JPH06951B2 - 高密着性ダイヤモンド被覆部材 - Google Patents
高密着性ダイヤモンド被覆部材Info
- Publication number
- JPH06951B2 JPH06951B2 JP61036161A JP3616186A JPH06951B2 JP H06951 B2 JPH06951 B2 JP H06951B2 JP 61036161 A JP61036161 A JP 61036161A JP 3616186 A JP3616186 A JP 3616186A JP H06951 B2 JPH06951 B2 JP H06951B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- diamond
- adhesion
- amorphous carbon
- outer layer
- Prior art date
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、切削工具，耐摩耗工具又は研削工具などの工
具部材、核融合炉の炉壁に代表される原子炉用部材並び
にヒートシンク又はスピーカーの振動板などのエレクト
ロニクス部材として応用できる高密着性ダイヤモンド被
覆部材に関するものである。
具部材、核融合炉の炉壁に代表される原子炉用部材並び
にヒートシンク又はスピーカーの振動板などのエレクト
ロニクス部材として応用できる高密着性ダイヤモンド被
覆部材に関するものである。
（従来の技術） 気相からダイヤモンドを合成する方法としては、スパッ
タ法、イオンプレーティング法，蒸着法とイオン注入法
を組合わせたイオンビーム蒸着法，熱フラメント又は熱
電子放射材を利用した化学蒸着法，マイクロ波又は高周
波を利用したプラズマ化学蒸着法などがある。
タ法、イオンプレーティング法，蒸着法とイオン注入法
を組合わせたイオンビーム蒸着法，熱フラメント又は熱
電子放射材を利用した化学蒸着法，マイクロ波又は高周
波を利用したプラズマ化学蒸着法などがある。
これらの気相合成法によって基材の表面にダイヤモンド
の被覆層を形成する場合、超硬合金，サーメット又は工
具鋼などのように鉄族金属を含む基材の表面に直接ダイ
ヤモンドの被覆層を形成すると、この基材の鉄族金属が
ダイヤモンド合成のための供給炭化水素ガスの分解の触
媒として作用すること、又はダイヤモンド合成のための
供給水素ガスを吸収することなどから被覆層の質を低下
させるという問題がある。これらの問題を解決するもの
として、基材とダイヤモンドの被覆層との間に金属の炭
化物や窒化物の中間層を介在させてなるダイヤモンド被
覆部材が多数提案されている。しかしながら、これらの
中間層を介在させてなるダイヤモンド被覆部材は、金属
の炭化物や窒化物の中間層の表面にダイヤモンドの被覆
層が付着しているものであり、共有結合で、他の物質と
は殆んど反応しないダイヤモンドの被覆層と中間層との
密着性は悪く、剥離しやすいという問題がある。
の被覆層を形成する場合、超硬合金，サーメット又は工
具鋼などのように鉄族金属を含む基材の表面に直接ダイ
ヤモンドの被覆層を形成すると、この基材の鉄族金属が
ダイヤモンド合成のための供給炭化水素ガスの分解の触
媒として作用すること、又はダイヤモンド合成のための
供給水素ガスを吸収することなどから被覆層の質を低下
させるという問題がある。これらの問題を解決するもの
として、基材とダイヤモンドの被覆層との間に金属の炭
化物や窒化物の中間層を介在させてなるダイヤモンド被
覆部材が多数提案されている。しかしながら、これらの
中間層を介在させてなるダイヤモンド被覆部材は、金属
の炭化物や窒化物の中間層の表面にダイヤモンドの被覆
層が付着しているものであり、共有結合で、他の物質と
は殆んど反応しないダイヤモンドの被覆層と中間層との
密着性は悪く、剥離しやすいという問題がある。
このような問題点を、更に解決しようと試みたものに特
開昭５９−９３８６９号公報がある。
開昭５９−９３８６９号公報がある。
（発明が解決しようとする問題点） 特開昭５９−９３８６９号公報は、被膜の３０体積％〜
９５体積％をダイヤモンドもしくはダイヤモンド状の相
が占め、残部を鉄族金属又は無機硬質金属化合物が占め
たダイヤモンドを含有する硬質被膜で基材表面を被覆し
たダイヤモンド含有被覆部材である。この特開昭５９−
９３８６９号公報は、他の物質と殆んど反応しないダイ
ヤモンドを鉄族金属又は無機硬質金属化合物と混合又は
分散させてなる被覆層にすることにより、ダイヤモンド
粒子を保持する面積が増大して被覆層中のダイヤモンド
粒子と基材との密着性を高めているものと思われる。し
かしながら、鉄族金属を含有したダイヤモンド被覆層
は、前述の如く、鉄族金属の影響でダイヤモンドの質を
低下させるという問題及びダイヤモンドの生成速度を低
下させるという問題がある。また、無機硬質金属化合物
を含有したダイヤモンド被覆層は、無機硬質金属化合物
とダイヤモンド粒子との混合物からなる被覆層であっ
て、被覆層内の各粒子間の密着性が悪いこと、又は無機
硬質金属化合物粒子とダイヤモンド粒子との間に気孔が
生じることにより被覆層内強度が低いという問題があ
る。
９５体積％をダイヤモンドもしくはダイヤモンド状の相
が占め、残部を鉄族金属又は無機硬質金属化合物が占め
たダイヤモンドを含有する硬質被膜で基材表面を被覆し
たダイヤモンド含有被覆部材である。この特開昭５９−
９３８６９号公報は、他の物質と殆んど反応しないダイ
ヤモンドを鉄族金属又は無機硬質金属化合物と混合又は
分散させてなる被覆層にすることにより、ダイヤモンド
粒子を保持する面積が増大して被覆層中のダイヤモンド
粒子と基材との密着性を高めているものと思われる。し
かしながら、鉄族金属を含有したダイヤモンド被覆層
は、前述の如く、鉄族金属の影響でダイヤモンドの質を
低下させるという問題及びダイヤモンドの生成速度を低
下させるという問題がある。また、無機硬質金属化合物
を含有したダイヤモンド被覆層は、無機硬質金属化合物
とダイヤモンド粒子との混合物からなる被覆層であっ
て、被覆層内の各粒子間の密着性が悪いこと、又は無機
硬質金属化合物粒子とダイヤモンド粒子との間に気孔が
生じることにより被覆層内強度が低いという問題があ
る。
本発明は、上述のような問題点を解決したもので、具体
的には、基材と結晶質ダイヤモンド状構造の外層との間
に、外層を形成しやすく、しかも、外層との密着性がす
ぐれている中間層を介在させてなるダイヤモンド被覆部
材の提供を目的とするものである。
的には、基材と結晶質ダイヤモンド状構造の外層との間
に、外層を形成しやすく、しかも、外層との密着性がす
ぐれている中間層を介在させてなるダイヤモンド被覆部
材の提供を目的とするものである。
（問題点を解決するための手段） 一般に、ダイヤモンドは、他の物質との濡れ性が著しく
悪いこと、及びダイヤモンド中への他原子の拡散が少な
いことから基材の表面に密着性の高いダイヤモンドの被
覆層を形成するのが非常に困難である。そこで、本発明
者らは、ダイヤモンドの被覆層を形成しやすい物質、及
びダイヤモンドの被覆層との密着性を高める物質につい
て検討した所、カーボン、特に非晶質カーボン状構造か
らなる物質の表面には、ダイヤモンドの被覆層が形成し
やすくなり、密着性もすぐれるという知見を得て、本発
明を完成するに至ったものである。
悪いこと、及びダイヤモンド中への他原子の拡散が少な
いことから基材の表面に密着性の高いダイヤモンドの被
覆層を形成するのが非常に困難である。そこで、本発明
者らは、ダイヤモンドの被覆層を形成しやすい物質、及
びダイヤモンドの被覆層との密着性を高める物質につい
て検討した所、カーボン、特に非晶質カーボン状構造か
らなる物質の表面には、ダイヤモンドの被覆層が形成し
やすくなり、密着性もすぐれるという知見を得て、本発
明を完成するに至ったものである。
すなわち、本発明の高密着性ダイヤモンド被覆部材は、
基材の表面に結晶質ダイヤモンド状構造の外層を形成し
てなる被覆部材であって、前記基材と前記外層との間に
１層又は多層で構成される中間層を介在させ、該中間層
は、該外層に隣接する非晶質カーボン状構造の層と該非
晶質カーボン状構造の層に隣接する密着補助層とからな
り、該密着補助層が周期律表4a,5a,6a族の金属又はSiの
炭化物，窒化物，酸化物，ホウ化物もしくは、Alの窒化
物，ホウ化物，酸化物及びこれらの相互固溶体の中の少
なくとも１種でなる単層あるいは２種以上でなる多層か
らなることを特徴とするものである。
基材の表面に結晶質ダイヤモンド状構造の外層を形成し
てなる被覆部材であって、前記基材と前記外層との間に
１層又は多層で構成される中間層を介在させ、該中間層
は、該外層に隣接する非晶質カーボン状構造の層と該非
晶質カーボン状構造の層に隣接する密着補助層とからな
り、該密着補助層が周期律表4a,5a,6a族の金属又はSiの
炭化物，窒化物，酸化物，ホウ化物もしくは、Alの窒化
物，ホウ化物，酸化物及びこれらの相互固溶体の中の少
なくとも１種でなる単層あるいは２種以上でなる多層か
らなることを特徴とするものである。
ここで用いる基材は、後述する製造条件に耐えることが
可能な材質ならば特別に制限されるものではなく、例え
ば、各種の金属，合金，焼結ハイス、超硬合金，サーメ
ット又はセラミックスなどを用途によって使い分けるこ
とができる。
可能な材質ならば特別に制限されるものではなく、例え
ば、各種の金属，合金，焼結ハイス、超硬合金，サーメ
ット又はセラミックスなどを用途によって使い分けるこ
とができる。
これらの基材と外層との間に介在させる中間層は、外層
に隣接する中間層が非晶質カーボン状構造の層によって
形成されていることを特徴とするもので、使用する基材
の材質又は本発明の被覆部材の用途もしくは形状により
各種の構造にすることができる。
に隣接する中間層が非晶質カーボン状構造の層によって
形成されていることを特徴とするもので、使用する基材
の材質又は本発明の被覆部材の用途もしくは形状により
各種の構造にすることができる。
例えば、中間層が外層に隣接する非晶質カーボン状構造
の層と密着補助層とからなり、この密着補助層が周期律
表４ａ，５ａ，６ａ族の金属又はＳｉの炭化物，窒化
物，酸化物，ホウ化物もしくはＡｌの窒化物，ホウ化
物，酸化物及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１
種でなる単層あるいは２種以上の多層からなるものであ
る。この場合は、基材と外層との間に非晶質カーボン状
構造の層と密着補助層が介在し、基材に密着補助層が隣
接し、外層に非晶質カーボン状構造の層が隣接している
もので、密着補助層との密着性にすぐれる基材、例え
ば、鉄族金属又は鉄族金属を含有した合金、及び各種の
セラミックでなる基材に適用することができる。
の層と密着補助層とからなり、この密着補助層が周期律
表４ａ，５ａ，６ａ族の金属又はＳｉの炭化物，窒化
物，酸化物，ホウ化物もしくはＡｌの窒化物，ホウ化
物，酸化物及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１
種でなる単層あるいは２種以上の多層からなるものであ
る。この場合は、基材と外層との間に非晶質カーボン状
構造の層と密着補助層が介在し、基材に密着補助層が隣
接し、外層に非晶質カーボン状構造の層が隣接している
もので、密着補助層との密着性にすぐれる基材、例え
ば、鉄族金属又は鉄族金属を含有した合金、及び各種の
セラミックでなる基材に適用することができる。
その他の中間層の構成としては、中間層が非晶質カーボ
ン状構造の層と金属又は合金の層とでなる場合、もしく
は非晶質カーボン状構造の層と密着補助層と金属又は合
金の層とでなる場合など各種の構成にすることができ
る。
ン状構造の層と金属又は合金の層とでなる場合、もしく
は非晶質カーボン状構造の層と密着補助層と金属又は合
金の層とでなる場合など各種の構成にすることができ
る。
これらの中間層の内、非晶質カーボン状構造とは、ダイ
ヤモンドの結晶構造を含有していないか、もしくはラマ
ン分光分析においてダイヤモンドの結晶構造を示す１３
３２cm-1の波数における回折線が確認できるかできない
か程度のカーボン、特に非晶質カーボンを示すもので、
さらに具体的には、例えばラマン分光分析における波数
が１１５０cm-1，１３６０cm-1，１５００cm-1又は１５
６０cm-1の内少なくとも１種の回折線が確認できるよう
な非晶質カーボンであることが好ましい。
ヤモンドの結晶構造を含有していないか、もしくはラマ
ン分光分析においてダイヤモンドの結晶構造を示す１３
３２cm-1の波数における回折線が確認できるかできない
か程度のカーボン、特に非晶質カーボンを示すもので、
さらに具体的には、例えばラマン分光分析における波数
が１１５０cm-1，１３６０cm-1，１５００cm-1又は１５
６０cm-1の内少なくとも１種の回折線が確認できるよう
な非晶質カーボンであることが好ましい。
これらの中間層の表面に形成する外層は、結晶質ダイヤ
モンド状構造からなり、この結晶質ダイヤモンド状構造
とは、ダイヤモンドの結晶構造を少なくとも含有してい
るもので、例えばラマン分光分析においてダイヤモンド
の結晶構造を示す１３３２cm-1の波数における回折線が
明確なもので、この１３３２cm-1の波数の回折線又はこ
の回折線の他に非晶質カーボン状構造を示す回折線が混
在していてもよい。
モンド状構造からなり、この結晶質ダイヤモンド状構造
とは、ダイヤモンドの結晶構造を少なくとも含有してい
るもので、例えばラマン分光分析においてダイヤモンド
の結晶構造を示す１３３２cm-1の波数における回折線が
明確なもので、この１３３２cm-1の波数の回折線又はこ
の回折線の他に非晶質カーボン状構造を示す回折線が混
在していてもよい。
これらの非晶質カーボン状構造の層は、外層との密着性
及び耐剥離性から１００Å〜２０μｍの厚さであること
が好ましく、外層は、耐摩耗性及び耐剥離性から０．１
μｍ〜１００μｍ厚さであることが好ましい。また、非
晶質カーボン状構造の層と外層は、ラマン分光分析にお
いて、ダイヤモンドの結晶構造を示す１３３２cm-1の波
数での回折線強度が連続的に強くなるような連続的な層
であってもよい。
及び耐剥離性から１００Å〜２０μｍの厚さであること
が好ましく、外層は、耐摩耗性及び耐剥離性から０．１
μｍ〜１００μｍ厚さであることが好ましい。また、非
晶質カーボン状構造の層と外層は、ラマン分光分析にお
いて、ダイヤモンドの結晶構造を示す１３３２cm-1の波
数での回折線強度が連続的に強くなるような連続的な層
であってもよい。
本発明の高密着性ダイヤモンド被覆部材は、次のような
方法によって製造することができる。まず、各種の基材
の表面を必要に応じて研摩洗浄した後、密着補助層を形
成する必要がある場合は、化学蒸着法（ＣＶＤ法）又は
物理蒸着法（ＰＶＤ法）により基材の表面に形成し、次
いで、例えば熱フイラメントＣＶＤ法，マイクロ波プラ
ズマＣＶＤ法，高周波プラズマＣＶＤ法又は磁界分離に
よるイオンビーム蒸着法などにより非晶質カーボン状構
造の層と外層を形成することができる。
方法によって製造することができる。まず、各種の基材
の表面を必要に応じて研摩洗浄した後、密着補助層を形
成する必要がある場合は、化学蒸着法（ＣＶＤ法）又は
物理蒸着法（ＰＶＤ法）により基材の表面に形成し、次
いで、例えば熱フイラメントＣＶＤ法，マイクロ波プラ
ズマＣＶＤ法，高周波プラズマＣＶＤ法又は磁界分離に
よるイオンビーム蒸着法などにより非晶質カーボン状構
造の層と外層を形成することができる。
非晶質カーボン状構造の層と外層の形成は、ダイヤモン
ドの気相合成法に使われるＨ２ガス，不活性ガス，炭化
水素ガスの内、供給炭化水素ガスの濃度をコントロール
することによって行なうことができ、その他反応ガスの
全圧又は加熱反応温度などによってもコントロールする
ことができる。例えば、具体的には、非晶質カーボン状
構造の層の形成は、反応容器内の炭化水素ガス濃度を３
vol％以上、好ましくは５vol％以上〜２０vol％以下に
すること、反応ガスの全圧を１００Ｔｏｒｒ以上、好ま
しくは１００Ｔｏｒｒ以上〜７６０Ｔｏｒｒ以下にする
こと、及び反応温度を８５０℃未満、好ましくは３００
℃以上〜８５０℃未満にすることによって作製すること
ができる。これに対して、外層の形成は、反応容器内の
炭化水素ガス濃度を３vol％未満、好ましくは０．１vol
％以上〜１vol％以下にすること、反応ガスの全圧を１
００Ｔｏｒｒ未満、好ましくは１０Ｔｏｒｒ以上〜１０
０Ｔｏｒｒ未満にすること、及び反応温度を８５０℃以
上、好ましくは８５０℃以上〜１１００℃以下にするこ
とによって作製することができる。
ドの気相合成法に使われるＨ２ガス，不活性ガス，炭化
水素ガスの内、供給炭化水素ガスの濃度をコントロール
することによって行なうことができ、その他反応ガスの
全圧又は加熱反応温度などによってもコントロールする
ことができる。例えば、具体的には、非晶質カーボン状
構造の層の形成は、反応容器内の炭化水素ガス濃度を３
vol％以上、好ましくは５vol％以上〜２０vol％以下に
すること、反応ガスの全圧を１００Ｔｏｒｒ以上、好ま
しくは１００Ｔｏｒｒ以上〜７６０Ｔｏｒｒ以下にする
こと、及び反応温度を８５０℃未満、好ましくは３００
℃以上〜８５０℃未満にすることによって作製すること
ができる。これに対して、外層の形成は、反応容器内の
炭化水素ガス濃度を３vol％未満、好ましくは０．１vol
％以上〜１vol％以下にすること、反応ガスの全圧を１
００Ｔｏｒｒ未満、好ましくは１０Ｔｏｒｒ以上〜１０
０Ｔｏｒｒ未満にすること、及び反応温度を８５０℃以
上、好ましくは８５０℃以上〜１１００℃以下にするこ
とによって作製することができる。
（作用） 本発明の高密着性ダイヤモンド被覆部材は、中間層とし
ての非晶質カーボン状構造の層が外層の合成を促進し、
外層の形成後には、中間層と外層との密着性を著しく高
めているものである。また、基材の材質又は形状によ
り、基材と非晶質カーボン状構造の層との密着性が劣る
場合は、基材と非晶質カーボン状構造との間に密着補助
層や金属層などの中間層を介在させると、基材と非晶質
カーボン状構造の層との密着性を高めることができる。
ての非晶質カーボン状構造の層が外層の合成を促進し、
外層の形成後には、中間層と外層との密着性を著しく高
めているものである。また、基材の材質又は形状によ
り、基材と非晶質カーボン状構造の層との密着性が劣る
場合は、基材と非晶質カーボン状構造との間に密着補助
層や金属層などの中間層を介在させると、基材と非晶質
カーボン状構造の層との密着性を高めることができる。
（実施例） 実施例１ ＪＩＳ規格Ｋ１０相当で、形状がＳＰＰ４２２の超硬合
金を基材として、この基材をマイクロ波プラズマＣＶＤ
反応容器内に設置し、８vol％ＴｉＣｌ４−５vol％ＣＨ
４−８７vol％Ｈ２雰囲気中、圧力２０Ｔｏｒｒ，温度
１０００℃，保持時間３０分にて基材の表面にＴｉＣ層
を被覆した。次いで、反応容器内を真空排気した後、出
力３５０Ｗ，ガス圧力４０Ｔｏｒｒ，メタン濃度０．７
vol％残り水素、基材温度８７０℃で１時間保持してか
ら、更に基材温度９４０℃で２時間保持して本発明品No
１を得た。
金を基材として、この基材をマイクロ波プラズマＣＶＤ
反応容器内に設置し、８vol％ＴｉＣｌ４−５vol％ＣＨ
４−８７vol％Ｈ２雰囲気中、圧力２０Ｔｏｒｒ，温度
１０００℃，保持時間３０分にて基材の表面にＴｉＣ層
を被覆した。次いで、反応容器内を真空排気した後、出
力３５０Ｗ，ガス圧力４０Ｔｏｒｒ，メタン濃度０．７
vol％残り水素、基材温度８７０℃で１時間保持してか
ら、更に基材温度９４０℃で２時間保持して本発明品No
１を得た。
比較として、上記本発明品No１と同一基材，同一反応容
器を用いて、基材表面にＴｉＣ層を上記と同様にして被
覆した後、出力，圧力，メタン濃度を上記と同様にし
て、基材温度９２０℃で３時間保持にて比較品No１を得
た。
器を用いて、基材表面にＴｉＣ層を上記と同様にして被
覆した後、出力，圧力，メタン濃度を上記と同様にし
て、基材温度９２０℃で３時間保持にて比較品No１を得
た。
こうして得た本発明品No１と比較品No１を用いて被削材
Ａｌ−１８％Ｓｉ合金，切削速度４００m/min，送り速
度０．２mm/rev，切込み量１mmの条件で旋削試験を行な
ったところ、本発明品No１は１０分間切削後の逃げ面摩
耗量が０．０１mm以下の正常摩耗であったのに対して、
比較品No１は８分間切削時に被覆層が剥離してしまっ
た。
Ａｌ−１８％Ｓｉ合金，切削速度４００m/min，送り速
度０．２mm/rev，切込み量１mmの条件で旋削試験を行な
ったところ、本発明品No１は１０分間切削後の逃げ面摩
耗量が０．０１mm以下の正常摩耗であったのに対して、
比較品No１は８分間切削時に被覆層が剥離してしまっ
た。
この本発明品No１と比較品No１の被覆層をラマン分光分
析によって調べた所、本発明品No１は外層が２．０μｍ
厚さで、第１図（ａ）の回折線の結晶質ダイヤモンド状
構造で、中間層が０．７μｍ厚さで第１図（ｃ）の回折
線の非晶質カーボン状構造と０．５μｍ厚さのＴｉＣ層
とからなっていた。また、比較品No１は、第１図（ａ）
の回折線とほぼ同様の結晶質ダイヤモンド状構造の被覆
層であった。
析によって調べた所、本発明品No１は外層が２．０μｍ
厚さで、第１図（ａ）の回折線の結晶質ダイヤモンド状
構造で、中間層が０．７μｍ厚さで第１図（ｃ）の回折
線の非晶質カーボン状構造と０．５μｍ厚さのＴｉＣ層
とからなっていた。また、比較品No１は、第１図（ａ）
の回折線とほぼ同様の結晶質ダイヤモンド状構造の被覆
層であった。
（発明の効果） 以上の結果から、本発明の高密着性ダイヤモンド被覆部
材は、外層と基材との密着性が著しくすぐれていて、従
来のダイヤモンド被覆部材に対して数倍から数１０倍の
耐剥離性があり、それに伴って寿命も向上するものであ
る。このために、苛酷な重負荷の作用する切削工具とし
て、例えば旋削工具は勿論のことフライス工具，ドリ
ル，エンドミル，及びミクロンドリルなどの回転用工具
に応用でき、又印字ピンの先端もしくは紙や磁気テープ
などの切断用スリッターを含めた耐摩耗用工具にも応用
できる。さらに、ダイヤモンド自体が有している高電気
絶縁性及び高熱伝導性を利用してヒートシンクをはじめ
とするエレクトロニクス用部材並びに核融合炉の炉壁に
代表される原子炉用部材にと応用できる産業上有用な材
料である。
材は、外層と基材との密着性が著しくすぐれていて、従
来のダイヤモンド被覆部材に対して数倍から数１０倍の
耐剥離性があり、それに伴って寿命も向上するものであ
る。このために、苛酷な重負荷の作用する切削工具とし
て、例えば旋削工具は勿論のことフライス工具，ドリ
ル，エンドミル，及びミクロンドリルなどの回転用工具
に応用でき、又印字ピンの先端もしくは紙や磁気テープ
などの切断用スリッターを含めた耐摩耗用工具にも応用
できる。さらに、ダイヤモンド自体が有している高電気
絶縁性及び高熱伝導性を利用してヒートシンクをはじめ
とするエレクトロニクス用部材並びに核融合炉の炉壁に
代表される原子炉用部材にと応用できる産業上有用な材
料である。
第１図は、実施例１で得た被覆部材の被覆層のラマン分
光分析における回折線である。 回折線（ａ）は、結晶質ダイヤモンド状構造の代表的回
折線 回折線（ｂ），（ｃ）は、非晶質カーボン状構造の代表
的回折線
光分析における回折線である。 回折線（ａ）は、結晶質ダイヤモンド状構造の代表的回
折線 回折線（ｂ），（ｃ）は、非晶質カーボン状構造の代表
的回折線
Claims (3)
- 【請求項１】基材の表面に結晶質ダイヤモンド状構造の
外層を形成してなる被覆部材であって、該基材と該外層
との間に１層又は多層で構成される中間層を介在させ、
該中間層は、該外層に隣接する非晶質カーボン状構造の
層と該非晶質カーボン状構造の層に隣接する密着補助層
とからなり、該密着補助層が周期律表4a,5a,6a族の金属
又はSiの炭化物，窒化物，酸化物，ホウ化物もしくはAl
の窒化物，ホウ化物，酸化物及びこれらの相互固溶体の
中の少なくとも１種でなる単層あるいは２種以上でなる
多層からなることを特徴とする高密着性ダイヤモンド被
覆部材。 - 【請求項２】上記非晶質カーボン状構造の層は、100Å
〜20μｍの厚さであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の高密着性ダイヤモンド被覆部材。 - 【請求項３】上記外層は0.1μｍ〜100μｍの厚さである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
の高密着性ダイヤモンド被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61036161A JPH06951B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | 高密着性ダイヤモンド被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61036161A JPH06951B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | 高密着性ダイヤモンド被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62196371A JPS62196371A (ja) | 1987-08-29 |
| JPH06951B2 true JPH06951B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=12462040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61036161A Expired - Lifetime JPH06951B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | 高密着性ダイヤモンド被覆部材 |
Country Status (1)
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-
1986
- 1986-02-20 JP JP61036161A patent/JPH06951B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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| JPS62196371A (ja) | 1987-08-29 |
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