JP4460749B2 - 感放射線性カラーフィルター用組成物 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製するのに好適な感放射線性カラーフィルター用組成物に関し、別の観点からすれば、塗布性に優れ現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れた感放射線性カラーフィルター用組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルターは液晶パネルに不可欠な構成部品である。表示装置としてCRTと比較するとコンパクトで性能面では同等以上でありテレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてCRTに置き換わりつつある。
しかし、液晶表示装置は価格が高く、CRTとの競争に打ち勝つためには、安価にすることが必須である。
【0003】
液晶表示装置の価格低減のためには、カラーフィルター、ガラス基板等各部品の価格ダウンの他、欠陥品を出さない得率向上が求められる。カラーフィルターの場合にはさらにカラーレジストの塗布液量削減が必要不可欠である。また、カラーフィルター製造の歩留りを向上させることも価格低減の1つの手段となり得る。その歩留りを向上させるためには、1回の処理でより多くのカラーフィルターを製造する必要があり、具体的には、より大型の基板上にカラーレジストを塗布して大型のカラーフィルターを製造し、その後所望の大きさに切断することにより行なうことができる。
しかしながら、そのまま塗布液量を削減したり、大型基板上に塗布すると塗布ムラが発生する。塗布ムラの多くは厚みムラであり、この克服のためには液の流動性を良くし、少量の液でも塗布ムラが出にくくすることが必要である。
塗布液の流動性を良好にする手段はポリマーの分子量を下げたり、溶剤への溶解性を上げることにより、塗布液の粘度を下げることが一般的である。しかし単に粘度を下げるだけでは塗布基板の中心部と周辺部で厚みムラが生じやすく問題であった。
【0004】
このように、カラーレジストの塗布液量削減や歩留り向上のためには、塗布液量が少なかったり、大型基板に塗布する場合であっても、厚みムラがなく均一に基板上に塗布し得ることが要望される。
【0005】
またカラーレジストには、露光後に行われる現像において、適正な現像時間の範囲が広いこと、即ち現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れることが一般的に求められている。しかし、上記のように一度に処理する面積が大きくなったり、表示パネルが大きくなるにつれ、基板の先頭部と終端部で現像液に浸っている時間差が大きくなり、現像時間に差が生じる。このため現像ムラが拡大してパターンの大きさが異なったりするので、より広い現像ラチチュードを有するカラーレジストが求められている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、塗布性に優れ、しかも現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れた感放射線性カラーフィルター用組成物を提供することにある。
また、ガラス基板にスピナー塗布するときガラス基板の平面性確保/回転での遠心力に抗するため、塗布ステージにスリット状あるいはリング状に開いた穴(チャック)から真空吸引して塗布ステージに密着させ固定させることが必要である。しかし、吸引跡が乾燥した基板上に残ることがある。これがチャック跡である。
本発明の更なる目的は、塗布性に優れ、しかも現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れ、更にチャック跡等の塗布故障が生じない感放射線性カラーフィルター用組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、下記構成の感放射線性カラーフィルター用組成物が提供されて、上記目的が達成される。
(1) (a)感放射線性成分、
(b)結着樹脂、
(c)下記一般式(A)〜(F)で表される化合物群から選択される少なくとも1種のノニオン系界面活性剤、
(d)顔料、及び
(e)溶剤
を含有することを特徴とする感放射線性カラーフィルター用組成物。
【0008】
【化3】
式中:
Styrylは、ph−CH=CH−を表す。ここで、phはフェニル基である。
benzylは、ph−CH2−を表す。ここで、phはフェニル基である。
POは、プロピレンオキサイドを表す。
EOは、エチレンオキサイドを表す。
一般式(A)において、nが1、mが8〜20の整数、そしてlが0〜5の整数である。一般式(B)において、nは1〜3、mは7〜30、lは0〜10である。
aは3〜100、bは15〜100、xは5〜100、そしてyは20〜100の範囲の整数をそれぞれ表す。しかも、a、b及びx、yは、それぞれ0.1≦a/b≦5、0.1≦x/y≦2を満たす。ここで、一般式(C)中に存在している2個のaは、同一のまたは異なった整数である。一般式(D)中に存在している2個のbは、同一のまたは異なった整数である。そして一般式(E)及び(F)中に存在している4個のx及びyは、それぞれ同一のまたは異なった整数である。
【0009】
(2)(c)ノニオン系界面活性剤が下記(ii)又は(iii)で示される化合物から選択される少なくとも1種であることを特徴とする前記(1)に記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
(ii)一般式(C)において、aが5〜50の整数、bが20〜70の整数であり、かつa、bが0.2≦a/b≦3.0を満たす化合物。
(iii)一般式(E)において、xが5〜50の整数、yが20〜70の整数であり、かつx、yが0.2≦x/y≦1.0を満たす化合物。
(3)前記ノニオン系界面活性剤の含有量が、組成物全重量に対して0.05〜2重量%であることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
(4)(d)顔料の含有量が固形物重量に対して25重量%以上であり、かつ全固形分含有量が組成物全重量に対して20重量%以上であることを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれかに記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
(5)(b)結着樹脂が、酸価が20〜100の範囲にあり、かつ水酸基価が30〜100の範囲にあるアクリル系共重合体であることを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれかに記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
本発明は、上記(1)〜(5)に係る発明であるが、以下、他の事項も含めて説明している。
(6)(a)感放射線性成分、(b)結着樹脂、
(c’)下記一般式(G)、(H)及び(J)で表される化合物群から選択される少なくとも1種のノニオン系界面活性剤、
(d)顔料、及び
(e)溶剤
を含有することを特徴とする感放射線性カラーフィルター用組成物。
【0010】
【化4】
【0011】
式中:
Styrylは、ph−CH=CH−を表す。ここで、phはフェニル基である。
benzylは、ph−CH2−を表す。ここで、phはフェニル基である。
POは、プロピレンオキサイドを表す。
EOは、エチレンオキサイドを表す。
pは2又は3、rは5〜25、sは8〜30、tは3〜20の整数をそれぞれ表す。(PO/EO)qは、上記POとEOとが共存し、POとEOの存在割合(モル比率)が0/10〜10/1の範囲にあり、qはPOとEOの合計個数を表し、5〜20の整数を表す。
R1あるいはR2は、各々独立に炭素数1〜19個の炭化水素基を表す。
(7) (c’)ノニオン系界面活性剤が下記(i)〜(iii)で示される化合物から選択される少なくとも1種であることを特徴とする前記(6)に記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
(i)一般式(G)において、pが3、rが7〜15の整数、そして(PO/EO)qは、POとEOの存在割合(モル比率)が1/5〜1/1の範囲にあり、qは6〜15の整数を表す化合物。
(ii)一般式(H)において、pが3、sが10〜20の整数である化合物。
(iii)一般式(J)において、tが3〜15の整数である化合物。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物に用いられる配合成分、該組成物の使用方法について説明する。
【0013】
カラーフィルターを形成するための本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物は,(a)感放射線性成分,(b)結着樹脂、(c)あるいは(c’)特定構造のノニオン系界面活性剤、(d)顔料、および(e)溶剤から主として構成される。
【0014】
〔I〕(a)感放射線性成分
本発明の組成物に用いられる感放射線性成分として、下記(イ),(ロ),(ハ)の感放射線性成分を挙げることができる。
(イ)少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物。
(ロ)ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−s−トリアジン化合物から選択された少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、および3−アリール置換クマリン化合物。
(ハ)少なくとも1種のロフィン2量体。
ここで、(ロ)と(ハ)は光重合開始剤であり,感放射線性成分の重合成分を光照射によって重合させる作用を有するものである。従って、(a)感放射線性成分は、(ロ)と(ハ)の少なくともいずれかを含有することが好ましい。
【0015】
上記(イ)少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリ(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることが出来る。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
【0016】
また、上記した多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化した化合物が、特開平10−62986号公報に一般式(1)及び(2)としてその具体例と共に記載されており、これらは(イ)成分として用いることができる。
【0017】
これらの放射線重合性モノマーまたはオリゴマーは、本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物が放射線の照射により接着性を有する塗膜を形成し得るならば,本発明の目的および効果を損なわない範囲で任意の割合で使用できる。使用量は、感放射線性カラーフィルター用組成物の全固形分の5〜90重量%、好ましくは10〜50重量%である。ここで、全固形分とは、組成物を構成する全成分から溶媒を除いた残りの成分をいう。
【0018】
(ロ)のハロメチルオキサジアゾールやハロメチル−s−トリアジン等の活性ハロゲン化合物の内、ハロメチルオキサジアゾール化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の下記一般式IVで示される2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物が挙げられる。
【0019】
【化5】
【0020】
一般式IV中:
Wは、置換された又は無置換のアリール基を、Xは水素原子、アルキル基又はアリール基を表す。
Yは、弗素原子、塩素原子又は臭素原子を表す。
nは、1〜3の整数を表す。
一般式IVの具体的な化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。
上記ハロメチル−s−トリアジン系化合物の光重合開始剤としては、特公昭59−1281号公報に記載の下記一般式Vに示されるビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の下記一般式VIに示される2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物及び下記一般式VIIで示される4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物が挙げられる。
【0021】
【化6】
【0022】
一般式V中:
Qは、Br又はClを表す。
Pは、−CQ3(Qは上記と同義である)、−NH2、−NHR、−N(R)2、又は−OR(ここで、Rはフェニル又はアルキル基を示す)を表す。
Wは、置換されていてもよい芳香族基、置換されていてもよい複素環式基、又は下記一般式VAで表される一価の基を表す。
【0023】
【化7】
【0024】
一般式VA中、Zは−O−又は−S−であり、Rは上記と同義である。
【0025】
【化8】
【0026】
一般式VI中:
Xは、Br又はClを表す。
m、nは0〜3の整数である。
R'は、下記一般式VIAで示され基を表す。
【0027】
【化9】
【0028】
(上記一般式VIA中、R1は水素原子又はORc(Rc はアルキル、シクロアルキル、アルケニル、アリール基)、R2はCl,Br、アルキル、アルケニル、アリール、又はアルコキシ基を表す。)
【0029】
【化10】
【0030】
一般式VII中:
R1、R2は、同一または異なって、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、下記一般式VIIA又はVIIBで示される基を表す。
R3、R4は、同一または異なって、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基を表す。
X、Yは、同一または異なって、Cl又はBrを表す。
m、nは、同一または異なって、0、1又は2を表す。
【0031】
【化11】
【0032】
一般式VIIA及びVIIB中、R5、R6、R7は、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基を表す。置換アルキル基及び置換アリール基における置換基の例としては、フェニル基等のアリール基、ハロゲン原子、アルコキシ基、カルボアルコキシ基、カルボアリールオキシ基、アシル基、ニトロ基、ジアルキルアミノ基、スルホニル誘導体等が挙げられる。
【0033】
一般式VIIにおいて、R1とR2がそれらと結合している窒素原子と共に非金属原子からなる異節環を形成してもよく、その場合、異節環としては下記に示されるものが挙げられる。
【0034】
【化12】
【0035】
一般式Vの具体的な例としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン等が挙げられる。
【0036】
一般式VIの具体的な例としては、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン等が挙げられる。
【0037】
一般式VIIの具体例としては、4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、等が挙げられる。
【0038】
これら開始剤には以下の増感剤を併用することができる。その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物が挙げられる。
【0039】
(ロ)における上記3−アリール置換クマリン化合物は、下記一般式VIIIで示される化合物である。
【0040】
【化13】
【0041】
R8は水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基(好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基)を、R9は水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、下記一般式VIIIAで示される基(好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、一般式VIIIAで示される基、特に好ましくは一般式VIIIAで示される基)を表す。
R10、R11はそれぞれ水素原子、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のハロアルキル基(例えばクロロメチル基、フロロメチル基、トリフロロメチル基など)、炭素数1〜8のアルコキシ基(例えばメトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、置換されてもよい炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル基)、アミノ基、−N(R16)(R17)、ハロゲン原子(例えばCl、Br,F)を表す。好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、メトキシ基、フェニル基、−N(R16)(R17)、Clである。
R12は、置換されてもよい炭素数6〜16のアリール基(例えばフェニル基、ナフチル基、トリル基、クミル基)を表す。置換基としてはアミノ基、−N(R16)(R17)、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のハロアルキル基(例えばクロロメチル基、フロロメチル基、トリフロロメチル基など)、炭素数1〜8のアルコキシ基(例えばメトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、ヒドロキシ基、シアノ基、ハロゲン原子(例えばCl、Br,F)が挙げられる。
R13、R14、R16、R17は、同一または異なって、それぞれ水素原子、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)を表す。R13とR14及びR16とR17は、互いに結合し窒素原子とともに複素環(例えばピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、ピラゾール環、ジアゾール環、トリアゾール環、ベンゾトリアゾール環等)を形成してもよい。
R15は、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のアルコキシ基(例えばメトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、置換されてもよい炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル基)、アミノ基、N(R16)(R17)、ハロゲン原子(例えばCl、Br,F)を表す。Zbは=O、=Sあるいは=C(R18)(R19)を表す。好ましくは=O、=S、=C(CN)2であり、特に好ましくは=Oである。R18、R19は、同一または異なって、シアノ基、−COOR20、−COR21を表す。R20、R21はそれぞれ炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のハロアルキル基(例えばクロロメチル基、フロロメチル基、トリフロロメチル基など)、置換されてもよい炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル基)を表す。
【0042】
特に好ましい3−アリール置換クマリン化合物は一般式IXで示される{(s−トリアジン−2−イル)アミノ}−3−アリールクマリン化合物類である。
【0043】
【化14】
【0044】
(ハ)ロフィン二量体は2個のロフィン残基からなる2,4,5−トリフェニルイミダゾリル二量体を意味し、その基本構造を下記に示す。
【0045】
【化15】
【0046】
その具体例としては、2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体等が挙げられる。
【0047】
本発明では、以上の開始剤の他に他の公知のものも使用することができる。米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物。
【0048】
開始剤の使用量は、感放射線性カラーフィルター用組成物の全固形分の0.01重量%〜10重量%、好ましくは1重量%〜8重量%である。開始剤の使用量が0.01重量%より少ないと重合が進み難く、また、10重量%を超えると重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなる。
【0049】
(a)感放射線性成分は,感放射線性カラーフィルター用組成物中、該組成物の全固形分の10〜80重量%,特に20〜70重量%の割合で配合されることが好ましい。
【0050】
〔II〕(b)結着樹脂
結着樹脂としては、酸価が20〜100の範囲にあり、かつ水酸基価が30〜100の範囲にある結着樹脂としてのアクリル系共重合体が好ましい。
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物では、好ましい結着樹脂として、酸価が20〜100、好ましくは25〜70(KOHmg/gポリマー)の範囲にあり、かつ水酸基価が30〜100、好ましくは40〜80(KOHmg/gポリマー)の範囲にあるアクリル系共重合体(以下、「(b)アクリル系結着樹脂」ともいう」が用いられる。
結着樹脂としてこのような(b)アクリル系結着樹脂を、後に詳述する特定構造の(c)及び/又は(c’)ノニオン界面活性剤と組み合わせて用いることにより、本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物が塗布性に優れ、しかも現像適正域(現像ラチチュード)が広くなるという相乗効果を奏する。チャック跡が発生する場合には(c’)ノニオン界面活性剤を用いると、更にチャック跡発生の防止に効果がある。
【0051】
(b)アクリル系結着樹脂は、上記の酸価及び水酸基価を満たし、後記する(e)溶剤に溶解し、かつ皮膜を形成して結着樹脂として機能するアクリル系共重合体であれば、特に制限されずに用いることができる。
【0052】
好ましい(b)アクリル系結着樹脂の構成単位として、(メタ)アクリル酸と、ヒドロキシ基含有(メタ)アクリレートと、これら単量体と共重合可能な他の単量体との共重合体が挙げられる。
好ましいヒドロキシ基含有(メタ)アクリレートとして、ヒドロキシアルキルアクリレート及びヒドロキシアリールアクリレートを挙げることができる。
上記ヒドロキシアルキルアクリレートのアルキル基は、炭素数が2〜12であることが好ましい。また、アルキル基は、直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよく、その水素原子が置換基で置換されていてもよい。該置換基としては、アリール基、ハロゲン基、フェニル基、アルコキシル基等を挙げることができる。アルキル基の具体例としては、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、シクロヘキシル基、ベンジル基等が挙げられる。
また、ヒドロキシアリールアクリレートのアリール基は、炭素数が6〜12であることが好ましい。また、アリール基は、その水素原子が置換基で置換されていてもよい。該置換基としては、アルキル基、アリール基、ハロゲン基、フェニル基、アルコキシル基等を挙げることができる。アリール基の具体例としては、フェニル基、トリル基、ナフチル基、ベンジル基等を挙げることができる。
特に好ましいヒドロキシ基含有(メタ)アクリレートは、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシn−プロピル(メタ)アクリレート、及びヒドロキシn−ブチル(メタ)アクリレートである。
上記ヒドロキシ基含有(メタ)アクリレートは、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0053】
(メタ)アクリル酸やヒドロキシ基含有(メタ)アクリレートと共重合可能な他の単量体としては、アルキル(メタ)アクリレート、アリ−ル(メタ)アクリレートやビニル化合物等が挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。置換基としては、ヒドロキシアルキルアクリレート及びヒドロキシアリールアクリレートについて述べたアルキル基やアリール基の置換基が挙げられる。
上記アルキル(メタ)アクリレート及びアリ−ル(メタ)アクリレートの具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート等を挙げることができる。
また、上記ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等を挙げることができる。
特に好ましい共重合可能な他の単量体は、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジルアクリレート、及びスチレンである。
これら共重合可能な他の単量体は、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0054】
特に好ましい(b)アクリル系結着樹脂は、(メタ)アクリル酸と、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシn−プロピル(メタ)アクリレート、及びヒドロキシn−ブチル(メタ)アクリレートから選択される少なくとも1種の単量体と、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジルアクリレート、及びスチレンから選択される少なくとも1種の単量体との共重合体である。
【0055】
(b)アクリル系結着樹脂は、既に述べたように、20〜100の範囲の酸価及び30〜100の範囲の水酸基価を有する。酸価及び水酸基価の少なくともいずれかが100を越えた場合、(b)アクリル系結着樹脂がアルカリに対する溶解性が大きくなりすぎて現像適正範囲(現像ラチチュード)が狭くなる。一方、20あるいは30未満と小さすぎると、アルカリに対する溶解性が小さく現像に時間がかかり過ぎ好ましくない。
また、(b)アクリル系結着樹脂の重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)は、カラーレジストを塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するために、また膜強度を確保するために、5,000〜100,000であることが好ましく、より好ましくは8,000〜50,000である。
【0056】
(b)アクリル系結着樹脂の酸価及び水酸基価を上記で特定した範囲とするには、各単量体の共重合割合を適切に調整することに容易に行うことができる。
また、重量平均分子量の範囲を上記範囲とするには、単量体の共重合の際に、重合方法に応じた連鎖移動剤を適切な量使用することにより容易に行うことができる。
(b)アクリル系結着樹脂は、例えばそれ自体公知のラジカル重合法により製造することができる。ラジカル重合法で(a)アクリル系結着樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者であれば容易に設定することができるし、実験的に条件を知ることもできる。
【0057】
本発明の組成物中の(b)結着樹脂の量は、組成物の全固形分の5〜90重量%であることが好ましく、より好ましくは10〜60重量%である。
(b)結着樹脂の量が5重量%より少ないと膜強度が低下し、また、90重量%より多いと、酸性分が多くなるので、溶解性のコントロールが難しくなり、又相対的に顔料が少なくなるので十分な画像濃度が得られない。
【0058】
〔III〕(c)及び/又は(c’)ノニオン系界面活性剤
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物には、前記一般式A〜Fで表される化合物群から選択される少なくとも1種のノニオン系界面活性剤が含有される。これにより、カラーレジストの塗布性を改良し、塗布ムラが解消される。
また、本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物には、前記一般式G〜Jで表される化合物群から選択される少なくとも1種のノニオン系界面活性剤が含有される。これにより、カラーレジストの塗布性を改良し、塗布ムラ、更にチャック跡が解消される。
チャック跡の原因はステージの接触部と非接触部とで温度の伝達が異なるので、乾燥途中で液/基板に温度差が生じ、乾燥ムラが起こるためと推定される。これを防止するための一つの方法は乾燥中に液がレベリングしない方がよいと考えられる。一方、厚みムラ防止のためには液がスピン等の時には流動性が良好で平滑になるものが好ましい。即ち、大きなせん断が液にかかるときに(スピン時)は、流動性が良好で、せん断が小さい時には(静止時あるいは乾燥時等)流動性が小さいことが必要な特性となる。このために結着樹脂、界面活性剤の選定が重要な因子となることに着目し、本発明に至ったものである。
【0059】
また、このような特定構造の(c)又は(c’)ノニオン系界面活性剤をカラーレジストに添加することにより、剪断がかかったときに液内部の摩擦力を下げる役割を果たし、塗布時に液にかかる剪断により流動性をあげて塗布物の膜厚均一性を向上させる。また液の表面張力を下げ、基板上への液の広がり性を向上させる。
【0060】
以下、一般式A〜F、G〜Jについてさらに説明する。
(1)一般式A及びBにおいて;
nは、1〜3の整数、好ましくは1である。mは、7〜30、好ましくは8〜20の整数である。lは、0〜10、好ましくは0〜5の整数である。
【0061】
(2)一般式C及びDにおいて;
aは、3〜100、好ましくは5〜50の整数である。bは15〜100、好ましくは20〜70の整数である。そしてa及びbは、0.1≦a/b≦5、好ましくは0.2≦a/b≦3を満たす。
ここで、一般式C中に存在している2個のaは、同一のまたは異なった整数である。また、一般式D中に存在している2個のbは、同一のまたは異なった整数である。即ち、一般式Cには、エチレンオキサイドブロックが2個存在しているが、各2個のブロックを構成するエチレンオキサイド単位の数は、同一でも異なっていてもよい。また、一般式Dには、プロピレンオキサイドブロックが2個存在しているが、各2個のブロックを構成するプロピレンオキサイド単位の数は、同一でも異なっていてもよい。
【0062】
(3)一般式E及びFにおいて;
xは、5〜100、好ましくは5〜50の整数である。yは、20〜100の整数である。そしてx、yは、0.1≦x/y≦2、好ましくは0.2≦x/y≦1を満たす。
ここで、一般式E及びF中に存在している4個のx及びyは、それぞれ同一のまたは異なった整数である。即ち、一般式E、Fには、エチレンオキサイドブロックが4個存在しているが、各4個のブロックを構成するエチレンオキサイド単位の数は、同一でも異なっていてもよい。また、一般式E、Fには、プロピレンオキサイドブロックが4個存在しているが、各4個のブロックを構成するプロピレンオキサイド単位の数は、同一でも異なっていてもよい。
【0063】
(4)一般式G、H及びJにおいて;
pは、2又は3、好ましくは3である。rは、5〜25、好ましくは8〜15の整数である。(PO/EO)qは、上記POとEOとが共存し、POとEOの存在割合(モル比率)が0/10〜10/1の範囲、好ましくは2/8〜5/5にあり、qはPOとEOの合計個数を表し、5〜20の整数、好ましくは5〜15を表す。sは8〜30の整数、好ましくは15〜25の整数である。
tは3〜20の整数を表す。
R1あるいはR2は、各々独立に炭素数1〜19個の炭化水素基、好ましくはR1とR2の合計炭素数が5〜20のアルキル基を表し、更に好ましくはR1、R2のそれぞれの炭素数が3から8個で、それらの合計炭素数が6〜18個である。
【0064】
尚、一般式(A)〜(J)において、EOはエチレンオキサイドを意味し、POはプロピレンオキサイドを意味し、このプロピレンは、−(CH2)3−、−CH2CH(CH3)−のいずれも包含する。
【0065】
上記(c)又は(c’)ノニオン系界面活性剤にあって、好ましい界面活性剤は下記化合物
(A1)、(C1)、(E1)、(G1)、(H1)又は(J1)である。
(A1):一般式Aにおいて、nが1であり、mが8〜20の整数であり、lが0〜5の整数である化合物。
(C1):一般式Cにおいて、aが5〜50の整数であり、bが20〜70の整数であり、a及びbが0.2≦a/b≦3を満たす化合物。
(E1):一般式Eにおいて、xが5〜50の整数であり、yが20〜70の整数であり、x及びyが0.2≦x/y≦1を満たす化合物。
(G1):一般式(G)において、pが3、rが7〜15の整数、そして(PO/EO)qは、POとEOの存在割合(モル比率)が1/5〜1/1の範囲にあり、qは6〜15の整数を表す化合物。
(H1):一般式(H)において、pが3、sが10〜25の整数である化合物。
(J1):一般式(J)において、tが3〜15の整数である化合物。
【0066】
さらに好ましい(c)又は(c’)ノニオン系界面活性剤は、下記化合物(A2)、(C2)、(E2)、(G2)、(H2)及び(J2)である。
(A2):一般式Aにおいて、nが1であり、mが8〜12の整数であり、lが0である化合物。
(C2):一般式Cにおいて、aが10〜30の整数であり、bが30〜50の整数であり、a及びbが0.3≦a/b≦0.7を満たす化合物。
(E2):一般式Eにおいて、xが10〜30の整数であり、yが30〜50の整数であり、x及びyが0.2≦x/y≦0.5を満たす化合物。
(G2):一般式(G)において、pが3、rが7〜15の整数、そして(PO/EO)qは、POとEOの存在割合(モル比率)が1/4〜1/2の範囲にあり、qは10〜15の整数を表す化合物。
(H2):一般式(H)において、pが3、sが15〜25の整数である化合物。
(J2):一般式(J)において、R1とR2が各々独立に炭素数1から10個の直鎖あるいは分岐のアルキル基を表し、tが5〜15の整数である化合物。
特に好ましい化合物は、上記化合物(A2)及び(E2)である。
【0067】
これらの(c)又は(c’)の界面活性剤は、1種単独であるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
なかでも、一般式C〜Fで表される化合物から選択される界面活性剤と一般式A、B、G及びHで表される化合物から選択される界面活性剤を併用することが、塗布での厚みムラ防止および省液性(少量の液で塗布ムラのない基板作成ができる)に有効である点から、好ましい。
【0068】
(c)及び/又は(c’)ノニオン系界面活性剤は、本発明の組成物中に組成物全重量に対して0.01〜1重量%含有されることが好ましく、より好ましくは0.1〜0.8重量%である。
【0069】
〔IV〕(d)顔料
本発明に用いることができる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。
無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物であり、具体的には鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
有機顔料としては、カラーインデックス(C.I.)ナンバーで以下に示すもの、およびカーボンブラックが挙げられる。
C.I.Pigment Yellow:11、20、24、31、53、83,86、93、99、108、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、151、153、154、166、168、167、185
C.I.Pigment Orange:36、38、43、51、55、59、61
C.I.Pigment Red:9、97、105、122、123、149、150、155、168、171、175、176、177、180、192、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、254
C.I.Pigment Violet:19、23、29、30、32、37、39、40、50
C.I.Pigment Blue:1、2、15、15:3、15:6、16、22、60、64、66、
C.I.Pigment Green:7、36、37
C.I.Pigment Brown:23、25、26、28
C.I.Pigment Black:1、7
【0070】
これらの顔料として特に好ましいものを、以下に挙げることができるが、これらに限定されない。
【0071】
【化16】
【0072】
【化17】
【0073】
【化18】
【0074】
【化19】
【0075】
【化20】
【0076】
【化21】
【0077】
【化22】
【0078】
【化23】
【0079】
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いられる。具体例を以下に示す。
赤色顔料と黄色顔料もしくは2種以上の赤色顔料を混合し、更に1種以上の黄色顔料を混合して使用することもある。混合比の一般的な比率は100:20〜100:60であるが、この範囲を超えても差しつかえない。
【0080】
緑色顔料と黄色顔料との好ましい比は100:20〜100:80であるが、緑色顔料と黄色顔料もしくは2種以上の緑色顔料と2種以上の黄色顔料を混合して使用する。混合比の一般的な比率は緑:黄が100:20〜100:60であるが、この範囲を超えても差しつかえない。
【0081】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料単独、又はジオキサジン系紫色顔料との混合が用いられ、例えばC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が良好であった。
青色顔料と紫色顔料の重量比は、100:5より100:50が良好であった。100:4以下では400nmから420nmの光透過率を抑えることが出来ず色純度を上げることが出来ない。100:51以上では主波長が長波長よりになりNTSC目標色相からのずれが大きくなる。特に100:5より100:20の範囲が最適である。
【0082】
更に上記の顔料をアクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマー及びエチルセルロース樹脂等に微分散させた粉末状加工顔料を用いることにより分散性及び分散安定性の良好な顔料含有感光樹脂を得ることが出来る。ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄単独、又はこれらの混合が用いられ、カーボンとチタンカーボンの場合が良好である。
【0083】
一般に、これら顔料は合成後、種々の方法で乾燥を経て供給される。通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とするため、乾燥して粉末とさせるには大きな熱エネルギーを与える。そのため、顔料は一次粒子が集合した凝集体(二次粒子)を形成しているのが普通である。
【0084】
この様な凝集体を形成している顔料を微粒子に分散するのは容易ではない。そのため顔料をあらかじめ種々の樹脂で処理しておくことが好ましい。これら樹脂として、前述の結着樹脂を挙げることができる。処理の方法としては、フラッシング処理やニーダー、エクストルーダー、ボールミル、2本又は3本ロールミル等による混練方法がある。このうち、フラッシング処理や2本又は3本ロールミルによる混練法が微粒子化に好適である。
【0085】
フラッシング処理は、通常、顔料の水分散液と水と混和しない溶媒に溶解した樹脂溶液を混合し、水媒体中から有機媒体中に顔料を抽出し、顔料を樹脂で処理する方法である。この方法によれば、顔料の乾燥を経ることがないので、顔料の凝集を防ぐことができ、分散が容易となる。2本又は3本ロールミルによる混練では、顔料と樹脂又は樹脂の溶液を混合した後、高いシェア(せん断力)をかけながら、顔料と樹脂を混練することによって、顔料表面に樹脂をコーティングすることによって、顔料を処理する方法である。この過程で凝集していた顔料粒子はより低次の凝集体から一次粒子にまで分散される。
【0086】
また、本発明においては、あらかじめアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等で処理した加工顔料も都合良く用いることができる。本発明において、上記の種々の樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状、ペースト状が好ましい。
また、樹脂がゲル化した不均一な塊状のものは好ましくない。この様にして得られた着色分散体は、感放射線性成分と混合され、感放射線性カラーフィルター用組成物に供される。
【0087】
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物中の顔料濃度は、固形物全重量に対して25重量%以上が好ましく、より好ましくは30〜50重量%、特に好ましくは35〜45重量%である。本発明は、顔料濃度がこの範囲外にあっても効果を発揮するものである。
本発明の組成物の全固形分濃度が組成物全重量に対して20重量%以上、好ましくは22〜30重量%のときに、本発明の効果が一層発揮される。
このような高顔料濃度、高固形分濃度の場合、従来では塗布液が高粘度となり、均一な塗布が困難であったが、本発明の組成物では均一な塗布が可能となる。
【0088】
〔V〕(e)溶剤
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
【0089】
3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、
【0090】
ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、
【0091】
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレシ等が挙げられる。
【0092】
これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が好ましく用いられる。
【0093】
これらの溶剤は、単独で用いてもあるいは2種以上組み合わせて用いてもよい。
【0094】
〔VI〕その他の成分
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記(b)アクリル系結着樹脂以外の結着樹脂、上記(c)ノニオン系界面活性剤以外の界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【0095】
本発明の組成物には、上記(b)アクリル系結着樹脂以外の結着樹脂を本発明の目的の達成を損なわない範囲で、通常アクリル系結着樹脂100重量部に対して、30重量部以下を配合することができる。
配合することができる結着樹脂としては、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、ポリ2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ポリビニールピロリドン、ポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール、アルコール可溶性ナイロン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン(ビスフェノールA)とエピクロルヒドリンから形成されたポリエーテル(フェノキシ樹脂)などが挙げられる。
【0096】
また、本発明の組成物には、上記(c)ノニオン系界面活性剤以外の界面活性剤を本発明の目的の達成を損なわない範囲で、通常ノニオン系界面活性剤100重量部に対して同量以下の配合ができる。
配合することができる界面活性剤としては、多くの種類の化合物が用いることができるが、例えば、フタロシアニン誘導体(市販品EFKA−745(森下産業製));オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社油脂化学工業製)、W001(裕商製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;エフトップEF301、EF303、EF352(新秋田化成製)、メガファックF171、F172、F173(大日本インキ製)、フロラードFC430、FC431(住友スリーエム製)、アサヒガードAG710、サーフロンS382、SC−101、SC−102、SC−103、SC−104、SC−105、SC−1068(旭硝子製)等のフッ素系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上森下産業製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(サンノプコ製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(ゼネカ株式会社製);アデカプルロニックL31,F38,L42,L44,L61,L64,F68,L72,P95,F77,P84,F87、P94,L101,P103,F108、L121、P−123(旭電化製)およびイソネットS−20(三洋化成製)が挙げられる。
これらの化合物は、顔料の分散剤として用いられることが多い。
【0097】
他の添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤:2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【0098】
また、放射線未照射部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【0099】
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物には以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【0100】
〔VII〕本発明の組成物の使用方法
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物は、上記主要成分、さらに必要に応じて用いられるその他の任意成分を溶剤と混合し各種の混合機、分散機を使用して混合分散することによって調製することができる。
【0101】
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物は、基板に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布、乾燥して感放射線性層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、着色されたパターンを形成する。この際に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
【0102】
基板としては、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。これらの基板は、一般的には各画素を隔離するブラックストライプが形成されている。
【0103】
現像液としては、放射線未照射部の感放射線性層を溶解し、一方放射線照射部を溶解しないものであればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。有機溶剤としては、本発明の組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【0104】
アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10重量%、好ましくは0.01〜1重量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄する。
【0105】
【実施例】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によっていささかも限定されて解釈されるものではない。
なお、実施例10〜14は参考例である。
【0106】
以下の実施例、比較例で用いたアクリル系結着樹脂成分及び界面活性剤成分は下記の通りである。
<アクリル系結着樹脂成分>
樹脂1:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:69/13/18)、酸価47、水酸基価65、重量平均分子量20,000
樹脂2(比較):ベンジルメタクリレート/アクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:65/32/3)、酸価127、水酸基価12、重量平均分子量30000
樹脂3:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:55/13/32)、酸価49、水酸基価120、重量平均分子量20000
樹脂4:スチレン/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:80/10/10)、酸価53、水酸基価53、重量平均分子量20000
樹脂6(比較):ベンジルメタクリレート/アクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:67.5/30/2.5)、酸価120、水酸基価10、重量平均分子量50,000
樹脂7(比較):ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:54.5/13.5/32)、酸価50、水酸基価120、重量平均分子量30,000
樹脂8:スチレン/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合樹脂(モル比:81.5/9.5/9)、酸価50、水酸基価50、重量平均分子量30,000
【0107】
<界面活性剤成分>
界面活性剤A:一般式Aで、nが1、mが12、lが0の化合物(竹本油脂(株)製、商品名:D6512)
界面活性剤A'(比較):一般式Aで、nが1、mが5、lが12の化合物
界面活性剤C:一般式Cで、aが17、bが40、a/bが0.43の化合物(旭電化(株)製、商品名:プルロニックP84)
界面活性剤E:一般式Eで、xが15、yが43〜52、x/yが0.29〜0.35の化合物(旭電化(株)製、商品名:プルロニックTR702)
界面活性剤G:ポリエチレングリコール、重合度300
界面活性剤W1:一般式Gで、pが3、(PO/EO)q:PO=2,EO=6、rが10の化合物(竹本油脂(株)製、商品名:D6112W)
界面活性剤W2:一般式Hで、pが3、sが10の化合物(竹本油脂(株)製、商品名:D6310)
界面活性剤W3:一般式Jで、R1がメチル基、R2が−C8H17、tが10の化合物(竹本油脂(株)製、商品名:D1109S)
界面活性剤W4:一般式Gで、pが1、(PO/EO)q:PO=4,EO=20、rが4の化合物(常法により合成)
界面活性剤W6:一般式Hで、pが3、sが20の化合物(竹本油脂(株)製、商品名:D6320)
【0108】
実施例1
・上記樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分50%) 58重量部
・C.I.Pigment Red 254 20重量部
・C.I.Pigment Yellow 139 8重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤)150重量部
を、サンドミルで一昼夜分散した。
次いで、下記の感放射線性成分、熱重合防止剤、及び溶剤を添加した。
・アクリレートモノマ−(下記(1)からなる) 23重量部
(1)ジペンタエリスリト−ルにエチレンオキシドを6個付加したヘキサアクリレ−ト
・4−[o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニル)アミノフェニル]2、6−ジ(トリクロロメチル)−S−トリアジン(光重合開始剤)3重量部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル(重合禁止剤) 0.01重量部
・3−エトキシエチルプロピレングリコールアセテート(溶剤) 70重量部
上記各成分を混合後、これら混合物に、上記界面活性剤Eを、組成物全重量に対して0.3重量%添加し、孔径5μmのフィルターで濾過し、本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物(塗液)を得た。
【0109】
得られた組成物を下記の方法で、現像性、塗布性、塗液使用量について評価した。
(i)現像性:塗液を、乾燥後の膜厚が1.5μmとなるようにガラス基板(Corning1737)にスピンコートし90℃で60秒間プリベークした後、20μmの線幅を持つマスクで200mj/cm2の露光(照度は20mW/cm2)をし、アルカリ現像液CD(富士フイルムオーリン(株)製)の10%希釈液で30℃で現像した。現像時間は10〜100秒まで10秒刻みで実施した。線幅が安定して残存する現像秒数で表に記載した。
(ii)塗布性:550mm×650mmのガラス基板に30gの塗液を中央滴下し800rpmでスピンコートした。ナトリウムランプで塗布ムラを観察すると共にガラス基板の縁部の塗布状況を目視で観察し、下記の2段階評価を行った。
〇:塗布ムラは観察されなかった。
×:滴下跡が観察された。
(iii)塗液使用量:550mm×650mmのガラス基板に25〜40gの塗液を中央滴下し800rpmでスピンコートしたときに、最縁部の一部が塗布されなくなる最小液量で判定した。
以上の結果を表1に示した。
【0110】
実施例2〜9,比較例1、2
実施例1において、結着樹脂及び界面活性剤の種類を表1に記載されるように変更した以外は、実施例1を繰り返した。
実施例7は、界面活性剤Bがn:1、l:3、m:15の試験サンプルで行った。
実施例8は、界面活性剤Dがa:20、b:8、a/b:2.5の試験サンプルで行った。
実施例9は、界面活性剤Fがx:8、y:60、x/y:0.13の試験サンプルで行った。
結果を表1に示した。
【0111】
【表1】
【0112】
表1に示される結果から以下のことが明らかである。
実施例の組成物は、現像適正時間が広く、塗布ムラが認められず、少量の塗液使用量で基板表面全域を塗布することができる。
一方、界面活性剤として一般式Aのlの値が本発明で特定されている範囲を超えた化合物を用いた比較例1、及び界面活性剤としてポリエチレングリコールを用いた比較例2の組成物は、上記特性のいずれにも劣っていた。
【0113】
実施例10〜14及び比較例3
上記実施例1において、結着樹脂と界面活性剤を下記表2に示すものに各々代える以外は、実施例1と同様にして、感放射線性カラーフィルター用組成物(塗液)を作製し、現像性、塗布性、塗液使用量を実施例1と同様に評価した。更に下記のようなチャック跡も評価した。それらの結果を下記表2に示す。
(iv)チャック跡
550mm×650mmのガラス基板に30gの上記各塗液を中央滴下し、800rpmでスピンコートした。塗布機は、大日本スクリーン(株)製型式SF−700Gを用い、標準真空圧力でチャックした。チャック跡はナトリウムランプで目視観察し、下記基準で比較評価した。
○:チャック跡が全く見えなかった。
×:一部のチャックで跡が見えた。
××:すべてのチャック部分で跡が見えた。
【0114】
【表2】
【0115】
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物は、現像性、塗布性、塗液使用量、更チャック跡のいずれの点においても優れていた。
【0116】
【発明の効果】
本発明の感放射線性カラーフィルター用組成物は、高顔料濃度、高固形分濃度であっても塗布性に優れ、しかも現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れ、更にまたチャック跡も防止できる。加えて少ない塗液の使用で基板表面全域を塗布することができる。
従って、本発明の組成物から、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターをプロセス上の困難性が少なく、高品質かつ低コストで作製することができる。
Claims (5)
- (a)感放射線性成分、(b)結着樹脂、(c)下記一般式(A)〜(F)で表される化合物群から選択される少なくとも1種のノニオン系界面活性剤、(d)顔料、及び(e)溶剤を含有することを特徴とする感放射線性カラーフィルター用組成物。
Styrylは、ph−CH=CH−を表す。ここで、phはフェニル基である。
benzylは、ph−CH2−を表す。ここで、phはフェニル基である。
POは、プロピレンオキサイドを表す。
EOは、エチレンオキサイドを表す。
一般式(A)において、nが1、mが8〜20の整数、そしてlが0〜5の整数である。一般式(B)において、nは1〜3、mは7〜30、lは0〜10である。
aは3〜100、bは15〜100、xは5〜100、そしてyは20〜100の範囲の整数をそれぞれ表す。しかも、a、b及びx、yは、それぞれ0.1≦a/b≦5.0、0.1≦x/y≦2.0を満たす。ここで、一般式(C)中に存在している2個のaは、同一のまたは異なった整数である。一般式(D)中に存在している2個のbは、同一のまたは異なった整数である。そして一般式(E)及び(F)中に存在している4個のx及びyは、それぞれ同一のまたは異なった整数である。 - (c)ノニオン系界面活性剤が下記(ii)又は(iii)で示される化合物から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
(ii)一般式(C)において、aが5〜50の整数、bが20〜70の整数であり、かつa、bが0.2≦a/b≦3.0を満たす化合物。
(iii)一般式(E)において、xが5〜50の整数、yが20〜70の整数であり、かつx、yが0.2≦x/y≦1.0を満たす化合物。 - 前記ノニオン系界面活性剤の含有量が、組成物全重量に対して0.05〜2重量%であることを特徴とする請求項1又は2に記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
- (d)顔料の含有量が固形物重量に対して25重量%以上であり、かつ全固形分含有量が組成物全重量に対して20重量%以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
- (b)結着樹脂が、酸価が20〜100の範囲にあり、かつ水酸基価が30〜100の範囲にあるアクリル系共重合体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感放射線性カラーフィルター用組成物。
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