振するYAGレーザ、第3高調波光を発振するYAGレーザ、または第4高調波光を発振するYAGレーザであることを特徴とする。
を具備し、前記ターゲット固定手段は、前記カーボンターゲットおよび/または前記金属ターゲットの表面の向きを前記各レーザの進行方向に対して任意の角度で傾斜させる固定角度変更機構を有することを特徴とする。
を具備し、前記ターゲット固定手段は、前記反応容器内で同一円周上に等間隔に複数個配置され、
前記ガス供給手段は、該ターゲット固定手段の遠心方向側で同一円周上に等間隔に配設され、かつ、軸芯方向に対して傾きをもって供給ガスを噴出する複数個の噴出口を有し、
前記排気手段は、前記反応容器に形成され前記ターゲット固定手段および前記ガス供給手段と同軸的に配設された排気口を有することを特徴とする。
本発明のカーボンナノ材料の製造方法を実施するための最良の形態を説明する。
本発明のカーボンナノ材料の製造装置を実施するための最良の形態を、図7を用いて説明する。
本実施例のカーボンナノ材料の製造装置は、真空チャンバ1と、カーボンターゲットCおよび金属ターゲットMを真空チャンバ1内に固定するターゲット固定具10と、各ターゲットC,Mに照射するレーザを発振するレーザ発振手段2と、真空チャンバ1内にガスを供給するガス供給手段3と、真空チャンバ1内を排気する排気手段4と、を具備する。
ターゲット固定具10の固定台101cに触媒金属を含まないカーボンターゲットC(東洋炭素製IG−11)を固定した。なお、固定台101cは、ターゲットCの表面がレーザの入射方向に対して垂直となるようにした。また、第1レーザ発振器21にはCO2 レーザ装置(波長10600nm)を用いた。
ターゲット固定具10の固定台101mに金属ターゲットMとしてPtターゲット(田中貴金属製99.95%)を固定した。なお、固定台101cおよび101mは、いずれも各ターゲットM,Cの表面がレーザの入射方向に対して垂直となるようにした。また、第2レーザ発振器22にはレーザ媒質をKrFとしたエキシマレーザ装置(波長248nm)を用いた。
ターゲット固定具10の固定台101c,101mに触媒金属を含まないカーボンターゲットC(東洋炭素製IG−11)と金属ターゲットMをそれぞれ固定した。金属ターゲットMには、Ptターゲット(田中貴金属製99.95%)を用いた。なお、固定台101cおよび101mは、いずれも各ターゲットM,Cの表面がレーザの入射方向に対して垂直となるようにした。また、第1レーザ発振器21にはCO2 レーザ装置(波長10600nm,1.25kW,スポット面積0.1cm2 ,(すなわち出力密度12.5kW/cm2)0.5Hz,)、第2レーザ発振器22にはレーザ媒質をKrFとしたエキシマレーザ装置(波長248nm,100mJ/pulse,5Hz)を用いた。
10:ターゲット固定手段
21:第1レーザ発振器
22:第2レーザ発振器
3:ガス供給手段
4:排気手段
Claims (13)
- レーザアブレーション法によりカーボンナノ材料を製造する方法であって、
カーボンターゲットに波長が800nm以上であるレーザを照射して発生させたカーボンの蒸発ガスと、
該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを金属ターゲットに照射して発生させた金属の蒸発ガスと、
を気相中で反応させて該金属を担持したカーボンナノ材料を生成することを特徴とするカーボンナノ材料の製造方法。 - 前記金属ターゲットに照射するレーザの波長は、600nm以下である請求項1記載のカーボンナノ材料の製造方法。
- レーザアブレーション法によりカーボンナノ材料を製造する方法であって、
カーボンターゲットにレーザを照射して発生させたカーボンの蒸発ガスと、
該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもち該波長が600nm以下であるレーザを金属ターゲットに照射して発生させた金属の蒸発ガスと、
を気相中で反応させて該金属を担持したカーボンナノ材料を生成することを特徴とするカーボンナノ材料の製造方法。 - 前記カーボンの蒸発ガスおよび前記金属の蒸発ガスは、互いに重なり合うように発生する請求項1〜3のいずれかに記載のカーボンナノ材料の製造方法。
- 前記気相中には不活性ガスが供給される請求項1〜4のいずれかに記載のカーボンナノ材料の製造方法。
- 前記カーボンの蒸発ガスおよび前記金属の蒸発ガスは、供給される前記不活性ガスの気流により混合される請求項5記載のカーボンナノ材料の製造方法。
- 前記金属ターゲットは、Pt、Rh、Ru、Co、Fe、Niから選ばれる1以上からなる請求項1〜6のいずれかに記載のカーボンナノ材料の製造方法。
- レーザアブレーション法により金属を担持したカーボンナノ材料を製造する装置であって、
反応容器と、
カーボンターゲットおよび金属ターゲットを該反応容器内に固定するターゲット固定手段と、
該カーボンターゲットにレーザを照射する第1レーザ発振器と、
該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを前記金属ターゲットに照射する第2レーザ発振器と、
前記反応容器内にガスを供給するガス供給手段と、
前記反応容器内を排気する排気手段と、
を具備し、前記第1レーザ発振器は、YAGレーザ、CO 2 レーザ、または、半導体レーザであることを特徴とするカーボンナノ材料の製造装置。 - 前記第2レーザ発振器は、エキシマレーザ、第2高調波光を発振するYAGレーザ、第3高調波光を発振するYAGレーザ、または第4高調波光を発振するYAGレーザである請求項8記載のカーボンナノ材料の製造装置。
- レーザアブレーション法により金属を担持したカーボンナノ材料を製造する装置であって、
反応容器と、
カーボンターゲットおよび金属ターゲットを該反応容器内に固定するターゲット固定手段と、
該カーボンターゲットにレーザを照射する第1レーザ発振器と、
該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを前記金属ターゲットに照射する第2レーザ発振器と、
前記反応容器内にガスを供給するガス供給手段と、
前記反応容器内を排気する排気手段と、
を具備し、前記第2レーザ発振器は、エキシマレーザ、第2高調波光を発振するYAGレーザ、第3高調波光を発振するYAGレーザ、または第4高調波光を発振するYAGレーザであることを特徴とするカーボンナノ材料の製造装置。 - レーザアブレーション法により金属を担持したカーボンナノ材料を製造する装置であって、
反応容器と、
カーボンターゲットおよび金属ターゲットを該反応容器内に固定するターゲット固定手段と、
該カーボンターゲットにレーザを照射する第1レーザ発振器と、
該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを前記金属ターゲットに照射する第2レーザ発振器と、
前記反応容器内にガスを供給するガス供給手段と、
前記反応容器内を排気する排気手段と、
を具備し、前記ターゲット固定手段は、前記カーボンターゲットおよび/または前記金属ターゲットの表面の向きを前記各レーザの進行方向に対して任意の角度で傾斜させる固定角度変更機構を有することを特徴とするカーボンナノ材料の製造装置。 - レーザアブレーション法により金属を担持したカーボンナノ材料を製造する装置であって、
反応容器と、
カーボンターゲットおよび金属ターゲットを該反応容器内に固定するターゲット固定手段と、
該カーボンターゲットにレーザを照射する第1レーザ発振器と、
該カーボンターゲットに照射するレーザとは異なる波長をもつレーザを前記金属ターゲットに照射する第2レーザ発振器と、
前記反応容器内にガスを供給するガス供給手段と、
前記反応容器内を排気する排気手段と、
を具備し、前記ターゲット固定手段は、前記反応容器内で同一円周上に等間隔に複数個配置され、
前記ガス供給手段は、該ターゲット固定手段の遠心方向側で同一円周上に等間隔に配設され、かつ、軸芯方向に対して傾きをもって供給ガスを噴出する複数個の噴出口を有し、
前記排気手段は、前記反応容器に形成され前記ターゲット固定手段および前記ガス供給手段と同軸的に配設された排気口を有することを特徴とするカーボンナノ材料の製造装置。 - さらに、前記排気手段は、製造されたカーボンナノ材料を回収する回収手段を有する請求項8〜12のいずれかに記載のカーボンナノ材料の製造装置。
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