JP2004167620A - チタンクロム化合物皮膜被覆工具 - Google Patents
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Abstract
【構成】工具の基体表面に被覆した工具において、皮膜は、(TixCryMez)、但し、X、Y、Zは質量比率を示し、0<X<0.999、0<Y<0.40、0、0≦Z<0.100、X+Y+Z=1、で構成される炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、炭窒酸化物のいずれか1種以上の皮膜からなり、該MeはTi、Crを除く周期律表の4a、5a、6a族の金属元素からなり、該皮膜を酸化アルミニウム膜よりも工具表面側に被覆してなるチタンクロム化合物皮膜被覆工具。
【選択図】なし
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超硬合金、サーメット等からなる工具に被覆する耐摩耗性、切削耐久特性が優れたチタンクロム化合物皮膜被覆工具に関する。
【0002】
【従来の技術】
特開昭62−192576号公報は、化学蒸着(以下、CVD)法で成膜した酸化アルミニウム膜の上にチタン、クロム、バナジウム、ジルコニウムの炭化物又は窒化物或いは炭窒化物から成る皮膜を物理蒸着(以下、PVD)法によって形成した被覆硬質合金が開示されている。しかし、酸化アルミニウム膜の上に成膜された皮膜はいずれもPVD法で成膜されているため圧縮応力を有しており酸化アルミニウム膜等から容易に剥がれてしまい、表面に被覆されている効果が小さい欠点と、切削耐久特性に劣る欠点とがある。また、刃先部の最外層の少なくとも1部が酸化アルミニウム膜で構成されていないため被削材と溶着し、膜剥がれが発生し易い欠点がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、耐摩耗性が優れ、切削耐久特性が大幅に改善された被覆工具を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者は上記従来技術被覆工具の欠点を解決するために鋭意研究した結果、工具表面の耐摩耗性が改善され優れた切削耐久特性を有する工具が得られることを見出した。本発明は、工具の基体表面に被覆した工具において、皮膜は、(TixCryMez)、但し、X、Y、Zは質量比率を示し、0<X<0.999、0<Y<0.40、0、0≦Z<0.100、X+Y+Z=1、で構成される炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、炭窒酸化物のいずれか1種以上の皮膜からなり、該MeはTi、Crを除く周期律表の4a、5a、6a族の金属元素からなり、該皮膜を酸化アルミニウム膜よりも工具表面側に被覆してなるチタンクロム化合物皮膜被覆工具よりなる。
【0005】
【発明の実施の形態】
該皮膜を工具表面に被覆することにより、工具表面の摺動性が優れ、耐摩耗性並びに耐欠損性が改善され優れた切削耐久特性を有する工具が得られることを見出し、本発明を完成させたのである。本発明は、該工具の刃先部の最外層の少なくとも1部が酸化アルミニウム膜で構成されていることが好ましい。被削材との接触頻度が高い刃先部の少なくとも1部が耐酸化性と耐溶着性とが特に優れている酸化アルミニウム膜で構成されていることにより被削材と溶着することが少なくなり、優れた切削耐久特性が実現される。この時も刃先部以外の部分が有色のチタンクロム化合物皮膜で覆われているため良好な摺動性を有し、工具使用済の有無が容易に判定できる利点が確保される。本究明は、該工具の切刃近傍のすくい面、逃げ面方向に切刃より2mm以下の幅による面粗さの測定で、刃先部の表面粗さRaが0.12μm以下であることが好ましい。これにより、被削材との接触頻度が高い刃先部の摺動性が高まり、更に優れた切削耐久特性が実現される。刃先部の表面粗さRaは0.08μm以下であることがより好ましく、優れた切削耐久特性が実現できる。
【0006】
本発明において、チタンクロム化合物皮膜は上記の膜に限るものではなく、例えばZr、Hf、B、V、Nb、Ta、Mo、W、Mg、Y、Siの1種又は2種以上を0.3〜10質量%添加した膜でも良い。0.3質量%未満ではこれらを添加する効果が現れず、10質量%を超えると上記膜の耐摩耗や高靭性の効果が低くなる欠点が現れる。本発明において、最表層のチタンクロム化合物皮膜の上に更に美観を高めるために少なくとも1層のチタンやジルコニウム、ハフニウム、硼素の化合物、例えばTiN、ZrN、HfN、TiCN、ZrCN、HfCN、TiBN、BN、BCN或いはこれらを組み合わせた多層膜等を被覆してもよい。本発明に用いる酸化アルミニウム膜にはκ型酸化アルミニウム(κ−Al2O3)単相膜やα型酸化アルミニウム(α−Al2O3)単相膜或いはκ型酸化アルミニウムとα型酸化アルミニウムとの混合膜でもよい。また、κ型酸化アルミニウム及び/又はα型酸化アルミニウムと、γ型酸化アルミニウム、θ型酸化アルミニウム、δ型酸化アルミニウム、χ型酸化アルミニウムの少なくとも1種とからなる混合膜でもよい。また、酸化アルミニウム膜の代わりに酸化アルミニウムと酸化ジルコニウム等に代表される他の酸化物との混合膜でもよい。本発明で用いる膜には被覆工具の切削耐久特性を劣化させない範囲でWやCo等不可避の不純物を、例えば数質量%程度まで含むことが許容される。本発明の被覆工具の製作は既知の成膜方法を採用できる。例えば、通常のCVD法、プラズマを付加した化学蒸着法(PACVD)等を用いることができる。化学蒸着法によって作製した皮膜は、引張応力を有することから、皮膜が剥離し難い性質を有する。また、本発明の皮膜の特性は、被覆条件である原料ガスの選択や組成、成膜時のガス分圧比並びに成膜時の温度等を最適な条件に制御することによって達成することが出来る。用途は切削工具に限るものではなく、皮膜を被覆した耐摩耗材や金型、溶湯部品等でもよい。本発明の被覆工具を実施例により具体的に説明するが、それら実施例により本発明が限定されるものではない。
【0007】
(実施例1)
WC:72質量%、TiC:8質量%、(TaNb)C:11質量%、Co:9質量%の成分組成よりなるJIS規格、CNMG120408形状の切削工具用超硬合金基体をCVD反応装置内に設置し、H2キヤリヤーガスとTiCl4ガスとN2ガスとを原料ガスに用いて0.5μm厚さの第1層のTiN膜を900℃で形成し、H2キャリヤーガスとTiCl4ガス、N2ガス、CH3CNガスを原料ガスに用いて6μm厚さの第2層のTiCN膜を900℃で形成した。1000℃でH2キヤリヤーガスとTiCl4ガス、CH4ガスとを原料ガスに用いて第3層のTiC膜を15分間成膜した、そのまま連続して本構成ガスにCO2ガスとCOガスとを追加し第4層のTiCO膜を15分間成膜した。H2キャリヤーガス、AlCl3ガス、CO2ガスを原料ガスに用いて4μm厚さの第5層のα−Al2O3膜を1020℃で形成した。
【0008】
本発明例1、2、3、4、5、6、7及び従来例14では、該α−Al2O3膜の上層に、以下に示す各原料ガス組成を選択して、第6層のチタンクロム化合物皮膜を被覆した。即ち、本発明例1、2、3、4、5は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス及びCVD反応装置の直前で約900℃付近に保持した金属クロムにHClガスを反応させることにより作製した塩化クロムガスを原料ガスに用いて(TiCr)N膜を1020℃で形成した。成膜時間の調整により、本発明例1、2、3の膜厚は0.5μm、本発明例4、5の膜厚は1.5μmとした。本発明例6は、H2キヤリヤーガスとTiCl4ガス、CH4ガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ1.5μmの(TiCr)C膜を1000℃で形成した。本発明例7は、H2キヤリヤーガスと、TiCl4ガス、CH4ガス、COガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ1.5μmの(TiCr)(CO)膜を980℃で形成した。従来例14は、H2キャリヤーガスとN2、TiCl4ガス、CH4ガスとを原料ガスに用いて0.5μm厚さのTi(CN)膜を1020℃で形成した。本発明例8、9、10、11、12、13は第5層として厚さ2μmのκ−Al2O3膜を成膜し、該κ−Al2O3膜の上層に、以下に示す各原料ガス組成を選択して、第6層のチタンクロム化合物皮膜を被覆した。即ち、本発明例8は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス、ZrCl4ガス、CH4ガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ3.0μmの(TiCrZr)(CN)膜を1080℃で形成した。本発明例9は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス、HfCl4ガス、CH4ガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ3.0μmの(TiCrHf)(CN)膜を1000℃で形成した。本発明例10は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス、WF3ガス、CH4ガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ3.0μmの(TiCrW)(CN)膜を1100℃で形成した。本発明例11は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス、CH4ガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ3.0μmの(TiCr)(CN)膜を1100℃で形成した。本発明例12は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス、CH4ガス、COガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ3.0μmの(TiCr)(CNO)膜を1100℃で形成した。本発明例13は、H2キヤリヤーガスとN2ガス、TiCl4ガス、COガス及び塩化クロムガスを原料ガスに用いて厚さ3.0μmの(TiCr)(NO)膜を1100℃で形成した。
【0009】
被覆した切削工具のうち、本発明例4から13にはラバー砥石を用いて刃先近傍部を研磨することにより内層の酸化アルミニウム膜を露出させた。刃先部表面の平均面粗さRaを形状測定顕微鏡((株)キーエンス社製、測定部VK−8510、コントロール部VK−8500)で評価した。表1に平均面粗さRaの評価結果を示す。
【0010】
【表1】
【0011】
本発明例1から13及び従来例14の被覆工具各3個を用いて、S53C丸棒形状の被削材を切削速度240m/分、送り0.40mm/回転、切り込み1.5mm、湿式の条件で被削材を切削し、被削材を40分連続切削加工した段階でそれぞれの刃先の逃げ面最大摩耗幅を倍率100倍の工具顕微鏡で測定した。その結果を表1に併記する。表1より、本発明例1から13の被覆工具は、いずれも逃げ面最大摩耗幅が目標とする0.350mm未満となり小さかった。一方、従来例14は0.400mmと大きかった。このことより、本発明の皮膜によって耐摩耗性の改善のなされたことが確認できた。刃先処理効果を見ると、刃先処理を行っていない本発明例1から3の刃先近傍部分のRaは、0.12から0.13μmであったのに対して、刃先処理を行った本発明例4のRaは0.08μmとなり、逃げ面最大摩耗幅も最小値を示した。従って、刃先処理は性能向上に対して効果的であった。本発明例2は、Raが0.13μmの時、最大逃げ面摩耗幅は0.348mmとやや大き目となり、同一皮膜組成の本発明例5は、Raが0.12μmの時、最大逃げ面摩耗幅は0.302mmとなっていることから、刃先近傍部分のRaは、0.12μm以下であることが好ましい。更に好ましくは0.08μm以下である。酸素の添加効果について本発明例6と7、及び本発明例11と12とを比較して見てみると、両者ともほぼ同等の性能を示し、いずれも従来例14より優れた性能を示した。金属成分としてZr、Hf、Wの第3元素を添加した本発明例8、9、10は、無添加の本発明例1から3より逃げ面摩耗幅が小さく優れた結果となり、添加効果のあることが確認できた。また、炭素の添加効果について本発明例12と13をと比較して見てみると、両者ともほぼ同等の性能を示し、いずれも従来例14より優れた性能を示した。
【0012】
【発明の効果】
本発明を用いることにより、工具表面の耐摩耗性が優れ、切削耐久特性が大幅に改善され、更に工具として使用、未使用が容易に判別出来る被覆工具を提供することができる。
Claims (3)
- 工具の基体表面に被覆した工具において、皮膜は、(TixCryMez)、但し、X、Y、Zは質量比率を示し、0<X<0.999、0<Y<0.40、0、0≦Z<0.100、X+Y+Z=1、で構成される炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、炭窒酸化物のいずれか1種以上の皮膜からなり、該MeはTi、Crを除く周期律表の4a、5a、6a族の金属元素からなり、該皮膜を酸化アルミニウム膜よりも工具表面側に被覆してなるチタンクロム化合物皮膜被覆工具。
- 請求項1記載のチタンクロム化合物皮膜被覆工具において、該工具の刃先部の最外層の少なくとも1部が酸化アルミニウム膜で構成されていることを特徴とするチタンクロム化合物皮膜被覆工具。
- 請求項1乃至2いずれかに記載のチタンクロム化合物皮膜被覆工具において、該工具の切刃近傍のすくい面、逃げ面方向に切刃より2mm以下の幅による面粗さの測定で、刃先部の表面粗さRaが0.12μm以下であることを特徴とするチタンクロム化合物皮膜被覆工具。
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