JP4432035B2 - ミニエンバイロメント装置 - Google Patents
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- 精密品の製造機器に隣接して配置され、外部領域との間で受け渡した精密品を清浄環境が維持された中間室を介して前記製造機器との間で受け渡すようにしたミニエンバイロメント装置であって、前記製造機器とミニエンバイロメント装置がクリーンルーム内に配設されており、このクリーンルームが前記外部領域とされ、前記クリーンルームの天井エリア内の空気を取り込む空気取込口と、前記空気取込口から取り込んだ空気と前記中間室から返送された循環空気との混合空気を前記中間室に循環させる循環経路と、前記循環空気の循環ルートに配設されたケミカル成分除去手段と、前記循環経路の混合部に配置され前記中間室に混合空気を吹き出す循環送風機と、前記空気取込口または前記循環経路の開度を調整することにより前記循環空気の循環率を調整可能な循環率調整手段とを具備したことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
- 前記循環率調整手段が前記空気取込口及び/又は前記循環経路に配設されたダンパーであることを特徴とする請求項1に記載のミニエンバイロメント装置。
- 前記循環率が0.75〜0.95に調整されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のミニエンバイロメント装置。
- 前記ケミカル成分除去手段がハニカム構造の成形体によって形成されたケミカルフィルタであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のミニエンバイロメント装置。
- 前記ケミカル成分除去手段がシート状の除去手段であり、このシート状除去手段が前記循環経路の壁面に貼り付けられたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のミニエンバイロメント装置。
- 前記循環経路が前記中間室を挟んだ対称位置に2系統で配設されたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のミニエンバイロメント装置。
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