JP4475695B2 - 流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はガスや液体などの流体が通過する流路に設けられた流体制御弁の漏れを検出する流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置に係り、特に、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来の流量制御弁の漏れ検査機能を備えた燃焼装置の構成を示す構成図である。図において、１は燃焼ガスと外気とを混合して燃焼する燃焼装置、２はこの燃焼装置１に燃焼ガスを供給するガス供給管、３は燃焼装置１に外気を供給する外気供給管、４はガス供給管２の途中に設けられた第一燃料制御弁、５はこの第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の下流側に設けられた第二燃料制御弁、６は外気供給管３の途中に設けられた外気制御弁、４０はこれら３つの制御弁４，５，６を制御して上記燃焼装置１の燃焼を制御する燃焼制御装置である。
【０００３】
また、４１は第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５との間のガス供給管２のガス圧を検出する第一圧力センサ、４２は第一燃料制御弁４よりも上流側のガス供給管２のガス圧を検出する第二圧力センサ、４３は燃焼制御装置４０の一部として設けられ、第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５を制御するとともにこれら２つの圧力センサ４１，４２の検出圧力値に応じてこれら２つの燃料制御弁４，５の漏れを検出する漏れ検出制御装置である。
【０００４】
次に動作について説明する。
燃焼制御装置４０は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５および外気制御弁６それぞれを適当な開度に制御し、燃焼装置１において燃焼ガスと外気との混合気を燃焼する。このような燃焼が行われる一方で、燃焼停止期間において第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れの検出動作が実行される。
【０００５】
まず、第一燃料制御弁４を閉じるとともに第二燃料制御弁５および外気制御弁６を開き、第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５との間の第一圧力センサ４１が設けられた空間内の燃焼ガスを排気する。次に、第二燃料制御弁５を完全に閉じた後第一燃料制御弁４を開き、所定の時間の後に第一圧力センサ４１の圧力値が所定の漏れ判別値よりも小さいか否かを判別し、小さい場合には第二燃料制御弁５に漏れがあると判定する。更に、引き続いて第一燃料制御弁４を閉じた後第二燃料制御弁５を開き、所定の時間の後に第一圧力センサ４１の圧力値が所定の漏れ判別値よりも小さいか否かを判別し、小さい場合には第一燃料制御弁４に漏れがあると判定する。
【０００６】
なお、第二圧力センサ４２は、ガス供給管２内の圧力が所定の検出可能圧力レベルよりも低下したか否かを判別するために設けられたものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の流量制御弁の漏れ検査装置は以上のように構成されているので、第一圧力センサ４１が設けられた空間内の流体量が所定期間内に所定量変化することを検出し、この検出に応じて流体制御弁の漏れを判別することとなる。従って、漏れが生じている場合に予測される当該空間内の流体量の所定量変化に要する時間だけ待った後のタイミングでなければ、当該判別を行うことができないなどの課題があった。
【０００８】
また、実際にこのような従来の流量制御弁の漏れ検査装置を設置するにあたっては、上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによって上記圧力センサの所定時間後の検出値が変動してしまうため、これらの要因によらず確実に漏れを検出できるように上記検出タイミングを設定する必要がある。その結果、この変動要因に対するマージンによって実際の漏れの検出精度が悪化し、圧力センサ本来の検出精度を有効に利用することができず、漏れを早期に検出することができないなどの課題もあった。特に、供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合、上記圧力センサの圧力値に基づいて安定且つ確実な漏れ判定を行うことができなかった。
【０００９】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、従来よりも短時間に流量制御弁の漏れを検査することができる漏れ検査方法およびその装置を得ることを目的とする。
【００１０】
また、これと同時に、空間容積の設計値との差異などによらず確実に漏れを検出することができ、圧力センサなどの検出手段の本来の検出精度を有効に利用して早期に漏れを検出することができる漏れ検査方法およびその装置を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査方法は、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、上記分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサとを有し、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断するものである。
【００１２】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査装置は、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えたものである。
【００１３】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査装置は、検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による流量制御弁の漏れ検査装置を利用した燃焼装置の構成を示す構成図である。図において、１は燃焼ガス（流体）と外気（空気）とを混合して燃焼する燃焼装置、２はこの燃焼装置１に燃焼ガスを供給するガス供給管（流路）、３は燃焼装置１に外気（空気）を供給する外気供給管、４はガス供給管２の途中に設けられた第一燃料制御弁（流量制御弁）、５はこの第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の下流側に設けられた第二燃料制御弁（流量制御弁）、６は外気供給管３の途中に設けられた外気制御弁、７はこれら３つの制御弁４，５，６を制御して上記燃焼装置１の燃焼を制御する燃焼制御装置、８ａは燃焼制御装置７に燃焼状態などを設定する入力キー、８ｂは燃焼装置１による燃焼状態情報などを表示する表示装置である。
【００１５】
また、９は第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の上流側に設けられ、当該ガス供給管２を閉塞可能なボール弁（検査用制御弁）、１０は当該ボール弁９の全開状態を検出して全開信号を出力する全開リミットスイッチ、１１は当該ボール弁９の全閉状態を検出して全閉信号を出力する全閉リミットスイッチ、１２はこのボール弁９の上流側と下流側とを接続する分流管、１３はこの分流管１２に設けられ、当該分流管１２中を流れる流体の流量を検出して流量信号を出力する流量センサ、１４は前面パネルに漏れ表示ランプ１４ａ、ボール弁開設定スイッチ１４ｂ、ボール弁閉設定スイッチ１４ｃ、流量情報表示部材１４ｄなどを備え、上記第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９を制御するとともに全開信号、全閉信号および流量信号が入力され、これに応じて第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の漏れを判別して漏れ判別信号などを燃焼制御装置７に出力する漏れ判別制御装置（漏れ判別手段、流量出力手段）である。
【００１６】
図２はこの実施の形態を説明するための参考例によるボール弁９の構成を示す一部切欠断面図である。図において、１５はハウジング、１６はハウジング１５に開設された弁流路、１７は略球形状に形成されてこの弁流路１６の途中に回動可能に配設され、且つ、貫通孔１７ａが開設された弁ボール、１８はハウジング１５に固定され、弁ボール１７をその貫通孔１７ａが弁流路１６と連通／閉塞されるように回転させるモータである。そして、この弁ボール１７の貫通孔１７ａを弁流路１６と連通することで燃焼ガスを供給し、閉塞することで燃焼ガスの供給を停止することができる。
【００１７】
また、弁流路１６はガス供給管２の挿入位置に隣接する位置は当該ガス供給管２の内径と同径に形成される一方で、上記弁ボール１７が配設される周囲はそれよりも小さい内径に形成されており、この小さい内径に隣接する位置に上記分流管１２が接続される一対の分流孔１９，２０が開設されている。このように間の内径を細くしその脇に一対の分流孔１９，２０が開設を開設することにより、上流側と下流側との間に差圧を発生させて燃焼ガスを弁流路１６と分流管１２とに適当に分配することができる。
【００１８】
図３はこの発明の実施の形態１による流量センサ１３の構成を示す断面図である。図において、２１は流量センサ１３の本体ブロック、２２は本体ブロック２１を貫通するとともにその途中で一部が本体ブロック２１の一側面に露出するように形成された屈曲貫通孔、２３，２４はガス供給管２を本体ブロック２１に固定するための配管取付フランジ、２５，２６は本体ブロック２１と配管取付フランジ２３，２４との間からのガス漏れを防止するＯリング、２７はネジ２８，２９によって上記屈曲貫通孔２２を塞ぐように本体ブロック２１にネジ止めされたセンサ取り付けカバー、３０，３１はそれぞれ上記屈曲貫通孔２２の露出部位に介装された整流金網、３２はセンサ取り付けカバー２７の外側面に固定されるブラケット、３３はこのブラケット３２によって上記整流金網３０，３１の間の屈曲貫通孔２２に露出するように固定されるセンサ基板、３４はこのセンサ基板３３の露出面にマウントされたマイクロフローセンサチップ（流量センサ）、３５はマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を漏れ判別制御装置１４に出力するためのリード線である。そして、このように分流管１２の間に配設された屈曲貫通孔２２内を燃焼ガスが流動すると、この流量に応じた検出信号がマイクロフローセンサチップ３４から出力され、この検出信号に基づいて演算される燃焼ガスの流量値が漏れ判別検出装置１４の流量情報表示部材１４ｄに表示されるとともに漏れ判別検出装置１４を介して燃焼制御装置７に伝達される。
【００１９】
なお、上記のマイクロフローセンサチップ３４としては例えば本願出願人が特開平４−２３０８０８号公報で開示した微細ダイヤフラム構造の流速センサを用いると、高精度かつ高速応答で流速（流量）を計測することができる。
【００２０】
次に動作について説明する。
弁ボール１７の貫通孔１７ａと弁流路１６とが連通した状態で、燃焼制御装置７は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５および外気制御弁６それぞれを適当な開度に制御する。その結果、燃焼装置１ではガス供給管２から圧送される燃焼ガスと外気供給管３から圧送されてくる外気とを適当な混合比で混合し、これを燃焼する。また、入力キー８ａを用いてこの燃焼状態を変更することもできる。そして、この燃焼により例えば還流ボイラの蒸気圧力が適当な圧力となったら燃焼を停止し、逆に還流ボイラの蒸気圧力が所定の圧力以下になったら燃焼を再開する。
【００２１】
このような燃焼の停止／再開が燃焼制御装置７で繰り返される一方で、例えば燃焼再開直前などの非燃焼制御時には燃焼制御装置７から漏れ判別制御装置１４へ非燃焼制御状態を示す信号が出力され、この非燃焼制御状態を示す信号が出力されている期間内において漏れ判別制御装置１４が動作し、第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れを検出する。
【００２２】
具体的には例えば、まず、漏れ判別制御装置１４は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９に対して全閉信号を出力する。次に、このように第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９が全閉の状態において、漏れ判別制御装置１４はマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を取得し、この検出信号に含まれる流量値が所定の漏れ検出基準値（例えば毎時１．５リットル）よりも大きいか否かを判断する。最後に、この検出流量値が漏れ検出基準値よりも大きい場合には、燃焼制御装置７に対して漏れ検出信号が出力されてそれ以降の燃焼動作が強制的に終了されるとともに漏れ表示ランプ１４ａが点灯あるいは点滅される。これにより、第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５とのうちのいずれか一方に漏れがある場合にはそれを検出することができる。
【００２３】
なお、ここでは第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５とを一度に且つ短時間で検査する場合の例について説明したが、これらを分けて個別に検査するようにしてもよい。また、この漏れ検出動作は予め設定されたタイミングで自動的に動作するようにしても、漏れ判別制御装置１４の前面のパネルのボール弁開設定スイッチ１４ｂ、ボール弁閉設定スイッチ１４ｃなどを操作することで適宜動作するようにすることもできる。
【００２４】
図４はこのような燃焼装置の一連の動作を自動実行する場合の動作例を示すフローチャートである。図において、ＳＴ１は燃焼装置１の運転開始、電源投入ステップであり、ＳＴ２は上記漏れ判別制御装置１４による第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れの検出動作を行う漏れ許容値内判別ステップであり、ＳＴ３は漏れが許容値内で無かった場合に実行されるステップであって、上記漏れ表示ランプ１４ａや表示装置８ｂにおいて警報ランプ点灯処理を行う警報ステップであり、ＳＴ４は燃焼制御装置７や漏れ判別制御装置１４がこの漏れに応じた緊急対応処理を実施する対応処理ステップである。そして、上記漏れ許容値内判別ステップＳＴ２において漏れが許容値内であると判断されるまで、以上の緊急対応処理が実施され続ける。
【００２５】
ＳＴ５は漏れ許容値内判別ステップＳＴ２において漏れが許容値内である場合に実行されるステップであって、燃焼動作を開始するためのスイッチなどがオンされる起動開始ステップであり、ＳＴ６はボール弁開設定スイッチ１４ｂの操作などに応じてボール弁９の開制御などを行う初期設定ステップであり、ＳＴ７は燃焼制御装置７の制御信号に応じて第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５、外気制御弁６などの開度制御を行う遮断弁開制御ステップであり、ＳＴ８は漏れ判別制御装置１４の流量情報表示部材１４ｄにおいて燃焼ガスの流量表示を開始する流量計測開始ステップであり、ＳＴ９はボール弁閉設定スイッチ１４ｃの操作などに応じてボール弁９の閉制御などを行う終了設定ステップであり、ＳＴ１０はボール弁９を閉制御する一方で第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５、外気制御弁６などを閉制御する終了設定ステップであり、ＳＴ１１は燃焼制御装置７における燃焼制御を終了し、電源を自動遮断する終了ステップである。
【００２６】
以上のように、この実施の形態１によれば、第一燃料制御弁４および第二燃料制御弁５を全閉制御するとともに、当該燃料制御弁４，５よりもガス供給管２の上流側に配設されたマイクロフローセンサチップ３４の検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記全閉制御した燃料制御弁４，５に漏れが生じていると判断するので、被検査対象たる燃料制御弁４，５を全閉制御すればマイクロフローセンサチップ３４の検出値に基づいて上記燃料制御弁４，５の漏れを検出することができる。
【００２７】
従って、従来のように所定時間経過後のタイミングでなければ漏れの判別を行うことができないなどの制約が無くなり、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる効果がある。実際には１分から２分程度の時間が必要であったものが１５秒程度の時間で計測することが可能となる。
【００２８】
また、燃料制御弁４，５を全閉した状態における瞬時的な流れをマイクロフローセンサチップ３４で検出しているので、従来のように空間に流体をためてその変化量を流量センサで検出したりする必要はなくなり、このような上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによらず確実に漏れを検出することができる。その結果、従来のような判別マージンを設定する必要がなくなり、マイクロフローセンサチップ３４本来の検出精度を有効に利用して、漏れを早期に且つ確実に検出することができる効果がある。そして、ガス供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合であっても安定且つ確実な漏れ判定を行うことができる。
【００２９】
更に、燃焼ガスの流量を測定するようにしているので、ガス供給管２内の圧力を一旦低下させることなく漏れを検出することができ、これを蒸気ボイラに適用した場合には最低でも約２パーセント程度の熱効率の改善効果を期待することができる効果がある。
【００３０】
この実施の形態１によれば、ガス供給管２に取り付けて当該ガス供給管２を閉塞可能なボール弁９と、当該ボール弁９の上流側と下流側とを燃焼ガスが通過可能に接続する分流管１２と、この分流管１２に設けられ、当該分流管１２中を流れる流体の流量を検出するマイクロフローセンサチップ３４と、上記ボール弁９に対して全閉制御信号を出力するとともに、当該ボール弁９の閉塞期間中に上記マイクロフローセンサチップ３４の検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別制御装置１４とを備えたので、上記ボール弁９を被検出対象たる第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の上流側に配設するとともに当該被検出対象たる第一燃料制御弁４あるいは第二燃料制御弁５を全閉制御することで、当該被検出対象たる第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の漏れを検出することができる効果がある。
【００３１】
この実施の形態１によれば、ボール弁９の閉塞期間以外のときには、マイクロフローセンサチップ３４の検出値を出力する漏れ判別制御装置１４を備えたので、通常運転中などにおいてはガス供給管２を流れる燃焼ガスの流量を当該検出値に基づいて把握することができる効果がある。
【００３２】
なお、この実施の形態１では漏れ検出の際に全閉制御される弁としてボール弁９を使用したが、本発明はこの弁に限られるものではない。
【００３３】
また、この実施の形態を説明するための参考例では図２に示すような分流孔１９，２０を設けた構成のボール弁９を使用したが、図５に示すように分流孔１９，２０を設けた構成のボール弁９であると本発明の効果を期待することができる。同図において、３６，３７はそれぞれ弁流路１６の周囲全周に渡って形成されるとともに、その弁ボール１７寄りの部位において当該弁流路１６に接続された環状空洞、３８，３９はそれぞれ弁流路１６と環状空洞３６，３７との接続位置に配設された多孔オリフィスプレートであり、各分流孔１９，２０はこの環状空洞３６，３７を介して弁流路１６に接続されている。
【００３４】
そして、このように分流孔１９，２０を環状空洞３６，３７を介して弁流路１６に接続することにより、ボール弁９の周囲に発生する乱流に起因して分流管１２に流入する燃焼ガスの流入量（すなわち分流比）が変動してしまうことを防止することができ、ひいてはマイクロフローセンサチップ３４の検出精度や検出信号の変動、流量表示の変動を抑制することができる。特に、この実施の形態１のように分流路１６に配設されたマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を利用して通常運転中の燃焼ガス流量を測定するような場合、その燃焼ガスの流量の絶対値が大きくなり、上記乱流が顕著に発生してしまうので１０％程度の測定精度の悪化が生じてしまうが、このような構造とすることによりその問題を解決することができる。
【００３５】
なお、この実施の形態１では漏れ判別制御装置１４と燃焼制御装置７との間で直接信号を交信する場合を例として説明したが、必ずしもこのような構成である必要は無く、漏れ判別制御装置１４と燃焼制御装置７とを別々の独立した制御系として形成し、燃焼制御装置７の非燃焼制御期間を認知して漏れ判別制御装置１４をマニュアル動作させることでも同様の効果を期待することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、流体が通過する流路に設けられ、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断するので、被検査対象たる流量制御弁を全閉制御すれば流量センサの検出値に基づいて上記流量制御弁の漏れを検出することができる。
【００３７】
従って、従来のように所定時間経過後のタイミングでなければ判別を行うことができないなどの制約が無くなり、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる効果がある。
【００３８】
また、流量制御弁を全閉した状態における瞬時的な流れを流量センサで検出しているので、従来のように空間に流体をためてその変化量を流量センサで検出したりする必要はなくなり、このような上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによらず確実に漏れを検出することができる。その結果、従来のような判別マージンを設定する必要がなくなり、圧力センサ本来の検出精度を有効に利用して、漏れを早期に且つ確実に検出することができる効果がある。そして、ガス供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合であっても安定且つ確実な漏れ判定を行うことができる。ひいては、プレパージをなくして空気による冷却損失を少なくすることができ、その程度は蒸気ボイラで２％ほどの効率改善が可能となるものである。
更に、流体の流量を測定するようにしているので、ガス消費量の管理ができる。
【００３９】
この発明によれば、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、当該検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを当該流体通過可能に接続する分流管と、この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えたので、上記検査用制御弁を被検出対象たる流量制御弁の上流側に配設するとともに当該被検出対象たる流量制御弁を全閉制御することで、当該被検出対象たる流量制御弁の漏れを検出することができる効果がある。それによりプレパージを無くして消費エネルギーの削減効果をも期待することができる。
【００４０】
この発明によれば、検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたので、通常運転中などにおいては当該流路を流れる流体の流量を当該検出値に基づいて把握することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１による流量制御弁の漏れ検査装置を利用した燃焼装置の構成を示す構成図である。
【図２】 この発明の実施の形態を説明するための参考例によるボール弁の構成を示す一部切欠断面図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による流量センサの構成を示す断面図である。
【図４】 この発明の実施の形態１による燃焼装置の一連の動作を自動実行する場合の動作例を示すフローチャートである。
【図５】 この発明の実施の形態１による他のボール弁の構成示す一部切欠断面図である。
【図６】 従来の流量制御弁の漏れ検査機能を備えた燃焼装置の構成を示す構成図である。
【発明の属する技術分野】
この発明はガスや液体などの流体が通過する流路に設けられた流体制御弁の漏れを検出する流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置に係り、特に、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる流量制御弁の漏れ検査方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来の流量制御弁の漏れ検査機能を備えた燃焼装置の構成を示す構成図である。図において、１は燃焼ガスと外気とを混合して燃焼する燃焼装置、２はこの燃焼装置１に燃焼ガスを供給するガス供給管、３は燃焼装置１に外気を供給する外気供給管、４はガス供給管２の途中に設けられた第一燃料制御弁、５はこの第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の下流側に設けられた第二燃料制御弁、６は外気供給管３の途中に設けられた外気制御弁、４０はこれら３つの制御弁４，５，６を制御して上記燃焼装置１の燃焼を制御する燃焼制御装置である。
【０００３】
また、４１は第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５との間のガス供給管２のガス圧を検出する第一圧力センサ、４２は第一燃料制御弁４よりも上流側のガス供給管２のガス圧を検出する第二圧力センサ、４３は燃焼制御装置４０の一部として設けられ、第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５を制御するとともにこれら２つの圧力センサ４１，４２の検出圧力値に応じてこれら２つの燃料制御弁４，５の漏れを検出する漏れ検出制御装置である。
【０００４】
次に動作について説明する。
燃焼制御装置４０は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５および外気制御弁６それぞれを適当な開度に制御し、燃焼装置１において燃焼ガスと外気との混合気を燃焼する。このような燃焼が行われる一方で、燃焼停止期間において第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れの検出動作が実行される。
【０００５】
まず、第一燃料制御弁４を閉じるとともに第二燃料制御弁５および外気制御弁６を開き、第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５との間の第一圧力センサ４１が設けられた空間内の燃焼ガスを排気する。次に、第二燃料制御弁５を完全に閉じた後第一燃料制御弁４を開き、所定の時間の後に第一圧力センサ４１の圧力値が所定の漏れ判別値よりも小さいか否かを判別し、小さい場合には第二燃料制御弁５に漏れがあると判定する。更に、引き続いて第一燃料制御弁４を閉じた後第二燃料制御弁５を開き、所定の時間の後に第一圧力センサ４１の圧力値が所定の漏れ判別値よりも小さいか否かを判別し、小さい場合には第一燃料制御弁４に漏れがあると判定する。
【０００６】
なお、第二圧力センサ４２は、ガス供給管２内の圧力が所定の検出可能圧力レベルよりも低下したか否かを判別するために設けられたものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の流量制御弁の漏れ検査装置は以上のように構成されているので、第一圧力センサ４１が設けられた空間内の流体量が所定期間内に所定量変化することを検出し、この検出に応じて流体制御弁の漏れを判別することとなる。従って、漏れが生じている場合に予測される当該空間内の流体量の所定量変化に要する時間だけ待った後のタイミングでなければ、当該判別を行うことができないなどの課題があった。
【０００８】
また、実際にこのような従来の流量制御弁の漏れ検査装置を設置するにあたっては、上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによって上記圧力センサの所定時間後の検出値が変動してしまうため、これらの要因によらず確実に漏れを検出できるように上記検出タイミングを設定する必要がある。その結果、この変動要因に対するマージンによって実際の漏れの検出精度が悪化し、圧力センサ本来の検出精度を有効に利用することができず、漏れを早期に検出することができないなどの課題もあった。特に、供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合、上記圧力センサの圧力値に基づいて安定且つ確実な漏れ判定を行うことができなかった。
【０００９】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、従来よりも短時間に流量制御弁の漏れを検査することができる漏れ検査方法およびその装置を得ることを目的とする。
【００１０】
また、これと同時に、空間容積の設計値との差異などによらず確実に漏れを検出することができ、圧力センサなどの検出手段の本来の検出精度を有効に利用して早期に漏れを検出することができる漏れ検査方法およびその装置を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査方法は、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、上記分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサとを有し、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断するものである。
【００１２】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査装置は、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えたものである。
【００１３】
この発明に係る流量制御弁の漏れ検査装置は、検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による流量制御弁の漏れ検査装置を利用した燃焼装置の構成を示す構成図である。図において、１は燃焼ガス（流体）と外気（空気）とを混合して燃焼する燃焼装置、２はこの燃焼装置１に燃焼ガスを供給するガス供給管（流路）、３は燃焼装置１に外気（空気）を供給する外気供給管、４はガス供給管２の途中に設けられた第一燃料制御弁（流量制御弁）、５はこの第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の下流側に設けられた第二燃料制御弁（流量制御弁）、６は外気供給管３の途中に設けられた外気制御弁、７はこれら３つの制御弁４，５，６を制御して上記燃焼装置１の燃焼を制御する燃焼制御装置、８ａは燃焼制御装置７に燃焼状態などを設定する入力キー、８ｂは燃焼装置１による燃焼状態情報などを表示する表示装置である。
【００１５】
また、９は第一燃料制御弁４よりもガス供給管２の上流側に設けられ、当該ガス供給管２を閉塞可能なボール弁（検査用制御弁）、１０は当該ボール弁９の全開状態を検出して全開信号を出力する全開リミットスイッチ、１１は当該ボール弁９の全閉状態を検出して全閉信号を出力する全閉リミットスイッチ、１２はこのボール弁９の上流側と下流側とを接続する分流管、１３はこの分流管１２に設けられ、当該分流管１２中を流れる流体の流量を検出して流量信号を出力する流量センサ、１４は前面パネルに漏れ表示ランプ１４ａ、ボール弁開設定スイッチ１４ｂ、ボール弁閉設定スイッチ１４ｃ、流量情報表示部材１４ｄなどを備え、上記第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９を制御するとともに全開信号、全閉信号および流量信号が入力され、これに応じて第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の漏れを判別して漏れ判別信号などを燃焼制御装置７に出力する漏れ判別制御装置（漏れ判別手段、流量出力手段）である。
【００１６】
図２はこの実施の形態を説明するための参考例によるボール弁９の構成を示す一部切欠断面図である。図において、１５はハウジング、１６はハウジング１５に開設された弁流路、１７は略球形状に形成されてこの弁流路１６の途中に回動可能に配設され、且つ、貫通孔１７ａが開設された弁ボール、１８はハウジング１５に固定され、弁ボール１７をその貫通孔１７ａが弁流路１６と連通／閉塞されるように回転させるモータである。そして、この弁ボール１７の貫通孔１７ａを弁流路１６と連通することで燃焼ガスを供給し、閉塞することで燃焼ガスの供給を停止することができる。
【００１７】
また、弁流路１６はガス供給管２の挿入位置に隣接する位置は当該ガス供給管２の内径と同径に形成される一方で、上記弁ボール１７が配設される周囲はそれよりも小さい内径に形成されており、この小さい内径に隣接する位置に上記分流管１２が接続される一対の分流孔１９，２０が開設されている。このように間の内径を細くしその脇に一対の分流孔１９，２０が開設を開設することにより、上流側と下流側との間に差圧を発生させて燃焼ガスを弁流路１６と分流管１２とに適当に分配することができる。
【００１８】
図３はこの発明の実施の形態１による流量センサ１３の構成を示す断面図である。図において、２１は流量センサ１３の本体ブロック、２２は本体ブロック２１を貫通するとともにその途中で一部が本体ブロック２１の一側面に露出するように形成された屈曲貫通孔、２３，２４はガス供給管２を本体ブロック２１に固定するための配管取付フランジ、２５，２６は本体ブロック２１と配管取付フランジ２３，２４との間からのガス漏れを防止するＯリング、２７はネジ２８，２９によって上記屈曲貫通孔２２を塞ぐように本体ブロック２１にネジ止めされたセンサ取り付けカバー、３０，３１はそれぞれ上記屈曲貫通孔２２の露出部位に介装された整流金網、３２はセンサ取り付けカバー２７の外側面に固定されるブラケット、３３はこのブラケット３２によって上記整流金網３０，３１の間の屈曲貫通孔２２に露出するように固定されるセンサ基板、３４はこのセンサ基板３３の露出面にマウントされたマイクロフローセンサチップ（流量センサ）、３５はマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を漏れ判別制御装置１４に出力するためのリード線である。そして、このように分流管１２の間に配設された屈曲貫通孔２２内を燃焼ガスが流動すると、この流量に応じた検出信号がマイクロフローセンサチップ３４から出力され、この検出信号に基づいて演算される燃焼ガスの流量値が漏れ判別検出装置１４の流量情報表示部材１４ｄに表示されるとともに漏れ判別検出装置１４を介して燃焼制御装置７に伝達される。
【００１９】
なお、上記のマイクロフローセンサチップ３４としては例えば本願出願人が特開平４−２３０８０８号公報で開示した微細ダイヤフラム構造の流速センサを用いると、高精度かつ高速応答で流速（流量）を計測することができる。
【００２０】
次に動作について説明する。
弁ボール１７の貫通孔１７ａと弁流路１６とが連通した状態で、燃焼制御装置７は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５および外気制御弁６それぞれを適当な開度に制御する。その結果、燃焼装置１ではガス供給管２から圧送される燃焼ガスと外気供給管３から圧送されてくる外気とを適当な混合比で混合し、これを燃焼する。また、入力キー８ａを用いてこの燃焼状態を変更することもできる。そして、この燃焼により例えば還流ボイラの蒸気圧力が適当な圧力となったら燃焼を停止し、逆に還流ボイラの蒸気圧力が所定の圧力以下になったら燃焼を再開する。
【００２１】
このような燃焼の停止／再開が燃焼制御装置７で繰り返される一方で、例えば燃焼再開直前などの非燃焼制御時には燃焼制御装置７から漏れ判別制御装置１４へ非燃焼制御状態を示す信号が出力され、この非燃焼制御状態を示す信号が出力されている期間内において漏れ判別制御装置１４が動作し、第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れを検出する。
【００２２】
具体的には例えば、まず、漏れ判別制御装置１４は、第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９に対して全閉信号を出力する。次に、このように第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５およびボール弁９が全閉の状態において、漏れ判別制御装置１４はマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を取得し、この検出信号に含まれる流量値が所定の漏れ検出基準値（例えば毎時１．５リットル）よりも大きいか否かを判断する。最後に、この検出流量値が漏れ検出基準値よりも大きい場合には、燃焼制御装置７に対して漏れ検出信号が出力されてそれ以降の燃焼動作が強制的に終了されるとともに漏れ表示ランプ１４ａが点灯あるいは点滅される。これにより、第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５とのうちのいずれか一方に漏れがある場合にはそれを検出することができる。
【００２３】
なお、ここでは第一燃料制御弁４と第二燃料制御弁５とを一度に且つ短時間で検査する場合の例について説明したが、これらを分けて個別に検査するようにしてもよい。また、この漏れ検出動作は予め設定されたタイミングで自動的に動作するようにしても、漏れ判別制御装置１４の前面のパネルのボール弁開設定スイッチ１４ｂ、ボール弁閉設定スイッチ１４ｃなどを操作することで適宜動作するようにすることもできる。
【００２４】
図４はこのような燃焼装置の一連の動作を自動実行する場合の動作例を示すフローチャートである。図において、ＳＴ１は燃焼装置１の運転開始、電源投入ステップであり、ＳＴ２は上記漏れ判別制御装置１４による第一燃料制御弁４の漏れおよび第二燃料制御弁５の漏れの検出動作を行う漏れ許容値内判別ステップであり、ＳＴ３は漏れが許容値内で無かった場合に実行されるステップであって、上記漏れ表示ランプ１４ａや表示装置８ｂにおいて警報ランプ点灯処理を行う警報ステップであり、ＳＴ４は燃焼制御装置７や漏れ判別制御装置１４がこの漏れに応じた緊急対応処理を実施する対応処理ステップである。そして、上記漏れ許容値内判別ステップＳＴ２において漏れが許容値内であると判断されるまで、以上の緊急対応処理が実施され続ける。
【００２５】
ＳＴ５は漏れ許容値内判別ステップＳＴ２において漏れが許容値内である場合に実行されるステップであって、燃焼動作を開始するためのスイッチなどがオンされる起動開始ステップであり、ＳＴ６はボール弁開設定スイッチ１４ｂの操作などに応じてボール弁９の開制御などを行う初期設定ステップであり、ＳＴ７は燃焼制御装置７の制御信号に応じて第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５、外気制御弁６などの開度制御を行う遮断弁開制御ステップであり、ＳＴ８は漏れ判別制御装置１４の流量情報表示部材１４ｄにおいて燃焼ガスの流量表示を開始する流量計測開始ステップであり、ＳＴ９はボール弁閉設定スイッチ１４ｃの操作などに応じてボール弁９の閉制御などを行う終了設定ステップであり、ＳＴ１０はボール弁９を閉制御する一方で第一燃料制御弁４、第二燃料制御弁５、外気制御弁６などを閉制御する終了設定ステップであり、ＳＴ１１は燃焼制御装置７における燃焼制御を終了し、電源を自動遮断する終了ステップである。
【００２６】
以上のように、この実施の形態１によれば、第一燃料制御弁４および第二燃料制御弁５を全閉制御するとともに、当該燃料制御弁４，５よりもガス供給管２の上流側に配設されたマイクロフローセンサチップ３４の検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記全閉制御した燃料制御弁４，５に漏れが生じていると判断するので、被検査対象たる燃料制御弁４，５を全閉制御すればマイクロフローセンサチップ３４の検出値に基づいて上記燃料制御弁４，５の漏れを検出することができる。
【００２７】
従って、従来のように所定時間経過後のタイミングでなければ漏れの判別を行うことができないなどの制約が無くなり、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる効果がある。実際には１分から２分程度の時間が必要であったものが１５秒程度の時間で計測することが可能となる。
【００２８】
また、燃料制御弁４，５を全閉した状態における瞬時的な流れをマイクロフローセンサチップ３４で検出しているので、従来のように空間に流体をためてその変化量を流量センサで検出したりする必要はなくなり、このような上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによらず確実に漏れを検出することができる。その結果、従来のような判別マージンを設定する必要がなくなり、マイクロフローセンサチップ３４本来の検出精度を有効に利用して、漏れを早期に且つ確実に検出することができる効果がある。そして、ガス供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合であっても安定且つ確実な漏れ判定を行うことができる。
【００２９】
更に、燃焼ガスの流量を測定するようにしているので、ガス供給管２内の圧力を一旦低下させることなく漏れを検出することができ、これを蒸気ボイラに適用した場合には最低でも約２パーセント程度の熱効率の改善効果を期待することができる効果がある。
【００３０】
この実施の形態１によれば、ガス供給管２に取り付けて当該ガス供給管２を閉塞可能なボール弁９と、当該ボール弁９の上流側と下流側とを燃焼ガスが通過可能に接続する分流管１２と、この分流管１２に設けられ、当該分流管１２中を流れる流体の流量を検出するマイクロフローセンサチップ３４と、上記ボール弁９に対して全閉制御信号を出力するとともに、当該ボール弁９の閉塞期間中に上記マイクロフローセンサチップ３４の検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別制御装置１４とを備えたので、上記ボール弁９を被検出対象たる第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の上流側に配設するとともに当該被検出対象たる第一燃料制御弁４あるいは第二燃料制御弁５を全閉制御することで、当該被検出対象たる第一燃料制御弁４や第二燃料制御弁５の漏れを検出することができる効果がある。
【００３１】
この実施の形態１によれば、ボール弁９の閉塞期間以外のときには、マイクロフローセンサチップ３４の検出値を出力する漏れ判別制御装置１４を備えたので、通常運転中などにおいてはガス供給管２を流れる燃焼ガスの流量を当該検出値に基づいて把握することができる効果がある。
【００３２】
なお、この実施の形態１では漏れ検出の際に全閉制御される弁としてボール弁９を使用したが、本発明はこの弁に限られるものではない。
【００３３】
また、この実施の形態を説明するための参考例では図２に示すような分流孔１９，２０を設けた構成のボール弁９を使用したが、図５に示すように分流孔１９，２０を設けた構成のボール弁９であると本発明の効果を期待することができる。同図において、３６，３７はそれぞれ弁流路１６の周囲全周に渡って形成されるとともに、その弁ボール１７寄りの部位において当該弁流路１６に接続された環状空洞、３８，３９はそれぞれ弁流路１６と環状空洞３６，３７との接続位置に配設された多孔オリフィスプレートであり、各分流孔１９，２０はこの環状空洞３６，３７を介して弁流路１６に接続されている。
【００３４】
そして、このように分流孔１９，２０を環状空洞３６，３７を介して弁流路１６に接続することにより、ボール弁９の周囲に発生する乱流に起因して分流管１２に流入する燃焼ガスの流入量（すなわち分流比）が変動してしまうことを防止することができ、ひいてはマイクロフローセンサチップ３４の検出精度や検出信号の変動、流量表示の変動を抑制することができる。特に、この実施の形態１のように分流路１６に配設されたマイクロフローセンサチップ３４の検出信号を利用して通常運転中の燃焼ガス流量を測定するような場合、その燃焼ガスの流量の絶対値が大きくなり、上記乱流が顕著に発生してしまうので１０％程度の測定精度の悪化が生じてしまうが、このような構造とすることによりその問題を解決することができる。
【００３５】
なお、この実施の形態１では漏れ判別制御装置１４と燃焼制御装置７との間で直接信号を交信する場合を例として説明したが、必ずしもこのような構成である必要は無く、漏れ判別制御装置１４と燃焼制御装置７とを別々の独立した制御系として形成し、燃焼制御装置７の非燃焼制御期間を認知して漏れ判別制御装置１４をマニュアル動作させることでも同様の効果を期待することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、流体が通過する流路に設けられ、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断するので、被検査対象たる流量制御弁を全閉制御すれば流量センサの検出値に基づいて上記流量制御弁の漏れを検出することができる。
【００３７】
従って、従来のように所定時間経過後のタイミングでなければ判別を行うことができないなどの制約が無くなり、従来よりも短時間にて当該漏れを検出することができる効果がある。
【００３８】
また、流量制御弁を全閉した状態における瞬時的な流れを流量センサで検出しているので、従来のように空間に流体をためてその変化量を流量センサで検出したりする必要はなくなり、このような上記空間容積の設計値との差異や流体の圧力の変動などによらず確実に漏れを検出することができる。その結果、従来のような判別マージンを設定する必要がなくなり、圧力センサ本来の検出精度を有効に利用して、漏れを早期に且つ確実に検出することができる効果がある。そして、ガス供給圧力が１ｋＰａから２．５ｋＰａまで変動することを許容しているような都市ガスを利用して燃焼を行う場合であっても安定且つ確実な漏れ判定を行うことができる。ひいては、プレパージをなくして空気による冷却損失を少なくすることができ、その程度は蒸気ボイラで２％ほどの効率改善が可能となるものである。
更に、流体の流量を測定するようにしているので、ガス消費量の管理ができる。
【００３９】
この発明によれば、流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、当該検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを当該流体通過可能に接続する分流管と、この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えたので、上記検査用制御弁を被検出対象たる流量制御弁の上流側に配設するとともに当該被検出対象たる流量制御弁を全閉制御することで、当該被検出対象たる流量制御弁の漏れを検出することができる効果がある。それによりプレパージを無くして消費エネルギーの削減効果をも期待することができる。
【００４０】
この発明によれば、検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたので、通常運転中などにおいては当該流路を流れる流体の流量を当該検出値に基づいて把握することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１による流量制御弁の漏れ検査装置を利用した燃焼装置の構成を示す構成図である。
【図２】 この発明の実施の形態を説明するための参考例によるボール弁の構成を示す一部切欠断面図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による流量センサの構成を示す断面図である。
【図４】 この発明の実施の形態１による燃焼装置の一連の動作を自動実行する場合の動作例を示すフローチャートである。
【図５】 この発明の実施の形態１による他のボール弁の構成示す一部切欠断面図である。
【図６】 従来の流量制御弁の漏れ検査機能を備えた燃焼装置の構成を示す構成図である。
Claims (3)
- 流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、上記分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサとを有し、この流路中の流体の流量を制御する流量制御弁の漏れ検査方法であって、
上記被検査対象たる流量制御弁を全閉制御するとともに、当該流量制御弁よりも上記流路の上流側に配設された流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には上記流量制御弁に漏れが生じていると判断する流量制御弁の漏れ検査方法。 - 流体が通過する流路に取り付けて当該流路を閉塞可能な検査用制御弁と、
上記検査用制御弁の上流側及び下流側それぞれの弁流路の周囲全周に渡って形成された環状空洞と、
上記弁流路と上記環状空洞との接続位置に配設され、上記環状空洞より上記検査用制御弁側にそれぞれに設けられた多孔オリフィスプレートと、
上記検査用制御弁の上記流路の上流側と下流側とを上記環状空洞を介して当該流体通過可能に接続する分流管と、
この分流管に設けられ、当該分流管中を流れる流体の流量を検出する流量センサと、
上記検査用制御弁の閉塞期間中に上記流量センサの検出値が所定の漏れ検出基準値よりも大きい場合には漏れ検出信号を出力する漏れ判別手段とを備えた流量制御弁の漏れ検査装置。 - 検査用制御弁が開いているときには、流量センサの検出値を出力する流量出力手段を備えたことを特徴とする請求項２記載の流量制御弁の漏れ検査装置。
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