JP4310797B2 - Ic試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、アドレスに基づいてパターンメモリが出力するパターンデータにより、被試験対象を試験するIC試験装置に関し、短時間で容易に不良解析ができるIC試験装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC試験装置は、被試験対象、例えば、IC、LSI等に試験パターンを与え、被試験対象の出力と期待値パターンとを比較し、被試験対象の良否を判定するものである。この試験パターン、期待値パターン等は、パターンデータとして、パターンメモリに記憶され、パターンメモリにアドレスを与えて、パターンデータを出力している。このような装置の要部構成を図2に示し説明する。
【0003】
図2において、アドレス発生部1は、パターン発生シーケンサ11,12を有し、図示しないパターンメモリにアドレスを与える。パターン発生シーケンサ11,12は、1以上のインデックスカウンタ110,120を設け、図示しないメモリに記憶された命令に基づいて、パターンメモリにアドレスを排他的に与える。パターン発生シーケンサ11は、連続したアドレスに適したもので、アクティブ信号を受けて、有効になり、アクティブ信号を出力する。パターン発生シーケンサ12は、ランダムなアドレスの発生に適したもので、パターン発生シーケンサ11のアクティブ信号を受けて、有効になり、パターン発生シーケンサ11にアクティブ信号を出力する。インデックスカンタ110,120は、命令のループ回数をカウントする。
【0004】
不良解析用データ格納部2は、データバスが接続され、図示しない被試験対象のピンごとのパス/フェイル(被試験対象の出力と期待値パターンの比較結果)を格納すると共に、アドレス発生部1が発生するアドレスを格納し、複数のインデックス格納部21,22を有する。インデックス格納部21,22は、それぞれインデックスカウンタ110,120ごとに設けられ、データバスが接続され、インデックスカウンタ110,120のカウント値をインデックスデータとして格納する。ここで、アドレス発生部1が発生するアドレスには、パターンメモリに与えるアドレスの他に、パターン発生シーケンサ11,12のどちらが発生したアドレスかの情報が付加されている。
【0005】
このような装置の動作を以下に説明する。パターン発生シーケンサ11が命令に基づいてアドレスを発生し、命令のループ回数をインデックスカウンタ110でカウントする。このとき、パターン発生シーケンサ12はアドレスを発生していない。パターン発生シーケンサ11のアドレスにより、パターンメモリからパターンデータが出力され、被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各ピンのパス/フェイルが判定される。そして、パス/フェイルを不良解析用データ格納部2はパス/フェイルとパターン発生シーケンサ11のアドレスを格納すると共に、不良解析用データ格納部2のインデックス格納部21,22はインデックスカウンタ110,120のカウント値を格納する。
【0006】
このような動作を繰返し、パターン発生シーケンサ11が命令によりアクティブ信号をパターン発生シーケンサ12に出力し、アドレス発生をやめる。これにより、パターン発生シーケンサ12は、有効となり、命令に基づいてアドレスを発生し、命令のループ回数をインデックスカウンタ120でカウントする。このアドレスにより、パターンメモリからパターンデータが出力され、被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各ピンのパス/フェイルが判定される。そして、パス/フェイルを不良解析用データ格納部2はパス/フェイルとパターン発生シーケンサ12のアドレスを格納すると共に、不良解析用データ格納部2のインデックス格納部21,22はインデックスカウンタ110,120のカウント値を格納する。このような動作を繰り返す。
【0007】
そして、パターン発生シーケンサ12が命令によりアクティブ信号をパターン発生シーケンサ11に出力し、アドレス発生をやめる。再び、パターン発生シーケンサ11はアドレス発生を開始する。
【0008】
このような動作を繰り返し試験が終了すると、不良解析用データ格納部2からデータバス経由でデータを読み出して不良解析を行う。このとき、インデックス格納部21,22に格納されたカウント値から、パターン発生シーケンサ11,12が有効だったものを拾い出し、有効なカウント値のみを並べてから不良解析を行っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
このように、不良解析時に、データバス経由でインデックスデータを読み出す場合、インデックス格納部が多数存在するため、データの読み出しに時間がかかる。また、読み出したインデックスデータからパターンデータ毎に有効であるパターン発生シーケンサ11,12に対応したデータを抽出し、時系列に組み合わせ等のデータ処理時間がかかってしまうという問題点があった。
【0010】
そこで、本発明の目的は、短時間で容易に不良解析ができるIC試験装置を実現することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
第1の本発明は、
アドレスに基いてパターンメモリが出力するパターンデータにより、被試験対象を試験するIC試験装置において、
命令のループ回数をカウントする少なくとも1以上のインデックスカウンタを設け、命令に基づいて、前記パターンメモリにアドレスを排他的に与える2つのパターン発生シーケンサを有するアドレス発生部と、
このアドレス発生部のパターン発生シーケンサの内、アドレスを与えているパターン発生シーケンサのインデックスカウンタを選択する選択部と、
この選択部が選択したインデックスカウンタのカウント値を格納するインデックス格納部と
を有することを特徴とするものである。
【0012】
第2の本発明は、
アドレス発生部は、アドレスを与えているパターン発生シーケンサに基づいて、選択部を選択するインデックスコントローラを設けたことを特徴とする第1の発明記載のものである。
を有することを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図2と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0014】
図1において、インデックスコントローラ3は、アドレス発生部1に設けられ、パターン発生シーケンサ11,12のアクティブ信号を入力し、選択信号を出力する。マルチプレクサ4は選択部で、インデックスコントローラ3の選択信号により、インデックスカウンタ110,120のカウント値を選択する。複数のインデックス格納部23は、インデックス格納部21,22の代わりに、不良解析用データ格納部2に設けられ、マルチプレクサ4が選択したインデックスカウンタ110,120のカウント値をインデックスデータとして格納し、データバスを接続する。
【0015】
このような装置の動作を以下で説明する。パターン発生シーケンサ11が命令に基づいてアドレスを発生し、命令のループ回数をインデックスカウンタ110でカウントする。このとき、パターン発生シーケンサ12はアドレスを発生していない。また、インデックスコトントローラ3は、起動時において、マルチプレクサ4にインデックスカウンタ110を選択させている。
【0016】
パターン発生シーケンサ11のアドレスにより、パターンメモリからパターンデータが出力され、被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各ピンのパス/フェイルが判定される。そして、パス/フェイルを不良解析用データ格納部2はパス/フェイルとパターン発生シーケンサ11のアドレスを格納する。同時に、不良解析用データ格納部2のインデックス格納部23は、マルチプレクサ4からのインデックスカウンタ110のカウント値を格納する。
【0017】
このような動作を繰返し、パターン発生シーケンサ11が命令によりアクティブ信号をパターン発生シーケンサ12に出力し、アドレス発生をやめる。これにより、パターン発生シーケンサ12は、有効となり、命令に基づいてアドレスを発生し、命令のループ回数をインデックスカウンタ120でカウントする。また、インデックスコントローラ3は、パターン発生シーケンサ11が出力するアクティブ信号を入力し、マルチプレクサ4にインデックスカウンタ120を選択させる。
【0018】
パターン発生シーケンサ12のアドレスにより、パターンメモリからパターンデータが出力され、被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各ピンのパス/フェイルが判定される。そして、パス/フェイルを不良解析用データ格納部2はパス/フェイルとパターン発生シーケンサ12のアドレスを格納する。同時に、不良解析用データ格納部2のインデックス格納部23は、インデックスカウンタ120のカウント値を格納する。このような動作を繰り返す。
【0019】
そして、パターン発生シーケンサ12が命令によりアクティブ信号をパターン発生シーケンサ11に出力し、アドレス発生をやめる。再び、パターン発生シーケンサ11はアドレス発生を開始する。また、インデックスコントローラ3は、パターン発生シーケンサ12が出力するアクティブ信号を入力し、マルチプレクサ4にインデックスカウンタ110を選択させる。
【0020】
このような動作を繰り返し試験が終了すると、不良解析用データ格納部2からデータバス経由でデータを読み出して不良解析を行う。
【0021】
このように、インデックスコントローラ3により、マルチプレクサ4が、アドレスを与えるパターン発生シーケンサ11,12に基づいて、インデックスカウンタ110,120を選択するので、有効なカウント値のみが実行順にインデックス格納部23に格納され、データ処理時間を短縮することができる。また、インデックス格納部23が1つでよいので、回路規模を縮小できる。
【0023】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、インデックスコントローラ3を用いて、マルチプレクサ4を選択する構成を示したが、インデックスコントローラ3を設けずに、パターン発生シーケンサ110,120からのアクティブ信号により切り換える構成でもよい。また、インデックスコントローラ3がアクティブ信号を受けるのではなく、各パターン発生シーケンサ110,120を監視して、マルチプレクサ4を切換える構成にしてもよい。
【0024】
また、インデックス格納部23は、複数のメモリで構成される例を示したが、1つのメモリの領域を分割した構成でもよい。
【0025】
そして、不良解析用データ格納部2は、すべてのデータを格納する例を示したが、フェイル時のみデータを格納する構成でもよい。
【0026】
【発明の効果】
本発明によれば、選択部が、アドレスを与えるパターン発生シーケンサに基づいて、インデックスカウンタを選択するので、有効なカウント値のみが実行順にインデックス格納部に格納され、データ処理時間を短縮することができる。また、インデックス格納部が1つでよいので、回路規模を縮小できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例を示した構成図である。
【図2】 従来のIC試験装置の構成を示した図である。
【符号の説明】
3 インデックスコントローラ
4 マルチプレクサ
11,12 パターン発生シーケンサ
23 インデックス格納部
Claims (2)
- アドレスに基いてパターンメモリが出力するパターンデータにより、被試験対象を試験するIC試験装置において、
命令のループ回数をカウントする少なくとも1以上のインデックスカウンタを設け、命令に基づいて、前記パターンメモリにアドレスを排他的に与える2つのパターン発生シーケンサを有するアドレス発生部と、
このアドレス発生部のパターン発生シーケンサの内、アドレスを与えているパターン発生シーケンサのインデックスカウンタを選択する選択部と、
この選択部が選択したインデックスカウンタのカウント値を格納するインデックス格納部と
を有することを特徴とするIC試験装置。 - アドレス発生部は、アドレスを与えているパターン発生シーケンサに基づいて、選択部を選択するインデックスコントローラを設けたことを特徴とする請求項1記載のIC試験装置。
Priority Applications (1)
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JP2001253982A JP4310797B2 (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | Ic試験装置 |
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JP2003066122A JP2003066122A (ja) | 2003-03-05 |
JP4310797B2 true JP4310797B2 (ja) | 2009-08-12 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2001253982A Expired - Fee Related JP4310797B2 (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | Ic試験装置 |
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JP (1) | JP4310797B2 (ja) |
-
2001
- 2001-08-24 JP JP2001253982A patent/JP4310797B2/ja not_active Expired - Fee Related
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