JP2011122942A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011122942A JP2011122942A JP2009280872A JP2009280872A JP2011122942A JP 2011122942 A JP2011122942 A JP 2011122942A JP 2009280872 A JP2009280872 A JP 2009280872A JP 2009280872 A JP2009280872 A JP 2009280872A JP 2011122942 A JP2011122942 A JP 2011122942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- wiring
- probes
- belonging
- needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】 プローブ装置は、板状の複数のプローブと、該プローブがその厚さ方向を左右方向とされかつ左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置されたプローブホルダとを含む。各プローブは、それぞれが複数のプローブを含む第1及び第2のプローブ群のいずれかに属する。第2のプローブ群に属する各プローブの少なくとも先端針先の左右方向における寸法は、前記第1のプローブ群に属するプローブのそれより大きい。
【選択図】図4
Description
12 被検査体(表示用基板)
14 被検査体の電極
16 プローブ組立体
18 支持ブロック
20 連結ブロック
22 結合ブロック
24 組み付け装置
26 配線シート
26a,26c FPC(第1及び第2の配線領域)
26b タブ
28 接続ブロック
30 ブローブベース
32,32A〜32D プローブ
32a 針中央領域
32b 針前部領域
32c 針後部領域
32d 先端針先
32e 後端針先
34 ブロック片
36 スリットバー
38 バー部材
40 カバー
42,42A〜42D スリット
100 固定板
102 集積回路
106,108,110,112 配線
114 接続シート
106A〜106D 配線
108A〜108D 配線
110A〜110D 配線
112A〜112D 配線
120 プローブ組立体
Claims (8)
- 板状の複数のプローブと、該プローブがその厚さ方向を左右方向とされかつ左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置されたプローブホルダとを含み、
各プローブは、板状の針中央領域と、該針中央領域の前端部から前方へ延びる板状の針前部領域と、該針前部領域の前端部から下方へ延びる板状の先端針先とを有すると共に、それぞれが複数のプローブを含む第1及び第2のプローブ群のいずれかに属しており、
前記第2のプローブ群に属する各プローブの少なくとも前記先端針先の左右方向における寸法は、前記第1のプローブ群に属するプローブのそれより大きい、プローブ装置。 - 前記第2のプローブ群に属するプローブは、前記第1のプローブ群に属するプローブより大きいピッチで前記プローブホルダに配置されている、請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記第2のプローブ群に属するプローブの左右方向における間隔は、前記第1のプローブ群に属するプローブのそれより大きい、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記第2のプローブ群に属する各プローブは、板状の複数のプローブ部材であって、厚さ方向に互いに重ね合わされた複数のプローブ部材を含む、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記第2のプローブ群に属する各プローブは、板状の形状を有する単一のプローブ部材を含む、請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 各プローブは、さらに、前記針中央領域の後端部から後方へ延びる板状の針後部領域と、該針後部領域の後端部から上方へ延びる板状の後端針先とを有し、
前記第2のプローブ群に属する各プローブの少なくとも前記後端針先の左右方向における寸法は、前記第1のプローブ群に属するプローブのそれより大きい、請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - さらに、左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の配線であって、前記プローブに対応されて対応するプローブの前記後端針先が当接される複数の配線を下面に有する可撓性及びシート状の第1の配線領域を含み、
前記各配線は、複数の配線を含む第1及び第2の配線群のいずれかに属しており、
前記第2の配線群に属する各配線の左右方向における寸法は、前記第1の配線群に属する配線のそれより大きい、請求項6に記載のプローブ装置。 - さらに、左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びて前記第1の配線領域の前記配線に当接された複数の第2の配線、該第2の配線に電気的に接続された集積回路、及び左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びかつ前記集積回路の電気的に接続された複数の第3の配線を有するタブと、
左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びて前記第3の配線に電気的に接続された複数の第4の配線を有する可撓性及びシート状の第2の配線領域とを含み、
前記第2及び第3の配線のそれぞれは、前記第2又は第3の配線を含む第3及び第4の配線群のいずれかに属しており、
前記第4の配線群に属する各配線の左右方向における寸法は、前記第3の配線群に属する配線のそれより大きい、請求項7に記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009280872A JP2011122942A (ja) | 2009-12-10 | 2009-12-10 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009280872A JP2011122942A (ja) | 2009-12-10 | 2009-12-10 | プローブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011122942A true JP2011122942A (ja) | 2011-06-23 |
Family
ID=44286968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009280872A Pending JP2011122942A (ja) | 2009-12-10 | 2009-12-10 | プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011122942A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015094734A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | 株式会社日本マイクロニクス | 検査装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6271577U (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-07 | ||
JPH05312833A (ja) * | 1992-05-13 | 1993-11-26 | Hitachi Ltd | プローブカード |
JP2004151449A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Fujitsu Display Technologies Corp | 液晶表示パネルの検査方法、液晶表示パネルの検査装置、及び液晶表示パネル |
JP2004191064A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-08 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
JP3125156U (ja) * | 2006-06-29 | 2006-09-07 | 有限会社清田製作所 | 大電流用プローブ |
JP2009145192A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
-
2009
- 2009-12-10 JP JP2009280872A patent/JP2011122942A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6271577U (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-07 | ||
JPH05312833A (ja) * | 1992-05-13 | 1993-11-26 | Hitachi Ltd | プローブカード |
JP2004151449A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Fujitsu Display Technologies Corp | 液晶表示パネルの検査方法、液晶表示パネルの検査装置、及び液晶表示パネル |
JP2004191064A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-08 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
JP3125156U (ja) * | 2006-06-29 | 2006-09-07 | 有限会社清田製作所 | 大電流用プローブ |
JP2009145192A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015094734A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-18 | 株式会社日本マイクロニクス | 検査装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20100022104A1 (en) | Electrical connecting apparatus | |
US7722355B2 (en) | Braille cell cap | |
JP3750831B2 (ja) | プローブ組立体 | |
KR101151804B1 (ko) | 전기적 접속장치 | |
JP2000214184A (ja) | プロ―ブ装置 | |
JP5417265B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP4965427B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
TWI387755B (zh) | Probe assembly | |
JP4313565B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP2003123874A (ja) | 接触子及びその製造方法並びに電気的接続装置 | |
JP5690105B2 (ja) | プローブ装置 | |
KR100615907B1 (ko) | 평판표시패널 검사용 프로브 장치 | |
JP4369201B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP2011122942A (ja) | プローブ装置 | |
JP5491790B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP2009031087A (ja) | プローブ及び電気的接続装置 | |
JP7237470B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JPWO2005069447A1 (ja) | 電気的接続装置 | |
JP2011112491A (ja) | プローブ装置 | |
JP5308958B2 (ja) | 表示パネルのためのワークテーブル及び試験装置 | |
JP4471424B2 (ja) | プローブカード | |
JP5491789B2 (ja) | プローブ装置 | |
KR101279825B1 (ko) | 프로브 조립체 | |
KR20110034177A (ko) | 프로브 유닛 및 이를 제조하는 방법 | |
KR20080100601A (ko) | 반도체 소자 테스트용 프로브 카드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121126 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20121126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131029 |