JP4159245B2 - 多層耐摩耗性被膜を有する切断工具 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、切断工具又は切断板及び積層された耐摩耗性の被膜を備える切断板或いは切断工具の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
切断工具は、運転中に種々の負荷を受け、時間とともに摩耗する。摩耗は、切断縁部が発生するため、切断面及び自由面の摩滅を含む。高負荷により高温になると、切断工具の縁部及び面での拡散摩耗及び酸化摩耗が発生する可能性がある。高い引裂性能を用いて摩耗を低下させるために、切断工具又は切断板の種々の被膜が開発されてきた。
【０００３】
例えば、ＥＰ−０７８６５３６Ａ１により、多層の被膜を備える硬い金属から成る切断板が知られている。その被膜は、３μｍから２０μｍの厚さであり、化学的或いは物理的蒸着法（ＣＶＤ或いはＰＶＤ）により、硬い金属固体上に成長させられる。この被膜は、非常に微量の塩素分を有する酸化アルミニウム層を含有する。
【０００４】
酸化アルミニウム層は、相対的に高い硬度を示す。さらに、酸化アルミニウム層は酸化された表面層として作用し、同時にそれ以下の層の酸化保護層として作用する。そのため摩擦化学的な攻撃を受ける工具に対して特に適している。酸化アルミニウム層は、拡散と酸化のような摩擦化学的な摩滅時の保護体として作用し、また断熱材として作用し、そのため塑性変形の保護層となる。
【０００５】
ＥＰ−０７３６６１５Ａ２は、同様に切断工具の多層被膜の外側に位置する層として酸化アルミニウム層を提案している。酸化アルミニウム層と適当な硬い金属固体との間には、基板として作用する多くの層が形成されている。酸化アルミニウム層と直接接して下方に位置する層は、０．１〜２μｍの厚さを有する酸化チタン炭窒化物層と針状の結晶構造物である。これらの層の下には、一つ或いは複数の、柱状の結晶構造物を備える同一の化学的元素から構成される層が成長している。
【０００６】
酸化アルミニウム層の基板上への固着は、重要である。これらの基板は、特に塑性変形及び４２ＣｒＭｏ_４Ｖ及び５６ＮｉＣｒＭｏＶ_７のような特に高度に硬い材料を用いた鋼鉄及び鋳造製素材の断続的切断（フライス盤、回転盤、ボール盤）により酷使される。
【０００７】
対応する基板上の酸化アルミニウム層の付着性の改良に対して、ＵＳ−ＰＳ５９５８５６９号は、外側に配置された酸化アルミニウム層とその下側に配置された窒化チタンとの間の炭化チタン窒化物固定層を提案している。固定層は、酸化物被膜と炭化金属窒化物被膜との間に互いに延びた指状突起物を発達させるようである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記実状に鑑みてなされ、切断工具、切断板等の酸化物層（特に酸化アルミニウム層）のその下層との付着性を改善することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る多層耐磨耗性被膜を有する切断工具は、
断続的切断及び／又は高い運転温度用の切断工具（１）であって、
耐磨耗性の多層被膜（６）領域を有する切断部（５）を少なくとも備え、前記被膜は基板材料（７）の上に形成され、被膜（６）は少なくとも次の単一或いは多層に形成された基板層（８）と、固定層（１２）と、酸化物層（９）とを有し、
基板層（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いはVI族の隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）層、炭化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層であり、
固定層（１２）は、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層を備え、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０６であり、
酸化物層（９）は、酸化アルミニウムを含む、
ことを特徴とする。
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る多層耐磨耗性被膜を有する切断板は、
断続的切断及び／又は高い運転温度用の切断板（５）であって、
耐磨耗性の多層被膜（６）の領域を備え、前記被膜（６）は、基板材料上に形成され、少なくとも次の単一或いは多層に形成された基板層（８）と、固定層（１２）と、酸化物層（９）とを有し、
基板層（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いはVI族の隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）層、炭化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層から構成され、
固定層（１２）は、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層を備え、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０６であり、
酸化物層（９）は、酸化アルミニウムを含む、
ことを特徴とする。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の第３の観点に係る多層耐磨耗性被膜を有する切断板或いは切断工具の製造方法は、
耐磨耗性被膜（６）を有する切断板（５）或いは切断工具（１）の製造方法であって、
前記被膜は、２つの異なる層（８，９）を有し、ＴｉＣ及び／又はＴｉＣＮ及び他のＡｌ_２Ｏ_３を含有し、
基板上の固定層（１２）の二層（８，９）の間に酸化チタンアルミニウム炭窒化物Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏを形成し、酸化チタンアルミニウム炭窒化物は、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層を構成し、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０６であり、
ＴｉＣ−及び／又はＴｉＣＮ−層の製造を行う場合、一定温度のＣＶＤ法、或いは、９００℃から１１００℃の間の温度変化を伴うＣＶＤ法で、Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ固定層を形成し、
前駆物質としてハロゲン化アルミニウム化合物並びにハロゲン化アルミニウム化合物の存在下で、アルカン（飽和脂肪族炭素）又はアルカン化合物の群から一以上の選択された気体が炭素供与体として、一酸化炭素及び／又は二酸化炭素が酸素供与体として、同様に水素がキャリアガスとして使用される、
ことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態にかかる多層耐摩耗性被膜を有する切断工具について、以下図面を参照して説明する。
【００１４】
発明にふさわしい切断装置（工具）或いは切断板は、酸化アルミニウム層を備え、それを使用して、基板層上の固定層は維持される。基板層は、例えば、チタン窒化物、チタン炭化物或いは炭化チタン窒化物層であり、その層中にはチタン以外の、周期律中のIV、Ｖ或いはVI族の隣接群の他の金属が存在し得る。固定層は、基板層に酸化アルミニウム層を硬く固定し、酸化アルミニウム層のはげ落ち或いは剥離、損傷或いは破壊が実際に悪化することを防ぐ。基板層上の酸化アルミニウム層の付着性を改善することにより、切断装置（工具）或いは切断板の高ひずみ耐久性及び／又は長い寿命を可能にする。
【００１５】
固定層は、化学元素周期律中の隣接群のIV、Ｖ或いはVI族の金属と、例えば硼素或いはアルミニウムといったIII族の元素と、炭素及び／又は窒素及び／又は酸素とを含む。隣接群のIV、Ｖ或いはVI族の金属（例えばチタン）の隣の主要群III族の２番目の元素の存在により、酸化物層の付着性が改良される。特に、固定層中にチタン及びアルミニウムを付与することが望ましい。このとき、チタン部を多く、アルミニウム部はむしろ僅かにすべきである。それは、分配比率として理解される。固定層は、上部に位置する酸化アルミニウム層の結晶で硬く覆うこと、或いはその中に拡散することができる結晶を形成する。従って、酸化アルミニウム層は、固定層中に定着される。このことは、特に、アルミニウム成分（含有量）が高くとも約４％で、酸素成分（含有量）が高くても６％の数値になる、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層の固定層の場合に、達成される。従って、酸化アルミニウム層の良好な付着を可能にするように、チタン酸塩アルミニウム（アルミニウムチタネート）が固定層を貫通し得る。結果的に、固定層はかなり多量の炭化チタン窒化物を含有することが可能である。
【００１６】
固定層は、好ましくは相対的に薄く、即ち明確に酸化アルミニウム層及びその下層に位置する基板層より薄い。層厚０．１μｍ〜３μｍが効果的であると判断される。好ましくは、層厚が１μｍである。
【００１７】
基板層の金属は、好ましくは、チタンであるけれども、他の既知の個々の金属或いはチタンを伴う混合物中の金属も考慮される。
【００１８】
基板層は、それらとしては、多層に形成されることができ、例えば、約０．５μｍの窒化チタン層及び／又は１μｍから１６μｍの炭化チタン窒化物層を含有することが可能である。結果的に、不純物として、例えば炭素及び／又は酸素が存在し、例えば、基板材料或いはそれ以外の源（ソース）に由来する。基板層は、特に平均温度法で形成される層である。固定層は、これらの平均温度層（基板層）と酸化アルミニウム層との硬い結合を許容する。酸化アルミニウム層は、α−酸化アルミニウム層として、或いはκ−酸化アルミニウム層として、或いは酸化物層として形成可能であり、さらに改良したものも含有する。
【００１９】
固定層は、特に、紙片の形をした結晶構造を示している。固定層の紙片状の結晶は、間隔が空いており、その中に酸化アルミニウム層が成長して入ることができ、その層の中で固定層のアルミニウム含有量によって、成長する酸化アルミニウム層のための結晶生成核が既に存在する。そのため、酸化アルミニウム層と固定層との間、即ち酸化アルミニウム層と基板層との間に密接な結合が発達し得る。酸化アルミニウム層の解離の際の反応気体混合物の酸化ポテンシャルは、核となる相の前面或いはその間では、過度に少なく含有されるべきではない。水及び他の酸化物（オキシダント）の含有量は、酸化アルミニウム層に対する結晶生成核を既に含有する固定層により、重要ではない。
【００２０】
固定層は、非常に多数の結晶生成核を含有する或いは、その構造とともに多数の結晶生成核のように作用する。この結晶生成核は、引き続くＡｌ_２Ｏ_３層の解離の際に、同様に非常に微細結晶の発達を惹起する。約６μｍの層厚の場合、約１から１．５μｍまでの範囲のみの粒子幅が達成される。
【００２１】
図１では、切断装置１が部分的にかつ例示的に分かり易く示されている。切断装置１は、運転中は回転軸３の回りに回転する工具胴体部２を備える手動フライス盤である。この手動フライス盤は、その前方の端部に、その周囲に切断板（切断プレート）５が形成されるプレート台座（プラテンシート）４を備える。この切断板５は、例えば、硬金属製の切断板、例えばタングステンカーバイド／コバルト製の硬い金属切断板である。別の基板材料としては、例えばＨＳＳのように、浸炭セラミック又はサーメット（セラミックスと金属の複合材料）、硬い金属カーバイド又は混合カーバイド等も同様に使用可能である。硬金属製の切断板５は、図７で図解的に分かり易く示されているように、摩耗を減少させる（耐摩耗性の）被膜６を備える。被膜６は、硬い金属の基盤部７に付着し、切断角と同様に機能的に定まる面、例えば切削片面と保護されていない面の周囲も被覆する。
【００２２】
摩耗を減少させる被膜６は、少なくとも、平均温度法でその大部分が分離される単層或いは多層に形成された基板層８を有する。例えば、基板層８は本質的に柱状の結晶構造と１μｍから１６μｍの厚さとを備える炭化チタン窒化物層（ＴｉＣＮ）である。炭化チタン窒化物層と基板材料のタングステンカーバイド（ＷＣ）との間に、約０．１μｍから１μｍの、好ましくは０．５μｍの厚さの窒化チタン（ＴｉＮ）を配置することができる。回転盤或いはフライス盤を使用する際に発生するような酸化的かつ拡散的な摩耗に対して、それ自体が硬く耐摩耗性のある炭化チタン窒化物層を保護するために、摩耗を減少させる被膜６は、基板層８の上に酸化アルミニウム層９を有する。酸化アルミニウム層９は、κ−酸化アルミニウム、α−酸化アルミニウム、或いは領域的に異なる（酸化アルミニウム）によって、形成されている。酸化アルミニウム層９は、単層或いは多層に形成された表面層１１を備え、例えば、IV、Ｖ又はVI族の隣接群（Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉ）の元素と炭素、窒素及び／又は硼素との組み合わせ（化合物）、或いはに酸化亜鉛、酸化アルミニウム、窒化ボロン、ボロンカーバイド、窒化チタン、チタンカーバイド或いは炭化チタン窒化物或いは他の表面層から形成される。
【００２３】
基板層８は、その基板部のチタン以外に、例えば酸素のように、基板材料に由来する可能性のある、或いは処理気体に付着する、避けるべき不純物として、炭素及び窒素を、殆ど含有しない。基板材料に由来する可能性のある、例えばコバルトによる汚染は、粒界に沿って優先的に拡散するので、基板材料から基板層８全体に浸透する可能性がある。それにもかかわらず、全ての条件の下で、基板層８の上に酸化アルミニウム層９の良好な付着を達成するために、固定層１２が両者の間に配置され、固定層の厚さは、運転中に必要に応じて０．１μｍから３μｍまで定めることができる。ここで、固定層は、炭窒化チタンアルミニウム酸化物層Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏであり、その構成は図３から図６より明らかになる。図３に示されるように、基板層８上で、柱状の構造を備えるＴｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ層１２が成長し、それに対してに、酸化アルミニウム層が、一番外側の割れ目のある表面上に外側を向いて形成されている。Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ層１２の表面構造は、図５及び図６に具体的に示されている。これらの図は、紙片状の結晶構造を示し、それには個々の結晶の欠陥と空隙とが存在する。これらの結晶構造中で、酸化アルミニウム層の結晶成長は、酸化アルミニウム層のさらなる広がりにより開始し、それによって優れた付着性が確保される。
【００２４】
図３にさらに具体的に示されるように、表面層１１は、例えば、多層に形成され、Ｔｉ−Ｎ層、κ−酸化アルミニウム層そして再度Ｔｉ−Ｎ層を有する。従って、次の層構成となる。
１．ＴｉＮ、０．１μｍから２μｍ
２．（ＭＴ）−（Ｔｉ、Ｃ、Ｎ）−基板層、１μｍから１６μｍ
３．固定層 Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ、０．１μｍから３μｍ
４．α−又はκ−酸化アルミニウム層Ａｌ_２Ｏ_３、０．５μｍから１２μｍ
５．ＴｉＮ，０．１μｍから２μｍ
６．場合によっては、全部で０．１から２μｍの厚さのさらなる層、ＴｉＮ−κ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＮ、ＴｉＣＮ／ＴｉＮ、Ｔｉ−Ｂ−Ｃ−Ｎ、ＨｆＮ、ＨｆＣＮ、或いは類似のもの
【００２５】
上記の被膜は、次のように形成される。
第１に、適当な基板材料上に７００℃から１０００℃の解離温度を適用し、例えばタングステンカーバイド或いは任意の他の基板層８の浸炭材料を形成する。例えば、炭素及び窒素供与体として、アセトニトリル又は、窒素及びアルカン（飽和脂肪族炭素）の混合物が使用される。基板層は、通常は柱状の結晶構造を伴って成長する。
【００２６】
次の実行段階では、固定層が形成される。そのためには、切断工具例えば切断板５は、９００℃から１１００℃の間（好ましくは１０００℃）の温度で、アルミニウムとチタンの前駆物質を含む雰囲気を必要とする。これらの前駆物質は、四塩化チタン及び三塩化アルミニウムであることが可能である。炭素供与体として、気相メタン或いは他のアルカン或いはアセトニトリル（ＣＨ_３ＣＮ）或いは他のニトリルが含まれる。さらに、気体の分子状窒素中で、例えば一酸化炭素或いは二酸化炭素のような酸素供与体が存在する。キャリアガスとして、水素が使用される。
【００２７】
三塩化アルミニウムは、比較的僅かな量で添加され、その一方で四塩化チタンは、比較的多量に存在する。それによって、固定層１２が、図５及び図６で具体的に示される構造を伴って成長する。図４では、使用済みの回転切断板の斜めの研磨面が描かれている。この図は、研磨面の表面に広がる海綿状態を示し、さらに、固定層の薄く（削り取られた）細孔のある構造を示している。使用済みの回転切断板のＸ線分光顕微鏡による観察は、図７中でその結果が描かれているように、基板材料であるタングステンカーバイド（ＷＣ−Ｃｏ）並びに存在する炭化チタン窒化物（Ｔｉ、Ｃ、Ｎ）及びアルミニウムチタネート（Ａｌ_２ＴｉＯ_５）を示している。これにより、アルミニウムチタネート（Ａｌ_２ＴｉＯ_５）が存在し、炭化チタン窒化物（ＴｉＣ_ｘＮ_ｙ；ｘ＋ｙ＝１；ｘ＝０．．．１）が同時に肉眼で見える構造として存在することがわかる。固定層は、好ましくは、立方形状の格子を伴う炭化チタン窒化物及び全ての炭素位置の３分の１の上の酸素から構成されている。この（結晶）格子は、酸素フリーである。そのため、酸素は、アルミニウムチタネートの結晶中で完全に結合される。この結晶は、擬チタン石として存在する。
【００２８】
チタン石（ブルーキット）構造中で、改良された酸化チタン（ＴｉＯ_２）は、アルミニウム原子によって、若干チタン原子が交換されている。両金属原子種は、酸素原子により偏った八面体的に囲まれるので、酸化チタン結晶と酸化アルミニウム結晶の肉眼で見える混合物には、好ましくは、純粋なチタン石から導出される得る均一な結晶構造が存在しない。両層の相対的に大きい領域は、その結晶構造中で、均一な炭化チタン窒化物から構成され得る。そのため、酸化アルミニウム層と炭化チタン窒化物との間でほぼ最適な交換が生じる。アルミニウムチタネート領域は、相対的に小さくても良く、その際の望ましい効果は、既に２％以下のアルミニウム含有量で発揮される。固定層は、基板層とＡｌ_２Ｏ_３層との間のエピタキシ結合を発生させる。固定層は、基板層とＡｌ_２Ｏ_３層との間に発生するエピタキシ結合を妨害しない。
【００２９】
適正に製造された層に対して、適正な切断工具を用いた引裂試験と付着試験とを実行した。発明にふさわしい層は、層付着強度試験（スクラッチ試験）を受け、発明にふさわしい層構造の顕著に改善された付着固定性を示し、また改善された付着性に関して、酸化アルミニウム層を摩耗させるものも示した。引裂試験は、工具の改善された安定性と同様に、κ−そしてα−酸化アルミニウム層に対する改善された酸化アルミニウム層付着性とを示した。
【００３０】
【発明の効果】
この発明により、酸化アルミニウム層を用いた切断工具の被膜（コーティング）に対して、固定層が形成され、それは好ましくは、アルミニウムチタネートによって形成され、紙片状の結晶構造を示す。この固定層は、特にその下方に位置する窒化チタン、チタンカーバイド、炭化チタン窒化物層の上の酸化アルミニウム層の付着性を改善する。
【図面の簡単な説明】
【図１】多層の被膜を有する切断板を備える切断装置の側面図である。
【図２】図１に従う切断装置の切断板の耐摩耗層の層構造の拡大切断図である。
【図３】図２に従う層構造の透過電子顕微鏡写真（像）である。
【図４】図３による固定層を斜めに研磨された（面の）光学顕微鏡写真である。
【図５】固定層の電子顕微鏡写真（像）を５０００倍に拡大した上面図である。
【図６】図５に従う固定層の１００００倍の倍率の走査電子顕微鏡写真である。
【図７】図３に従う層構造に由来する、ある厚さ（３μｍ）までに配列された固定層の連続層のＸ線分光スペクトルである。
【符号の説明】
１ 切断装置
２ 工具胴体部
４ プレート台座
５ 切断板
６ 被膜
７ 基盤部
８ 基板層
９ 酸化アルミニウム層
１１ 表面層
１２ 固定層

Claims (18)

1. 断続的切断及び／又は高い運転温度用の切断工具（１）であって、
   耐磨耗性の多層被膜（６）領域を有する切断部（５）を少なくとも備え、前記被膜は基板材料（７）の上に形成され、被膜（６）は少なくとも次の単一或いは多層に形成された基板層（８）と、固定層（１２）と、酸化物層（９）とを有し、
   基板層（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いはVI族の隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）層、炭化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層であり、
   固定層（１２）は、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層を備え、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０６であり、
   酸化物層（９）は、酸化アルミニウムを含む、
   ことを特徴とする切断工具。
2. 断続的切断及び／又は高い運転温度用の切断板（５）であって、
   耐磨耗性の多層被膜（６）の領域を備え、前記被膜（６）は、基板材料上に形成され、少なくとも次の単一或いは多層に形成された基板層（８）と、固定層（１２）と、酸化物層（９）とを有し、
   基板層（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いはVI族の隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）層、炭化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層から構成され、
   固定層（１２）は、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層を備え、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０６であり、
   酸化物層（９）は、酸化アルミニウムを含む、
   ことを特徴とする切断板。
3. 固定層（１２）が、紙片状の結晶を有する結晶構造を備える、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
4. 周期律の主要群のIII族の元素を有する前記固定層（１２）であって、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０２かつｗ≦０．０３である前記Ｔｉ _ｘ Ａｌ _ｙ Ｃ _ｕ Ｎ _ｖ Ｏ _ｗ 層を備える前記固定層（１２）の前記Ｔｉ _ｘ Ａｌ _ｙ Ｃ _ｕ Ｎ _ｖ Ｏ _ｗ 層の周期律III族の主要群（IIIa）の元素がアルミニウム（Ａｌ）である、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
5. 固定層（１２）がアルミニウムチタネート（Ａｌ_２ＴｉＯ_５）を含有する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
6. 固定層（１２）が炭化チタン窒化物（ＴｉＣＮ）を含有する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
7. 固定層（１２）の厚さが、０．１μｍから３μｍの範囲、又は、１μｍである、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
8. 基板層（８）の金属がチタン（Ｔｉ）である、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
9. 基板層（８）が多層に形成され、Ｔｉ−Ｎ層を有し、当該Ｔｉ−Ｎ層の厚さは、０．５μｍを越えることなく、
   当該Ｔｉ−Ｎ層は、極く僅かの、炭素（Ｃ）及び／又は酸素（Ｏ）の不純物を含有する、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
10. 基板層（８）が多層に形成され、ＴｉＣＮ層を有し、当該Ｔｉ−ＣＮ層の厚さは、１から１６μｍの範囲にあり、
    当該Ｔｉ−ＣＮ層は、極く僅かの、酸素（Ｏ）の不純物を含有する、
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
11. 基板層（８）には、中温ＣＶＤ法に相当する平均温度法により層或いは連続層が形成されている、
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
12. 酸化物層（９）がα−酸化アルミニウムを含有する、
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
13. 酸化物層（９）がκ−酸化アルミニウムを含有する、
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
14. 酸化物層（９）の上に、１つ以上の層（１１）が形成されている、
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は切断板。
15. 前記層（１１）は、ＴｉＮ層、κ−酸化アルミニウム層及びＴｉＮ層から形成されている、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の切断工具又は切断板。
16. 切断工具（１）が少なくとも１つの請求項２の切断板（５）を備える、
    ことを特徴とする請求項１に記載の切断工具。
17. 耐磨耗性被膜（６）を有する切断板（５）或いは切断工具（１）の製造方法であって、
    前記被膜は、２つの異なる層（８，９）を有し、ＴｉＣ及び／又はＴｉＣＮ及び他のＡｌ_２Ｏ_３を含有し、
    基板上の固定層（１２）の二層（８，９）の間に酸化チタンアルミニウム炭窒化物Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏを形成し、酸化チタンアルミニウム炭窒化物は、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙＣ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層を構成し、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０６であり、
    ＴｉＣ−及び／又はＴｉＣＮ−層の製造を行う場合、一定温度のＣＶＤ法、或いは、９００℃から１１００℃の間の温度変化を伴うＣＶＤ法で、Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ固定層を形成し、
    前駆物質としてハロゲン化アルミニウム化合物並びにハロゲン化アルミニウム化合物の存在下で、アルカン（飽和脂肪族炭素）又はアルカン化合物の群から一以上の選択された気体が炭素供与体として、一酸化炭素及び／又は二酸化炭素が酸素供与体として、同様に水素がキャリアガスとして使用される、
    ことを特徴とする切断板或いは切断工具の製造方法。
18. 補助的な炭素及び窒素供与体として、或いはアルカン又はアルカン化合物の代わりとして、ニトリル化合物の窒素が使用される、
    ことを特徴とする請求項１７に記載の切断板或いは切断工具の製造方法。

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