JP4431889B2 - 面発光型半導体レーザ - Google Patents
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Description
基板と、
前記基板の上方に設けられた第1ミラーと、
前記第1ミラーの上方に設けられた活性層と、
前記活性層の上方に設けられた第2ミラーと、
前記第2ミラーの上方に設けられた電極と、
前記第2ミラーのうち前記電極に覆われていない出射面と、を含み、
前記電極は、下記式(1)を満たす膜厚Dである。
(式(1)において、iは整数、λは発振波長、nは出射面を覆う材質の屈折率を示す。)
本発明の面発光型半導体レーザによれば、レーザ光の放射角を小さくすることができる。これは、前記第2ミラーの上方に設けられた電極の膜厚を上記範囲に設定することにより、このような効果が得られる。本願発明者は、レーザ光の放射角が、周期的に変化し、かつ、放射角と電極の膜厚との間に相関関係があることを見出した。具体的には、放射角と電極の膜厚との相関関係を調べたところ、電極の厚さに対してλ/2の周期で放射角が変動することが分かった。その詳細は、後述する。そこで、本発明によれば、このような考察に基づき、電極の膜厚の範囲を設定したため、レーザ光の放射角が小さい面発光型半導体レーザを提供することができる。
前記出射面の上方に存在する前記誘電体膜の膜厚D´は、下記式(2)で示される膜厚を有することができる。
(式(2)において、iは整数、λは発振波長、n′は誘電体の屈折率を示す。)
この態様によれば、さらに、出射面の一部をも覆うように誘電体膜が設けられている。たとえば、レーザに光ファイバを接続した場合、レーザ光が出射された後に、ファイバから反射して戻ってくる光があるが、この戻り光は、出射光にノイズを与えることがある。しかし、この態様によれば、出射面の上方に設けられた誘電体膜の膜厚を上記範囲に設定することで、そのような問題を抑制することができる。その結果、特性の良好な面発光型半導体レーザを提供することができる。
前記開口の径と、前記出射面の径との差ΔRは、下記式(3)で求められる値を満たす
ことができる。
(式(3)中、dは活性層から出射面までの距離、θは活性層から発生する光の広がり角を示す。)
本発明の面発光型半導体レーザにおいて、さらに、前記第2ミラーと、前記電極との間にコンタクト層が設けられていることができる。
1.1.面発光型半導体レーザ
まず、本実施の形態にかかる面発光型半導体レーザの構造について、図1,2を参照しつつ説明する。図1は、本発明を適用した第1の実施の形態に係る面発光型半導体レーザの平面図である。図2は、本実施の形態に係る面発光型半導体レーザの断面図であり、図1のI−I線断面図である。
(式(3)中、dは活性層から出射面までの距離、θは活性層から発生する光の広がり角を示す。)なお、ここで、径の差とは正確には半径等の差ではなくて、電流狭窄層の内縁と電極の内縁との最も近い距離をいう。
(式(1)において、iは整数、λは発振波長、nは出射面を覆う材質の屈折率を示す。nは図2においては空気の屈折率、1をとる。)
ここで、上記範囲の膜厚を有する利点について、図3を参照しつつ説明する。図3(A)、(B)において、横軸は電極の膜厚を示し、縦軸はレーザ光の放射角を示す。図3(A)は、電極の膜厚とレーザ光の放射角との関係を示す図であり、図3(B)は、電極の膜厚Dが0<D≦λ/2nの範囲内の電極の膜厚とレーザ光の放射角との関係を示す図である。なお、図3(A)および図3(B)の結果は、時間領域差分法(FDTD法)により放射角を求めた結果である。本願発明者は、図3(A)に示すように、レーザ光の放射角が電極の膜厚に対して、ほぼ一定の周期をもって変動していることを見出した。具体的には、λ/2nの周期で放射角が変動している。さらに、放射角が最小となる電極の膜厚は、(λ(発振波長)/4n)を中心として、一定の範囲内で変動していることを見出した。そして、電極の膜厚Dが0<D≦λ/2nの範囲で放射角の最小値がどの範囲で変動するかを調べた。その結果を図3(B)に示す。図3(B)から分かるように、放射角が最小となる位置は、電極の膜厚Dがλ/8n≦D≦3λ/8nの範囲内で変動していることが分かった。以上のシミュレーションの結果より、第1電極122の膜厚が上記式(1)の範囲内にあるように設計することで、レーザ光の放射角を小さくできる。
さらに、半導体基板110の裏面には、第2電極124が形成されている。第2電極124は、たとえばAuとGeの合金とAuとの積層膜からなる。すなわち、図1および図2に示す面発光型半導体レーザ100では、柱状部130上で第1電極122は第2ミラー146と接合し、かつ、第2電極124は半導体基板110と接合している。この第1電極122および第2電極124によって活性層144に電流が注入される。
本実施の形態の面発光型半導体レーザ100の一般的な動作を以下に示す。なお、下記の面発光型半導体レーザ100の駆動方法は一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。
次に、図1および図2に示す面発光型半導体レーザ100の製造方法の一例について、図4〜図7を参照しつつ説明する。図4〜図7は、図1および図2に示す本実施の形態の面発光型半導体レーザ100の製造工程を模式的に示す断面図であり、それぞれ図2に示す断面に対応している。
本実施の形態の面発光レーザは、上述の実施の形態に限定されることなく、本発明の要旨の範囲内において、様々な変形が可能である。以下にその変形例の一例について説明する。
図8および図9は、変形例1にかかる面発光型半導体レーザを模式的に示す断面図である。なお、図8および図9は、変形例1にかかる面発光型半導体レーザの断面図であって、図2に示す断面図と対応している。
(式(2)中、iは整数、λは発振波長、n´は誘電体膜の屈折率を示す。)
誘電体膜128の膜厚を上記範囲に設定することで、戻り光の低減を図ることができる。これは、誘電体膜128の上面での反射と誘電体膜128の下面での反射とを考えると、いずれも、入射光と、反射光との位相差がπとなる。そのため、波長λの戻り光に対しても反射率を高めることができる。その結果、戻り光による影響の少ない特性の良好な面発光型半導体レーザを提供することができる。
図10(A)〜図10(C)は、変形例2にかかる面発光型半導体レーザを示す平面図であり、図10(A)〜図10(C)は、図1に対応した平面を示す。
図11は、変形例3にかかる面発光型半導体レーザを模式的に示す断面図であり、図11は、図2に対応する断面を示す。
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の上方に設けられた第1ミラーと、
前記第1ミラーの上方に設けられた活性層と、
前記活性層の上方に設けられた第2ミラーと、
前記第2ミラーの上方に設けられた電極と、
前記第2ミラーのうち前記電極に覆われていない出射面と、を含み、
前記電極は、複数の分割電極からなり、該複数の分割電極は、その前記出射面側の端面をつなぐ線がリング状になるよう配置され、
前記複数の分割電極の一部は、前記活性層への電流注入に寄与しない電極である、面発光型半導体レーザ。 - 請求項1において、
さらに、少なくとも前記出射面側の前記電極の上端部を覆う誘電体膜と、を含む、面発光型半導体レーザ。 - 請求項2において、
前記誘電体膜は、前記出射面側の前記電極の上端部を覆い、さらに、前記出射面の少なくとも一部の上方に設けられ、
前記出射面の上方に存在する前記誘電体膜の膜厚D´は、下記式(2)で示される膜厚を有する、面発光型半導体レーザ。
D´=(2i+1)λ/4n′・・・(2)
(式(2)において、iは整数、λは発振波長、n′は誘電体の屈折率を示す。) - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記電極は、前記出射面側の断面の端部の少なくとも一部が曲線である面発光型半導体レーザ。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記活性層の上方に電流狭窄部を有し、
前記電流狭窄部により画定される開口の径は、前記出射面の径と比して小さい、面発光型半導体レーザ。 - 請求項5において、
前記開口は、平面視したときに前記出射面の内側に位置し、
前記開口の径と前記出射面の径との差ΔRは、下記式(3)を満たす値である、面発光型半導体レーザ。
ΔR≧d×tan(θ/2)・・・(3)
(式(3)中、dは活性層から出射面までの距離、θは活性層から発生する光の広がり角を示す。) - 請求項1ないし6のいずれかにおいて、
さらに、前記第2ミラーと、前記電極との間にコンタクト層が設けられている、面発光型半導体レーザ。
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