JP4675601B2 - 大型精密シート状製品および半製品用密封容器 - Google Patents
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Description
本体部と蓋体部とを形成する熱可塑性樹脂シートが、それぞれ親水性ポリマーを配合したポリアクリロニトリル系樹脂からなる剛性の制電性樹脂からなり、
更に、本体部と蓋体部のそれぞれの周縁フランジ部に隣接する複数個所に精密シート状(半)製品の保持部材が設けられており、且つ、
本体部および蓋体部の一方の保持部材がテーパ部および精密シート状(半)製品の厚みより小さい高さの突き当て端壁部を有し、本体部および蓋体部の他方の保持部材が前記一方の保持部材のテーパ部よりも長いテーパ部を有し、
保持部材に隣接して精密シート状(半)製品荷重の支持強度補強用のエプロン部が真空または圧空成型により形成されている
ことを特徴とするものである。
図1は、横型(すなわち、本体部と蓋体部の周縁フランジ部の当接面と概ね平行な位置に精密シート状(半)製品を収容する型)の大型精密シート状(半)製品用密封容器の本体部10の平面図、図2は、図1のA−A線矢視方向の断面図であり、図3はその蓋体部20との組合せ使用状態を示す周縁部近傍部分断面図である。
各部の材質について補足説明すると、本体部10の、(半)製品シート保持部材5以外の部分を構成する真空または圧空成型体1は基本的には任意の熱可塑性樹脂からなるが、(半)製品シートへの微細ゴミの静電的付着を避けるために、制電性樹脂からなることが好ましい。制電性樹脂は、永久制電性を有することが好ましく、そのように永久制電性を有する制電性樹脂の例としては、(a)親水性ポリマー3〜100重量部、(b)熱可塑性樹脂0〜97重量部、((a)との合計量100重量部)、及び(c)2価以上の金属塩0.001〜0.5重量部からなるものが知られており(特開2003−183529号公報)、本発明でも好適に用いられる。但し、極度の光学特性(くもりの発生防止)を要求するのでなければ(c)2価以上の金属塩の添加は要求されない。なかでも(a)親水性ポリマーとしては、アルキレンオキサイド基を有するゴム状幹重合体を含むグラフト共重合体に、更にアニオン系界面活性剤を配合したもの(特開昭59−2462号公報)を用い、これに、ポリアクリロニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリメタクリル酸メチル系樹脂等の剛性の熱可塑性樹脂を配合して、(半)製品シートに対してたわみ応力を容易に与えないような剛性を付与したものが好ましい。因みに上記の実施例においては、上記親水性ポリマー10重量%とポリアクリロニトリル系樹脂(BPAmoco社製「Barex 210」)90重量%とからなる厚さ5mmの制電性樹脂シート(曲げ弾性率2GPa)の真空成型体1を用いており、特に本発明では親水性ポリマーを配合したポリアクリロニトリル系樹脂からなる剛性の制電性樹脂からなる熱可塑性樹脂シートの真空または圧空成型体が用いられる。
上記においては、液晶ディスプレイ用フォトマスクの横型容器の好ましい一実施例について説明した。しかし、本発明の範囲内で、上記実施例の容器は各種の変形が可能である。そのような変形例のいくつかについて、述べる。
本発明の精密シート状(半)製品用密封容器は、縦型容器(すなわち本体部と蓋体部の当接面にほぼ垂直な位置に精密シート状(半)製品を収容する型の容器)としても構成可能である。図5(本体部−蓋体部組合せ斜視図)、図6(本体部上からの平面図(a)および側面図(b))および図7(容器内(半)製品シート収容態様を示す正面図(a)および断面図(b),(c)は、そのような縦型容器の一例として、各種ディスプレイ製造のためのガラス基板用の容器の概容を示すものである。
上記においては、主として、1枚の(半)製品シートを収容する例について説明した。しかし、本発明の密封容器は、複数枚の(半)製品シートの収容にも適用可能である。特に縦型容器は、複数枚の(半)製品シートの収容に適している。図8は、このような複数枚の(半)製品シートの収容用の密封容器の、蓋体部を上方にはずした状態の模式斜視図である。図8を参照して、この縦型密封容器は、それぞれ真空または圧空樹脂成型体51および61からなり、容器内部のガス置換用のノズル52および62を備えた本体部50および蓋体部60からなる。また本体部50中には、例えば10枚の(半)製品シートを載置し、搬送するためのキャリア53が収容されている。図9(a)は、この(半)製品シートキャリア53の本体部から取り出した状態での拡大図であり、図9(b)および(c)は、それぞれ、そのB部およびC部の拡大図である。すなわち、この(半)製品シートキャリア53は、例えば10枚の(半)製品シートを垂直に並列に収容するための案内溝532およびキャリア搬送用の取っ手533を有する一対の樹脂板531およびこれら一対の樹脂板を支持固定し、両者間の間隔を保持する金属フレーム534とを有する。従って、キャリア53は、たとえば10枚の(半)製品シートを、案内溝532に沿って挿入し、それらの底部532cで(半)製品シートの下端両側を受ける状態で、載置した状態で、本体部50への出し入れが可能となる。本体部に収容した複数枚の(半)製品シートの下端および上端は、シリコーンゴムあるいはフッ素樹脂等により保護されて、搬送時の衝撃の低下を図る。また、本体部50の内側底部には、キャリア53の樹脂板531の底部531aを収容する溝を設けて、キャリア53の横揺れ等を防止して収容固定する。必要に応じて、蓋体部60にも、樹脂板531の上部531bを収容する溝を設けて、キャリア53の固定を改善してもよい。本体部50および蓋体部60にそれぞれ設けた容器内部のガス置換用のノズル52および62は、例えばEL(エレクトロルミネッセンス)関連のように、ごみの付着とともに湿気を嫌う(半)製品シートの密封容器内部を、例えば乾燥窒素で置換する用途等に好適であり、必要に応じて、図1〜4で説明した横型容器に取り付けることもできる。
20,40,60 蓋体部
1,21,31,51、 真空または圧空成型体
2,22,22a 補強用リブ
3,13,23,33 周縁フランジ部
4 (半)製品シート収容部
5,15,25,25b,35 (半)製品シート保持部材
5a,15a,25a,25bb,35b 保持部材テーパ部
5b 保持部材(半)製品シート端部突き当て側壁部
25a (半)製品シートガイド溝
6 保持部材周縁エプロン部
26 保持部材ガイド部材
7,27 Oリング収容溝
8a 位置合せ凸部
8b 位置合せ凹部
9 Oリング
52,62 容器内部ガス置換用ノズル
53 複数(半)製品シートキャリア
531 (半)製品シート案内樹脂板(531a:その底部、531b:上部)
532 (半)製品シート案内溝(532c:その底部)
533 キャリア取っ手
534 補強用金属フレーム
A,A2 (半)製品シート
Claims (4)
- 互いに当接される周縁フランジ部を有する本体部と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状製品または半製品を収容するための密封容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ熱可塑性樹脂シートの補強用リブを設けた真空または圧空成型体からなり、
本体部と蓋体部とを形成する熱可塑性樹脂シートが、それぞれ親水性ポリマーを配合したポリアクリロニトリル系樹脂からなる剛性の制電性樹脂からなり、
更に、本体部と蓋体部のそれぞれの周縁フランジ部に隣接する複数個所に前記精密シート状製品または半製品の保持部材が設けられており、且つ、
本体部および蓋体部の一方の保持部材がテーパ部および前記精密シート状製品または半製品の厚みより小さい高さの突き当て端壁部を有し、本体部および蓋体部の他方の保持部材が前記一方の保持部材のテーパ部よりも長いテーパ部を有し、
保持部材に隣接して前記精密シート状製品または半製品の荷重の支持強度補強用のエプロン部が真空または圧空成型により形成されている
ことを特徴とする、航空機輸送に適した大型精密シート状製品または半製品用密封容器。 - 本体部と蓋体部の少なくとも一方の周縁フランジ部には、密閉用のOリング収容溝が設けられている請求項1に記載の容器。
- 保持部材はインサートとして真空または圧空成型された熱可塑性樹脂シートに一体的に取り込まれて固定保持されている請求項1または2に記載の容器。
- 保持部材が熱可塑性樹脂シートよりも軟質且つ摺動性の熱可塑性樹脂からなる請求項3に記載の容器。
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JP4591776B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2010-12-01 | 株式会社マシンエンジニアリング | アライメント装置 |
JP4801981B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2011-10-26 | Hoya株式会社 | 基板収納容器、膜付きガラス基板収納体、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 |
JP5099386B2 (ja) * | 2010-07-01 | 2012-12-19 | 村田機械株式会社 | 基板用のカセットの載置台 |
JP5416154B2 (ja) * | 2011-03-22 | 2014-02-12 | Hoya株式会社 | 基板収納容器、膜付きガラス基板収納体、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 |
KR102460875B1 (ko) * | 2014-04-17 | 2022-10-31 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 수납 용기 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03171138A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-24 | Hoya Corp | 電子デバイス用ガラス基板の製造方法 |
JPH05304068A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 防塵収納ケース |
JPH07142562A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JPH08198377A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-06 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | マスク保護装置の収納ケース |
JPH1010705A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Nikon Corp | レチクルケース |
JPH1017051A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JPH10305894A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-11-17 | Nikon Corp | 基板収納ケースおよび半導体製造プロセス |
JP2001100394A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Asahi Kasei Corp | ペリクル収納容器 |
JP2001110886A (ja) * | 1999-10-04 | 2001-04-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
JP2002182374A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-26 | Mitsui Chemicals Inc | ペリクル収納ケース |
WO2003021665A1 (fr) * | 2001-08-28 | 2003-03-13 | Zeon Corporation | Contenant destine a un substrat de precision |
JP2003307831A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Asahi Glass Co Ltd | 合成石英ガラス板用容器 |
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03171138A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-07-24 | Hoya Corp | 電子デバイス用ガラス基板の製造方法 |
JPH05304068A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 防塵収納ケース |
JPH07142562A (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JPH08198377A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-06 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | マスク保護装置の収納ケース |
JPH1010705A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Nikon Corp | レチクルケース |
JPH1017051A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JPH10305894A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-11-17 | Nikon Corp | 基板収納ケースおよび半導体製造プロセス |
JP2001100394A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Asahi Kasei Corp | ペリクル収納容器 |
JP2001110886A (ja) * | 1999-10-04 | 2001-04-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
JP2002182374A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-26 | Mitsui Chemicals Inc | ペリクル収納ケース |
WO2003021665A1 (fr) * | 2001-08-28 | 2003-03-13 | Zeon Corporation | Contenant destine a un substrat de precision |
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