JP5617308B2 - インクジェット印刷装置 - Google Patents
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Description
インクジェット法による素子の形成は、蒸着法などに比べ設備構成がシンプルで安価な製造が可能である。またインクジェット法はパターニングを直接にするため蒸着法におけるマスクが不要で大型化が容易である。例えば、表示電子デバイスにおいては、大画面への市場要求が高まり、インクジェット法での塗布による電子デバイス製造への期待は高まっている。
有機ELディスプレイは基板、陽極、発光層、陰極、隔壁からなる。また、陰極の上層には封止膜やカラーフィルターなどが適宜配置される。有機ELディスプレイの場合、発光層としてRGBの3色に対応した3種類がある。インクジェット法での塗布において各画素部に塗布するインクとは、発光層材料を溶媒に溶かした溶液のことを言う。
また、隔壁を形成しているので、塗布されたインクは所望の画素領域に留まり、混色することなく高品位なディスプレイを実現できる。このとき、隔壁はフッ素を含む樹脂が使用され撥インク性を有していることが好ましい場合がある。このように構成された有機EL素子は、陰極からの電子と陽極からの正孔が発光層内で結合し発光することで、ディスプレイとしての機能を果たす。
インクはインクタンクからインク用ポンプによってインク配送配管を通ってインクジェットヘッド(4)に送り込まれる。インクジェットヘッド(4)はインク配管が接続されるインク導入口、導入されたインクを各ノズル穴に分配するマニホールド部、ノズル穴、圧電素子、振動板、インク室からなる。インクはマニホールド部から複数のインク室に供給される。図1ではインクジェットヘッド(4)のノズル穴(5) が表されている。
これにより、有機ELの製造コストを低減することが可能となる。
前記吐出観察装置がメニスカスの微振動を観察して、ノズル穴での液滴の吐出異常を検出することを特徴とするインクジェット印刷装置である。
本発明者らは、インクジェット法を用いて有機ELを製造する際に、前記インクジェットヘッドのノズル穴より吐出される液滴を観察することが可能な吐出観察装置を用い、全てのインクジェットヘッドのノズル穴にてメニスカスコントロールによるメニスカスの微振動が実行されているか否かを観察した。メニスカスコントロールとは、インクがノズル穴から吐出しない程度にインクのメニスカスを前もって振動させる操作であり、プリカーサ・チクリングとも呼ばれる。
動であり、メニスカスコントロール振動中には、図2に示すように、ノズル穴の層毎に上記PULL(7)-PUSH(8)-PULL(7)の振動動作が規則的に行われている。
図4のように、静止画としてモニタリングされた画像にメニスカスコントロールによるメニスカスの微振動が実行されないノズル穴(10)があった場合、メニスカスコントロールによるメニスカスの微振動が実行されないノズル穴の内部にはエアーが入り込みメニスカスが破壊されている、あるいは、ノズル穴内部もしくは、表面に乾燥異物、液溜まり等が付着しており、ノズル詰まりが発生している可能性が高い。
図8のように静止画としてモニタリングされた画像にメニスカスがヘッド面から外に向かい最大サイズになった際のメニスカスの半円のトップ(13)からヘッド面とメニスカスの両接点部(14)までの距離(15)及び、ヘッド面とメニスカスの両接点部(14)とメニスカス半円トップ (13)の角度(16)が計算され、計算値が予め設定した範囲以内に入っているか否かにより、図9ようなメニスカスコントロールによるメニスカスの微振動のサイズ異常による吐出の異常検出も可能である。
2・・基板
3・・隔壁
4・・インクジェットヘッド
5・・ノズル穴
6・・インク
7・・メニスカス(PUSH状態)
8・・メニスカス(PULL状態)
9・・カメラ
10・・メニスカスの微振動が実行されていないノズル
11・・ミスト
12・・ヘッド面に対し傾斜した状態のメニスカス
13・・メニスカス半円のトップ部
14・・ヘッド面とメニスカスの接点部
15・・メニスカス半円トップ部からヘッド面とメニスカスの接点部までの距離
16・・ヘッド面とメニスカスの両接点部とメニスカス半円トップ部の角度
17・・メニスカス微振動のサイズ異常
18・・メニスカスの周期変動
Claims (1)
- インクジェットヘッドのノズル穴にてメニスカスコントロールによるメニスカスの微振動を行う機構を備えたインクジェットヘッドと、前記メニスカスの微振動を観察する光源とカメラを備えた吐出観察装置とを設けたインクジェット印刷装置であって、
前記吐出観察装置が有機EL用インクのメニスカスの微振動を観察して、ノズル穴での液滴の吐出異常を検出し、
前記吐出観察装置はノズル穴の片側に光源、他側にカメラを備え、該カメラは上下及び左右に移動し、全てのノズル穴を視野に入れることが可能であり、
前記光源をメニスカスの微振動に同期させてメニスカスの微振動を静止画像とし、異常なメニスカスの微振動を観察し、
異常なメニスカスの微振動が観察された場合は、前記インクを押し出して、ノズル穴内部もしくは表面のエアーもしくは、乾燥物、もしくは液溜まりを同時に押し出し、インクジェットヘッドのクリーニングを施すことを特徴とするインクジェット印刷装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2010077130A JP5617308B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | インクジェット印刷装置 |
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