JP4310310B2 - 電子部品ハンドリング装置用インサート、トレイおよび電子部品ハンドリング装置 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態に係る電子部品ハンドリング装置(以下「ハンドラ」という。)を備えたICデバイス試験装置の全体構成について説明する。図1に示すように、ICデバイス試験装置10は、ハンドラ1と、テストヘッド5と、試験用メイン装置6とを有する。ハンドラ1は、試験すべきICデバイス(電子部品の一例)をテストヘッド5に設けたソケットに順次搬送し、試験が終了したICデバイスをテスト結果に従って分類して所定のトレイに格納する動作を実行する。なお、本実施形態では、CSPタイプのICデバイスを試験するものとする。
図2に示すように、IC格納部200には、試験前のICデバイスを格納する試験前ICストッカ201と、試験の結果に応じて分類されたICデバイスを格納する試験済ICストッカ202とが設けてある。
図2に示すように、ローダ部300における装置基板105には、カスタマトレイKSTが装置基板105の上面に臨むように配置される一対の窓部306,306が三対開設してある。それぞれの窓部306の下側には、カスタマトレイKSTを昇降させるためのトレイセットエレベータ(図示せず)が設けられている。また、図2に示すように、IC格納部200と装置基板105との間には、X軸方向に往復移動可能なトレイ移送アーム205が設けられている。
上述したテストトレイTSTは、ローダ部300で被試験ICデバイスが積み込まれたのちチャンバ100に送り込まれ、当該テストトレイTSTに搭載された状態で各被試験ICデバイスがテストされる。
図2および図3に示すアンローダ部400にも、ローダ部300に設けられたX−Y搬送装置304と同一構造のX−Y搬送装置404,404が設けられ、このX−Y搬送装置404,404によって、アンローダ部400に運び出されたテストトレイTSTから試験済のICデバイスがカスタマトレイKSTに積み替えられる。
Δz=√(Δa2+Δb2+Δc2+Δd2+Δe2+Δf2+Δg2+Δh2+Δi2)
Δa:デバイス側面から外部端子2Bまでの誤差量
Δb:IC収納部19内のICデバイス2の誤差量
Δc:IC収納部19中心からガイド孔20までの誤差量
Δd:インサート16とソケットガイド40との誤差量
Δe:ソケットガイド40中心から位置決めピン411までの誤差量
Δf:ソケットガイド40中心から位置決めピン401までの誤差量
Δg:ソケットガイド40とソケット50との誤差量
Δh:ソケット基準穴501からプローブピン用の穴までの誤差量
Δi:プローブピンの傾き量
(以上、図11(a)参照)
Claims (12)
- 電子部品ハンドリング装置にて、テストヘッドのコンタクト部に電気的に接続される被試験電子部品を収納するインサートであって、
被試験電子部品を収納する電子部品収納部が形成されているとともに、前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品の側面が当接し得る当接部を有するインサート本体と、
前記電子部品収納部に収納された前記被試験電子部品の側面に接して前記被試験電子部品を前記インサート本体の側壁部の前記当接部に押し付けることのできる押付部材と、
前記インサート本体に上下動自在に取り付けられた駆動体と
を備え、
前記押付部材は、被試験電子部品が前記電子部品収納部に導入される時には前記電子部品収納部から退避しており、被試験電子部品が前記電子部品収納部に収納された後に前記電子部品収納部に臨出するものであり、かつ、前記押付部材は、前記インサート本体に揺動可能に取り付けられ、前記駆動体の下方移動または上方移動に伴い、前記電子部品収納部から退避または前記電子部品収納部に臨出するように揺動する
ことを特徴とするインサート。 - 前記押付部材は、揺動支点となる揺動軸、および前記駆動体が当接する駆動体当接部を有する揺動腕部と、
前記揺動軸を挟んで前記駆動体当接部の反対側の前記揺動腕部に連続し、前記電子部品収納部まで延在する本体部と、
前記本体部に設けられ、前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品に接触して被試験電子部品を前記インサート本体の当接部に押し付ける押付部と
を備えたことを特徴とする請求項1に記載のインサート。 - 電子部品ハンドリング装置にて、テストヘッドのコンタクト部に電気的に接続される被試験電子部品を収納するインサートであって、
被試験電子部品を収納する電子部品収納部が形成されているとともに、前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品の側面が当接し得る当接部を有するインサート本体と、
前記電子部品収納部に収納された前記被試験電子部品の側面に接して前記被試験電子部品を前記インサート本体の側壁部の前記当接部に押し付けることのできる押付部材と、
前記インサート本体に上下動自在に取り付けられた駆動体と
を備え、
前記押付部材は、前記インサート本体に平面方向に平行移動可能に取り付けられており、
前記押付部材には、下方にかけて前記電子部品収納部に漸次近接する長穴が形成されており、
前記駆動体には、前記押付部材の長穴に摺動可能に挿入されるピンが設けられており、
被試験電子部品が前記電子部品収納部に導入される時に、前記駆動体が下方移動すると、前記駆動体のピンが前記押付部材の長穴を下方に摺動し、それにより前記押付部材は前記電子部品収納部から退避し、
被試験電子部品が前記電子部品収納部に収納された後、前記駆動体が上方移動すると、前記駆動体のピンが前記押付部材の長穴を上方に摺動し、それにより前記押付部材は前記電子部品収納部に臨出する
ことを特徴とするインサート。 - 前記インサート本体には、前記押付部材が前記電子部品収納部に臨出する方向に前記押付部材を付勢する弾性体が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインサート。
- 前記押付部材は、前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品の上面を抑え得る電子部品抑え部を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のインサート。
- 前記押付部材は、前記インサート本体における前記電子部品収納部の一辺に設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインサート。
- 前記押付部材は、前記インサート本体における前記電子部品収納部の隣接する二辺に設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインサート。
- 電子部品ハンドリング装置にて、テストヘッドのコンタクト部に電気的に接続される被試験電子部品を収納するインサートであって、
被試験電子部品を収納する電子部品収納部が形成されているとともに、前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品の側面が当接し得る当接部を有するインサート本体と、
前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品を前記インサート本体の当接部に押し付けることのできる押付部材と
を備えており、
前記押付部材は、前記インサート本体における前記電子部品収納部の一辺に設けられており、
前記インサート本体における前記電子部品収納部の前記押付部材に対向する辺には、被試験電子部品が前記電子部品収納部に導入される時には前記電子部品収納部から退避しており、被試験電子部品が前記電子部品収納部に収納された後に前記電子部品収納部に臨出して被試験電子部品の上面を抑え得る電子部品抑え部材が設けられていることを特徴とするインサート。 - 電子部品ハンドリング装置にて、テストヘッドのコンタクト部に電気的に接続される被試験電子部品を収納するインサートであって、
被試験電子部品を収納する電子部品収納部が形成されているとともに、前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品の側面が当接し得る当接部を有するインサート本体と、
前記電子部品収納部に収納された被試験電子部品を前記インサート本体の当接部に押し付けることのできる押付部材と
を備えており、
前記押付部材は、前記インサート本体における前記電子部品収納部の隣接する二辺に設けられており、
前記インサート本体における前記電子部品収納部の前記押付部材に対向する辺には、被試験電子部品が前記電子部品収納部に導入される時には前記電子部品収納部から退避しており、被試験電子部品が前記電子部品収納部に収納された後に前記電子部品収納部に臨出して被試験電子部品の上面を抑え得る電子部品抑え部材が設けられていることを特徴とするインサート。 - 電子部品ハンドリング装置に接続されるテストヘッドのコンタクト部に被試験電子部品を搬送するトレイであって、請求項1〜9のいずれかに記載のインサートを備えたことを特徴とするトレイ。
- 電子部品の試験を行うために、被試験電子部品を取り廻すとともに被試験電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接続させることのできる電子部品ハンドリング装置であって、請求項1〜9のいずれかに記載のインサートを備えたことを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
- 電子部品の試験を行うために、被試験電子部品を取り廻すとともに被試験電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接続させることのできる電子部品ハンドリング装置であって、請求項10に記載のトレイを備えたことを特徴とする電子部品ハンドリング装置。
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