JP4354100B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば擬似位相整合方式の第二高調波発生デバイスに適した光導波路素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光情報処理技術において、高密度光記録を実現するためには、波長400−430nm程度の青色光を,30mW以上の出力で安定的に発振する青色光レーザーが要望されており、開発競争が行われている。青色光光源としては、赤色光を基本波として発振するレーザーと、疑似位相整合方式の第二高調波発生素子とを組み合わせた光導波路型の波長変換素子が期待されている。
【0003】
例えば、「Electronics Letters、24th April,1997年.Vol.33,No.9」の806−807頁の記載によれば、MgOをドープしたニオブ酸リチウム基板に周期分極反転構造を形成し、この構造に対して直交する方向へと向かってプロトン交換光導波路を形成することによって、光導波路型の第二高調波発生装置を実現している。
【0004】
また、信学技報「TECHNICAL REPORT OF IEICE US95−24:EMD95−20:CPM95−32(1995−07)第31−38頁の記載によれば、ニオブ酸リチウム基板をタンタル酸リチウム基板に直接接合し、次いでニオブ酸リチウム基板を薄片化し、光導波路構造を試作している。この方法では、ニオブ酸リチウム基板の表面とタンタル酸リチウム基板の表面とを平坦化および清浄化し、各表面を親水化処理し、水酸基を各表面に吸着させ、この状態で熱処理することによって、接合界面から次第に水酸基や水素を離脱させ、基板同士の接合力を強化していく。そして、光導波路内に光を閉じ込めることには成功している。更に、光損傷に強い光導波路デバイスやSHG効果の大きい基板を用いたデバイス、光集積回路について適用可能性があるのではないかと示唆している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記信学技法に記載の光導波路デバイスでは、基板と光導波路との間での熱膨張差によって、d定数(電気光学定数)が劣化し易い。このため、光導波路内に周期分極反転構造を形成し、第二高調波発生素子を製造しようとすると、第二高調波への変換効率が低くなる。特に、基板と光導波路と直接接合する段階では、両者を接触させた状態で100−1000℃、特には300℃以上での熱処理が必要である。しかし、熱処理によって基板と光導波路とを接合した後の温度降下段階において両者の間の熱収縮差から光導波路に歪みが発生し、d定数が劣化したり、極端な場合にはモードが変化するという問題点があるので、実用的な光デバイスとして使用する目処が立たない。
【0006】
本発明の課題は、基板とバルク状の光導波路とを直接接合して得られる光導波路素子において、バルク状の光導波路の低い光損傷を享受しつつ、d定数の劣化を防止できるようにすることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶(ニオブとタンタルとの原子数の合計に対するニオブの原子数の百分率比が10%以下である)からなる基板と、この基板の接合面に直接接合されているバルク状のニオブ酸リチウム単結晶からなる光導波路とを備えている光導波路素子であって、
前記基板のc軸から角度θ傾斜した方位と、前記光導波路のc軸とを合わせて形成してあり、
更に、前記光導波路のc軸が前記接合面と平行であって、前記基板の前記角度θが前記接合面に対して17−37°傾斜していると共に、
前記基板及び前記光導波路のそれぞれが有している2つのa軸のうちで、その1つが前記光導波路の長手方向に沿って互いに平行とされている、ことを特徴とする。
【0008】
このように、いわゆるオフセットされた基板と、ニオブ酸リチウム単結晶からなる光導波路と、基板と光導波路との直接接合との三要素を組み合わせることによって、バルク状の光導波路の良好な結晶性、即ち低い光伝搬損失を得ることができ、同時に、基板と光導波路との熱膨張を接合面の全体にわたって二次元的に整合させることができる。これによって、光損傷が低い上に、d定数の劣化がない光導波路素子を提供できるようになった。
【0009】
特に、こうした光導波路素子を利用して高調波発生素子を作製することによって、光導波路の低い光損傷と、安定したd定数とを利用して、実用的な高い高調波発生効率を有する素子を提供できるので、本発明の産業上の利用性は大きい。
【0010】
本発明の素子を高調波発生装置、特に第二高調波発生装置として使用した場合には、高調波の波長は330−550nmが好ましく、400−430nmが特に好ましい。
【0011】
図面を参照しつつ、本発明を更に説明する。図1(a)は、ニオブ酸リチウム単結晶からなる素材1を示す断面図である。この素材1は、ニオブ酸リチウム単結晶のX板3と、このX板3の主面上に形成されている周期分極反転構造2とからなる。周期分極反転構造2は、この時点では光導波路としては機能しない。X板とは、基板を構成するニオブ酸リチウム単結晶のa軸(X軸)が、その基板の主面に対して略垂直な板のことである。ニオブ酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、タンタル酸リチウム単結晶は、2つの直交するa軸と、各a軸に直交するc軸とを有している。周期分極反転構造の作製方法は限定されないが、例えば電圧印加法による。
【0012】
ニオブ酸リチウム単結晶中には、他の金属元素をドープすることができる。光導波路の耐光損傷性を更に向上させるためには、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、スカンジウム(Sc)及びインジウム(In)からなる群より選ばれる1種以上の金属元素を含有させることができ、マグネシウムが特に好ましい。
【0013】
こうした他の金属元素の添加量は、ニオブ酸リチウム単結晶の性質を保持する上から10mol%以下が好ましく、5mol%以下が更に好ましい。また、光導波路の耐光損傷性を更に向上させるという観点からは、1mol%以上とすることが好ましい。
【0014】
図1(b)は、基板4を示す断面図である。基板4はニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶からなる。この単結晶のc軸は、基板4の主面(接合面)4aに対して角度θ傾斜している。
【0015】
次いで、素材1と基板4とを、図2(a)に示すように積層し、直接接合する。本発明で言う直接接合とは、基板4と光導波路(この段階では素材1)との間に、他の接着層や接合層を介することなく、基板4と光導波路とを直接に接触させた状態で両者を接合することを言う。そして、この結果、基板4と光導波路との界面において発生した接合力によって、基板4と光導波路とを接合する。
【0016】
こうした直接接合技術それ自体については、前述した信学技法の文献に記載されているが、好適な条件は以下のとおりである。
【0017】
即ち、基板4の接合面および光導波路2の接合面を精密研磨加工することによって、両接合面を平坦化する。この際の各接合面のRaは5オングストローム以下とすることが好ましく、各接合面のうねりWaは1μm以下とすることが好ましい。次いで、各接合面を清浄化し、次いで親水化処理する。親水化処理の際には、水蒸気を使用することが好ましい。次いで両接合面を重ね合わせ、好ましくは0.5−10kgf/cm2 の荷重を加えた状態で400−600℃に加熱する。
【0018】
素材1と基板4との接合を確認した後、基板3側から加工を進めることにより、図3(a)−図4(b)に示すような素子6を成形する。ただし、図3(a)は、素子6を概略的に示す斜視図であり、図3(b)は素子6の正面図であり、図4(a)は素子6の側面図であり、図4(b)は素子6の平面図である。
【0019】
素子6においては、素材1の基板3の全体が除去されており、かつ周期分極反転構造2の一部と基板4の一部とが除去されている。このような加工は、例えば機械加工(例えばダイシング加工)、レーザー加工によって可能である。
【0020】
素子6は、基板7と、基板7上に成形された光導波路とを備えている。基板7は主面7aを備えており、その中央付近に細長いリッジ部分7bを備えている。7cは、リッジ部分7bの両側の側面であり、7dはリッジ部分7bの上面(接合面)である。なお、図3、図4では、7aと7cとは略垂直に描かれているが、7aと7cとの角度が略垂直からずれていても差し支えない。
【0021】
リッジ部分7bの接合面7dに対して接触するように、細長い三次元光導波路8が形成されている。光導波路8を構成するニオブ酸リチウム単結晶の二つのa軸のうちの一つは基板の主面7aに対して略垂直であり、二つめのa軸は光導波路8の長手方向に伸びている。基板7を構成する単結晶の2つのa軸のうちの一つは、図4(b)に示すように光導波路8の長手方向に伸びている。基板7を構成する単結晶のc軸は、基板7の接合面7dおよび主面7aに対してθの角度をもって傾斜しており、この単結晶の2つめのa軸は、接合面7dと垂直な軸に対してθの角度をもって傾斜している。
【0022】
この状態では、基板7と光導波路8との接合面において、基板7を構成する単結晶の熱膨張と、光導波路8を構成する単結晶の熱膨張とが、広い温度範囲にわたって二次元的にほぼ整合する。
【0023】
即ち、図5、図6のグラフは、室温における長さを1としたときの各単結晶の各軸方向の熱膨張量(規格化膨張量)の温度変化を示す。タンタル酸リチウムのc軸は負の傾きを有しており、タンタル酸リチウムのa軸は大きな正の傾きを有している。また、酸化マグネシウム5mol%ドープしたニオブ酸リチウム単結晶のc軸の傾きは正であるが、その傾きは小さい。従って、タンタル酸リチウムのa軸またはc軸とニオブ酸リチウムのc軸とが同じ接合面内に存在していると、基板と光導波路との接合界面に沿って顕著な熱膨張差が発生する。
【0024】
これに対して、本発明では、タンタル酸リチウムのc軸から角度θ傾斜した方位f(図3(b)参照)を、ニオブ酸リチウムのc軸と合わせている。図5から分かるように、この傾斜角度θが27°近辺のときに両者の熱膨張差はほぼ消失する。また、ニオブ酸リチウムのa軸とタンタル酸リチウムのa軸とは、図6に示すように共に正の値をとり、両者の熱膨張差は小さい。この結果、基板と光導波路との接合界面において、基板を構成する単結晶と光導波路を構成する単結晶との間で二次元的に熱膨張の整合が実現される。
【0025】
本発明の効果を奏する上で、θは17−37°であることが好ましく、20−30°であることが更に好ましく、26−28°であることが一層好ましい。
【0026】
また、基板を構成する材質は、タンタル酸リチウム単結晶であることが最も好ましいが、この中に10mol%以下(好ましくは5mol%以下)のニオブ酸リチウムが固溶している場合にも本発明の効果を奏することは可能である。
【0027】
なお、光導波路を構成する単結晶中には、他の金属元素をドープすることができ、特にマグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、スカンジウム(Sc)及びインジウム(In)からなる群より選ばれる1種以上の金属元素を含有させることができる。
【0029】
光導波路は二次元光導波路であっても良いが、三次元光導波路であることが、周期分極反転構造との光のオーバーラップが効率的にとれる点で好ましい。三次元光導波路の場合には、コアの断面形状、即ち寸法を高精度で制御する必要がある。このコアの断面形状は、コアの屈折率やクラッドの屈折率に大きく依存し、クラッドの屈折率が変化すれば、同等の光導波路の光モードを得るためにクラッドの寸法を変更する必要がある。
【0030】
タンタル酸リチウムを基板として光導波路と直接接合する場合には、タンタル酸リチウムの接合角度に影響を受けずに、同一のコア形状を利用することができる。即ち、タンタル酸リチウムの複屈折性はニオブ酸リチウムの複屈折性に比較してはるかに小さいために、タンタル酸リチウムの結晶方位を回転させても、屈折率の変化がほとんどないためである。
【0031】
本発明の光導波路素子は、導波路構造を有する通信用の超高速光変調器や光スイッチ等にも適用できる。図7(a)は、超高速光変調器を模式的に示す平面図であり、図7(b)は図7(a)の断面図である。
【0032】
基板10の接合面10a上には、例えば三列の変調用電極11A、11B、11Cが形成されている。また、基板10の一方の端面から他方の端面へと向かって、いわゆるマッハツェンダー型の光導波路12が形成されている。光導波路12は、入り口部分12c、一対の分岐部分12a、12b、出口部分12dを備えている。光導波路12の全体は、前述の光導波路8と同様にして形成されたものであり、光導波路8と同様の結晶方位を有している。基板10は、前述の基板7と同様の結晶方位を有している。光導波路12と基板10とは直接接合されている。
【0033】
【実施例】
図1、図2を参照しつつ説明した方法に従って、図3、図4に示す素子6を作製した。具体的には、MgOを5mol%ドープしたニオブ酸リチウム単結晶からなる、縦30mm、横30mm、厚さ1mmの3度オフカット基板3(87°Zカット)を準備した。この基板3に、電圧印加法によって、周期3.2μm、分極反転深さ2μmの周期分極反転構造2を形成した。反転パターンは、基板の分極方向に沿って延びる。そして、基板3は3度オフカットされているので、反転パターンは、基板の主面から基板の内部へと向かって、主面に対して3度傾斜する方向へと延びる。
【0034】
また、タンタル酸リチウム単結晶からなる、縦30mm、横30mm、厚さ1mmの基板4を準備した。θは27°である。
【0035】
次いで、素材1の接合面と、基板4の接合面とをそれぞれ有機溶剤によって洗浄し、酸処理し、更に酸素プラズマによって処理することで清浄化処理した。
【0036】
次いで、図2の状態で2kgf/cm2 の圧力を加え、水蒸気を含ませた酸素雰囲気の炉内で500℃で1時間加熱し、室温に冷却した。次いで接合体を治具5から取り外し、接合体をダイシング加工して図3の素子を成形した。
【0037】
この際、リッジ部分7cの高さmを1μmとし、光導波路8の高さnを2μmとし、リッジ部分の幅pを3μmとした。ダイシングブレードとしては、レジンボンドのダイヤモンド砥石「SD6000」(外径φ約52mm、厚さ0.1mm)を使用した。ブレードの回転数は30,000rpmとし、ブレードの送り速度を1.0mm/秒とした。リッジ構造を形成した後、基板の両端を切断し、長さ10mmの素子6を成形した。光導波路8の両端面を化学機械研磨した。得られた素子の光学顕微鏡写真を図8に示す(倍率1500倍)。
【0038】
この素子を使用し、チタン−サファイアレーザーを使用し、第二高調波を発生させた。位相整合波長が850nmであり、第二高調波の波長は425nmであった。基本波の入射が100mWのときに、30mWの第二高調波出力が得られ、第二高調波において、光損傷等による特性劣化は観測されなかった。直接接合による光導波路と基板の熱膨張差に起因する応力もなく、また第二高調波出力より、応力に起因する光導波路のd定数の顕著な劣化は起きていないものと判断した。
【0039】
【発明の効果】
以上から明らかなように、本発明によれば、基板とバルク状の光導波路とを直接接合して得られる光導波路素子において、バルク状の光導波路の良好な結晶性に伴う低い光損傷を享受しつつ、d定数の劣化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、ニオブ酸リチウム単結晶からなる素材1を示す断面図であり、(b)は、タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶からなる基板4を示す断面図である。
【図2】素材1と基板4とを積層および加圧し、直接接合している状態を示す模式図である。
【図3】(a)は、素子6を概略的に示す斜視図であり、(b)は素子6の正面図である。
【図4】(a)は、素子6の側面図であり、(b)は、素子6の平面図である。
【図5】各単結晶の結晶方位と規格化熱膨張との関係を示すグラフである。
【図6】タンタル酸リチウム単結晶のa軸および酸化マグネシウムドープニオブ酸リチウム単結晶のa軸と、各規格化熱膨張との関係を示すグラフである。
【図7】(a)は、超高速光変調器の構成を模式的に示す平面図であり、(b)は、(a)の変調器の正面図である。
【図8】本発明の実施例で作製したリッジ型光導波路の顕微鏡写真である。
【符号の説明】
1 素材 2 周期分極反転構造 3 ニオブ酸リチウム単結晶からなる基板 4、7、10 タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶からなる基板
4a 基板4の接合面 5 治具 7a 基板7の主面 7b 基板7のリッジ部分 7d リッジ部分7bの接合面 8 周期分極反転構造を有する光導波路 10a 基板10の接合面 11A、11B、11C 電極 12 マッハツェンダー型の光導波路
Claims (4)
- タンタル酸リチウム単結晶またはニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶(ニオブとタンタルとの原子数の合計に対するニオブの原子数の百分率比が10%以下である)からなる基板と、この基板の接合面に直接接合されているバルク状のニオブ酸リチウム単結晶からなる光導波路とを備えている光導波路素子であって、
前記基板のc軸から角度θ傾斜した方位と、前記光導波路のc軸とを合わせて形成してあり、
更に、前記光導波路のc軸が前記接合面と平行であって、前記基板の前記角度θが前記接合面に対して17−37°傾斜していると共に、
前記基板及び前記光導波路のそれぞれが有している2つのa軸のうちで、その1つが前記光導波路の長手方向に沿って互いに平行とされている、ことを特徴とする、光導波路素子。 - 前記光導波路が三次元光導波路であることを特徴とする、請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記ニオブ酸リチウム単結晶内に、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化スカンジウムおよび酸化インジウムからなる群より選ばれる1種以上の金属酸化物がドープされていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光導波路素子。
- 少なくとも前記光導波路内に周期分極反転構造が形成されており、前記光導波路素子が高調波発生用素子として機能することを特徴とする、請求項1−3のいずれか一つの請求項に記載の光導波路素子。
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