JP4313789B2 - 半導体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 74
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 72
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 236
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 100
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 83
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 82
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 82
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 82
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 113
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 18
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 10
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 108010075750 P-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000010351 charge transfer process Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14623—Optical shielding
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
図8は、本発明の第1の実施形態による半導体撮像装置40の断面構造を示す。ただし前記半導体撮像装置40は、前記図2のCMOS撮像素子におけるトランジスタ10Cとフォトダイオード10Dに対応している。
[第2の実施形態]
図14(A),(B)は、前記図10(B)のイオン注入工程を変形した、本発明の第2の実施形態による半導体撮像装置の製造工程を、また図15は、図14(A),(B)の工程により製造された半導体撮像装置40Aの構成を示す。
[第3の実施形態]
図16(A),(B)は、本発明の第3の実施形態による半導体撮像装置40Bの製造工程を示す。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[第4の実施形態]
図17(A)〜図18(D)は、本発明の第4の実施形態による半導体撮像装置40Cの製造工程を示す。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[第5の実施形態]
図19(A)は、本発明の第5の実施形態を示す。
活性領域を画成されたシリコン基板と、
前記シリコン基板上に、前記活性領域中のチャネル領域に対応して、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第1の側に、上端部が前記シリコン基板表面から離間して、かつ内側端部が前記ゲート電極直下のチャネル領域の下部に侵入するように形成され、受光領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の前記第1の側において、前記シリコン基板表面に、内側端部が前記ゲート電極の前記第1の側の側壁面に整合するように形成され、少なくとも前記受光領域のうち、前記ゲート電極の前記第1の側に位置する部分を覆うように形成された、シールド層を形成する第2導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第2の側に形成され、浮遊拡散領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極直下においてチャネル領域を形成する第2導電型拡散領域とよりなる半導体撮像装置であって、
前記チャネル領域は、
前記第2の導電型を有し一端が前記シールド層に接して形成され、他端が前記ゲート電極直下の領域に侵入し、前記受光領域のうち、前記チャネル領域の下部に侵入する部分を覆う第1のチャネル領域部分と、
前記第2の導電型を有し前記浮遊拡散領域に接して形成される第2のチャネル領域部分とよりなり、
前記第1のチャネル領域部分は、前記第2の導電型の不純物元素を、前記シールド層よりも低い不純物濃度で含み、前記第2のチャネル領域部分は、前記不純物元素を、前記第1のチャネル領域部分よりも低い不純物濃度で含むことを特徴とする半導体撮像装置。
前記シールド層は、前記不純物元素を、前記ゲート電極の前記第1の側で少なくとも前記受光領域を覆う部分において、実質的に一様な不純物濃度で含むことを特徴とする付記1記載の半導体撮像装置。
前記第1のチャネル領域部分の下には、前記受光領域との間に、前記第2のチャネル領域部分の不純物濃度に実質的に等しい不純物濃度の中間領域が形成されることを特徴とする付記1記載の半導体撮像装置。
前記第1のチャネル領域部分と前記第2のチャネル領域部分の間には、前記第1および第2の領域の不純物濃度の中間の不純物濃度を有する第3のチャネル領域部分が形成されることを特徴とする付記1記載の半導体撮像装置。
前記第1および第2のチャネル領域部分は、前記チャネル領域中に、全体として前記浮遊拡散領域に向かって傾斜するポテンシャル勾配を形成することを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体撮像装置。
活性領域を画成されたシリコン基板と、
前記シリコン基板上に、前記活性領域中のチャネル領域に対応して、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第1の側に、上端部が前記シリコン基板表面から離間して、かつ内側端部が前記ゲート電極直下のチャネル領域の下部に侵入するように形成され、受光領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の前記第1の側において、前記シリコン基板表面に、内側端部が前記ゲート電極の前記第1の側の側壁面に整合するように形成され、少なくとも前記受光領域のうち、前記ゲート電極の前記第1の側に位置する部分を覆うように形成された、シールド層を形成する第2導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第2の側に形成され、浮遊拡散領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極直下においてチャネル領域を形成する第2導電型拡散領域とよりなる半導体撮像装置であって、
前記チャネル領域は、
前記第2の導電型を有し一端が前記シールド層に接して形成され、他端が前記ゲート電極直下の領域に侵入し、前記受光領域のうち、前記チャネル領域の下部に侵入する部分を覆う第1のチャネル領域部分と、
前記第2の導電型を有し前記浮遊拡散領域に接して形成される第2のチャネル領域部分とよりなり、
前記第1のチャネル領域部分と前記第2のチャネル領域部分とは、前記第1導電型の不純物元素と前記第2の導電型の不純物元素を、前記第1のチャネル領域において、前記第2のチャネル領域におけるよりも、前記第2導電型のキャリア濃度が高くなるような不純物濃度で含むことを特徴とする半導体撮像装置。
前記受光領域の下端は、前記活性領域を画成する素子分離構造の下端を超えた深さに形成されていることを特徴とする付記6記載の半導体撮像装置。
前記受光領域に周囲には、前記受光領域を画成するように前記第2導電型のウェルが、前記素子分離構造の下端を超え、前記受光領域の下端を超えない深さに形成されていることを特徴とする付記7記載の半導体撮像装置。
活性領域を画成されたシリコン基板と、前記シリコン基板上に、前記活性領域中のチャネル領域に対応して、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記活性領域中、前記ゲート電極の第1の側に、上端部が前記シリコン基板表面から離間して、かつ内側端部が前記ゲート電極直下のチャネル領域の下部に侵入するように形成され、受光領域を形成するn型拡散領域と、前記活性領域中、前記ゲート電極の前記第1の側において、前記シリコン基板表面に、内側端部が前記ゲート電極の前記第1の側の側壁面に整合するように形成され、少なくとも前記受光領域のうち、前記ゲート電極の前記第1の側に位置する部分を覆うように形成された、シールド層を形成するp型拡散領域と、前記活性領域中、前記ゲート電極の第2の側に形成され、浮遊拡散領域を形成するn型拡散領域と、前記活性領域中、前記ゲート電極直下においてチャネル領域を形成するp型拡散領域とよりなり、前記チャネル領域は、p型の導電型を有し一端が前記シールド層に接して形成され、他端が前記ゲート電極直下の領域に侵入し、前記受光領域のうち、前記チャネル領域の下部に侵入する部分を覆う第1のチャネル領域部分と、p型の導電型を有し前記浮遊拡散領域に接して形成される第2のチャネル領域部分とよりなり、前記第1のチャネル領域部分は、p型の不純物元素を、前記シールド層よりも低い濃度で含み、前記第2のチャネル領域部分は、前記p型不純物元素を、前記第1のチャネル領域部分よりも低い濃度で含む半導体撮像装置を使った受光方法であって、
受光時に前記ゲート電極に+0.3〜0.7Vの電圧を印加することを特徴とする受光方法。
素子分離構造により活性領域を画成されたシリコン基板と、前記活性領域中のチャネル領域に対応して、前記シリコン基板上に、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記活性領域中、前記ゲート電極の第1の側に、上端部が前記シリコン基板表面から離間して、かつ内側端部が前記ゲート電極直下のチャネル領域の下部に侵入するように形成された、受光領域を形成するn型拡散領域と、前記活性領域中、前記ゲート電極の前記第1の側において、前記シリコン基板表面に、内側端部が前記ゲート電極の前記第1の側の側壁面に整合するように形成され、少なくとも前記受光領域のうち、前記ゲート電極の第1の側に位置する部分を覆うように形成された、シールド層を形成するp型拡散領域と、前記活性領域中、前記ゲート電極の第2の側に形成された、浮遊拡散領域を形成するn型拡散領域と、前記活性領域中、前記ゲート電極直下においてチャネル領域を形成するp型拡散領域とよりなる半導体撮像装置を使った受光方法であって、
受光時に前記ゲート電極に−0.5〜−2Vの電圧を印加することを特徴とする受光方法。
半導体撮像装置の製造方法であって、
シリコン基板上に画成された活性領域中に第1の導電型の不純物元素を導入し、前記シリコン基板の表面に第1の導電型の第1の拡散領域を、前記活性領域の全面にわたり、第1の深さでおよび第1の不純物濃度で形成する工程と、
前記活性領域中、前記第1の拡散領域の第1の部分を第1のマスクパターンにより覆い、前記第1の部分に隣接する第2の部分に、前記第1の拡散領域に重畳して、第2の導電型の不純物元素を、前記第1のマスクパターンをマスクに使って、前記第1の深さよりも深い第2の深さに導入し、第2の導電型の受光領域を、前記第1の拡散領域の下に形成する工程と、
前記活性層中、前記受光領域に重畳して、第1の導電型の不純物元素を、前記第1のマスクパターンを使って、前記第1の深さあるいはそれよりも浅い深さに導入し、前記受光領域上に、前記第1の導電型の第2の拡散領域を、前記第2の拡散領域が、前記第1の導電型の不純物元素を、前記第1の拡散領域よりも高い第2の不純物濃度で含むように形成する工程と、
前記シリコン基板上に、前記第1の拡散領域と前記第2の拡散領域の境界の一部を覆うように、ゲート電極を、ゲート絶縁膜を介して形成する工程と、
前記活性領域中に、前記ゲート電極、および前記活性領域のうち前記ゲート電極に対して前記受光領域と反対側の部分を覆う第2のマスクパターンをマスクに、第1の導電型の不純物元素を導入し、前記第2の拡散領域の表面に、前記第1の導電型の拡散領域よりなるシールド層を、前記シールド層が、前記第1の導電型の不純物元素を、前記第2の不純物濃度よりも高い第3の不純物濃度で含むように形成する工程と、
前記活性領域中に、前記ゲート電極、および前記活性領域のうち前記ゲート電極に対して前記受光領域の側の部分を覆う第3のマスクパターンをマスクに、第2の導電型の不純物元素を導入し、第2の導電型の浮遊拡散領域を形成する工程を含むことを特徴とする半導体撮像装置の製造方法。
前記第2の拡散領域を形成する工程は、前記第1の導電型の不純物元素を、イオン注入により、前記シリコン基板の表面に対し、斜めに、方向を変えて複数回注入する工程を含むことを特徴とする付記11記載の半導体撮像装置の製造方法。
半導体撮像装置の製造方法であって、
シリコン基板上に素子分離領域で画成された活性領域中に、第1の導電型の不純物元素を、前記素子分離領域の下端よりも深い第1の深さに導入し、第1の導電型の第1の拡散領域を形成する工程と、
前記活性領域中に第2の導電型の不純物元素を、第2の、より浅い深さに形成し、前記第1の拡散領域の表面に、第2の導電型の第2の拡散領域を形成する工程と、
前記活性領域上に、前記撮像素子の受光領域に対応して、前記受光領域の形成部分に対応する第1の領域を覆う第1のマスクパターンを形成し、前記第1のマスクパターンをマスクに使い、前記活性領域中、前記素子分離領域の下端よりも深い、しかし前記第1の拡散領域に下端を超えない深さに、第2の導電型の不純物元素を導入し、前記第1の拡散領域中に、前記第2の導電型を有し前記受光領域を画成するウェルを形成する工程と、
前記第1のマスクパターンをマスクに使い、前記活性領域中、前記第2の深さに第1の導電型の不純物元素を導入し、前記第1の拡散領域のうち、前記第1のマスクパターンで覆われていない部分に、前記第2の導電型を有するが前記第1の領域よりもキャリア濃度の低い第2の領域を形成する工程と、
前記シリコン基板上に、前記第1および第2の部分の境界の一部を覆うように、ゲート電極を、ゲート絶縁膜を介して形成する工程と、
前記活性領域中、前記ゲート電極に対し前記受光領域と反対側の部分を第3のマスクパターンで覆い、前記ゲート電極をおよび前記第3のマスクパターンをマスクに使い、第2の不純物元素を、前記第2の拡散領域に重畳して前記第1の深さに導入し、前記第2の導電型を有し、前記第1の部分よりもキャリア濃度が高いシールド層を形成する工程と、
前記活性領域中、前記受光領域と反対側の領域に、前記第1の導電型の不純物元素を導入し、前記第1の導電型の浮遊拡散領域を形成する工程を含むことを特徴とする半導体撮像装置の製造方法。
10C 転送ゲートトランジスタ
10D フォトダイオード
10F 読み出しトランジスタ
10S 選択トランジスタ
21,41 シリコン基板
41A 素子領域
21D,41D n型拡散領域(フォトダイオード)
21N,41N n型浮遊拡散領域
21P,41P1,41P2 p型チャネル領域
21P+,41P+ p+型シールド層
21I,41I 素子分離構造
22,42 ゲート酸化膜
23,43 ゲート電極
24,44 CVD酸化膜
FD 浮遊拡散領域
Claims (9)
- 活性領域を画成されたシリコン基板と、
前記シリコン基板上に、前記活性領域中のチャネル領域に対応して、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第1の側に、上端部が前記シリコン基板表面から離間して、かつ内側端部が前記ゲート電極直下のチャネル領域の下部に侵入するように形成され、受光領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の前記第1の側において、前記シリコン基板表面に、内側端部が前記ゲート電極の前記第1の側の側壁面に整合するように形成され、少なくとも前記受光領域のうち、前記ゲート電極の前記第1の側に位置する部分を覆うように形成された、シールド層を形成する第2導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第2の側に形成され、浮遊拡散領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極直下においてチャネル領域を形成する第2導電型拡散領域とよりなる半導体撮像装置であって、
前記チャネル領域は、
前記第2の導電型を有し一端が前記シールド層に接して形成され、他端が前記ゲート電極直下の領域に侵入し、前記受光領域のうち、前記チャネル領域の下部に侵入する部分を覆う第1のチャネル領域部分と、
前記第2の導電型を有し前記浮遊拡散領域に接して形成される第2のチャネル領域部分とよりなり、
前記第1のチャネル領域部分は、前記第2の導電型の不純物元素を、前記シールド層よりも低い不純物濃度で含み、前記第2のチャネル領域部分は、前記不純物元素を、前記第1のチャネル領域部分よりも低い不純物濃度で含み、
前記第1のチャネル領域部分の下には、前記受光領域との間に、前記第2のチャネル領域部分の不純物濃度に実質的に等しい不純物濃度の中間領域が形成されることを特徴とする半導体撮像装置。 - 前記シールド層は、前記不純物元素を、前記ゲート電極の前記第1の側で少なくとも前記受光領域を覆う部分において、実質的に一様な不純物濃度で含むことを特徴とする請求項1記載の半導体撮像装置。
- 前記第1のチャネル領域部分と前記第2のチャネル領域部分の間には、前記第1および第2の領域の不純物濃度の中間の不純物濃度を有する第3のチャネル領域部分が形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体撮像装置。
- 前記第1および第2のチャネル領域部分は、前記チャネル領域中に、全体として前記浮遊拡散領域に向かって傾斜するポテンシャル勾配を形成することを特徴とする請求項1または2記載の半導体撮像装置。
- 活性領域を画成されたシリコン基板と、
前記シリコン基板上に、前記活性領域中のチャネル領域に対応して、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第1の側に、上端部が前記シリコン基板表面から離間して、かつ内側端部が前記ゲート電極直下のチャネル領域の下部に侵入するように形成され、受光領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の前記第1の側において、前記シリコン基板表面に、内側端部が前記ゲート電極の前記第1の側の側壁面に整合するように形成され、少なくとも前記受光領域のうち、前記ゲート電極の前記第1の側に位置する部分を覆うように形成された、シールド層を形成する第2導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極の第2の側に形成され、浮遊拡散領域を形成する第1導電型拡散領域と、
前記活性領域中、前記ゲート電極直下においてチャネル領域を形成する第2導電型拡散領域とよりなる半導体撮像装置であって、
前記チャネル領域は、
前記第2の導電型を有し一端が前記シールド層に接して形成され、他端が前記ゲート電極直下の領域に侵入し、前記受光領域のうち、前記チャネル領域の下部に侵入する部分を覆う第1のチャネル領域部分と、
前記第2の導電型を有し前記浮遊拡散領域に接して形成される第2のチャネル領域部分とよりなり、
前記第1のチャネル領域部分と前記第2のチャネル領域部分とは、前記第1導電型の不純物元素と前記第2の導電型の不純物元素を、前記第1のチャネル領域において、前記第2のチャネル領域におけるよりも、前記第2導電型のキャリア濃度が高くなるような不純物濃度で含むことを特徴とする半導体撮像装置。 - 前記受光領域の下端は、前記活性領域を画成する素子分離構造の下端を超えた深さに形成されていることを特徴とする請求項4記載の半導体撮像装置。
- 半導体撮像装置の製造方法であって、
シリコン基板上に画成された活性領域中に第1の導電型の不純物元素を導入し、前記シリコン基板の表面に第1の導電型の第1の拡散領域を、前記活性領域の全面にわたり、第1の深さでおよび第1の不純物濃度で形成する工程と、
前記活性領域中、前記第1の拡散領域の第1の部分を第1のマスクパターンにより覆い、前記第1の部分に隣接する第2の部分に、前記第1の拡散領域に重畳して、第2の導電型の不純物元素を、前記第1のマスクパターンをマスクに使って、前記第1の深さよりも深い第2の深さに導入し、第2の導電型の受光領域を、前記第1の拡散領域の下に形成する工程と、
前記活性領域中、前記受光領域に重畳して、第1の導電型の不純物元素を、前記第1のマスクパターンを使って、前記第1の深さあるいはそれよりも浅い深さに導入し、前記受光領域上に、前記第1の導電型の第2の拡散領域を、前記第2の拡散領域が、前記第1の導電型の不純物元素を、前記第1の拡散領域よりも高い第2の不純物濃度で含むように形成する工程と、
前記シリコン基板上に、前記第1の拡散領域と前記第2の拡散領域の境界を覆うように、ゲート電極を、ゲート絶縁膜を介して形成する工程と、
前記活性領域中に、前記ゲート電極、および前記活性領域のうち前記ゲート電極に対して前記受光領域と反対側の部分を覆う第2のマスクパターンをマスクに、第1の導電型の不純物元素を導入し、前記第2の拡散領域の表面に、前記第1の導電型の拡散領域よりなるシールド層を、前記シールド層が、前記第1の導電型の不純物元素を、前記第2の不純物濃度よりも高い第3の不純物濃度で含むように形成する工程と、
前記活性領域中に、前記ゲート電極、および前記活性領域のうち前記ゲート電極に対して前記受光領域の側の部分を覆う第3のマスクパターンをマスクに、第2の導電型の不純物元素を導入し、第2の導電型の浮遊拡散領域を形成する工程を含むことを特徴とする半導体撮像装置の製造方法。 - 前記第2の拡散領域を形成する工程は、前記第1の導電型の不純物元素を、イオン注入により、前記シリコン基板の表面に対し、斜めに、方向を変えて複数回注入する工程を含むことを特徴とする請求項7記載の半導体撮像装置の製造方法。
- 半導体撮像装置の製造方法であって、
シリコン基板上に素子分離領域で画成された活性領域中に、第1の導電型の不純物元素を、前記素子分離領域の下端よりも深い第1の深さに導入し、第1の導電型の第1の拡散領域を形成する工程と、
前記活性領域中に、第2の導電型の不純物元素を、前記第1の深さよりも浅い第2の深さに形成し、前記第1の拡散領域の表面に、第2の導電型の第2の拡散領域を形成する工程と、
前記活性領域上に、前記半導体撮像装置の受光領域に対応して、前記受光領域の形成部分に対応する前記第2の拡散領域の第1の領域を覆う第1のマスクパターンを形成し、前記第1のマスクパターンをマスクに使い、前記活性領域中、前記素子分離領域の下端よりも深い、しかし前記第1の拡散領域の下端を超えない深さに、第2の導電型の不純物元素を導入し、前記第1の拡散領域中に、前記第2の導電型を有し前記受光領域を画成するウェルを形成する工程と、
前記第1のマスクパターンをマスクに使い、前記活性領域中、前記第2の深さに第1の導電型の不純物元素を導入し、前記第2の拡散領域のうち、前記第1のマスクパターンで覆われていない部分に、前記第2の導電型を有するが前記第1の領域よりもキャリア濃度の低い第2の領域を形成する工程と、
前記シリコン基板上に、前記第1および第2の領域の境界の一部を覆うように、ゲート電極を、ゲート絶縁膜を介して形成する工程と、
前記活性領域中、前記ゲート電極に対し前記受光領域と反対側の部分を第3のマスクパターンで覆い、前記ゲート電極および前記第3のマスクパターンをマスクに使い、第2の導電型の不純物元素を、前記第2の拡散領域に重畳して前記第2の深さに導入し、前記第2の導電型を有し前記第1の領域よりもキャリア濃度が高いシールド層を形成する工程と、
前記活性領域中、前記受光領域と反対側の領域に、前記第1の導電型の不純物元素を導入し、前記第1の導電型の浮遊拡散領域を形成する工程を含むことを特徴とする半導体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005220131A JP4313789B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 半導体撮像装置およびその製造方法 |
US11/250,345 US20070023800A1 (en) | 2005-07-29 | 2005-10-17 | Semiconductor imaging device and fabrication process thereof |
TW094136295A TWI276223B (en) | 2005-07-29 | 2005-10-18 | Semiconductor imaging device and fabrication process thereof |
EP05256468A EP1748489B1 (en) | 2005-07-29 | 2005-10-19 | Semiconductor imaging device, fabrication process thereof and its method of use |
KR1020050105215A KR100803616B1 (ko) | 2005-07-29 | 2005-11-04 | 반도체 촬상 장치 및 그 제조 방법 |
CN200510124713A CN100592527C (zh) | 2005-07-29 | 2005-11-11 | 半导体成像器件及其制造方法 |
US12/292,234 US7846758B2 (en) | 2005-07-29 | 2008-11-14 | Semiconductor imaging device and fabrication process thereof |
US12/917,554 US8008106B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-11-02 | Semiconductor imaging device and fabrication process thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005220131A JP4313789B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 半導体撮像装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007036083A JP2007036083A (ja) | 2007-02-08 |
JP4313789B2 true JP4313789B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=36406055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005220131A Expired - Fee Related JP4313789B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 半導体撮像装置およびその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20070023800A1 (ja) |
EP (1) | EP1748489B1 (ja) |
JP (1) | JP4313789B2 (ja) |
KR (1) | KR100803616B1 (ja) |
CN (1) | CN100592527C (ja) |
TW (1) | TWI276223B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9853072B2 (en) | 2012-03-28 | 2017-12-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging element and manufacturing method for solid-state imaging element |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070001100A1 (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Light reflection for backside illuminated sensor |
JP4764682B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2011-09-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
KR100871714B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2008-12-05 | 한국전자통신연구원 | 트랜스퍼 트랜지스터 및 이를 구비한 저잡음 이미지 센서 |
US7638852B2 (en) * | 2006-05-09 | 2009-12-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method of making wafer structure for backside illuminated color image sensor |
US8704277B2 (en) * | 2006-05-09 | 2014-04-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Spectrally efficient photodiode for backside illuminated sensor |
US7791170B2 (en) | 2006-07-10 | 2010-09-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method of making a deep junction for electrical crosstalk reduction of an image sensor |
US7795655B2 (en) * | 2006-10-04 | 2010-09-14 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic device |
JP5584982B2 (ja) | 2009-02-09 | 2014-09-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子およびカメラシステム |
US7999342B2 (en) * | 2007-09-24 | 2011-08-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Image sensor element for backside-illuminated sensor |
FR2924532B1 (fr) * | 2007-11-30 | 2009-12-18 | E2V Semiconductors | Capteur d'image a pixel a quatre ou cinq transistors avec reduction de bruit de reinitialisation |
KR100959435B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2010-05-25 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지 센서 및 그 제조방법 |
KR100997326B1 (ko) * | 2007-12-27 | 2010-11-29 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지 센서 및 그 제조방법 |
JP5215963B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-06-19 | シャープ株式会社 | 固体撮像素子およびその駆動方法、固体撮像素子の製造方法、電子情報機器 |
US8530947B2 (en) * | 2009-07-10 | 2013-09-10 | Shimadzu Corporation | Solid-state image sensor |
JP5531580B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2014-06-25 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 |
US8237207B2 (en) * | 2010-01-12 | 2012-08-07 | Himax Imaging, Inc. | Back side illumination image sensor and a process thereof |
US9153621B2 (en) | 2010-01-12 | 2015-10-06 | Himax Imaging, Inc. | Process of forming a back side illumination image sensor |
JP5651982B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2015-01-14 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、及び電子機器 |
JP5489855B2 (ja) * | 2010-05-14 | 2014-05-14 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
US8487350B2 (en) * | 2010-08-20 | 2013-07-16 | Omnivision Technologies, Inc. | Entrenched transfer gate |
CN102387316B (zh) * | 2010-08-31 | 2014-11-05 | 比亚迪股份有限公司 | 一种高动态范围的像素单元及图像传感器 |
JP5818452B2 (ja) | 2011-02-09 | 2015-11-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2013016675A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Sony Corp | 固体撮像装置、電子機器、及び、固体撮像装置の製造方法 |
US8853783B2 (en) * | 2012-01-19 | 2014-10-07 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | ESD protection circuit |
FR2986906B1 (fr) * | 2012-02-15 | 2015-06-19 | New Imaging Technologies Sas | Structure de pixel actif a transfert de charge ameliore |
US8872301B2 (en) * | 2012-04-24 | 2014-10-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Dual profile shallow trench isolation apparatus and system |
US9287319B2 (en) * | 2012-11-16 | 2016-03-15 | Sri International | CMOS multi-pinned (MP) pixel |
GB2516971A (en) * | 2013-08-09 | 2015-02-11 | St Microelectronics Res & Dev | A Pixel |
US9748290B2 (en) * | 2014-02-03 | 2017-08-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Mechanisms for forming image sensor with lateral doping gradient |
CN104505394B (zh) * | 2014-12-10 | 2019-02-01 | 中国科学院半导体研究所 | 兼容测距的cmos图像传感器像素单元及其制作方法 |
JP6609948B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2019-11-27 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP6668600B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2020-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2016178145A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP6623594B2 (ja) * | 2015-07-22 | 2019-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
CN108419031B (zh) * | 2018-03-08 | 2020-12-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素电路及其驱动方法和图像传感器 |
CN110544701A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-06 | 德淮半导体有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
KR20220108477A (ko) * | 2021-01-27 | 2022-08-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이를 포함하는 이미지 센서 |
KR20220152457A (ko) | 2021-05-07 | 2022-11-16 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 동작 방법 |
CN115911072B (zh) * | 2023-01-04 | 2023-05-26 | 湖北江城芯片中试服务有限公司 | 半导体器件及其制作方法以及cmos图像传感器 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5268587A (en) * | 1989-03-20 | 1993-12-07 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor integrated circuit device including a dielectric breakdown prevention circuit |
JP3125303B2 (ja) * | 1990-11-26 | 2001-01-15 | 日本電気株式会社 | 固体撮像素子 |
KR100192954B1 (ko) * | 1996-07-18 | 1999-06-15 | 김광호 | 수직형 전달게이트를 가지는 전하결합형 고체촬상소자 및 그 제조방법 |
JP3176300B2 (ja) * | 1997-01-09 | 2001-06-11 | 山形日本電気株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
US6023081A (en) * | 1997-11-14 | 2000-02-08 | Motorola, Inc. | Semiconductor image sensor |
US6690423B1 (en) * | 1998-03-19 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state image pickup apparatus |
JPH11274450A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-10-08 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP3403061B2 (ja) | 1998-03-31 | 2003-05-06 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP2000091551A (ja) | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Toshiba Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP4284752B2 (ja) * | 1999-05-31 | 2009-06-24 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子 |
JP3934827B2 (ja) * | 1999-06-30 | 2007-06-20 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
KR100436060B1 (ko) * | 2001-12-07 | 2004-06-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | 전하운송효율을 높인 시모스 이미지센서 |
JP3635279B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2005-04-06 | 松下電器産業株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法およびインターライン転送型ccdイメージセンサ |
US6921934B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-07-26 | Micron Technology, Inc. | Double pinned photodiode for CMOS APS and method of formation |
US7148528B2 (en) * | 2003-07-02 | 2006-12-12 | Micron Technology, Inc. | Pinned photodiode structure and method of formation |
JP4758061B2 (ja) * | 2003-10-16 | 2011-08-24 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US7271430B2 (en) * | 2004-06-04 | 2007-09-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensors for reducing dark current and methods of fabricating the same |
US7666703B2 (en) * | 2005-01-14 | 2010-02-23 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor pixel having a lateral doping profile formed with indium doping |
-
2005
- 2005-07-29 JP JP2005220131A patent/JP4313789B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-10-17 US US11/250,345 patent/US20070023800A1/en not_active Abandoned
- 2005-10-18 TW TW094136295A patent/TWI276223B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-10-19 EP EP05256468A patent/EP1748489B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-04 KR KR1020050105215A patent/KR100803616B1/ko active IP Right Grant
- 2005-11-11 CN CN200510124713A patent/CN100592527C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-11-14 US US12/292,234 patent/US7846758B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-02 US US12/917,554 patent/US8008106B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9853072B2 (en) | 2012-03-28 | 2017-12-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging element and manufacturing method for solid-state imaging element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1748489A3 (en) | 2007-09-05 |
JP2007036083A (ja) | 2007-02-08 |
US20070023800A1 (en) | 2007-02-01 |
EP1748489A2 (en) | 2007-01-31 |
US20090075416A1 (en) | 2009-03-19 |
KR20070014925A (ko) | 2007-02-01 |
TWI276223B (en) | 2007-03-11 |
US7846758B2 (en) | 2010-12-07 |
TW200705652A (en) | 2007-02-01 |
EP1748489B1 (en) | 2011-12-14 |
KR100803616B1 (ko) | 2008-02-19 |
CN1905201A (zh) | 2007-01-31 |
US20110045629A1 (en) | 2011-02-24 |
CN100592527C (zh) | 2010-02-24 |
US8008106B2 (en) | 2011-08-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080729 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090512 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090515 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4313789 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
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R371 | Transfer withdrawn |
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