JP4299111B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
該ウエーハ搬出入手段は、ウエーハを保持する保持部と、該保持部を移動させる移動部とを備え、
該保持部はウエーハを非接触で支持する2以上のベルヌーイパッドと、該ベルヌーイパッドが配設されるパッド本体とを含み、
該パッド本体には、該ベルヌーイパッドがウエーハの被保持面を支持した際、ウエーハが該ベルヌーイパッドに対して水平方向に移動しないようにウエーハの被保持面に接触して水平方向の移動を規制する摩擦部材が備えられ、
該ベルヌーイパッドは、負圧を生成する凹部と、該凹部にエアーを供給し凹部からエアーを放出するエアー供給孔とを備え、
該エアー供給孔は、該凹部から放出するエアーが該摩擦部材を回避する方向に向けられている、ことを特徴とする研削装置が提供される。
該ウエーハ搬出入手段の保持部は、該ウエーハケース載置部に該カセットが載置されたときには、該カセットの開口部から進入してウエーハを搬出入し、該コインスタックキャリアーが載置されたときには、該コインスタックキャリアーの上部開口部に位置づけられ該首部が該切欠き部を通過することによってウエーハを搬出入する、ことを特徴とする研削装置が提供される。
4:カセット(ウエーハケース)
5:専用ラック
6:コインスタックキャリアー(ウエーハケース)
8:ウエーハ搬出入手段
16:チャックテーブル
18:研削手段
24:保持部
26:移動部
28:パッド本体
28a:弧状部
28b:基部
30:ベルヌーイパッド
30b:凹部
30c:エアー供給孔
32:摩擦部材
38:判別センサー
40:発光素子
40a:第1の発光素子
40b:第2の発光素子
42:受光素子
42a:第1の受光素子
42b:第2の受光素子
44:エアーノズル
A:ウエーハケース載置部
B:ウエーハケース載置部
H:判断手段
P:紙ウエーハ
W:半導体ウエーハ
Y:対称軸
Claims (11)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、ウエーハを収容したウエーハケースが載置されるウエーハケース載置部と、該ウエーハケースからウエーハを搬出入するウエーハ搬出入手段とを備え、
該ウエーハ搬出入手段は、ウエーハを保持する保持部と、該保持部を移動させる移動部とを備え、
該保持部はウエーハを非接触で支持する2以上のベルヌーイパッドと、該ベルヌーイパッドが配設されるパッド本体とを含み、
該パッド本体には、該ベルヌーイパッドがウエーハの被保持面を支持した際、ウエーハが該ベルヌーイパッドに対して水平方向に移動しないようにウエーハの被保持面に接触して水平方向の移動を規制する摩擦部材が備えられ、
該ベルヌーイパッドは、負圧を生成する凹部と、該凹部にエアーを供給し凹部からエアーを放出するエアー供給孔とを備え、
該エアー供給孔は、該凹部から放出するエアーが該摩擦部材を回避する方向に向けられている、ことを特徴とする研削装置。 - 該パッド本体はC字形状に形成されて該保持部を形成し、該移動部を構成するアームの先端が該保持部のC字形状の中心位置に連結され、
該ベルヌーイパッドは該C字形状のパッド本体の中心位置を対称軸にして所定の間隔をもって2組以上配設され、
該摩擦部材は各組の該ベルヌーイパッドの所定の間隔内に配設されている、請求項1記載の研削装置。 - 該移動部は、該保持部に首部を介して連結される屈曲アームと、該屈曲アームを旋回動させる旋回動部と、該保持部をウエーハに対して接近及び離反する方向に移動させる接近離反移動部とを備えている、請求項1又は2記載の研削装置。
- 該ウエーハケース載置部は、ウエーハの両端部を支持する支持溝が形成された側壁と該支持溝に対してウエーハを水平に出し入れできる開口部とを備えたカセットと、ウエーハと紙ウエーハとを交互に積層して収容する上部開口部を有する円筒壁及び該円筒壁に形成された切欠き部とを備えるコインスタックキャリアーとを選択的に載置でき、
該ウエーハ搬出入手段の保持部は、該ウエーハケース載置部に該カセットが載置されたときには、該カセットの開口部から進入してウエーハを搬出入し、該コインスタックキャリアーが載置されたときには、該コインスタックキャリアーの上部開口部に位置づけられ該首部が該切欠き部を通過することによってウエーハを搬出入する、請求項3記載の研削装置。 - 該コインスタックキャリアーは、該ウエーハケース載置部に載置される際、専用ラックを介して載置される、請求項4記載の研削装置。
- 該専用ラックは、該コインスタックキャリアーを支持する支持部と、該支持部から該コインスタックキャリアーの上部開口部の近傍まで延びコインスタックキャリアーの両側に位置した一対の立設部と、該立設部に装着され該保持部が保持したウエーハの種類を判別する判別センサーとを備えている、請求項5記載の研削装置。
- 該判別センサーは、発光素子と受光素子とを備え、該保持部に保持されたウエーハに該発光素子が発光する光が反射して該受光素子が受光した反射光の強さに対応した「しきい値」によって、ウエーハが半導体ウエーハか又は紙ウエーハかを判断する判断手段を備えている、請求項6記載の研削装置。
- 該判別センサーは、第1の発光素子と受光素子とからなる第1の判別センサーと、第2の発光素子と受光素子とからなる第2の判別センサーとを備え、
該判断手段は、第1の判別センサーに対応した「第1のしきい値」と、第2の判別センサーに対応した「第2のしきい値」を備え、
「第1のしきい値」は、半導体ウエーハの露出面に反射した際の光の強さに対応した第1の値に設定され、「第2のしきい値」は、半導体ウエーハのテープ面に反射した際の光の強さに対応した第2の値に設定され、
該判断手段は、「第1のしきい値」及び「第2のしきい値」を満足した場合は半導体ウエーハの露出面と判断し、「第1のしきい値」は満足しないが「第2のしきい値」を満足した場合は半導体ウエーハのテープ面と判断し、「第1のしきい値」及び「第2のしきい値」のいずれも満足しない場合は紙ウエーハと判断する、請求項7記載の研削装置。 - 該立設部には、該保持部がウエーハを保持した状態でエアーを吹き付けるエアーノズルが備えられている、請求項6から8までのいずれかに記載の研削装置。
- 該専用ラックは、該コインスタックキャリアーを支持する支持部が、上段、下段に配設されている、請求項5から9までのいずれかに記載の研削装置。
- 紙ウエーハを収容するコインスタックキャリアーが該下段の支持部に載置される、請求項10記載の研削装置。
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