JP4470717B2 - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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- 酸化物材料である被エッチング材料の表面をエッチングガスによる反応性イオンによりエッチングするプラズマエッチング方法において、
少なくともフッ素原子を含むガスを主成分とし、それらに不活性ガスやハロゲンガスを混合したフッ素含有プラズマを用いて、このプラズマにエッチング可能なセルフバイアス電圧を印加するエッチング工程と、
前記プラズマにエッチング可能なセルフバイアス電圧を印加しない若しくはエッチングが進行しない程度のセルフバイアス電圧を印加して、前記被エッチング材料表面を覆った金属製のエッチングマスクの表面改質を行う工程とを、
交互に繰り返してエッチングを行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 前記プラズマは、電子サイクロトロン共鳴を利用して発生させるものである請求項1記載のプラズマエッチング方法。
- 前記エッチングは、3MHz以下の高周波電力を負電極に印加して行うものであり、前記エッチングと前記表面改質の切り替えは、前記高周波電力の増減で制御するものである請求項1または2記載のプラズマエッチング方法。
- 前記被エッチング材料は、酸化物材料であるニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムであり、前記エッチングガスは六フッ化硫黄ガスまたはフロン14を含み、前記エッチングマスクの材料としてニッケルを用い、前記フッ素含有プラズマにはアルゴンまたはキセノンを混合したものである請求項3記載のプラズマエッチング方法。
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