JP4262232B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
2 リングフレーム
3 接着シート
4 ウエハ(板状部材)
5 画像処理ユニット(画像処理手段)
11 ダイシングライン(切断ライン)
12 記憶手段
13 バーコード(光学式読取コード)
15 バーコードプリンタ(プリント手段)
17 ラベル
20 貼付装置(貼付手段)
24 RFIDタグ
26 RFIDタグ発行機(書込手段)
G チップ間隔
θ ずれ角
D 測定データ
Da 個々のチップ間隔の測定データ
Y 軸線(リングフレームの基準方位)
Claims (6)
- リングフレームの開口部に接着シートが貼付された支持体に支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、その各チップ間隔を測定する測定装置であって、
前記測定装置は、
前記チップ間隔を測定する画像処理手段と、
前記画像処理手段により測定した前記チップ間隔を測定データとして記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶した前記測定データを出力する出力手段とを具備すること
を特徴とする測定装置。 - リングフレームの開口部に接着シートが貼付された支持体に支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、前記切断による切断ラインと前記リングフレームの基準方位とのずれ角を測定する測定装置であって、
前記測定装置は、
前記ずれ角を測定する画像処理手段と、
前記画像処理手段により測定した前記ずれ角を測定データとして記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶した前記測定データを出力する出力手段とを具備すること
を特徴とする測定装置。 - リングフレームの開口部に接着シートが貼付された支持体に支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、その各チップ間隔および前記切断による切断ラインと前記リングフレームの基準方位とのずれ角を測定する測定装置であって、
前記測定装置は、
前記チップ間隔および前記ずれ角を測定する画像処理手段と、
前記画像処理手段により測定した前記チップ間隔および前記ずれ角を測定データとして記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶した前記測定データを出力する出力手段とを具備すること
を特徴とする測定装置。 - 前記測定装置は、更に、
前記測定データを光学式読取コードに変換してラベルにプリントするプリント手段と、
前記光学式読取コード付きラベルを前記支持体に貼付する貼付手段とを具備すること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記測定装置は、更に、
前記記憶手段に記憶した前記測定データを電子記録媒体に格納して他の装置へ出力すること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記測定装置は、更に、
前記記憶手段に記憶した前記測定データをRFIDタグに書き込む書込手段と、
前記測定データが書き込まれたRFIDタグを所定の位置に貼付する貼付手段とを具備すること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の測定装置。
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