JP4238100B2 - 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 - Google Patents
感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4238100B2 JP4238100B2 JP2003320953A JP2003320953A JP4238100B2 JP 4238100 B2 JP4238100 B2 JP 4238100B2 JP 2003320953 A JP2003320953 A JP 2003320953A JP 2003320953 A JP2003320953 A JP 2003320953A JP 4238100 B2 JP4238100 B2 JP 4238100B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- photosensitive resin
- film
- dry film
- meth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
Description
(化3)
(1)
(式(1)中、R1は炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表し、nは1〜30の整数を表す。)
すなわち本発明は、(A)少なくとも上記一般式(1)で表されるポリアルキレンオキシド化合物を含有するジアミン成分と、酸無水物成分から得られるポリイミド前駆体、(B)少なくとも2つ以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物および(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
本発明に係る可撓性回路基板、多層プリント配線板などの加工品は、良好な可撓性、屈曲性、耐熱性を有し、かつ長期絶縁信頼性に優れる絶縁皮膜を有している。
一般式(1)で表されるポリアルキレンオキシド化合物を原料として得られるポリイミド前駆体(A)としては、ポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリアミド酸アミドが挙げられる。これらの中で、ポリアミド酸が好ましく使用できる。ポリアミド酸(以下、ポリアミド酸(A)と記載する)は、無水ピロメリット酸などの酸無水物成分と、一般式(1)で表されるポリアルキレンオキシドジアミン化合物及び必要に応じて他のジアミン化合物とを、N−メチルピロリドンなどの極性有機溶媒中で反応させることにより得られる。
(化4)
(1)
(式中、R1は炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表し、nは1〜30の整数を表す。)
式(1)中のR1の2価の炭化水素基としては、ベンゼン環を1個以上有する芳香族アルキレン基、脂肪族炭化水素基等が例示でき、中でも分岐または鎖状の炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基が好ましい。特に、R1がエチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、ヘキサメチレン基であることが好ましい。(1)式中のnは2未満であると可撓性に乏しく、また、30以上であると他の成分との相溶性に乏しくなるため2〜30が好ましく、より好ましくは4〜20である。
これらジアミン化合物とポリアルキレンオキシドジアミンとの共重合組成比は、ポリアルキレンオキシドジアミンの量が、その他のジアミン化合物に対しモル比で1.0以上である場合、著しく耐熱性が低下するため好ましくない場合がある。また、上記モル比が0.05以上であると著しく可撓性と屈曲性が向上することから、上記モル比が0.05〜0.90の共重合組成比で使用することが好ましい。
このポリアミド酸溶液の粘度が0.5Pa.s以上であると、露光部の塗膜強度が十分に得られ高い解像性が得られる傾向にある。50.0Pa.s以下では少なくとも2つ以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物(B)との相溶性が良くまた現像時未露光部のアルカリ溶液による溶解性が良いため高い解像度が得られる傾向にある。この粘度は、ジアミン化合物と酸無水物のモル比を変えることにより、任意に調整できる。
少なくとも2つ以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物(B)は、ポリイミド前駆体(A)100質量部に対して、好ましくは10〜700質量部、より好ましくは30〜250質量部の割合となるように用いる。
上記(メタ)アクリレート化合物(B1)の含有量は、ポリアミド酸(A)100質量部に対し好ましくは0〜200質量部、より好ましくは5〜200質量部、更に好ましくは10〜50質量部である。200質量部以下にすることによって現像時の未露光部のアルカリ溶液による溶解性を保持でき、更にイミド化後の硬化物の可撓性が損なわれない。
(メタ)アクリレート化合物(B2)はポリアミド酸(A)との相溶性に優れ、露光時の硬化性および現像性制御、更には最終硬化膜に十分な可撓性を発現させるために用いられる。
(化6)
(3)
(式中、R3は水素原子またはメチル基、R4およびR6は炭素数2〜5の2価の脂肪族基、R5はベンゼン環を2個以上有する芳香族基または単結合を表し、nおよびmは1以上の整数を表し、かつn+mは2〜12を表す。)
上記化合物中、R4およびR6の炭素数2〜5の2価の脂肪族基としては例えばエチレン、プロピレン、1−ブチレン、2−ブチレン基が好適である。炭素数を2〜5に限定することで、適度な水溶性を保持し、ポリアミド酸(A)との良好な相溶性を発現することができる。
実施例、比較例において行った評価は以下の方法で実施した。
・ 半田耐熱試験:260±5℃に保持された溶融はんだ液面に、銅箔上に該皮膜を形成した試験片を作成し、皮膜面を上にして5秒フロートし、皮膜の膨れ等の有無を確認した。
・ 耐屈曲性試験:銅箔上に該皮膜を形成した試験片を作成し、180°に折り曲げ、折り曲げ部に5Kgの荷重をかけた。これを3回繰り返し、折り曲げ部の該皮膜のひび割れまたは破損の有無を光学顕微鏡にて観察した。
・ 引っ張り弾性率:JIS C2151に準じて測定した。
・ 耐マイグレーション試験:ライン/スペース30/30μmの銅配線付き基板を使用し、60℃、85%RH下にて18VDCを120hr通電させ絶縁劣化による短絡の有無を確認した。
500mlセパラブルフラスコに攪拌機、還流冷却器、及び窒素導入管を設置し、窒素雰囲気下、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学社製)35.0g、エラスマー650P(イハラケミカル工業社製、一般式(1)中のR1がテトラメチレン基でnは7である)25.1gをN,N−ジメチルアセトアミド(和光純薬工業社製)151.4gに溶解した。これにピロメリット酸二無水物(ダイセル化学工業社製)32.7gを反応温度が25℃以下を保持するように分割して添加後、20時間窒素雰囲気下で攪拌を継続し、固形分38質量%のポリアミド酸溶液を得た。(アミンのモル比は(エラスマー650P)/(1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン)=0.25である。)
これにポリエチレングリコール変性ビスフェノールAジメタクリレート(FA321M:日立化成工業社製)45.0gと、ポリエチレングリコール変性ビスフェノールAジメタクリレート(BPE1300N:新中村化学工業社製)を45.0gと、光開始剤として2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(SPEEDCURE TPO:日本シーベルヘグナー社製)7.2g、2,4−ジエチルチオキサントン(KAYACURE−DETX:日本化薬社製)1.8g、p−ジメチル安息香酸エチル(KAYACURE−EPA:日本化薬社製)3.6gおよび消泡剤としてBYK−0.57(ビックケミー・ジャパン社製)1.0gを室温にて添加し、攪拌を5時間実施し、褐色の粘性液体を得た。溶液の粘度は25Pa.sであった。
得られた溶液を、幅30cm、厚さ19μmのキャリアフィルム(PETフィルム)上に約80μmの厚みで塗工後、熱風循環乾燥炉内で100℃×10分間乾燥し、厚さ38μmのカバーフィルム(PETフィルム)を張り合わせドライフィルムとした。作成したドライフィルムは、カバーフィルムを剥がした後、1オンス圧延銅箔光沢面上、耐マイグレーション評価用基板上に重ね合わせ、位置合わせ後真空ラミネート装置で80℃×20秒圧着して張り合わせた。その後、高圧水銀灯を用いて600mj/cm2 の露光量で露光し、30℃の1.0%Na2CO3水溶液を0.15Paの圧力で噴霧現像、水洗し、乾燥後230℃×10分間熱硬化させ、該皮膜の厚みが25μmの試験片を得た。半田耐熱後、及び耐屈曲性試験後の表面に異常は認められず、引っ張り弾性率は0.1GPaと低い値を示し、可撓性に優れる。耐マイグレーション試験においては、120hr以内での不良は認められず、試験後の試験片の外観異常も認められなかった。
実施例1のエラスマー650Pのかわりに、エラスマー1000P(イハラケミカル工業社製、一般式R1がテトラメチレン基でnは12である)を用いた以外は、実施例1と全く同様に操作し、粘度30Pa.sの溶液を得た。この溶液を実施例1と全く同様に処理し評価したところ、半田耐熱後、及び耐屈曲性試験後の表面に異常は認められず、引っ張り弾性率は0.03GPaと低い値を示し、可撓性に優れる。耐マイグレーション試験においては、120hr以内での不良は認められず、試験後の試験片の外観異常も認められなかった。
500mlセパラブルフラスコに攪拌機、還流冷却器、及び窒素導入管を設置し、窒素雰囲気下、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学社製)43.8gをN,N−ジメチルアセトアミド(和光純薬工業社製)124.8gに溶解した。これにピロメリット酸二無水物(ダイセル化学工業社製)32.7gを反応温度が25℃以下を保持するように分割して添加し、20時間窒素雰囲気下で攪拌を継続し、固形分38質量%のポリアミド酸溶液を得た。
これにポリエチレングリコール変性ビスフェノールAジメタクリレート(FA321M:日立化成工業社製)38.0gと、ポリエチレングリコール変性ビスフェノールAジメタクリレート(BPE1300N)を38.0gと、光開始剤として2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(SPEEDCURE TPO:日本シーベルヘグナー社製)6.1g、2,4−ジエチルチオキサントン(KAYACURE−DETX:日本化薬社製)1.5g、p−ジメチル安息香酸エタル(KAYACURE−EPA:日本化薬社製)3.1gおよび消泡剤としてBYK−057(ビックケミー・ジャパン社製)1.0gを室温にて添加し、攪拌を5時間実施し、褐色の粘性液体を得た。溶液の粘度は27Pa.sであった。
得られた溶液を実施例1と全く同様に処理し評価したところ、半田耐熱、耐マイグレーション試験においては、異常は認められなかったものの、引っ張り弾性率が1.5GPaと高い値を示し、また耐屈曲性試験では該皮膜の破損が観察された。このようにポリアルキレンオキシド化合物を導入しない組成では、引っ張り弾性率が高く可撓性に劣り、また屈曲性に乏しいフィルムとなった。
Claims (6)
- ポリイミド前駆体(A)がポリアミド酸であることを特徴とする請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。
- 少なくとも2つ以上の光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物(B)が(メタ)アクリレート化合物であることを特徴とする請求項1ないし3いずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物から得られることを特徴とするドライフィルム。
- 請求項5に記載のドライフィルムから得られた皮膜を有することを特徴とする加工品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320953A JP4238100B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320953A JP4238100B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005091421A JP2005091421A (ja) | 2005-04-07 |
JP4238100B2 true JP4238100B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=34452774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003320953A Expired - Fee Related JP4238100B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4238100B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006143996A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-06-08 | Nitto Denko Corp | 耐熱性樹脂 |
JP4663720B2 (ja) * | 2005-07-14 | 2011-04-06 | 三井化学株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物およびパターン形成方法 |
JP4969941B2 (ja) * | 2006-08-02 | 2012-07-04 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | ポリイミド組成物、フレキシブル配線板及びフレキシブル配線板の製造方法 |
JP2015127817A (ja) * | 2009-04-14 | 2015-07-09 | 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた回路形成用基板 |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003320953A patent/JP4238100B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005091421A (ja) | 2005-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5255847B2 (ja) | 感光性ドライフィルムレジスト、これを用いたプリント配線板、および、プリント配線板の製造方法 | |
KR100921149B1 (ko) | 감광성 수지 조성물 및 이것을 이용한 회로기판 | |
JP3721768B2 (ja) | 感光性ポリイミドシロキサン組成物および絶縁膜 | |
JP2009048170A (ja) | 感光性ドライフィルムレジスト、これを用いたプリント配線板、及び、プリント配線板の製造方法 | |
JP4781158B2 (ja) | 保護膜形成用ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 | |
KR101128207B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 드라이 필름 및 그것을 이용한 가공품 | |
JP5289309B2 (ja) | 樹脂組成物、ドライフィルム、およびそれから得られる加工品 | |
JP2008304849A (ja) | 感光性ドライフィルムレジスト、これを用いたプリント配線板、および、プリント配線板の製造方法 | |
JP5167252B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 | |
US7851124B2 (en) | Composition for forming wiring protective film and uses thereof | |
JP2011095355A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JP2009031344A (ja) | 感光性ドライフィルムレジスト、これを用いたプリント配線板、及び、プリント配線板の製造方法 | |
JP3715963B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工部品 | |
JP4319861B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工部品 | |
JP4238100B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 | |
JP4250019B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 | |
JP2009025699A (ja) | 感光性ドライフィルムレジスト、これを用いたプリント配線板、および、プリント配線板の製造方法 | |
JP4319877B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工品 | |
JP2004151191A (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム及びそれを用いた加工品 | |
US20040247908A1 (en) | Composition for forming wiring protective film and uses thereof | |
JP4245142B2 (ja) | ハードディスク用サスペンション基板の配線保護膜形成用組成物及びその用途 | |
JP2004361882A (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびそれを用いた加工部品 | |
JP2004361529A (ja) | ハードディスクドライブサスペンション基板用ドライフィルム | |
JP2012185211A (ja) | ネガ型感光性樹脂組成物及びその用途 | |
JP4351432B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム及びそれを用いた加工品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050715 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131226 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |