JPH11244766A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液体を加工物上にボタ落ちなどなく良好に吐
出する。 【解決手段】 液体吸引弁部２２ｂは、シリンダ部２２
ａ内のピストン２４による吸引動作（矢印Ｘ_１方向の移
動）により小型タンク１６内からのコーティング液１１
をシリンダ部２２ａ内に吸引するように吸引弁用ボール
２９の浮上で弁を開いている。一方、液体吸引弁部２２
ｂは、シリンダ部２２ａ内のピストン２４による圧縮動
作（矢印Ｘ_２方向の移動）により液体吸引弁部２２ｂで
シリンダ部２２ａ内に吸引されたコーティング液１１を
外部に吐出するように吐出弁用ボール３２の浮上で弁を
開いている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を加工物上に
ボタ落ちなどなく良好に吐出できる液体吐出装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】液体を加工物に吐出する液体吐出装置は
各種の構造形態があり、この液体吐出装置の吐出原理か
ら種類分けすると、液体を圧送し、この液体の吐出直
前部分に設けたバルブの流路を開いて液体を吐出させる
バルブ方式とか、容器もしくは液体経路の一部に緩衝
材を使用し、緩衝材に外圧をかけることにより液体を吐
出させる緩衝材方式とか、液体を吐出量分だけ空圧で
圧送して、この液体を吐出量分だけ吐出させる圧送方式
とか、特開平６−１７０３０３号公報に開示されてい
るようにシリンダ内でスクリュウを回転させ、このスク
リュウの谷間に入り込んだ液体をスクリュウの回転に伴
って軸方向に移動させながら吐出させるスクリュウ方式
とかが知られている。

【０００３】ところで、近年開発された周知のコンパク
ト・ディスク（ＣＤ）などでは、凹凸状の信号面を形成
した円板状のディスク基板上に反射膜を膜付けした後、
ディスク基板を高速回転させながら反射膜上の内周部に
液体吐出装置を用いて保護膜用の透明樹脂を滴下してス
ピンコートにより保護膜を膜付けしている。

【０００４】また、最近開発された周知のＤＶＤ用の貼
り合わせディスクでは、０．６ｍｍ厚のディスク基板上
の内周部に液体吐出装置を用いて接着用の紫外線硬化樹
脂を滴下してスピンコートにより紫外線硬化樹脂を膜付
けした後、さらに紫外線硬化樹脂膜の上に０．６ｍｍ厚
のディスク基板を乗せて紫外線を照射することで２枚の
ディスク基板を貼り合わせている。

【０００５】上記したコンパクト・ディスク又はＤＶＤ
用の貼り合わせディスクに夫々適用される各液体吐出装
置では、保護膜用の透明樹脂又は接着用の紫外線硬化樹
脂を各ディスクの内周部にボタ落ちなどなく略定量均一
に滴下する必要がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来技
術の〜項で説明した各方式による液体吐出装置をコ
ンパクト・ディスク又はＤＶＤ用の貼り合わせディスク
に適用した場合に、項記載のバルブ方式では、バルブ
が開く瞬間と閉じる瞬間に液体の吐出量が多くなり、デ
ィスク基板上で液体のボタ落ちが生じ易く、スピンコー
ト時に塗布むらになったり、ディスク基板の貼り合わせ
時に気泡発生の原因となる。

【０００７】また、項記載の緩衝材方式では、低粘度
（約１００ｃｐｓ以下）の液体を微少量吐出するには好
都合であるものの、保護膜用の透明樹脂又は接着用の紫
外線硬化樹脂など高粘度の液体の場合には吐出の応答性
が悪くなり、上記したどちらの場合でも不向きである。

【０００８】また、記載の圧送材方式では、液体によ
っては空圧により液面に微小な気泡が多数侵入してしま
うので適用できる保護膜用の透明樹脂又は接着用の紫外
線硬化樹脂が限定されれてしまう。

【０００９】更に、記載のスクリュウ方式では、液体
をディスク基板上に略一定量吐出できるものの、スクリ
ュウを回転させるための駆動手段（モータ，ギヤ）など
が必要となり、液体吐出装置が大がかりになってしま
う。

【００１０】そこで、保護膜用の透明樹脂又は接着用の
紫外線硬化樹脂などの液体をディスク基板などの加工物
上に滴下する際、液体吐出装置を簡単な構造で且つコン
パクに構成して液体をディスク基板などの加工物上にボ
タ落ちなどなく良好に吐出できる液体吐出装置が望まれ
ている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
てなされたものであり、円筒状のシリンダ部内を往復動
し、且つ、一つの方向への移動時に吸引動作を行ってタ
ンクに貯蔵した液体を前記シリンダ部内に吸引する一
方、一つの方向と逆方向への移動時に圧縮動作を行って
前記シリンダ部内から前記液体を押し出すピストンと、
前記タンクに貯蔵した液体を吸引するために細孔に形成
した吸引弁入口側オリフィス部と、この吸引弁入口側オ
リフィス部と連接して円錐状に形成して該吸引弁入口側
オリフィス部からの前記液体を導く吸引弁入口側円錐部
と、この吸引弁入口側円錐部と連接して前記吸引弁入口
側オリフィス部より太孔に形成し、該吸引弁入口側円錐
部からの前記液体を前記シリンダ部内に導く吸引弁出口
側オリフィス部と、前記吸引弁入口側オリフィス部の孔
よりも太径で且つ前記吸引弁出口側オリフィス部の孔よ
り小径の球状に形成されて前記吸引弁入口側円錐部に接
離する吸引弁用ボールとを少なくとも備えた液体吸引弁
部と、前記シリンダ部内から押し出された前記液体を導
くために細孔に形成した吐出弁入口側オリフィス部と、
この吐出弁入口側オリフィス部と連接して円錐状に形成
して該吐出弁入口側オリフィス部からの前記液体を導く
吐出弁入口側円錐部と、この吐出弁入口側円錐部と連接
して前記吐出弁入口側オリフィス部より太孔に形成し、
該吐出弁入口側円錐部からの前記液体を外部に吐出させ
るように導く吐出弁出口側オリフィス部と、前記吐出弁
入口側オリフィス部の孔よりも太径で且つ前記吐出弁出
口側オリフィス部の孔より小径の球状に形成されて前記
吐出弁入口側円錐部に接離する吐出弁用ボールとを少な
くとも備えた液体吐出弁部とからなり、前記ピストンの
吸引動作で前記吸引弁入口側円錐部に接した前記吸引弁
用ボールが前記吸引弁出口側オリフィス部内に浮上して
前記吸引弁入口側オリフィス部の弁を開くように動作
し、且つ、前記ピストンの吸引停止動作で前記吸引弁用
ボールが前記吸引弁入口側円錐部に再び接し、一方、前
記ピストンの圧縮動作で前記吐出弁入口側円錐部に接し
た前記吐出弁用ボールが前記吐出弁出口側オリフィス部
内に浮上して前記吐出弁入口側オリフィス部の弁を開く
ように動作し、且つ、前記ピストンの圧縮停止動作で前
記吐出弁用ボールが前記吐出弁入口側円錐部に再び接す
ることを特徴とする液体吐出装置である。

【００１２】また、上記発明の液体吐出装置において、
前記吐出弁出口側オリフィス部内に前記吐出弁用ボール
の浮上量を調節する調節用ネジを突出させたことを特徴
とするものである。

【００１３】更に、上記発明の液体吐出装置において、
前記タンクは、前記液体を大量に貯蔵する大型タンク
と、この大型タンクから圧送ポンプで汲み上げた前記液
体を使用する量だけ一時的に補給して該液体を前記液体
吸引出弁部に供給する小型タンクとを備えたことを特徴
とするものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に本発明に係る液体吐出装置
の一実施例を図１乃至図５を参照して詳細に説明する。

【００１５】図１は本発明に係る液体吐出装置を適用し
たスピンコータの全体構成を示した構成図、図２は本発
明に係る液体吐出装置の要部となる液体吸引／吐出部を
説明するために模式的に示した斜視図、図３本発明に係
る液体吐出装置において、液体吸引／吐出部の構造を模
式的に示した図であり、且つ、液体吸引／吐出部の初期
状態を示した図、図４本発明に係る液体吐出装置におい
て、液体吸引／吐出部の液体吸引状態を示した図、図５
本発明に係る液体吐出装置において、液体吸引／吐出部
の液体吐出状態を示した図である。

【００１６】本発明に係る液体吐出装置は、スピンコー
タを用いて円板状のディスク基板を高速回転させながら
保護膜用の透明樹脂とか接着用の紫外線硬化樹脂などの
コーティング液をディスク基板上に膜付けする際に、簡
単な構造でコーティング液をディスク基板上に定量的に
滴下できるものであるが、ディスク基板に限ることな
く、種々の液体及び種々の加工物にも適用できるもので
ある。

【００１７】図１に示した如く、スピンコータ１は、モ
ータ２にターンテーブル３を取り付けて、このターンテ
ーブル３上に加工物としてのディスク基板４を高速回転
可能に載置している。また、ディスク基板４の内周部上
方に本発明の要部をとなる液体吐出装置１０の液体吸引
／吐出部２０が設けられている。

【００１８】上記液体吐出装置１０は、ディスク基板４
上に滴下する液体（以下、コーティング液と記す）１１
を大型タンク１２内に大量に貯蔵して、大型タンク１２
の内部を上方から蓋体１３で密閉している。また、大型
タンク１２の側面１２ａに取り付けた圧送ポンプ１４で
大型タンク１２内からコーティング液１１を汲み上げ
て、圧送用ホース１５を介してコーティング液１１を小
型タンク１６に使用する量だけ一時的に補給して、小型
タンク１６の内部を上方から蓋体１７で密閉している。

【００１９】上記小型タンク１６は、小型で省スペース
化が計られているためスピンコータ１の近傍で後述する
液体吸引／吐出部２０の近傍に設置されており、小型タ
ンク１６内のコーティング液１１の使用状況管理（温度
管理とか残量管理）を容易に行えるようになっている。
また、小型タンク１６は、場合によって別な種類のコー
ティング液を貯蔵した小型タンクと交換可能に設置され
ている。

【００２０】また、小型タンク１６を閉蓋した蓋体１７
には、圧送ポンプ１４と接続した圧送用ホース１５と、
後述する液体吸引／吐出部２０と接続した吸引用ホース
１８とが貫通孔１７ａ，１７ｂに夫々差し込まれてい
る。また、小型タンク１６には、残量検出用の静電電容
量型センサ１９Ａと、満たん検出用の静電電容量型セン
サ１９Ｂとが下方と上方に間隔を隔てて設置されてい
る。

【００２１】そして、小型タンク１６を閉蓋した蓋体１
７の一部（吸引用ホース１８の差し込み近傍）を大気に
リークさせており、この状態で、小型タンク１６内のコ
ーティング液１１が減って残量検出用の静電電容量型セ
ンサ１９ＡがＯＮになると圧送ポンプ１４が作動して、
大型タンク１２内からコーティング液１１を汲み上げ
て、汲み上げたコーティング液１１を圧送用ホース１５
を介して小型タンク１６内に補給し、満たん検出用の静
電電容量型センサ１９ＢがＯＮになると圧送ポンプ１４
が停止するようになっている。

【００２２】次に、本発明の要部となる液体吸引／吐出
部２０は、上下動又は回動可能に支持されたアーム２１
上に取り付けられている。

【００２３】上記液体吸引／吐出部２０は、液体吸引／
吐出用筐体２２の外部を適宜な形状に形成し、且つ、内
部を水平方向に中空円筒状に孔明けしてシリンダ部２２
ａを形成している。この液体吸引／吐出用筐体２２のシ
リンダ部２２ａの一端２２ａ_１側を有底孔により閉じ、
且つ、一端２２ａ_１側と対向する他端２２ａ_２側を開口
してカバー２３で閉蓋している。

【００２４】そして、液体吸引／吐出用筐体２２のシリ
ンダ部２２ａ内にピストン２４が矢印Ｘ_１，Ｘ_２方向に
直線的に往復動可能に設けられている。この際、ピスト
ン２４は、シリンダ部２２ａの内径より極僅か小径に形
成した外径部２４ａにシール用のパッキン２５を複数嵌
め、且つ、外径部２４ａより小径に形成した軸部２４ｂ
をカバー２３の孔２３ａから外部に突出させている。

【００２５】また、シリンダ部２２ａ内のピストン２４
の軸部２４ｂは、アーム２１上に取り付けたポンプ２６
のピストン２７と連結部材２８で連結されており、且
つ、シリンダ部２２ａ内のピストン２４はエアー圧又は
油圧で往復動するポンプ２６のピストン２７と協働して
矢印Ｘ_１，Ｘ_２方向に直線移動するようになっている。

【００２６】また、図２及び図３に拡大して示した如
く、液体吸引／吐出部２０の液体吸引／吐出用筐体２２
は、シリンダ部２２ａの一端２２ａ_１の有底孔側に、液
体吸引弁部２２ｂと液体吐出弁部２２ｃとをシリンダ部
２２ａから突出して設けている。

【００２７】この際、後述するように、液体吸引弁部２
２ｂは、シリンダ部２２ａ内のピストン２４による吸引
動作（矢印Ｘ_１方向の移動）により小型タンク１６内か
らのコーティング液１１をシリンダ部２２ａ内に吸引す
るように吸引弁用ボール２９の浮上で弁を開いている。
一方、液体吸引弁部２２ｂは、シリンダ部２２ａ内のピ
ストン２４による圧縮動作（矢印Ｘ_２方向の移動）によ
り液体吸引弁部２２ｂでシリンダ部２２ａ内に吸引され
たコーティング液１１を外部に吐出するように吐出弁用
ボール３２の浮上で弁を開いている。

【００２８】まず、液体吸引／吐出用筐体２２の液体吸
引弁部２２ｂは、小型タンク１６（図１）からの吸引用
ホース１８と接続してコーティング液１１を吸引するた
めに水平に形成した吸引弁入口導入部２２ｂ_１と、この
吸引弁入口導入部２２ｂ_１と連接して上方に向かって細
孔に形成して吸引したコーティング液１１を導く吸引弁
入口側オリフィス部２２ｂ_２と、この吸引弁入口側オリ
フィス部２２ｂ_２と連接した上方部位を円錐状に形成し
て吸引弁入口側オリフィス部２２ｂ_２からのコーティン
グ液１１を導く吸引弁入口側円錐部２２ｂ_３と、この吸
引弁入口側円錐部２２ｂ_３と連接して上方に向かって吸
引弁入口側オリフィス部２２ｂ_２の細孔よりも太孔に形
成して吸引弁入口側円錐部２２ｂ_３からのコーティング
液１１を導く吸引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４と、こ
の吸引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４の上方部位から水
平に形成して吸引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４からの
コーティング液１１を導く吸引弁出口側水平経路２２ｂ
_５と、この吸引弁出口側水平経路２２ｂ_５とシリンダ部
２２ａの一端２２ａ_１側の上部とを接続するために垂直
に形成して吸引弁出口側水平経路２２ｂ_５からのコーテ
ィング液１１をシリンダ部２２ａ内の一端２２ａ_１側に
導く吸引弁出口側垂直経路２２ｂ_６とからなっている。

【００２９】そして、引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４
の上方から吸引弁入口側オリフィス部２２ｂ_２の細孔よ
りも太径で且つ吸引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４の太
孔より小径の球状に形成された吸引弁用ボール２９を挿
入した後、引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４の上部を弁
キャップ３０で閉蓋している。ここでは、後述するよう
に吸引弁用ボール２９が吸引弁入口側円錐部２２ｂ_３に
対して接離自在になっている。

【００３０】一方、液体吸引／吐出用筐体２２の液体吐
出弁部２２ｃは、シリンダ部２２ａの一端２２ａ_１側の
下部と接続するために垂直に形成してシリンダ部２２ａ
内の一端２２ａ_１側から押し出されたコーティグ液１１
を導く吐出弁入口側垂直経路２２ｃ_１と、この吐出弁入
口側垂直経路２２ｃ_１と連接して水平に形成して吐出弁
入口側垂直経路２２ｃ_１からのコーティグ液１１を導く
吐出弁入口側水平経路２２ｃ_２と、この吐出弁入口側水
平経路２２ｃ_２と連接して上方に向かって細孔に形成し
て吐出弁入口側水平経路２２ｃ_２からのコーティグ液１
１を導く吐出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３と、この吐
出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３と連接した上方部位を
円錐状に形成して吐出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３か
らのコーティグ液１１を導く吐出弁入口側円錐部２２ｃ
_４と、この吐出弁入口側円錐部２２ｃ_４と連接して上方
に向かって吐出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３の細孔よ
りも太孔に形成して吐出弁入口側円錐部２２ｃ_４からの
コーティグ液１１を導く吐出弁出口側オリフィス部２２
ｃ_５と、この吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ_５の上方
部位から水平に形成して吐出弁出口側オリフィス部２２
ｃ_５からのコーティグ液１１を導く吐出弁出口側水平経
路２２ｃ_６と、この吐出弁出口側水平経路２２ｃ_６から
下方に向かって垂直に形成し且つ下端に液体吐出ノズル
３１を取り付けて、吐出弁出口側水平経路２２ｃ_６から
のコーティグ液１１を液体吐出ノズル３１に導く吐出弁
出口側垂直経路２２ｃ_７とからなっている。

【００３１】そして、吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ
_５の上方から吐出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３の細孔
よりも太径で且つ吐出弁出口側オリフィス部２３ｃ_５の
太孔より小径の球状に形成された吐出弁用ボール３２を
挿入した後、吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ_５の上部
を弁キャップ３３で閉蓋している。ここでは、後述する
ように吐出弁用ボール３２が吐出弁入口側円錐部２２ｃ
_４に対して接離自在になっている。

【００３２】更に、液体吐出弁部２２ｃ側の弁キャップ
３３には、吐出弁用ボール３２の浮上高さを調節するた
めの調節用ネジ３４が螺合しており、この調節用ネジ３
４は吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ_５内に突出して、
後述するように吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ_５内に
浮上した吐出弁用ボール３２が当接可能になっている。

【００３３】次に、上記構成による液体吐出装置１０の
動作について、図１及び図３〜図５を併用して説明す
る。

【００３４】まず、図３に示した如く、液体吐出装置１
０の初期状態では、液体吸引／吐出用筐体２２のシリン
ダ部２２ａ内でピストン２４がシリンダ部２２ａの一端
２２ａ_１側に至っている。この初期状態時に液体吸引弁
部２２ｂ側では、吸引弁入口側円錐部２２ｂ_３に吸引弁
用ボール２９が接しているため、吸引弁入口側オリフィ
ス部２２ｂ_２と吸引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４との
間は吸引弁用ボール２９によって吸引弁入口側オリフィ
ス部２２ｂ_２の弁が閉じた状態を維持している。一方、
初期状態時に液体吐出弁部２２ｃ側では、液体吸引弁部
２２ｂ側と同様に、吐出弁入口側円錐部２２ｃ_４に吐出
弁用ボール３２が接しているため、吐出弁入口側オリフ
ィス部２２ｃ_３と吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ_５と
の間は吐出弁用ボール３２によって弁が閉じた状態を維
持している。従って、初期状態では、液体吸引弁部２２
ｂによる液体吸引動作及び液体吐出弁部２２ｃによる液
体吐出動作が共に停止している。

【００３５】次に、図４に示した如く、ポンプ２６のピ
ストン２７を矢印Ｘ_１方向に作動させる。ここで、液体
吸引／吐出用筐体２２のシリンダ部２２ａ内でピストン
２４がポンプ２６のピストン２７と協働して矢印Ｘ_１方
向に移動しながら吸引動作を開始すると、シリンダ部２
２ａ内の圧力が下がり、吸引弁入口側円錐部２２ｂ_３に
接している吸引弁用ボール２９が吸引弁出口側オリフィ
ス部２２ｂ_４内の上方に向かって浮上して吸引弁入口側
オリフィス部２２ｂ_２の弁を開くように動作する。従っ
て、小型タンク１６内から吸引用ホース１８で吸引した
コーティング液１１は、シリンダ部２２ａ内のピストン
２４の吸引力により吸引弁入口導入部２２ｂ_１，吸引弁
入口側オリフィス部２２ｂ_２，吸引弁入口側円錐部２２
ｂ_３，吸引弁出口側オリフィス部２２ｂ_４に順に吸い上
げられて、この後、吸引弁出口側水平経路２２ｂ_５，吸
引弁出口側垂直経路２２ｂ_６を経由してシリンダ部２２
ａ内の一端２２ａ_１側に動圧，静圧，脈動などなく極自
然な状態で溜められて行く。

【００３６】この後、矢印Ｘ_１方向に移動しているピス
トン２４がシリンダ部２２ａ内の他端２２ａ_１側に至っ
た位置でピストン２４の吸引動作を停止すると、コーテ
ィング液１１の液流の失速とともに吸引弁出口側オリフ
ィス部２２ｂ_４内に浮上していた吸引弁用ボール２９が
降下して吸引弁入口側円錐部２２ｂ_３に再び接するの
で、吸引弁用ボール２９で吸引弁入口側オリフィス部２
２ｂ_２の弁を閉じた状態となり、コーティング液１１の
吸引動作が終了する。

【００３７】次に、図５に示した如く、液体吸引弁部２
２ｂの吸引動作が終了した位置で、ポンプ２６のピスト
ン２７を吸引動作時と逆に矢印Ｘ_２方向に作動させる。
ここで、液体吸引／吐出用筐体２２のシリンダ部２２ａ
内でピストン２４がポンプ２６のピストン２７と協働し
て矢印Ｘ_２方向に移動しながら圧縮動作を開始すると、
シリンダ部２２ａ内のピストン２４によってシリンダ部
２２ａ内の一端２２ａ_１側に溜められたコーティング液
１１に押し出し力が加わり、コーティング液１１がシリ
ンダ部２２ａ内から吐出弁入口側垂直経路２２ｃ_１，吐
出弁入口側水平経路２２ｃ_２を経由して吐出弁入口側オ
リフィス部２２ｃ_３に押し出される。そして、コーティ
ング液１１が吐出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３まで押
し出されると、コーティング液１１の押し出し力で吐出
弁入口側円錐部２２ｃ_４に接している吐出弁用ボール３
２が吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ_５内の上方に向か
って浮上して吐出弁入口側オリフィス部２２ｃ_３の弁を
開くように動作する。従って、吐出弁入口側オリフィス
部２２ｃ_３からのコーティング液１１が吐出弁入口側円
錐部２２ｃ_４を通って吐出弁出口側オリフィス部２２ｃ
_５に押し出され、更に、押し出されたコーティング液１
１は吐出弁出口側水平経路２２ｃ_６，吐出弁出口側垂直
経路２２ｃ_７を経由し、吐出弁出口側垂直経路２２ｃ_７
の下端に取り付けた液体吐出ノズル３１からコーティン
グ液１１を約６０ｒｐｍ程度の低速で回転しているディ
スク基板４の内周部に滴下（吐出）している。

【００３８】この後、矢印Ｘ_２方向に移動しているピス
トン２４がシリンダ部２２ａ内の一端２２ａ_１側に至っ
た位置でピストン２４の圧縮動作を停止すると、吐出弁
出口側オリフィス部２２ｃ_５内に浮上していた吐出弁用
ボール３２が降下して吐出弁入口側円錐部２２ｃ_４に再
び接するので、吐出弁用ボール３２で吐出弁入口側オリ
フィス部２２ｃ_３の弁を閉じた状態となり、コーティン
グ液１１の吐出動作が終了する。

【００３９】従って、コーティング液１１はピストン２
４の矢印Ｘ_２方向への移動でシリンダ部２２ａ内の一端
２２ａ_１側の容積が減って行く量だけ吐出されることに
なるので、液体吐出ノズル３１からディスク基板４上へ
の吐出最初と吐出最後のボタ落ち現象が全く発生しな
い。また、ピストン２４を駆動する駆動源を選定するこ
とにより、必要に応じてコーティング液１１の吐出時の
流速を変化させることも可能である。

【００４０】更に、液体吐出弁部２２ｃの弁キャップ３
３に取り付けた調節用ネジ３４を回転して、吐出弁出口
側オリフィス部２２ｃ_５内に浮上する吐出弁用ボール３
２の浮上高さを調節すると、液体吐出弁部２２ｃでコー
ティング液１１の吐出動作が終り、液体吸引弁部２２ｂ
の吸引動作に切り替わる瞬間、即ち、ピストン２４がシ
リンダ部２２ａ内の一端２２ａ_１側から矢印Ｘ_１方向に
移動し始めようとする時、吐出弁用ボール３２が調節用
ネジ３４の下端に当接した高さから吐出弁入口側円錐部
２２ｃ_４に沈み込む間にコーティング液１１が逆流する
量を調節することができるので、液体吐出ノズル３１の
針先の液だまりや気泡の巻き込みを防止できる。

【００４１】尚、この後、ディスク基板４の内周部に滴
下されたコーティング液１１は、回転遠心力によりディ
スク基板４の内周部から外周部に向かって放射状に拡散
して、コーティング液１１がディスク基板４上に均一に
膜付けされる。

【００４２】

【発明の効果】以上詳述した本発明に係る液体吐出装置
において、請求項１記載によると、液体吸引弁部は、シ
リンダ部内のピストンによる吸引動作（矢印Ｘ_１方向の
移動）によりタンク内からの液体（コーティング液）を
シリンダ部内に吸引するように吸引弁用ボールの浮上で
弁を開き、一方、液体吸引弁部は、シリンダ部内のピス
トンによる圧縮動作（矢印Ｘ_２方向の移動）により液体
吸引弁部でシリンダ部内に吸引された液体を外部に吐出
するように吐出弁用ボールの浮上で弁を開いているの
で、液体吸引弁部で吸引された液体をシリンダ部内に動
圧，静圧，脈動などなく極自然な状態で溜めることがで
き、更に、液体吐出弁部ではシリンダ部内に溜められた
液体の容積が減って行く量だけ吐出されるので、加工物
（ディスク基板）上への吐出最初と吐出最後のボタ落ち
現象が全く発生しないなどの効果が生じる。

【００４３】また、請求項２記載によると、液体吐出弁
部では吐出弁用ボールの浮上量を調節しているので、液
体吐出弁部で液体（コーティング液）の吐出動作が終
り、液体吸引弁部の吸引動作に切り替わる瞬間、吐出弁
用ボールが調節用ネジの下端に当接した高さから吐出弁
入口側円錐部に沈み込む間に液体が逆流する量を調節す
ることができるで、液体吐出弁部側の液体吐出口に取り
付けた例えば液体吐出ノズルの針先の液だまりや気泡の
巻き込みを防止できる。

【００４４】更に、請求項３記載によると、液体を大型
タンクから小型タンクに使用する量だけ一時的に補給し
ているので、小型タンクを液体吸引／吐出部の近傍に設
置することができ、液体の使用状況管理（温度管理とか
残量管理）を容易に行えると共に、場合によって別な種
類のコーティング液を貯蔵した小型タンクと交換でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液体吐出装置を適用したスピンコ
ータの全体構成を示した構成図である。

【図２】本発明に係る液体吐出装置の要部となる液体吸
引／吐出部を説明するために模式的に示した斜視図であ
る。

【図３】本発明に係る液体吐出装置において、液体吸引
／吐出部の構造を模式的に示した図であり、且つ、液体
吸引／吐出部の初期状態を示した図である。

【図４】本発明に係る液体吐出装置において、液体吸引
／吐出部の液体吸引状態を示した図である。

【図５】本発明に係る液体吐出装置において、液体吸引
／吐出部の液体吐出状態を示した図である。

【符号の説明】

１…スピンコータ、３…ターンテーブル、４…ディスク
基板、１０…液体吐出装置、１１…液体（コーティング
液）、１２…大型タンク、１６…小型タンク、２０…液
体吸引／吐出部、２２…液体吸引／吐出用筐体、２２ａ
…シリンダ部、２２ｂ…液体吸引弁部、２２ｂ_１…吸引
弁入口導入部、２２ｂ_２…吸引弁入口側オリフィス部、
２２ｂ_３…吸引弁入口側円錐部、２２ｂ_４…吸引弁出口
側オリフィス部、２２ｂ_５…吸引弁出口側水平経路、２
２ｂ_６…吸引弁出口側垂直経路、２２ｃ…液体吐出弁
部、２２ｃ_１…吐出弁入口側垂直経路、２２ｃ_２…吐出
弁入口側水平経路、２２ｃ_３…吐出弁入口側オリフィス
部、２２ｃ_４…吐出弁入口側円錐部、２２ｃ_５…吐出弁
出口側オリフィス部、２２ｃ_６…吐出弁出口側水平経
路、２４…ピストン、２９…吸引弁用ボール、３１…液
体吐出ノズル、３２…吐出弁用ボール、３４…調節用ネ
ジ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円筒状のシリンダ部内を往復動し、且つ、
   一つの方向への移動時に吸引動作を行ってタンクに貯蔵
   した液体を前記シリンダ部内に吸引する一方、一つの方
   向と逆方向への移動時に圧縮動作を行って前記シリンダ
   部内から前記液体を押し出すピストンと、 前記タンクに貯蔵した液体を吸引するために細孔に形成
   した吸引弁入口側オリフィス部と、この吸引弁入口側オ
   リフィス部と連接して円錐状に形成して該吸引弁入口側
   オリフィス部からの前記液体を導く吸引弁入口側円錐部
   と、この吸引弁入口側円錐部と連接して前記吸引弁入口
   側オリフィス部より太孔に形成し、該吸引弁入口側円錐
   部からの前記液体を前記シリンダ部内に導く吸引弁出口
   側オリフィス部と、前記吸引弁入口側オリフィス部の孔
   よりも太径で且つ前記吸引弁出口側オリフィス部の孔よ
   り小径の球状に形成されて前記吸引弁入口側円錐部に接
   離する吸引弁用ボールとを少なくとも備えた液体吸引弁
   部と、 前記シリンダ部内から押し出された前記液体を導くため
   に細孔に形成した吐出弁入口側オリフィス部と、この吐
   出弁入口側オリフィス部と連接して円錐状に形成して該
   吐出弁入口側オリフィス部からの前記液体を導く吐出弁
   入口側円錐部と、この吐出弁入口側円錐部と連接して前
   記吐出弁入口側オリフィス部より太孔に形成し、該吐出
   弁入口側円錐部からの前記液体を外部に吐出させるよう
   に導く吐出弁出口側オリフィス部と、前記吐出弁入口側
   オリフィス部の孔よりも太径で且つ前記吐出弁出口側オ
   リフィス部の孔より小径の球状に形成されて前記吐出弁
   入口側円錐部に接離する吐出弁用ボールとを少なくとも
   備えた液体吐出弁部とからなり、 前記ピストンの吸引動作で前記吸引弁入口側円錐部に接
   した前記吸引弁用ボールが前記吸引弁出口側オリフィス
   部内に浮上して前記吸引弁入口側オリフィス部の弁を開
   くように動作し、且つ、前記ピストンの吸引停止動作で
   前記吸引弁用ボールが前記吸引弁入口側円錐部に再び接
   し、 一方、前記ピストンの圧縮動作で前記吐出弁入口側円錐
   部に接した前記吐出弁用ボールが前記吐出弁出口側オリ
   フィス部内に浮上して前記吐出弁入口側オリフィス部の
   弁を開くように動作し、且つ、前記ピストンの圧縮停止
   動作で前記吐出弁用ボールが前記吐出弁入口側円錐部に
   再び接することを特徴とする液体吐出装置。
2. 【請求項２】前記吐出弁出口側オリフィス部内に前記吐
   出弁用ボールの浮上量を調節する調節用ネジを突出させ
   たことを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
3. 【請求項３】前記タンクは、前記液体を大量に貯蔵する
   大型タンクと、この大型タンクから圧送ポンプで汲み上
   げた前記液体を使用する量だけ一時的に補給して該液体
   を前記液体吸引出弁部に供給する小型タンクとを備えた
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の液体吐出
   装置。