JP4197698B2 - コモンモードフィルタ - Google Patents

Description

本発明は、コモンモードフィルタに関するものである。

従来コモンモードフィルタとして、積層型コモンモードフィルタ及び巻線型コモンモードフィルタが知られている。積層型コモンモードフィルタとして、複数の絶縁体が積層された積層体と、積層体に形成された第１〜第４の端子電極と、互いに電気的に接続される第１及び第２の導体を含む第１のコイルと、積層体内に配されると共に、互いに電気的に接続される第３及び第４の導体を含む第２のコイルと、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１を参照）。

特許文献１に記載されたような積層型コモンモードフィルタでは、入力端子電極と出力端子電極との距離が近いため、入出力端子電極間に形成される静電容量が大きくなってしまう。また、第１〜第４の導体は、薄い絶縁体層を介して積層されているため、同一のコイルを形成する導体間、すなわち第１及び第２の導体間、並びに第３及び第４の導体間においても大きな静電容量が形成されてしまう。このように、特許文献１に開示されたような積層型コモンモードフィルタでは、コモンモードのノイズ除去に影響を与える静電容量の値が大きくなってしまう。そのため、低い周波数で共振が起こり、高周波のコモンモードノイズを十分に除去できず、高周波特性が低下してしまう。

一方、巻線型コモンモードフィルタとして、ドラム型コアに複数の導線を螺旋状に巻回することによって、複数のコイルを形成したものが知られている（例えば、特許文献２を参照）。この場合、巻回された各導線がそれぞれ１つのコイルを形成する。この種の巻線型コモンモードフィルタでは、入力端子電極と出力端子電極とがドラムコアの両端にある鍔部に形成されている。そのため、入力端子電極と出力端子電極との間で十分な距離をとることができ、入出力端子電極間に形成される静電容量を積層型コモンモードフィルタに比べ小さくすることができる。さらに、螺旋状に巻回された１本の導線の巻回部間の間隔、すなわち同一のコイルを形成する導体間の間隔を積層型に比べ大きくすることができるため、同一のコイルを形成する導線間において形成される静電容量についても小さくすることができる。
特開平８−２０３７３７号公報（特許第３６０１６１９号公報） 特開２００３−１６８６１１号公報

特許文献２に開示されたような巻線型コモンモードフィルタに高周波の信号を通すと、導線のうちコイルを形成しない部分、つまり螺旋状に巻回されていない部分もインダクタとして機能し始め、導線のインダクタンス値が大きくなってしまう。これにより、信号に対するインピーダンスは高い値を示すようになってしまう。さらに、特許文献２に開示されたような巻線型コモンモードフィルタでは、異なるコイルを形成する異なる導線間で、高周波信号により大きな静電容量を形成してしまう。この静電容量によって、信号は減衰してしまう。信号への影響を抑えるため、導線のインダクタンス値を抑制するとともに、異なる導線間に形成される静電容量の値を小さくすることが望まれている。

導線のインダクタンス値は、異なるコイルを形成する異なる導線同士を互いに磁気結合させ、これらの導線で発生する磁束を相殺させることによって抑制することが可能となる。異なる導線同士を互いに磁気結合させるためには、これらの導線同士を近づけて巻回することが必要となる。一方、異なる導線間に形成される静電容量値は、異なる導線間の間隔が大きくなるように複数の導線をコアに巻回することによって抑制することが可能となる。このように、インダクタンス値を小さくするための手段と、静電容量値を小さくするための手段とは相反してしまう。

さらに、インダクタンス値及び静電容量値を小さくするのに、一方のみを極端に小さくしてしまうと、インピーダンスマッチングをとることができなくなってしまい、その結果、信号の反射という問題が発生してしまう。したがって、巻線型コモンモードフィルタでは、インダクタンス値及び静電容量値をバランス良く小さくすることが要求される。そのためには、異なる導線間の間隔を小さすぎることなく、且つ大きすぎることのない適当な値にしなければならない。

また、異なる導線間の間隔がばらつくと、インダクタンス値を小さくするための手段と静電容量値を小さくするための手段とが相反するため、簡単にインダクタンス値と静電容量値との間のバランスが崩れてしまう。したがって、異なる導線間の間隔を適当な値にすることとともに、間隔のばらつきを抑制することも要求される。

こうした要求に対し、特許文献２に記載されたような巻線型コモンモードフィルタは、導線をコアに巻いて形成されている。導線を一定の間隔でコアに巻回することは非常に困難である。したがって、特許文献２に記載されたような巻線型コモンモードフィルタでは、高周波の信号を安定して通すことは困難である。

本発明は、上記問題点を解消するためになされたものであり、高周波特性を向上させることが可能なコモンモードフィルタを提供することを目的とする。

このような目的を達成するために、本発明によるコモンモードフィルタは、磁性体を主成分とし、第１〜第６の側面を有する略直方体状のコア部材と、コア部材の第１の側面上に少なくともその一部がそれぞれ形成された第１及び第２の端子電極と、第１の側面と対向するコア部材の第２の側面上に少なくともその一部がそれぞれ形成された第３及び第４の端子電極と、コア部材の第３〜第６の側面上に形成されており、一端が第１の端子電極と電気的に接続されるとともに、他端が第３の端子電極と電気的に接続される第１のコイル導体と、コア部材の第３〜第６の側面上に形成されており、一端が第２の端子電極と電気的に接続されるとともに、他端が第４の端子電極と電気的に接続される第２のコイル導体と、を備え、第１及び第２のコイル導体は、コア部材を螺旋状に巻回するようにコア部材の第３〜第６の側面上に形成されていることを特徴とする。

上記のコモンモードフィルタにおける第１及び第２のコイル導体は、コア部材の第３〜第６の側面上に螺旋状に形成されている。これにより、第１及び第２のコイル導体間の間隔がばらつくことが抑制される。したがって、上記のコモンモードフィルタでは、インピーダンスマッチングをとりつつ、インダクタンス値及び静電容量値を小さくすることができ、高周波の信号を安定して通すことが可能となる。

第１のコイル導体及び第２のコイル導体は、導電性材料のめっきにより形成されていることが好ましい。この場合、第１及び第２のコイル導体は第３〜第６の側面上に強固に密着して形成されるため、第１及び第２のコイル導体間の間隔がばらつくことが良好に抑制される。

コア部材の第３〜第６の側面において、第３の側面と前記第４の側面とが互いに対向しており、少なくとも、第１のコイル導体の第３の側面上に形成された部分及び第４の側面上に形成された部分のパターンと、第２のコイル導体の第３の側面上に形成された部分のパターン及び第４の側面上に形成された部分のパターンとが、フォトリソグラフィ法によりパターニングされていることが好ましい。フォトリソグラフィ法によれば精密にパターニングすることができるため、導体間の間隔を所望の値にでき、且つばらつきを良好に抑制することができる。また、対向する２側面のみにフォトリソグラフィ法を適用することにより、複数のコモンモードフィルタの導体部を１つの基板に一括してパターニングすることが可能となる。そのため、製造が容易となる。

コア部材の第３〜第６の側面のうちの何れかの側面と対向するように配置された絶縁体部材をさらに備え、第１及び第２の端子電極はそれぞれ、第１の側面上に形成された部分と連続するとともに、絶縁体部材のコア部材と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部を有し、第３及び第４の端子電極はそれぞれ、第２の側面上に形成された部分と連続するとともに、絶縁体部材のコア部材と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部を有することが好ましい。端子電極が形成された側面を有する絶縁体部材を備えることにより、実装時の短絡の発生を抑制することが可能となる。

コア部材の第３〜第６の側面のうちの何れかの側面と対向するように配置された磁性体部材をさらに備えていることが好ましい。磁性体部材をさらに備えることによって閉磁路構造となり、ノイズに対するインピーダンスを高くすることが可能となる。

本発明によれば、高周波特性を向上させることが可能なコモンモードフィルタを提供することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。

まず、図１及び図２を参照して、本実施形態に係るコモンモードフィルタＣＦの構成を説明する。図１は、本実施形態に係るコモンモードフィルタを示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るコモンモードフィルタを分解して示した構成図である。なお、図２では、端子電極３〜６の図示を省略している。

コモンモードフィルタＣＦは、図１に示されるように、フェライト基板であるコア部材１と、絶縁体部材２１と、磁性体部材２３と、第１〜第４の端子電極３〜６と、第１及び第２のコイル導体１１、１３とを備えている。なお、図１においては、第１及び第２の端子電極３、４の一部、並びに第３及び第４の端子電極５、６について、それぞれ点線で図示している。

コア部材１は、直方体状であり、第１〜第６の側面１ａ〜１ｆを有している。第１及び第２の側面１ａ、１ｂは互いに対向している。第３及び第４の側面１ｃ、１ｄは互いに対向している。第５及び第６の側面１ｅ、１ｆは互いに対向している。第１及び第２の側面１ａ、１ｂと隣り合う４つの側面のうち長手方向に伸びる２つの側面が、第３及び第４の側面１ｃ、１ｄである。第１及び第２の側面１ａ、１ｂと隣り合う４つの側面のうち短手方向に伸びる２つの側面が、第５及び第６の側面１ｅ、１ｆである。コア部材１は、フェライト等の磁性体からなる。

絶縁体部材２１は、コア部材１の第４の側面１ｄと対向するように配置されている。絶縁体部材２１は、コア部材１の第４の側面１ｄを覆うように板状に形成されている。絶縁体部材２１として、例えばフェライト基板を用いることができる。絶縁体部材２１とコア部材１とは、間に挿入された接着層３１により接着されている。本実施形態に係るコモンモードフィルタＣＦでは、絶縁体部材２１を基板等の実装面と対向するようにして実装することが好ましい。

磁性体部材２３は、コア部材１の第３の側面１ｃと対向するように配置されている。磁性体部材２３は、コア部材１の第４の側面１ｄを覆うように板状に形成されている。磁性体部材２３は、フェライト等の磁性体からなる。磁性体部材２３とコア部材１とは、間に挿入された接着層３３により接着されている。接着層３１、３３は、例えば樹脂によって形成される。

第１及び第２の端子電極３、４はそれぞれその一部が、第３の側面１ｃと第４の側面１ｄとが対向する方向で覆うようにコア部材１の第１の側面１ａ上に形成されている。第１及び第２の端子電極３、４はさらに、図１に示すように、それぞれ、コモンモードフィルタＣＦの底面、すなわち絶縁体部材２１のコア部材１と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部３Ａ、４Ａを有する。

第３及び第４の端子電極５、６はそれぞれその一部が、第３の側面１ｃと第４の側面１ｄとが対向する方向で覆うようにコア部材１の第２の側面１ｂ上に形成されている。第３及び第４の端子電極５、６はさらに、図１に示すように、それぞれ、コモンモードフィルタＣＦの底面、すなわち絶縁体部材２１のコア部材１と対向する側面とは反対側に位置する側面に回り込む回り込み部５Ａ、６Ａを有する。

第１及び第２のコイル導体１１、１３は、図２に示すように、コア部材１に巻き付けられるようにして形成されている。すなわち、第１及び第２のコイル導体１１、１３は、コア部材１の第１及び第２の側面１ａ、１ｂが対向する方向を中心として、それぞれコア部材１を螺旋状に複数回（本実施形態では、各３回）巻回して形成されている。第１及び第２のコイル導体１１、１３は、互いに隣り合う第１のコイル導体１１と第２のコイル導体１３との間の間隔ｄが略一定となるようにして形成されている。

第１のコイル導体１１の一端部１１ａは、コア部材１の第１の側面１ａまで引き出されるように伸びて当該側面１ａに露出しており、第１の端子電極３と電気的に接続される。第１のコイル導体１１の他端部１１ｂは、コア部材１の第２の側面１ｂまで引き出されるように伸びて当該側面１ｂに露出しており、第３の端子電極５と電気的に接続される。第１のコイル導体１１の一端部及び他端部１１ａ、１１ｂはそれぞれ、引き出し導体として機能する。

第２のコイル導体１３の一端部１３ａは、コア部材１の第１の側面１ａまで引き出されるように伸びて当該側面１ａに露出しており、第２の端子電極４と電気的に接続される。第２のコイル導体１３の他端部１３ｂは、コア部材１の第２の側面１ｂまで引き出されるように伸びて当該側面１ｂに露出しており、第４の端子電極６と電気的に接続される。第２のコイル導体１３の一端部及び他端部１３ａ、１３ｂはそれぞれ、引き出し導体として機能する。

第１及び第２のコイル導体１１、１３は、コア部材１の第３〜第６の側面１ｃ〜１ｆ上に成長させて形成されている。より具体的には、第１及び第２のコイル導体１１、１３は、コア部材１の第３〜第６の側面１ｃ〜１ｆ上に導電性材料のめっきにより形成されている。

本実施形態に係るコモンモードフィルタＣＦでは、第１のコイル導体１１の部分であってコア部材１の第３の側面１ｃ上に形成された第１導体部１１ｃ及び第１のコイル導体１１の両端部１１ａ、１１ｂのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。第１のコイル導体１１の部分であってコア部材１の第４の側面１ｄ上に形成された第２導体部１１ｄのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。

第２のコイル導体１３の部分であってコア部材１の第３の側面１ｃ上に形成された第１導体部１３ｃ及び第２のコイル導体１３の両端部１３ａ、１３ｂのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。第２のコイル導体１３の部分であってコア部材１の第４の側面１ｄ上に形成された第２導体部１３ｄのパターンは、フォトリソグラフィ法によりパターニングされている。

第１のコイル導体１１の部分であってコア部材１の第５の側面１ｅ上に形成された第３導体部１１ｅ、及び第１のコイル導体１１の部分であってコア部材１の第６の側面１ｆ上に形成された第４導体部１１ｆはいずれも、スパッタリング法等によりめっきとして形成されている。第２のコイル導体１３の部分であってコア部材１の第５の側面１ｅ上に形成された第３導体部１３ｅ、及び第２のコイル導体１３の部分であってコア部材１の第６の側面１ｆ上に形成された第４導体部１３ｆはいずれも、スパッタリング法等によりめっきとして形成されている。

次に、図３〜図５を参照して、本実施形態に係るコモンモードフィルタＣＦの製造方法について説明する。

図３（ａ）は、円形板状のフェライト基板４０の両主面上に導電性材料による薄膜を形成する工程を示す工程断面図である。図３（ａ）に示すように、板状のフェライト基板４０の両主面上に導電性材料による薄膜（めっき）４１、４２を成長させて形成する。薄膜４１、４２は、例えばめっき法（例えば電気めっき、スパッタ、蒸着等を含む）により形成される。

次に、図３（ｂ）を参照して、フェライト基板４０の両主面上に第１及び第２のコイル導体１１、１３を形成する工程を説明する。図３（ｂ）は、フェライト基板４０の両主面上に第１及び第２のコイル導体１１、１３を形成する工程を示す工程断面図である。

フェライト基板４０の両主面上に形成された薄膜４１、４２に対し、フォトリソグラフィ法によりパターニングを施す。フォトリソグラフィ法によるパターニングは、感光性のレジストを薄膜上に塗布し、マスクをかけて露光現像し、レジストをマスクのパターンに応じた形状にした後、不要な薄膜部分をエッチングし、レジストを剥離することによってなされる。

こうしてパターニングされることによって、フェライト基板４０の一方の主面上に、第１のコイル導体１１の第１導体部１１ｃ、第２のコイル導体１３の第１導体部１３ｃ、第１のコイル導体１１の両端部１１ａ、１１ｂ、及び第２のコイル導体１３の両端部１３ａ、１３ｂのパターンが、複数個（本実施形態では、１６個）のコモンモードフィルタＣＦに対応した複数パターン形成される。パターニングにおいて、同一のコモンモードフィルタＣＦに含まれ且つ互いに隣り合う第１のコイル導体１１の第１導体部１１ｃと第２のコイル導体１３の第１導体部１３ｃとは間隔ｄを有して形成される。また、第１のコイル導体１１の第１導体部１１ｃ及び第２のコイル導体１３の第１導体部１３ｃはいずれも、幅を有する直線状に形成される。

一方、パターニングされることによって、フェライト基板４０の他方の主面上には、第１のコイル導体１１の第２導体部１１ｄ及び第２のコイル導体１３の第２導体部１３ｄのパターンが、複数個（本実施形態では、１６個）のコモンモードフィルタＣＦに対応した複数パターン形成される。パターニングにおいて、同一のコモンモードフィルタＣＦに含まれ且つ互いに隣り合う第１のコイル導体１１の第２導体部１１ｄと第２のコイル導体１３の第２導体部１３ｄとは間隔ｄを有して形成される。また、第１のコイル導体１１の第２導体部１１ｄ及び第２のコイル導体１３の第２導体部１３ｄはいずれも、幅を有する直線状に形成される。

こうして、図３（ｂ）に示すように、１枚のフェライト基板４０の両主面上に複数のコモンモードフィルタＣＦの第１及び第２のコイル導体１１、１３それぞれの第１及び第２導体部１１ｃ、１３ｃ、１１ｄ、１３ｄ並びに端部１１ａ、１１ｂ、１３ａ、１３ｂ（図示なし）が形成される。図４は、一方の主面上に複数のコモンモードフィルタＣＦの第１のコイル導体１１の第１導体部１１ｃ及び両端部１１ａ、１１ｂ、並びに第２のコイル導体１３の第１導体部１３ｃ及び両端部１３ａ、１３ｂが形成されたフェライト基板４０の上面図である。なお、図４の一点鎖線Ｄは、後述の切断予定位置である。

次に、図５（ａ）を参照して、フェライト基板４０に絶縁体基板４３を接着する工程を説明する。図５（ａ）は、フェライト基板４０に絶縁体基板４３を接着する工程を示す工程断面図である。

図５（ａ）に示すように、接着剤４５を介して、板状の絶縁体基板４３を第２導体部１１ｄ、１３ｄが形成されたフェライト基板４０の主面側に接着する。これにより、第２導体部１１ｄ、１３ｄが形成されたフェライト基板４０の主面と絶縁体基板４３とは、互いに対向するように配置される。

次に、図５（ｂ）を参照して、フェライト基板４０に磁性体基板４７を接着する工程を説明する。図５（ｂ）は、フェライト基板４０に磁性体基板４７を接着する工程を示す工程断面図である。

図５（ｂ）に示すように、接着剤４９を介して、板状の磁性体基板４７を第１導体部１１ｃ、１３ｃが形成されたフェライト基板４０の面側に接着する。これにより、第１導体部１１ｃ、１３ｃが形成されたフェライト基板４０の主面と磁性体基板４７とは、互いに対向するように配置される。磁性体基板４７として、例えばフェライト基板を用いることができる。

その後、図５（ｂ）に示すように、絶縁体基板４３及び磁性体基板４７が接着されたフェライト基板４０を切断予定位置Ｄ（図４参照）で切断して、１つのコモンモードフィルタＣＦに対応するフィルタ要素５０を得る。

切断によって得られたフィルタ要素５０の側面、すなわち絶縁体部材２１又は磁性体部材２３が接着されている側面以外の４つの側面のうち、第１及び第２のコイル導体１１、１３それぞれの第１及び第２導体部１１ｃ、１１ｄ、１３ｃ、１３ｄが引き出され且つ互いに対向する２つの側面に、第１及び第２のコイル導体１１、１３の第３及び第４導体部１１ｅ、１１ｆ、１３ｅ、１３ｆが形成される。

導体部１１ｅ、１１ｆ、１３ｅ、１３ｆは、これらの導体部のパターンを有するマスクをフィルタ要素５０の側面上に取り付けて、スパッタリング法により導電性材料を成長させることにより形成される。

これにより、第１のコイル導体１１の第３及び第４導体部１１ｅ、１１ｆはそれぞれの両端部において、第１のコイル導体１１の第１導体部１１ｃと第２導体部１１ｄとに電気的に接続される。第２のコイル導体１３の第３及び第４導体部１３ｅ、１３ｆはそれぞれの両端部において、第２のコイル導体１３の第１導体部１３ｃと第２導体部１３ｄとに電気的に接続される。その結果、第１及び第２のコイル導体１１、１３は、コア部材１を巻回するように、コア部材１の第３〜第６の側面１ｃ〜１ｆ上に螺旋状に形成されることとなる。

一方、切断によって得られたフィルタ要素５０の側面、すなわち絶縁体部材２１又は磁性体部材２３が接着されている側面以外の４つの側面のうち、第１及び第２のコイル導体１１、１３それぞれの端部１１ａ、１３ａが引き出される側面に、第１及び第２の端子電極３、４が形成される。また、切断によって得られたフィルタ要素５０の側面、すなわち絶縁体部材２１又は磁性体部材２３が接着されている側面以外の４つの側面のうち、第１及び第２のコイル導体１１、１３それぞれの端部１１ｂ、１３ｂが引き出される側面に、第３及び第４の端子電極５、６が形成される。

第１〜第４の端子電極３〜６は、例えば導電性材料によるめっき層（例えばＣｒ層及びＣｕ層）をマスクスパッタで順次形成した後、バレルめっきにより電気めっき層（例えばＣｕ、Ｎｉ、Ｓｎの順に形成）を形成することにより得られる。なお、端子電極３〜６を形成する金属材料としては、ＡｇやＣｕ等であっても良い。

コモンモードフィルタＣＦでは、端子電極３〜６が板状コア部材１の両端に形成されている。そのため、入力端子電極と出力端子電極との間で十分な距離をとることができ、入出力端子電極間に形成される静電容量を十分に小さくすることができる。また、螺旋状に形成された第１のコイル導体１１同士の間隔、及び第２のコイル導体１３同士の間隔を、同一のコイル導体間で形成される静電容量の値が十分小さくなる程度に大きくすることが可能である。したがって、コモンモードフィルタＣＦでは、高周波のコモンモードノイズを十分に除去することができる。

コモンモードフィルタＣＦでは、螺旋状に形成された第１及び第２のコイル導体１１、１３は、コア部材１の第３〜第６の側面１ｃ〜１ｆ上に成長させて形成されている。そのため、第１及び第２のコイル導体１１、１３はコア部材１の第３〜第６の側面１ｃ〜１ｆ上に強固に密着して形成されており、第１及び第２のコイル導体１１、１３間の間隔がばらつくことが抑制されている。したがって、コモンモードフィルタＣＦでは、インダクタンス値及び静電容量値を小さくしつつも、インピーダンスマッチングを考慮してインダクタンス値と静電容量値との間のバランスをとり且つその状態を維持することが可能となる。その結果、コモンモードフィルタＣＦでは、高周波の信号に対する影響を少なくでき、高周波の信号を安定して通すことが可能となり、高周波特性が向上される。

コモンモードフィルタＣＦのコア部材１は、第１〜第６の側面１ａ〜１ｆを有し直方体形状を呈する。したがって、例えば上述した製造方法のように、複数のコモンモードフィルタの第１及び第２のコイル導体１１、１３の第１及び第２導体部１１ｃ、１３ｃ、１１ｄ、１３ｄのパターンをフォトリソグラフィ法により一度にパターニングすることができる。これに対し、例えば鍔部を有するドラムコア部材をコア部材として用いる場合には、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングするとしても、上述のコモンモードフィルタＣＦの製造方法のように一度に複数のコモンモードフィルタのパターニングを行うことは困難である。したがって、コモンモードフィルタＣＦでは、その製造が容易となる。

コモンモードフィルタＣＦの第１及び第２のコイル導体１１、１３は、導電性材料のめっきにより形成されている。したがって、第１及び第２のコイル導体１１、１３は第３〜第６の側面上１ｃ〜１ｆに強固に密着して形成されるため、第１及び第２のコイル導体１１、１３間の間隔がばらつくことが良好に抑制される。

コモンモードフィルタＣＦの第１及び第２のコイル導体１１、１３の第１及び第２導体部１１ｃ、１１ｄ、１３ｃ、１３ｄのパターンはフォトリソグラフィ法によってパターニングされている。フォトリソグラフィ法によれば精密にパターニングすることができるため、導体間の間隔を所望の値にするとともに、ばらつきを良好に抑制することが可能となる。

コモンモードフィルタＣＦの第１及び第２のコイル導体１１、１３の第３及び第４導体部１１ｅ、１１ｆ、１３ｅ、１３ｆはめっき法であるマスクを用いたスパッタリング法によって形成されている。第１及び第２のコイル導体１１、１３のすべてのパターンをフォトリソグラフィ法によってパターニングせず、第１及び第２のコイル導体１１、１３の一部をマスクを用いたスパッタリング法によって形成することにより、さらに製造を容易にすることが可能となる。

コモンモードフィルタＣＦは絶縁体部材２１を備え、コア部材１の第４の側面１ｄを覆っている。コア部材１の第４の側面１ｄのうち、第１の端子電極３の回り込み部３Ａ、第２の端子電極４の回り込み部４Ａ、第３の端子電極５の回り込み部５Ａ、及び第４の端子電極６の回り込み部６Ａに対応する領域は、絶縁体部材２１によって覆われている。そのため、コモンモードフィルタＣＦの側面のうち絶縁体部材２１を基板等の実装面に対向するように実装した場合、短絡の発生を抑制することが可能となる。

コモンモードフィルタＣＦは、コア部材１の第３の側面１ｃと対向するように配置された磁性体部材２３を備えている。磁性体部材２３をさらに備えることによって閉磁路構造となり、ノイズに対するインピーダンスを高くすることが可能となる。

以上、本発明の好適な実施形態及び変形例について説明してきたが、本発明は必ずしもこれらの実施形態及び変形例に限定されるものではない。例えば、コア部材１の表面が、樹脂等によって覆われていてもよい。また、絶縁体部材２１及び磁性体部材２３の双方あるいは一方を備えてなくてもよい。また、コア部材１は、例えば頂角が丸みを帯びた略直方体状であってもよい。

また、絶縁体部材２１はコア部材１の第４の側面１ｄの全面を覆わず、コア部材１の第４の側面１ｄのうち、第１の端子電極３の回り込み部３Ａ及び第２の端子電極４の回り込み部４Ａに対応する領域、並びに、第３の端子電極５の回り込み部５Ａ及び第４の端子電極６の回り込み部６Ａに対応する領域を覆っていればよい。

また、接着層３１を備えず、印刷技術により絶縁体部材２１を形成してもよい。接着層３３を備えず、例えば樹脂にフェライト粉を混合して形成した磁性体部材２３を備えてもよい。

コモンモードフィルタＣＦの製造方法は上記したような製造方法に限られない。例えば、第１及び第２のコイル導体１１、１３の導体部１１ｃ、１１ｄ、１３ｃ、１３ｄのパターンが、フォトリソグラフィ法によってパターニングされていなくてもよく、例えば第１及び第２のコイル導体１１、１３の双方のすべてがマスクを用いたスパッタリング法によって形成されていてもよい。あるいは、第１及び第２のコイル導体１１、１３の双方のすべてのパターンが、フォトリソグラフィ法によってパターニングされていてもよい。あるいは、第１及び第２のコイル導体１１、１３はめっき法に限らず、例えば導電性ペーストを塗布して焼き付けして形成してもよい。また、第１及び第２のコイル導体１１、１３を形成するめっき法は、スパッタリング法に限らず、例えば蒸着法等でもよい。

実施形態に係るコモンモードフィルタを示す斜視図である。 実施形態に係るコモンモードフィルタを分解して示した構成図である。 実施形態に係るコモンモードフィルタの製造方法を説明するため図である。 第１及び第２のコイル導体が形成されたフェライト基板の上面図である。 実施形態に係るコモンモードフィルタの製造方法を説明するため図である。

符号の説明

ＣＦ…コモンモードフィルタ、１…コア部材、１ａ〜１ｆ…第１〜第６の側面、３…第１の端子電極、４…第２の端子電極、５…第３の端子電極、６…第４の端子電極、１１…第１のコイル導体、１３…第２のコイル導体、２１…絶縁体部材、２３…磁性体部材、３１、３３…接着層、４０…フェライト基板、４１、４２…薄膜、４３…絶縁体基板、４７…磁性体基板、４５、４９…接着剤、５０…フィルタ要素

Claims (6)

1. 板状のフェライト基板を用意する工程と、
   前記板状フェライト基板の対向する第１及び第２の主面上に導電性材料による薄膜を形成する工程と、
   前記フェライト基板の前記第１の主面上に形成された前記薄膜に対し、フォトリソグラフィ法により所定の間隔を有する直線状の第１導体部を複数含む第１のパターンを複数パターニングするとともに、前記フェライト基板の前記第２の主面上に形成された前記薄膜に対し、フォトリソグラフィ法により所定の間隔を有する直線状の第２導体部を複数含む第２のパターンを前記複数の第１のパターンに対応させて複数パターニングする工程と、
   対応する前記第１及び第２のパターンを１つずつ含むように前記フェライト基板を切断して、複数のフィルタ要素を得る工程と、
   前記各フィルタ要素の前記第１の主面上に形成されている前記第１導体部と前記第２の主面上に形成されている前記第２導体部とを接続する第３導体部を、当該フィルタ要素の前記両主面を連結する側面に形成し、且つ前記フィルタ要素の前記第１の主面上に形成されている前記第１導体部と前記第２の主面上に形成されている前記第２導体部とを接続する第４導体部を、当該フィルタ要素の前記第３導体部が形成された前記側面と対向する側面に形成することで、互いに隣り合う螺旋状の第１及び第２のコイル導体を当該フィルタ要素に形成する工程と、
   前記第１のコイル導体の一端に接続される第１の端子電極と前記第１のコイル導体の他端に接続される第３の端子電極とを前記各フィルタ要素の異なる側面上に形成し、且つ前記第２のコイル導体の一端に接続される第２の端子電極と前記第２のコイル導体の他端に接続される第４の端子電極とを前記各フィルタ要素の異なる側面上に形成する工程と、を備えるコモンモードフィルタの製造方法。
2. フォトリソグラフィ法によるパターニングは、感光性のレジストを前記薄膜上に塗布し、マスクをかけて露光現像し、前記レジストを前記マスクのパターンに応じた形状にした後、不要な前記薄膜部分をエッチングし、前記レジストを剥離することによってなされることを特徴とする請求項１記載のコモンモードフィルタの製造方法。
3. 前記第３及び第４導体部は、当該第３及び第４導体部のパターンを有するマスクを前記フィルタ要素の前記側面上に取り付けて、スパッタリング法により導電性材料を成長させることにより形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のコモンモードフィルタの製造方法。
4. 前記パターニングにおいて、隣り合う前記第１及び第２導体部はそれぞれ等間隔を有するように形成されることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項記載のコモンモードフィルタの製造方法。
5. 板状の絶縁体基板を前記第２導体部が形成された前記フェライト基板の前記主面上に接着する工程をさらに備え、
   対応する前記第１及び第２のパターンを１つずつ含むように前記フェライト基板を切断する際に、前記絶縁体基板を共に切断して絶縁体部材つきフィルタ要素を複数得ることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載のコモンモードフィルタの製造方法。
6. 板状の磁性体基板を前記第１導体部が形成された前記フェライト基板の前記主面上に接着する工程をさらに備え、
   対応する前記第１及び第２のパターンを１つずつ含むように前記フェライト基板を切断する際に、前記磁性体基板を共に切断して磁性体部材つきフィルタ要素を複数得ることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項記載のコモンモードフィルタの製造方法。
   

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